專利名稱：噴墨頭及其噴出異常檢測方法、以及膜成形方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴墨頭及對(duì)噴墨頭的噴出異常進(jìn)行檢測的噴墨頭的噴出 異常檢測方法和其裝置，以及使用該噴墨頭的膜形成方法(膜涂敷方法) 和其裝置。
背景技術(shù)：
近年來，利用墨在紙等印刷介質(zhì)上進(jìn)行印刷的情況下，在液晶顯示器等基板(透明基板)上進(jìn)行配向膜的形成和uv墨的涂敷的情況下，或在有機(jī)EL顯示器的基板上涂敷濾色片的情況下，廣泛采用使用了噴墨頭的 所謂噴墨法。例如，專利第3073493號(hào)公開了具備配設(shè)有一列的噴嘴的線型噴墨嘴。 此外，在該專利中，如圖5 圖7所示，也公開有考慮線型噴墨嘴的配置， 從而使涂敷液狀材料的處理的速度提高(專利文獻(xiàn)l)。此外，特開平9-138410號(hào)公報(bào)公開有如下的噴墨嘴，即作為形成 均勻的膜厚的噴墨頭，在規(guī)定的區(qū)域內(nèi)多行、多列地配置噴嘴，且使任意 的行的噴嘴相對(duì)于鄰接的行的噴嘴的排列錯(cuò)開半個(gè)間距地配置。此外，在 該公報(bào)中也公開了，鋸齒狀地移動(dòng)串聯(lián)地配設(shè)了噴出液狀材料的噴嘴的線 型噴墨嘴，同時(shí)進(jìn)行涂敷，形成均勻的膜厚(專利文獻(xiàn)2)。此外，作為檢測噴墨頭的噴出異常的裝置，例如特開平5-149769號(hào) 公報(bào)中記載了，將從噴墨頭噴出并飛行的液滴的飛行圖像在與該飛行方向 正交的方向上捕獲，并假定液滴相對(duì)于飛行方向的中心軸為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱形， 相對(duì)于液滴的中心軸，對(duì)飛行圖像進(jìn)行積分，并計(jì)算出液滴的體積(專利 文獻(xiàn)3)。此外，特開平11-227172號(hào)公報(bào)中記載有，設(shè)置時(shí)間差，多次攝像從 噴墨頭噴出的液滴，并由被攝像的多個(gè)液滴圖像的位置差與時(shí)間差，測量液滴的滴速(專利文獻(xiàn)4)。此外，特開2001-322295中記載有拍攝時(shí)光的照射方法，使光源和攝 像機(jī)構(gòu)與散射板相對(duì)地配置，并使作為被測定對(duì)象的液滴位于光源及攝像 機(jī)構(gòu)與散射板之間，由散射板使從光源照射的光發(fā)生散射，并利用攝像機(jī) 構(gòu)對(duì)液滴進(jìn)行攝像(專利文獻(xiàn)5)。另一方面，作為液晶顯示元件的制造工序之一，有在透明基板上形成 取向膜的工序。取向膜是用于控制液晶取向的，在基板上涂敷形成聚酰亞 胺等取向材料而形成取向膜。作為該取向膜涂敷形成方法，通常為基于苯胺印刷裝置的苯胺印刷 法，但近年來，提出了使用打印頭在透明基板上形成取向膜的所謂噴墨法 的方案(參照專利文獻(xiàn)6及專利文獻(xiàn)7)。在苯胺印刷法的情況下，取向膜的圖案形成容易且生產(chǎn)率高，但相反 的，存在如下的問題1)在凸版表面附著有灰塵的情況下，取向膜材料 未被涂敷在透明基板上的不良重復(fù)地產(chǎn)生，2)取向膜材料的使用量多，3) 在由于故障而停止了裝置的情況下，需要解鎖(了二口:y夕)和洗凈凸版 等，因此復(fù)位時(shí)間變長，裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率降低，4)對(duì)于凹凸大的基板或具 有曲面的基板無法涂敷。噴墨法能夠解決這些苯胺印刷法的問題點(diǎn)，可得到穩(wěn)定的品質(zhì)。噴墨 法使用的噴墨打印機(jī)具有移動(dòng)式的噴墨頭單元。噴墨頭單元中通常搭載有 如圖22所示一至六個(gè)位(圖22中為四個(gè))的噴墨頭。噴墨頭單元在相對(duì) 于作為涂敷物的透明基板的行進(jìn)方向(圖22中為右向)90度的方向(圖 22中為上下方向)上沿透明基板的寬度方向往復(fù)移動(dòng)。并與該往復(fù)移動(dòng)同 步，使透明基板沿行進(jìn)方向(長度方向)斷續(xù)地移動(dòng)，從而在透明基板上 形成取向膜。