專利名稱：液體噴射頭及液體噴射裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種噴墨式記錄頭等的液體噴射頭、以及具備該液體噴射頭的液體噴射裝置，尤其是，涉及一種通過壓電振子而使對壓力室的一部分進行劃分的隔膜部的島部位移，從而使液體從噴嘴被噴射的液體噴射頭、以及液體噴射裝置。
背景技術：
液體噴射裝置為，具備能夠以液滴的形式對液體進行噴射的液體噴射頭，并從該液體噴射頭噴射各種液體的裝置。作為該液體噴射裝置的代表性示例，例如可以列舉出具備噴墨式記錄頭(以下，稱為記錄頭)，并使液體狀的油墨以油墨滴的形式從該記錄頭被噴射從而實施記錄的噴墨式記錄裝置(打印機)等的圖像記錄裝置。另外，近年來，不限于該圖像記錄裝置，還可應用于顯示器制造裝置等的各種制造裝置中。
作為上述的液體噴射裝置中的一種的噴墨式打印機(以下，簡稱為打印機)，采用了如下的結(jié)構(gòu)，即，通過利用壓電振子使對壓力室的一部分(開口面)進行劃分的隔膜部位移，從而使壓力室的容積發(fā)生變動，由此使壓力室內(nèi)的油墨產(chǎn)生壓力變動，進而使油墨從噴嘴被噴射的結(jié)構(gòu)(例如，參考專利文獻I)。隔膜部由撓性薄膜和島部(也稱為島狀部)構(gòu)成，所述撓性薄膜對壓力室的開口面進行密封，所述島部被設置于該撓性薄膜上。該島部一般由形成為大致長方體狀的金屬等的剛體構(gòu)成，且為與壓電振子的頂端部相結(jié)合的部分。該島部的周圍的撓性薄膜作為彈性膜部而發(fā)揮功能。并且，由于當壓電振子進行伸縮位移時，伴隨于此島部將向遠離壓力室的一側(cè)位移，或者，島部向接近壓力室內(nèi)的一側(cè)位移，從而壓力室的容積發(fā)生變化。并且被構(gòu)成為，通過該壓力室的容積的變動，而使壓力室內(nèi)的油墨產(chǎn)生壓力變動，利用該壓力變動而使油墨從噴嘴被噴射。由于壓電振子的位移量十分微小(例如為幾十nm)，因此優(yōu)選將該壓電振子的位移高效地轉(zhuǎn)換為壓力室的容積變動。近年來，在這種打印機中，為了應對記錄圖像的畫質(zhì)提高，而高密度地對多個噴嘴進行配置。由此，連通于各個噴嘴的壓力室也以高密度而形成。其結(jié)果為，壓電振子的尺寸，特別是噴嘴成列設置方向上的尺寸具有減小的傾向，伴隨于此壓電振子的剛性將降低。剛性較低的壓電振子受到使島部發(fā)生位移時的反作用力，而容易發(fā)生變形，其結(jié)果為，存在對油墨的噴射造成障礙的可能性。具體而言，當壓電振子容易變形時，存在如下的可能性，即，壓力室的容積變動不會充分地進行，從而從噴嘴被噴射出的油墨的噴射特性(油墨的量和飛射速度等)發(fā)生變動。此外，當壓電振子容易變形時，與此相對應地，將導致可塑性(每單位面積的易變形度、或者柔軟度)的增大。當可塑性增大時，有可能使油墨噴射后的彎液面振動增大，且存在該振動對噴射特性造成不良影響的可能性。另外，這樣的問題不僅存在于搭載了噴射油墨滴的噴墨式記錄頭的噴墨式記錄裝置中，同樣也存在于搭載了噴射油墨以外的液滴的其他的液體噴射頭的液體噴射裝置中。專利文獻I :日本特開平07-195689號公報