專利文獻(xiàn)1:特許3073493號(hào)公報(bào)(圖5 圖7)專利文獻(xiàn)2:特開平9-138410號(hào)公報(bào)(圖l、圖4、圖5)專利文獻(xiàn)3:特開平5-149769號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:特開平11-227172號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5:特幵2001-322295號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6:特幵平3-249623號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7:特開平7-92468號(hào)公報(bào)然而，為精細(xì)地涂敷液狀材料，需要將配設(shè)于噴墨頭中的噴嘴間距變 窄。但是，使噴嘴間距變窄存在物理上的界限。因此，在上述的專利文獻(xiàn)2中所述的區(qū)域型噴墨嘴中，使噴嘴間距變窄存在界限。此外，鋸齒狀地移動(dòng)線型噴墨嘴同時(shí)進(jìn)行涂敷的方法，因?yàn)閲娔斓囊苿?dòng)復(fù)雜，因此處理 速度緩慢。此外，如果使噴墨嘴復(fù)雜地移動(dòng)，則液滴易產(chǎn)生飛行彎曲，難 以高精度地控制液滴的彈附位置。因此，本發(fā)明的第一技術(shù)課題在于能夠盡可能地縮窄噴嘴間距，此外， 能夠適宜地進(jìn)行液滴的彈附位置的調(diào)整。另一方面，如上所述，公知有從拍攝液滴后的圖像中計(jì)算液滴的位置、 速度，并檢測噴出異常，但在以往難以利用對(duì)液滴進(jìn)行拍攝后的圖像，檢 測噴墨頭的噴出異常。此外，以往，在對(duì)從噴墨頭的噴嘴噴出液狀材料的狀態(tài)進(jìn)行拍攝的情 況下，使照相機(jī)與光源(頻閃光源)夾著液狀材料相對(duì)配置，或使光源的 光被液滴反射后的反射光入射到照相機(jī)的取景器。但是，在此情況下，入 射到照相機(jī)的取景器中的光過強(qiáng)，存在產(chǎn)生光暈的情況。因此，本發(fā)明的第二技術(shù)課題在于能夠容易且確實(shí)地進(jìn)行噴墨頭的噴 出異常的檢測。此外，在欲使用噴墨頭高精度地形成膜厚均勻的膜的情況下，存在以 下所示的問題。即，在使用噴墨頭形成膜的情況下，即使在均勻地將液狀 材料涂敷于被涂敷物的情況下，利用噴出液狀材料后產(chǎn)生的液滴，液狀材 料的厚度暫時(shí)地大致均勻，但然后，液滴融合后的干燥過程中的膜厚發(fā)生 變化，膜厚產(chǎn)生差。認(rèn)為這是由于從涂敷后的液狀材料的表面開始干燥的 原因。特別在將液狀材料均勻地涂敷于被涂敷物的情況下，在膜的中央部 液滴的厚度易變得均勻，在膜的周緣部(邊緣部或角部)，在液滴融合后 的干燥過程中膜厚易產(chǎn)生差。從而，僅單純地考慮噴墨頭的噴出特性，并 均勻地涂敷液狀材料，難以高精度地形成膜厚均勻的膜。此外，在使用多 個(gè)噴墨頭的情況下，因?yàn)楦鲊娔^的噴出特性也受到影響，難以均勻地形 成膜的厚度。因此，本發(fā)明的第三技術(shù)問題在于利用噴墨頭盡可能地形成均勻的厚度的膜。除此以外，噴墨法中的重要點(diǎn)在于，穩(wěn)定地從打印頭噴出取向膜材料， 和在透明基板上如何將作為無數(shù)的點(diǎn)而附著的取向膜材料形成均勻的取 向膜。即，如果被涂敷物為如紙或布的易吸收液體(墨)的材料，則在被 涂敷物的表面不會(huì)產(chǎn)生涂敷液的不附著，但如果被涂敷物為玻璃或薄膜等 完全不吸收或非常難以吸收液體(墨)的材料，則在涂敷面形成涂敷液的 點(diǎn)膜，因此，在點(diǎn)膜的一部分或者全部重復(fù)的情況下，存在產(chǎn)生膜斑(膜 厚度不均勻)之虞。因此，打印頭的正確的移動(dòng)控制是理所當(dāng)然的，還需 要涂敷液的粘度調(diào)整和打印頭內(nèi)的脫氣處理。典型的膜斑為產(chǎn)生膜的接縫。圖24表示涂敷后的膜的接縫B的放大圖像。噴墨法中，為消除接縫等膜斑并實(shí)現(xiàn)涂敷膜厚的均勻化，有重疊涂敷或部分重疊涂敷的技術(shù)。即，如圖25 (A)，在X方向及Y方向上進(jìn)行 錯(cuò)開間距的重疊涂敷，或如圖25 (B)所示，進(jìn)行部分的重疊涂敷。但是， 并未達(dá)到足夠地防止膜的接縫的膜斑的程度，實(shí)際上，關(guān)于膜品質(zhì)上的問 題仍然被指責(zé)。為消除如以上的噴墨法的膜的接縫中的問題點(diǎn)，需一次涂敷大的涂敷 面，考慮在打印頭單元中排列多個(gè)打印頭單元，并使被涂敷物沿與該排列 方向正交的方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。即，如圖23遍及整個(gè)涂敷寬度地配置多個(gè) 打印頭，在固定了打印頭的狀態(tài)下使被涂敷物G移動(dòng)，或者如圖18，在 固定了被涂敷物70的狀態(tài)下，使打印頭整體同時(shí)沿涂敷方向移動(dòng)。利用 此種結(jié)構(gòu)，由打印頭及被涂敷物的一次移動(dòng)完成涂敷，所以能夠形成沒有 膜的接縫及膜斑的高品質(zhì)的涂膜。但是，在前者的情況下(圖23)，膜涂敷裝置的尺寸需要為被涂敷物 G的長度的兩倍以上?！熠?，在將被涂敷物的長度設(shè)為L、打印頭的寬度設(shè) 為P的情況下，裝置的長度為2L+P+2a，變?yōu)榉浅４蟮难b置(a為裝置 的周邊寬度)。因此，在被稱為第七代的大型的取向膜涂敷裝置中，因?yàn)?透明基板(玻璃基板)的大小例如為1870X2200mm，所以裝置也為該長 度的兩倍以上，相應(yīng)地被涂敷物G的移動(dòng)距離也變?yōu)殚L距離，非常難以形 成機(jī)械的精度。特別由于取向膜涂敷裝置的設(shè)置場所為潔凈室的關(guān)系，現(xiàn) 實(shí)是需要更節(jié)省設(shè)置空間型。此外，與裝置的大小成正比，裝置重量也變?yōu)榇笾亓浚惭b時(shí)的搬運(yùn)也變得困難。另一方面，如圖18，在固定被涂敷物70，移動(dòng)在整個(gè)涂敷寬度上設(shè)置的打印頭73進(jìn)行涂敷的情況下，裝置的長度基本上為L+2P，與圖23 的裝置相比，能夠極大地小型化。但是，在打印頭上連接用于向打印頭供給涂敷液的涂敷液配管、用于 向頭的壓電元件供給涂敷數(shù)據(jù)的信號(hào)線、及負(fù)壓泵等。這些配管或配線的 總根數(shù)與打印頭的數(shù)量成比例地增多。在如圖18所示的裝置的情況下， 連接于多個(gè)打印頭的涂敷配管與配線的總根數(shù)數(shù)量具大，在使打印頭單元 移動(dòng)時(shí)，構(gòu)成大的阻抗。如用于液晶顯示元件的取向膜形成用涂敷裝置， 需要打印頭的正確的移動(dòng)控制，此種裝置實(shí)質(zhì)上是無法實(shí)現(xiàn)的。如上所述，移動(dòng)式打印頭適于節(jié)省空間，但用于實(shí)現(xiàn)該移動(dòng)式打印頭 的問題點(diǎn)如下。(1)需要在膜涂敷裝置與打印頭移動(dòng)側(cè)間的省配管化。(2) 需要在膜涂敷裝置與打印頭移動(dòng)側(cè)間的省配線化。(3)需要簡單化打印頭 的液供給配管。(4)需要實(shí)現(xiàn)防止墨槽液面的搖動(dòng)。(5)需要在墨槽與打 印頭間安裝脫氣機(jī)構(gòu)。(6)需要高精度地控制打印頭的彎月面壓力。以下順序地說明這些問題點(diǎn)。在膜涂敷裝置中，作為連接于從固定側(cè)至移動(dòng)側(cè)的打印頭的有涂敷液 配管和向各個(gè)打印頭輸出的電信號(hào)線、動(dòng)力線、向各設(shè)備輸出的電源線、 N2 (氮)排氣(purge)配管等。為允許打印頭移動(dòng)，這些多個(gè)配管和配線 需要收容于共同的線纜護(hù)線鏈中，但因?yàn)榕涔芘c配線的總數(shù)非常大，所以 特別地上述(1)的省略配管化和上述(2)的省配線化不可或缺。除上述以外，如果移動(dòng)側(cè)的各個(gè)打印頭配管復(fù)雜，則必須將多個(gè)液供 給控制設(shè)備設(shè)置于打印頭側(cè)，相應(yīng)地重量也增加，且他們的控制也變得復(fù) 雜。因此，如上述(3)需要將打印頭的液供給配管簡單化。如果將向打印頭供給涂敷液的墨槽安裝于移動(dòng)側(cè)打印頭，則由于打印 頭的移動(dòng)，墨槽內(nèi)的液面搖動(dòng)，由此產(chǎn)生氣泡，或施加于打印頭的彎月面 壓力變大。從而，需要上述(4)的防止墨槽液面的搖動(dòng)，和上述(5)的 向墨槽與打印頭之間安裝脫氣機(jī)構(gòu)，及上述(6)的打印頭的彎月面壓力 的高精度控制。因此，本發(fā)明的第四技術(shù)課題在于實(shí)現(xiàn)打印頭周圍的配管系的簡單化，且形成優(yōu)良的涂敷膜。 