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這種情況而被完成的，其目的在于，提供一種能夠降低在壓電振子進行驅(qū)動時該壓電振子從島部受到的反作用力，從而防止壓電振子的變形的液體噴射頭、以及液體噴射裝置。本發(fā)明的液體噴射頭是為了實現(xiàn)上述目的而被提出的，所述液體噴射頭的特征在于，具備壓力室，其連通于噴嘴；隔膜部，其對該壓力室的一部分進行劃分；壓電振子，其使該隔膜部位移，所述隔膜部具有彈性膜部，其對所述壓力室的開口部進行密封；島部，其被設置在該彈性膜部上，并與所述壓電振子的頂端部相接合，所述島部的長度方向中央部的寬度被設定為，窄于該島部的長度方向兩端部的寬度，所述島部的中央部的長度方向上的尺寸，短于所述壓電振子的同方向上的尺寸。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于島部的長度方向中央部的寬度被設定為，窄于該島部的長度方向兩端部的寬度，因此能夠降低壓電振子在進行伸縮時從島部受到的反作用力，尤其是，降低中央部處的反作用力。也就是說，通過采用該結(jié)構(gòu)，從而彈性膜部的面積擴大將島部的中央部的寬度縮窄的量，由此壓電振子進行伸縮時的反作用力通過該彈性膜部的彈性變形而易于被吸收。由此，能夠降低對壓電振子的反作用力。其結(jié)果為，能夠防止由于反作用力而導致的壓電振子的變形，從而抑制該壓電振子的變形對液體噴射的不良影響。另一方面，由于島部的兩端部的寬度寬于中央部的寬度，因此能夠?qū)弘娬褡拥纳炜s位移高效地轉(zhuǎn)換為壓力室的容積變動。因此，能夠從噴嘴噴射所需量的油墨。另外，由于島部的中央部的長度方向上的尺寸被設定為，短于壓電振子的同方向上的尺寸，因此即使在由于制造誤差或者部件尺寸誤差等而使壓電振子的位置相對于島部在島部長度方向上發(fā)生稍許位置偏移的情況下，壓電振子也會更加可靠地接合于島部的兩端部上。由此，能夠?qū)弘娬褡拥纳炜s位移更加可靠地向島部傳遞，從而能夠更加可靠地實現(xiàn)壓力室的容積變動。另外，本發(fā)明的液體噴射頭的特征在于，具備壓力室，其連通于噴嘴；隔膜部，其對該壓力室的一部分進行劃分；壓電振子，其使該隔膜部位移，所述隔膜部具有；彈性膜部，其對所述壓力室的開口部進行密封；島部，其被設置在該彈性膜部上，并與所述壓電振子的頂端部相接合，在所述島部的與所述壓電振子之間的接合面的中央部處，形成有從該接合面?zhèn)瘸蛳喾疵鎮(zhèn)劝枷莸陌疾?。根?jù)上述結(jié)構(gòu)，由于在島部的與壓電振子之間的接合面的中央部處，形成有從該接合面?zhèn)瘸蛳喾疵鎮(zhèn)劝枷莸陌疾?，因此島部的與凹部對應的部分未與壓電振子的頂端部接合。因此，能夠降低壓電振子在進行伸縮時從島部受到的反作用力。其結(jié)果為，能夠防止由于反作用力而導致的壓電振子的變形，從而抑制該壓電振子的變形對液體噴射的不良影響。另一方面，由于島部的兩端部的寬度寬于中央部的寬度，因此能夠?qū)弘娬褡拥纳炜s位移高效地轉(zhuǎn)換為壓力室的容積變動。因此，能夠從噴嘴噴射所需量的液體。另外，本發(fā)明的液體噴射裝置的特征在于，具備上述的任一個液體噴射頭。


圖1為對打印機的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進行說明的立體圖。圖2為記錄頭的主要部分剖視圖。