發(fā)明內(nèi)容為解決上述第一技術(shù)問題，本發(fā)明所述的噴墨頭是以將噴嘴的位置相互地錯(cuò)開噴嘴間距的1/n間距的方式，n個(gè)并列地配設(shè)線型噴墨嘴，該線 型噴墨嘴將噴出液狀材料的噴嘴一列地配設(shè)。此種噴墨頭的并列地配設(shè)的線型噴墨嘴的位置調(diào)整方法，例如，基于 由照相機(jī)對(duì)并列地配設(shè)的各線型噴墨嘴進(jìn)行拍攝后的圖像，將線型噴墨嘴 調(diào)整到應(yīng)被安裝的規(guī)定位置。此外，為解決上述的第一技術(shù)問題，本發(fā)明的其他的噴墨頭是以沿配 設(shè)線型噴墨嘴的噴嘴的方向交錯(cuò)狀地、相互不同地錯(cuò)開位置的方式串聯(lián)地 配設(shè)噴墨嘴單元，所述噴墨嘴單元以將噴嘴的位置相互地錯(cuò)開噴嘴間距的 1/n間距的方式，n個(gè)并列地配設(shè)所述線型噴墨嘴，且所述線型噴墨嘴將噴 出液狀材料的噴嘴一列地配設(shè)。此種噴墨頭的噴墨嘴單元的位置調(diào)整方法例如可與安裝軸的基準(zhǔn)平 面對(duì)位地安裝各噴墨嘴單元，該安裝軸將作為噴墨嘴單元的安裝位置的基 準(zhǔn)的基準(zhǔn)平面形成為一直線。另一方面，為解決上述的第二技術(shù)問題，本發(fā)明所述的噴墨頭的噴出 異常檢測方法是基于拍攝從噴墨頭的噴嘴噴出的液狀材料后的圖像，在噴 嘴的噴出方向的至少兩處以上的位置計(jì)算液狀材料的位置或液幅，從而檢 測噴嘴的噴出異常。在此情況下，在拍攝從噴嘴噴出的液狀材料時(shí)，以相對(duì)于從噴嘴噴出 的液狀材料，在照相機(jī)的相反側(cè)與照相機(jī)對(duì)置，并且，從光源投射的直接 光不入射照相機(jī)的取景器的方式來配設(shè)光源，從光源投射的直接光由從噴 嘴噴出的液狀材料折射后的折射光被照相機(jī)捕捉，從而對(duì)液狀材料進(jìn)行拍 攝。而且，噴出異常檢測裝置的異常檢測處理和照相機(jī)和光源的控制等可 以使用由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)噴出異常檢測裝置的各種功能的程序、記錄所述程序 的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)，及裝有所述程序和記錄介質(zhì)的計(jì)算機(jī)等來實(shí)現(xiàn)。進(jìn)而，為解決上述第三技術(shù)問題，本發(fā)明的膜形成方法使用噴墨頭噴 出液狀材料，在被涂敷物上形成均勻的膜，其包括膜厚設(shè)定工序，其設(shè) 定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚；試噴出工序，其考慮所述噴墨頭的 噴出特性，調(diào)整噴出液滴量和點(diǎn)間距，并且以任意選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案對(duì)膜形成區(qū)域試噴出液狀材料；濃淡等級(jí)分布圖生成工序，其基于在所述試噴出工序中形成的膜的厚度，為了以膜厚設(shè)定工序中設(shè)定的膜厚來 形成厚度均勻的膜，對(duì)于在被涂敷物上形成膜的膜形成區(qū)域，生成按單位面積設(shè)定噴出的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)的分布圖；膜形成工序， 其維持在所述試噴出工序中調(diào)整后的噴出液滴量和點(diǎn)間距，同時(shí)以基于在 濃淡等級(jí)分布圖生成工序中生成的規(guī)定的濃淡等級(jí)分布圖的濃淡等級(jí)的 灰度圖案，向被涂敷物噴出液狀材料。此外，為解決上述的第四技術(shù)課題，本發(fā)明所述的裝置是在被涂敷物 G表面上利用噴墨打印機(jī)形成涂敷液的膜的膜涂敷裝置，其特征在于，具 備在所述被涂敷物表面上可沿第一方向移動(dòng)的打印頭單元；對(duì)于所述打 印頭單元，在與所述第一方向正交的方向上，在整個(gè)涂敷寬度上，連續(xù)地 安裝多個(gè)打印頭。利用該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒀b置長度實(shí)質(zhì)上收斂于(被涂敷物的長度)+2X (打印頭的寬度)的范圍內(nèi)，并且，以打印頭的一次移動(dòng)完成涂敷，因此 涂敷膜不會(huì)產(chǎn)生接縫，沒有膜斑。