圖3為壓力室附近的主要部分剖視圖。圖4為隔膜部的附近的放大俯視圖。圖5為對島部的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。圖6為對噴射驅(qū)動脈沖的結(jié)構(gòu)進行說明的波形圖。圖7為壓力室的長度方向中央部的噴嘴列方向上的主要部分剖視圖。圖8為對第二實施方式中的島部的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。圖9為第三實施方式中的壓力室附近的主要部分剖視圖。圖10為對第三實施方式中的島部的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式進行說明。另外，雖然在以下所敘述的實施方式中，作為本發(fā)明的優(yōu)選的具體示例而進行了各種限定，但是本發(fā)明的范圍只要在以下的說明中沒有特別地對本發(fā)明進行限定的記載，則并不限定于這些方式。另外，在下文中，作為本發(fā)明的液體噴射裝置，列舉噴墨式記錄裝置(以下，稱為打印機)為示例而進行說明。圖I為表示打印機I的結(jié)構(gòu)的立體圖。該打印機I具備滑架4，其上安裝有作為液體噴射頭的一種的記錄頭2，且以可拆卸的方式安裝有作為液體供給源的一種的油墨盒3 ;壓印板5，其被配置在記錄動作時的記錄頭2的下方；滑架移動機構(gòu)7，其使滑架4在記錄紙6 (記錄媒介以及液體噴落對象的一種)的紙寬方向，即主掃描方向上進行往復移動；輸送機構(gòu)8，其在與主掃描方向正交的副掃描方向上對記錄紙6進行輸送?；?被構(gòu)成為，以被軸支承在架設于主掃描方向上的導桿9上的狀態(tài)被安裝，并通過滑架移動機構(gòu)7的工作而沿著導桿9在主掃描方向上移動?；?在主掃描方向上的位置通過線性編碼器10而被檢測出。在滑架4的移動范圍內(nèi)的、記錄區(qū)域的外側(cè)的端部區(qū)域上，設定有成為滑架的掃描的基點的初始位置。在本實施方式中的初始位置處配置有對記錄頭2的噴嘴形成面(噴嘴板24 :參照圖2等)進行密封的壓蓋部件11 ;用于擦拭噴嘴形成面的擦拭器部件12。而且，打印機I實施在滑架4從該初始位置朝向相反側(cè)的端部進行移動的前進移動時、和滑架4從相反側(cè)的端部向初始位置側(cè)返回的返回移動時的雙方向上，將文字或圖像等記錄在記錄紙6上的、所謂的雙方向記錄。壓印板5為,在主掃描方向上較長的板狀的部件,并且在其表面上沿著長度方向以預定的間隔突出設置有多個支承突起5a。各個支承突起5a向壓印板表面的上方(記錄動作時的記錄頭2側(cè))突出。各個支承突起5a的上表面作為支撐記錄紙6的抵接面，而局部地對記錄紙6的背面(油墨所噴落的記錄面的相反側(cè)的面)進行支撐。另外，在壓印板5的表面、且除各個支承突起5a以外的部分上，配置有油墨吸收材料5b。該油墨吸收材料5b由通過例如毛氈或海綿等而制成的、具有吸液性的多孔質(zhì)部件構(gòu)成。圖2為對記錄頭2的結(jié)構(gòu)進行說明的主要部分剖視圖。圖3為圖2中的壓力室28附近的放大剖視圖。另外，圖4為振動板25的隔膜部33附近的放大俯視圖。該記錄頭2具備殼體15、被收納在該殼體15內(nèi)的振子組件16、與殼體15的底面(頂端面)相接合的流道組件17。上述的殼體15例如由環(huán)氧類樹脂而制成，并且在其內(nèi)部形成有用于收納振子組件16的收納空間部18。振子組件16具備多個壓電振子20，其作為壓力產(chǎn)生單元的一種而發(fā)揮功能；固定板21，其與該壓電振子20相接合；軟性電纜22，其向壓電振子20供給驅(qū)動信號。壓電振子20為，將振子基材切割為多個而形成的、所謂的縱振動型的壓電振子，所述振子基材由電極部件隔著壓電體交替層疊而形成。流道組件17通過將流道形成基板23的一個面與噴嘴板24相接合，并且將流道形成基板23的另一個面與振動板25相接合而構(gòu)成。在該流道組件17中設置有貯留部26(共用液室)、油墨供給口 27、壓力室28、噴嘴連通口 29和噴嘴30。并且，從油墨供給口 27起經(jīng)由壓力室28及噴嘴連通口 29至噴嘴30的一連串的油墨流道(液體流道)，對應于各個噴嘴30而形成。壓力室28成為，以與后文敘述的噴嘴列方向正交的方向為長度方向的空間部，并且其上表面(接合有振動板25的一側(cè)的表面)開口。壓力室28的長度方向一個端部通過將流道形成基板23的厚度方向貫穿的噴嘴連通口 29而與噴嘴30連通，而長度方向另一端部通過油墨供給口 27而與貯留部26連通。該壓力室28的上部開口通過振動板25而被密封。而且，在該密封狀態(tài)下的壓力室28的上部開口處，配置有后述的隔膜部33。上述噴嘴板24為，多個噴嘴30在其上以與點形成密度對應的間距(例如180dpi)而貫穿設置成列狀的、不銹鋼等金屬制的薄板。在該噴嘴板24上對噴嘴30進行成列設置 而成多個噴嘴列(噴嘴組)，并且一個噴嘴列由例如180個噴嘴30構(gòu)成。另外，噴嘴板24有時會通過單晶硅基板等的其他原材料而制成。上述振動板25為，在支承板31的表面上層疊了撓性薄膜32的雙重結(jié)構(gòu)。在本實施方式中，由復合板材構(gòu)成振動板25，所述復合板材為，在由不銹鋼等的金屬板構(gòu)成的支承板31的表面上覆蓋樹脂薄膜以作為撓性薄膜32而成的復合板材。支承板31的厚度例如為大約30 μ m，撓性薄膜32的厚度包括粘合劑的厚度在內(nèi)例如為6 8 μ m左右。在該振動板25中，在與流道形成基板24的各個壓力室28對應的部分處，形成有使壓力室28的容積發(fā)生變化的隔膜部33。另外，在該振動板25中，在與流道形成基板23的貯留部26對應的部分處，設置有對該貯留部26進行密封的可塑性部34。該可塑性部34通過用蝕刻加工等去除與貯留部26的開口面對置的區(qū)域內(nèi)的支承板31，并將該部分僅形成為撓性薄膜32，從而被制成。另外，可塑性部34作為吸收被貯留在貯留部26中的液體的壓力變動的緩沖器而發(fā)揮功能。上述的隔膜部33與可塑性部34相同地，通過用蝕刻加工對支承板31進行局部去除而制成。即，該隔膜部33由島部35和彈性膜部36構(gòu)成，所述島部35與壓電振子20的頂端面接合，所述彈性膜部36僅由圍繞該島部35周圍的撓性薄膜32構(gòu)成。彈性膜部36為，以在壓力室28的整個形成范圍內(nèi)殘留有成為島部36的部分的狀態(tài)，去除支承板31而得到的部分。圖5為對島部35的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。本實施方式中的島部35被形成為，與壓力室28的開口形狀相比較小的長條的塊狀。該島部35由分別形成于長度方向的兩端部處的寬度寬大部40、和形成于兩個寬度寬大部40之間的寬度狹窄部41構(gòu)成。兩個寬度寬大部40的寬度(噴嘴列方向上的尺寸)從寬度狹窄部41的相反側(cè)的端部的最大寬度Wl逐漸縮窄至寬度狹窄部41側(cè)的最小寬度W2。另外，寬度狹窄部41的寬度固定為W2。島部35的全長LI被設定為，長于壓電振子20在與噴嘴列正交的方向上的尺寸L3，寬度狹窄部41的同方向上的長度L2被設定為短于L3。并且，兩個寬度寬大部40的最大寬度Wl被設定為，小于壓電振子20在噴嘴列方向上的尺寸W3。另外，寬度寬大部40的最大寬度Wl與現(xiàn)有的這種記錄頭的島部的寬度為相同程度或者稍大，在本實施方式中，例如為41 μ m。并且，寬度狹窄部41的寬度W2窄于現(xiàn)有的這種記錄頭的島部的寬度，在本實施方式中，例如為38μπι。另外，本實施方式中的壓電振子20的尺寸W3例如為50 μ m。