為簡單化打印頭周圍的配管系，并且消 減打印頭與固定側(cè)之間的配管數(shù)，在本發(fā)明中，在打印頭側(cè)配設(shè)墨槽，從 該墨槽至多個(gè)打印頭的附近旋繞共通的送液配管。并且，以單獨(dú)送液配管 連接從該共通送液配管至打印頭之間的短距離。此外，在墨槽與固定側(cè)的 供給槽之間以一根具有可彎性的供給配管連接。由此，相對(duì)于打印頭單元， 即使打印頭的搭載數(shù)如何多，供給配管僅需一根即可，可大幅地降低打印 頭單元的移動(dòng)阻抗。此外，伴隨打印頭單元的移動(dòng)，在墨槽內(nèi)有泡產(chǎn)生之虞，但為不使該 泡向打印頭移動(dòng)，在本發(fā)明中，將進(jìn)入共通送液配管的泡通過具有可彎性 的回收配管，回收到固定側(cè)的回收槽內(nèi)。該回收配管如果與各打印頭單獨(dú) 連接，則根數(shù)一直增加，從而構(gòu)成打印頭單元的大的移動(dòng)阻抗，因而以組 合有共通送液配管和回收配管的配管系來脫氣(去除泡)是不可或缺的。在打印頭上連接用于從噴嘴噴設(shè)涂敷液點(diǎn)的配線。該配線的種類有電 源線、高壓脈沖線及涂敷數(shù)據(jù)信號(hào)線。如果將這些多根配線按打印頭旋繞 到固定側(cè)，則具有巨大的根數(shù)，其構(gòu)成大的移動(dòng)阻抗，從而打印頭不可進(jìn) 行正確的移動(dòng)控制。在本發(fā)明中，作為涂敷控制部，例如，將串行輸入*并 行輸出的移位寄存器型中繼基板裝配在打印頭單元中，并以一根傳送線將 來自固定側(cè)的控制部的電源及信號(hào)供給到打印頭單元。涂敷數(shù)據(jù)從中繼基 板向各打印頭配送。與打印頭的涂敷速度相比，傳送線的串行傳送速度具 有壓倒性的高速度，因此此種結(jié)構(gòu)變得可能。本發(fā)明為簡單化打印頭周圍的配管構(gòu)造，并且確實(shí)地進(jìn)行混入到涂敷 液中的氣體的脫氣，將分別與多個(gè)打印頭連通的涂敷液供給用的各單獨(dú)送 液配管連接于與積存一種涂敷液的一個(gè)墨槽連通的共通送液配管，并且， 將所述共通送液配管和各個(gè)單獨(dú)送液配管的連接部或各打印頭或者他們 各兩者間分別連通的可流通氣體的各單獨(dú)流氣配管連接于相對(duì)于大氣可 開放或關(guān)閉的共通流氣配管。此處，上述的"打印頭"具體地意味在打印 頭的內(nèi)部與噴出嘴(例如多個(gè)噴出嘴)連通的積液部。根據(jù)此種結(jié)構(gòu)，積存于一個(gè)墨槽中的涂敷液從共通送液配管通過各單 獨(dú)送液配管分別向各打印頭供給，但在該涂敷液被供給的過程中，如果在 共通送液配管中存在空氣等氣體，則該氣體可從各單獨(dú)流氣配管，通過共 通流氣配管向大氣中放出。如果詳細(xì)敘述，即涂敷液從墨槽向共通送液配 管開始流動(dòng)的初始階段，共通送液配管內(nèi)存在氣體的情況較多，可產(chǎn)生該 氣體與涂敷液共同流入各單獨(dú)送液配管，進(jìn)而流入各打印頭的狀況。但是， 在共通送液配管與各單獨(dú)送液配管的連接部或各打印頭或者他們的各兩 者之間分別連通有各單獨(dú)流氣配管，這些單獨(dú)流氣配管連接于可相對(duì)于大 氣開放或關(guān)閉的共通流氣配管。從而，在涂敷液與氣體共同從共通送液配 管通過各單獨(dú)送液配管流入各打印頭的可能時(shí)期，將共通流氣配管形成為 大氣開放狀態(tài)，上述的氣體可從各單獨(dú)流氣配管通過共通流氣配管放出到 大氣中。其結(jié)果，避免了氣體與涂敷液共同留置于共通送液配管通或打印 頭的狀況，從而可有效地防止由于氣體存在導(dǎo)致阻礙從打印頭噴出涂敷 液。并且，在涂敷液從共通送液配管流過各單獨(dú)送液配管到留置于各打印頭之間，氣體通過各單獨(dú)流氣配管從共通流氣配管迅速地排出，因此有效 地避免氣體對(duì)留置于各打印頭中的涂敷液帶來不良影響。其結(jié)果，分別留 置于各打印頭中的涂敷液在流入后，相互間形成均勻的壓力，從各打印頭 噴出涂敷液不會(huì)產(chǎn)生不均勻，并且，在確保了良好的響應(yīng)性的狀態(tài)下，可 從各打印頭噴出涂敷液。此外，各單獨(dú)送液配管連接于與一個(gè)墨槽連通的共通送液配管，且各 單獨(dú)流氣配管連接于可呈大氣開放狀態(tài)的共通流氣配管，因此實(shí)現(xiàn)涂敷液 及氣體流通的所有的配管的簡單化。