在壓電振子20相對于島部35而被定位了的狀態(tài)下，壓電振子20的至少一部分與島部的兩端部中的各端部重疊。在該狀態(tài)下，該壓電振子20的頂端部與島部35接合。此處，由于如上文所述，寬度狹窄部41的長度L2被設定為，充分地短于壓電振子的尺寸L3，因此即使在由于制造誤差或者部件尺寸誤差等而使壓電振子20的位置相對于島部35在與噴嘴列正交的方向上發(fā)生稍許位置偏移的情況下，壓電振子20也會更可靠地與兩側(cè)的寬度寬大部40相接合。由此，能夠?qū)弘娬褡?0的伸縮位移更加可靠地向島部35傳遞，從而能夠更加可靠地實現(xiàn)壓力室28的容積變動。圖6為對壓電振子20進行驅(qū)動以使油墨從噴嘴30被噴射的噴射驅(qū)動脈沖DP的 結(jié)構(gòu)的一個示例的波形圖。并且，在圖6中，縱軸為電位，橫軸為時間。另外，噴射驅(qū)動脈沖 DP包含膨脹要素pl，其使電位從基準電位(中間電位)Vb向正側(cè)變化至最大電位(最大電壓)Vmax，從而使壓力室28膨脹；膨脹維持要素p2，其將最大電位Vmax維持固定時間；收縮要素p3,其使電位從最大電位Vmax向負側(cè)變化至最小電位(最小電壓)Vmin,從而使壓力室28急劇地收縮；收縮維持(制振保持)要素p4，其將最小電位Vmin維持固定時間；恢復要素p5,其使電位從最小電位Vmin恢復至基準電位Vb。此處，當壓電振子20的施加電位為基準電位Vb時，島部35的位置位于壓力室28的開口部附近。當噴射驅(qū)動脈沖DP被施加于壓電振子20時，將以如下方式發(fā)揮作用。首先，通過膨脹要素Pl而使壓電振子20進行收縮。由于島部35的周圍為彈性膜部36，因此通過該彈性膜部36的變形，而容許了伴隨于壓電振子20的伸縮而產(chǎn)生的島部35的位移。也就是說，當壓電振子20進行收縮時，伴隨于此島部35將朝向遠離壓力室28的一側(cè)(噴嘴板24的相反側(cè))位移。由此，壓力室28將從對應于基準電位Vb的基準容積膨脹到對應于最大電位Vmax的最大容積。通過該壓力室28的膨脹，從而露出于噴嘴30的彎液面被拉向壓力室側(cè)。該壓力室28的膨脹狀態(tài)在整個膨脹維持要素p2的施加期間中被維持為固定。在該期間內(nèi)，由于壓電振子20對收縮狀態(tài)進行維持，因此島部35也停留于此。當在膨脹維持要素P2之后接著使收縮要素p3施加于壓電振子20時，該壓電振子20將伸長至最大限度或者接近最大限度。伴隨于此，島部35將朝向接近壓力室28的一側(cè)(噴嘴板24側(cè))而急劇地位移。由此，壓力室28從上述最大容積急劇地收縮至對應于最小電位Vmin的最小容積。通過該壓力室28的急劇的收縮，從而壓力室28內(nèi)的油墨被加壓，由此，從噴嘴30噴射出幾Pl 幾十Pl的油墨。該壓力室28的收縮狀態(tài)在整個收縮維持要素p4的施加期間中被維持。在該期間內(nèi)，由于壓電振子20對伸長狀態(tài)進行維持，因此島部35也停留于此。此后，恢復要素P5被施加于壓電振子20，從而使該壓電振子20進行收縮。伴隨于此，島部35位移至對應于基準電位Vb的正常位置。由此，壓力室28恢復至基準容積。圖7為壓力室28的長度方向中央部的噴嘴列方向的主要部分剖視圖，(a)表示正常狀態(tài)(壓電振子20的施加電位為基準電位Vb的狀態(tài))，(b)表示壓電振子20伸長了的狀態(tài)。此處，壓電振子20在進行伸縮時，尤其是在進行伸長時，從島部35受到的反作用力容易集中于壓電振子20和島部35的接合面的中央部。在現(xiàn)有的這種記錄頭中，壓電振子由于從島部受到的反作用力而發(fā)生變形，從而有時會對油墨的正常噴射造成障礙。與此相對，在本發(fā)明所涉及的記錄頭2中，由于位于島部35的長度方向中央部處的寬度狹窄部41的寬度被設定為，窄于位于該島部的長度方向兩端部處的寬度寬大部40的寬度，因此島部35在中央部處與壓電振子20之間的接合面積與現(xiàn)有技術相比而較小，從而能夠降低壓電振子20在進行伸縮時從島部35受到的反作用力。也就是說，通過采用該結(jié)構(gòu)，從而如圖7 (a)所示，相對于從對壓力室28進行劃分的隔壁42到寬度寬大部40的距離Dl (或者，現(xiàn)有的記錄頭中的從壓力室隔壁到島部的距離)，從隔壁42到寬度狹窄部41的距離D2較長。相對應地，他們之間的彈性膜部36的范圍擴大，從而壓電振子20進行伸縮時的反作用力(圖7中的黑箭頭)通過該彈性膜部36的彈性變形而易于被吸收。由此，能夠降低相對于壓電振子20的反作用力。其結(jié)果為，能夠防止由于反作用力而導致的壓電振子20的變形，從而能夠抑制該壓電振子20的變形對油墨噴射的不良影響。另一方面，由于島部35的兩端部的寬度寬大部40的寬度與中央部的寬度狹窄部41的寬度相比較寬，因此能夠?qū)弘娬褡?0的伸縮位移高效地轉(zhuǎn)換為壓力室28的容積變動。因此，能夠從噴嘴30噴射所需量的油墨。而且，由于在搭載有上述記錄頭2的打印機I中，能夠?qū)崿F(xiàn)噴嘴30的高密度化，因此能夠?qū)崿F(xiàn)記錄圖像等的高分辨率化。另外，由于能夠使壓電振子20的基材的厚度與現(xiàn)有 技術相比而變得較薄，因此還有助于成本削減。另外，本發(fā)明并不限定于上述的各個實施方式，能夠根據(jù)權利要求的記載而進行各種各樣的改變。例如，關于島部35的形狀，并不限定于圖5所示的示例。圖8為對第二實施方式中的島部35'的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。本實施方式中的島部35'由寬度寬大部40'、寬度狹窄部41、和連接部44構(gòu)成，其中，所述寬度寬大部40'位于長度方向兩端部處，且寬度固定為W1，所述寬度狹窄部41位于長度方向中央部處且寬度固定為W2 (W2 <W1)，所述連接部44位于寬度寬大部40'與寬度狹窄部41之間，且其寬度從寬度寬大部40'側(cè)朝向?qū)挾泉M窄部41側(cè)而從Wl逐漸縮窄至W2。并且，壓電振子20以其至少一部分與兩側(cè)的寬度寬大部40'重疊的狀態(tài)被連接在該島部35'上。并且，關于其他的結(jié)構(gòu)，由于與第一實施方式相同，因此省略詳細的說明。在該結(jié)構(gòu)中，也能夠獲得與上述第一實施方式相同的作用效果。總之，只要為島部的長度方向中央部的寬度被設定為，窄于該島部的長度方向兩端部的寬度的結(jié)構(gòu)，則可以采用任意形狀的島部。圖9為第三實施方式中的壓力室28附近的放大剖視圖，圖10為對第三實施例中的島部35"的結(jié)構(gòu)進行說明的俯視圖。雖然本實施方式中的島部35"與現(xiàn)有的記錄頭中所采用的島部相同，呈寬度基本固定的長方體狀的形狀，但是在與壓電振子20之間的接合面的中央部處形成有從接合面?zhèn)瘸蛳喾疵鎮(zhèn)?壓力室28側(cè))凹陷的凹部46這一點上，與現(xiàn)有的島部和上述各個實施方式的島部不同。凹部46的開口形狀呈矩形，其深度與島部35"的厚度相比略淺。或者，凹部46也可以貫穿島部35"的厚度方向。