除此以外，也能夠少數(shù)地形成由控制 涂敷液從墨槽向各打印頭供給及停止的閥機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的控制機(jī)構(gòu)，并且也 能夠少數(shù)地形成由控制氣體相對(duì)于大氣開放或關(guān)閉的閥機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的控 制機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)送液裝置的結(jié)構(gòu)的簡單化及制作成本的低廉化。在此情況下，優(yōu)選從所述共通送液配管與最下游端的單獨(dú)流氣配管的 連接部或其附近使氣體排出到所述共通流氣配管的結(jié)構(gòu)。如此地，流動(dòng)共通送液配管的氣體被確實(shí)地排出到共通流氣配管，并 放出到大氣中，因此難以產(chǎn)生氣體殘留在共通送液配管或從共通送液配管 流入到各打印頭的狀況。并且，在所述共通送液配管與各單獨(dú)送液配管的連接部處連接有所述 各單獨(dú)流氣配管的情況下，與涂敷液共同從墨槽通過共通送液配管后的氣 體在流入各單獨(dú)送液配管之前，從這些單獨(dú)送液配管與共通送液配管的連 接部，通過各單獨(dú)流氣配管及共通流氣配管，放出到大氣中。而且，已經(jīng) 殘存在各打印頭內(nèi)的氣體從各打印頭的噴出嘴放出到大氣中。此外，在所述各打印頭上連接有所述各單獨(dú)流氣配管的情況下，流入 到各打印頭內(nèi)的氣體及殘存在各打印頭內(nèi)的氣體通過連接于各打印頭的 各單獨(dú)流氣配管及共通流氣配管，放出到大氣中。此外，在所述各兩者間，即所述各連接部與各打印頭之間的各單獨(dú)送 液配管的中途連接有所述各單獨(dú)流氣配管的情況下，從墨槽與涂敷液共同 通過共通送液配管后的氣體即使流入各單獨(dú)送液配管后，通過各單獨(dú)流氣 配管及共通流氣配管放出到大氣中。而且，在此情況下，已經(jīng)殘存在各打 印頭內(nèi)的氣體從各打印頭的噴出嘴放出到大氣中。在以上的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選在所述共通流氣配管上連接與負(fù)壓源連通的負(fù)壓配管。如此地，使涂敷液流入各打印頭后，將共通流氣配管形成為相對(duì)大氣 為關(guān)閉狀態(tài)，通過使來自負(fù)壓源的負(fù)壓經(jīng)由負(fù)壓通路作用于共通流氣配管 及各單獨(dú)流氣配管以及與他們連通的各打印頭，各打印頭的涂敷液的內(nèi)壓 下降，能夠有效地防止從噴出嘴前端的所謂垂液，并且能夠在各打印頭相 互間均勻地降低內(nèi)壓，因而可不產(chǎn)生不均勻地使涂敷液良好地噴出。在此情況下，所述共通流氣配管優(yōu)選具有與負(fù)壓配管連通的旁路配 管，且在該旁路配管上離開規(guī)定間隔地連接所述各單獨(dú)流氣配管。如此地，來自負(fù)壓配管的負(fù)壓經(jīng)由旁路配管作用于離開規(guī)定間隔地排 列的各單獨(dú)流氣配管上，因此對(duì)于各打印頭內(nèi)的涂敷液可響應(yīng)性良好、均 勻并且穩(wěn)定地施加負(fù)壓。在以上的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選以將來自氣壓源的壓力氣體壓送至所述墨槽的 內(nèi)部空間的方式來構(gòu)成。如此地，通過使來自氣壓源的壓力空氣流入墨槽的內(nèi)部空間，積存在 墨槽中的涂敷液利用壓力空氣被壓流入共通送液配管中，并通過各單獨(dú)送 液配管填充到各打印頭中。由此，可以均勻的壓力向各打印頭供給涂敷液， 并且在極短時(shí)間內(nèi)從墨槽向各打印頭填充涂敷液，從而實(shí)現(xiàn)填充操作的迅 捷化及改善其操作效率。在以上的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選所述共通流氣配管在所述墨槽的液面的上方位 置沿水平方向延伸，且所述各單獨(dú)流氣配管從該共通送液配管向下方延 伸，同時(shí)，所述共通送液配管位于所述共通流氣配管的下方位置，并在所 述各打印頭的上方位置沿水平方向延伸，并且所述各單獨(dú)送液配管從該共 通送液配管向下方延伸。