另外，凹部46的長度方向上的內(nèi)尺寸L4小于壓電振子20的尺寸L3。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于島部35"的與凹部46對應的部分未與壓電振子20的頂端部接合，因此能夠降低壓電振子20在進行伸縮時從島部35"受到的反作用力。此時的反作用力在凹部46未貫穿島部35"的情況下，通過凹部46的底部的薄壁部分和與該薄壁部分對應的彈性膜部36的彈性變形而被吸收。另外，在凹部46貫穿島部35"的情況下，反作用力通過與凹部46對應的彈性膜部36的彈性變形而被吸收。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，也會起到與上述各個實施方式相同的作用效果。
而且，雖然在上文中，列舉出作為液體噴射裝置的一種的噴墨式打印機I為示例而進行了說明，但是本發(fā)明也可以應用于通過利用壓電振子使島部位移，從而使壓力室的容積發(fā)生變動，進而從噴嘴噴射液體的其他的液體噴射裝置中。例如，也能夠?qū)⒈景l(fā)明應用于制造液晶顯示器等的彩色濾光片的顯示器制造裝置、形成有機EL (ElectroLuminescence :電致發(fā)光)顯示器或FED (面發(fā)光顯示器)等的電極的電極制造裝置、制造生物芯片(生物化學元件)的芯片制造裝置、以準確的量供給極少量的試劑溶液的微移液管。符號說明I…打印機；2…記錄頭；20…壓電振子；
25…振動板；28…壓力室；3O…噴嘴；31···支承板；32…撓性薄膜；33…隔膜部；35…島部；36…彈性膜部；40…寬幅寬大部；41…寬度狹窄部；42…隔壁。
權利要求
1.一種液體噴射頭，其特征在于，具備 壓力室，其連通于噴嘴； 隔膜部，其對該壓力室的一部分進行劃分； 壓電振子，其使該隔膜部位移， 所述隔膜部具有 彈性膜部，其對所述壓力室的開口部進行密封； 島部，其被設置在該彈性膜部上，并與所述壓電振子的頂端部相接合， 所述島部的長度方向中央部的寬度被設定為，窄于該島部的長度方向兩端部的寬度， 所述島部的中央部的長度方向上的尺寸，短于所述壓電振子的同方向上的尺寸。
2.一種液體噴射頭，其特征在于，具備 壓力室，其連通于噴嘴； 隔膜部，其對該壓力室的一部分進行劃分； 壓電振子，其使該隔膜部位移， 所述隔膜部具有； 彈性膜部，其對所述壓力室的開口部進行密封； 島部，其被設置在該彈性膜部上，并與所述壓電振子的頂端部相接合， 在所述島部的與所述壓電振子之間的接合面的中央部處，形成有從該接合面?zhèn)瘸蛳喾疵鎮(zhèn)劝枷莸陌疾俊?br> 3.一種液體噴射裝置，其特征在于， 具備權利要求I或2所述的液體噴射頭。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液體噴射頭及液體噴射裝置，其能夠降低在壓電振子進行驅(qū)動時該壓電振子從島部受到的反作用力，從而防止壓電振子的變形。隔膜部具有彈性膜部，其對壓力室的開口部進行密封；島部(35)，其被設置在該彈性膜部上，并與壓電振子的頂端部相接合，島部的長度方向中央部(41)的寬度被設定為，窄于該島部的長度方向兩端部(40)的寬度，島部的中央部的長度方向上的尺寸，短于壓電振子的同方向上的尺寸。
文檔編號B41J2/045GK102886985SQ201210251369
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月19日 優(yōu)先權日2011年7月20日
發(fā)明者富樫勇 申請人:精工愛普生株式會社