如此地，即使不設(shè)置用于向大氣中放出氣體的泵，基于氣體在涂敷液 中向上方浮起這一自然現(xiàn)象，可確實(shí)且有效地從共通送液配管或各打印頭 向大氣中放出氣體。發(fā)明效果根據(jù)對(duì)應(yīng)于上述第一技術(shù)問題的本發(fā)明的噴墨頭，將一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴的線型噴墨嘴以噴嘴的位置相互錯(cuò)開噴嘴間距的1/n量 的方式并列地配設(shè)n個(gè)，因此作為噴墨頭整體，能夠比可縮窄噴嘴間距的物理性界限更進(jìn)一步地縮窄噴嘴間距。此外，因?yàn)榻M合線型噴墨嘴，所以 通過調(diào)節(jié)各線型噴墨嘴的噴出時(shí)刻，能夠進(jìn)行點(diǎn)間距的調(diào)整，并能夠簡單 地進(jìn)行從精細(xì)的涂敷到粗涂敷等的調(diào)整。此外，根據(jù)本發(fā)明所述的線型噴 墨嘴的位置調(diào)整方法，基于由照相機(jī)拍攝的并列地配設(shè)的各線型噴墨嘴的 圖像，將各線型噴墨嘴調(diào)整到應(yīng)安裝的位置，因此能夠精度優(yōu)良地將線型 噴墨嘴調(diào)整位置。此外，根據(jù)本發(fā)明所述的噴墨嘴單元的位置調(diào)整方法使 用形成有作為噴墨嘴單元的安裝位置的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)平面的安裝軸，并將各 噴墨嘴單元與所述安裝軸的基準(zhǔn)平面對(duì)位地安裝。安裝軸的基準(zhǔn)平面為一 平面，確保其直線度、平面度的精度是比較容易的。因此，確保安裝噴墨 嘴單元的基準(zhǔn)面的精度可比較簡單地進(jìn)行，所以能夠精度良好地調(diào)整噴墨 嘴單元的位置，從而進(jìn)行安裝。這些噴墨頭能夠縮窄噴嘴間距，并且能夠 簡單地進(jìn)行點(diǎn)間距的調(diào)整，因此例如適于取向膜形成裝置用的噴墨頭。此外，與上述第二技術(shù)問題對(duì)應(yīng)的本發(fā)明的噴墨頭的噴出異常檢測方 法，基于拍攝從噴墨頭的噴嘴噴出的液狀材料后的圖像，在噴嘴的噴出方 向的至少兩處以上的位置計(jì)算液狀材料的位置或液幅，從而檢測噴嘴的噴 出異常。在噴嘴存在異常的情況下，液狀材料的位置或液幅的特征量中得 到顯著的差，由此能夠容易且可靠地進(jìn)行噴嘴的噴出異常的檢測。此外， 以相對(duì)于從噴嘴噴出的液狀材料，在照相機(jī)的相反側(cè)與照相機(jī)對(duì)置，并且， 從光源投射的直接光不入射照相機(jī)的取景器的方式來配設(shè)光源，并且在通 過照相機(jī)捕捉從光源投射的直接光經(jīng)由從噴嘴噴出的液狀材料折射后的 折射光，對(duì)液狀材料進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠抑制光暈等不良狀況，從而能夠更 鮮明地拍攝液狀材料。從而，如此地配置光源的噴出異常檢測裝置適于使 用上述的噴出異常檢測方法。進(jìn)而，與上述第三技術(shù)問題對(duì)應(yīng)的本發(fā)明的膜形成方法在試噴出工序 中，考慮在膜厚設(shè)定工序中設(shè)定的膜的厚度及噴墨頭的噴出特性，以任意 選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案被試噴出。該試噴出工序中，因?yàn)槲纯紤]液滴 融合后的干燥過程中的膜厚變化，因此形成的膜存在厚度變得不均勻的情 況。本發(fā)明所述的膜形成方法基于在試噴出工序中形成的膜的厚度，為了 以膜厚設(shè)定工序中設(shè)定的膜厚來形成厚度均勻的膜，對(duì)于在被涂敷物上形 成膜的膜形成區(qū)域，生成按單位面積設(shè)定噴出的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)的分布圖(濃淡等級(jí)分布圖生成工序)。在該濃淡等級(jí)分布圖生成 工序中生成的濃淡等級(jí)分布圖根據(jù)液滴融合后的干燥過程中的膜厚變化 反映影響。從而，基于在濃淡等級(jí)分布圖生成工序中生成的濃淡等級(jí)分布 圖的規(guī)定的濃淡等級(jí)的灰度圖案，向被涂敷物噴出液狀材料，從而在被涂 敷物上形成厚度均勻的膜。除此以外，根據(jù)與上述第四技術(shù)問題相對(duì)應(yīng)的本發(fā)明的裝置，是在被 涂敷物表面上利用噴墨打印機(jī)形成涂敷液的膜的膜涂敷裝置，其具備在 所述被涂敷物表面上可沿第一方向移動(dòng)的打印頭單元；和對(duì)于所述打印頭 單元，在與所述第一方向正交的方向上，連續(xù)地安裝的多個(gè)打印頭，因此 將裝置的長度實(shí)質(zhì)上限制于(被涂敷物G的長度)+2X (打印頭的寬度)。 此外，因?yàn)橐源蛴☆^單元的一次移動(dòng)，可完成涂敷，因此涂敷膜不產(chǎn)生接 縫，且沒有膜斑。并且即使在被涂敷膜的整個(gè)寬度上，并列地設(shè)置多個(gè)打 印頭的情況下，打印頭周圍的配管系被簡單化，能夠大幅消減打印頭與固 定側(cè)之間的配管配線數(shù)，因此，將配管與配線收容在共通的線纜護(hù)線鏈內(nèi)， 能夠大幅地消減打印頭單元的移動(dòng)阻抗，并可進(jìn)行正確的移動(dòng)控制。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所述的噴墨頭的結(jié)構(gòu)的仰視圖。圖2是表示安裝所述噴墨頭的線型噴墨嘴的安裝工序的圖。 圖3是表示變形例所述的噴墨頭的噴墨嘴單元的配設(shè)位置的俯視圖。 圖4是表示變形例所述的噴墨頭的噴墨嘴單元的安裝構(gòu)造(位置調(diào)整) 的俯視圖。 ' 圖5是圖4的A-A側(cè)端面圖。圖6是表示變形例所述的噴墨頭的噴墨嘴單元的安裝構(gòu)造(高度調(diào)整)、圖7是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所述的噴出異常檢測裝置的結(jié)構(gòu)的 平面圖。圖8 (a) (b)分別是所述噴出異常檢測裝置的側(cè)視圖。 圖9是表示所述噴出異常檢測裝置的照相機(jī)和光源的位置關(guān)系的俯視圖。圖io是表示所述噴出異常檢測裝置的噴出異常判定方法的側(cè)視圖。圖11是表示利用所述噴出異常檢測裝置拍攝液滴的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖12是表示液狀材料的照相機(jī)的攝影方向的飛行彎曲的俯視圖。圖13是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所述的模形成裝置的結(jié)構(gòu)的圖。 圖14是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所述的噴墨頭的點(diǎn)位置的俯視圖。圖15是例示濃淡等級(jí)100%的灰度圖案的點(diǎn)位置的俯視圖。 圖16是例示濃淡等級(jí)50%的灰度圖案的點(diǎn)位置的俯視圖。 圖17 (a)是表示試噴出工序中的液狀材料的噴出狀態(tài)的剖面圖，(b) 是表示由試噴出工序形成的膜的膜厚的圖。(c)是表示膜形成工序中的液 狀材料的噴出狀態(tài)的剖面圖，(d)是表示在膜形成工序中形成的膜的膜厚 的圖。圖18是本發(fā)明的第四實(shí)施方式所述的膜涂敷裝置的俯視圖。 圖19是所述膜涂敷裝置的配管圖。圖20 (A)是所述膜涂敷裝置的配線圖，(B)是所述膜涂敷裝置的通 常的配線圖。圖21 (A)是墨槽的主視圖，(B)是墨槽的側(cè)視圖。 圖22是以往的膜涂敷裝置的俯視圖。圖23是可消除膜接縫，但變得大型而沒有實(shí)現(xiàn)性的膜涂敷裝置的俯 視圖。圖24是利用圖22的膜涂敷裝置形成的膜接縫的印象圖。 圖25 (A)是利用圖22的膜涂敷裝置形成的重疊涂敷的印象圖，(B) 是相同地部分重疊涂敷的印象圖。圖中，l一噴墨頭(噴墨嘴單元)；2 —線型噴墨嘴；3 —?dú)んw；4一噴 嘴；5 —噴嘴安裝面；IO —操作空間；ll一殼體固定部；12 —照相機(jī)；13 一控制部；14一工作臺(tái)；15 —存儲(chǔ)部；16 —移動(dòng)操作部；17 —監(jiān)視器；18 一基準(zhǔn)位置；20 —噴墨頭(串聯(lián)地配設(shè)噴墨嘴單元的方式)；21—安裝軸；22 —基準(zhǔn)平面；23 —螺孔；24 —接合器；24a—接合器縱向延伸的部位； 24b —接合器橫向延伸的部位；25 —槽；26、 27 —側(cè)面；28 —螺孔；29、 30—螺孔；31 —安裝軸的下表面；32、 33 —螺釘；34—安裝軸的側(cè)面(基 準(zhǔn)平面的相反側(cè)的側(cè)面)；41一接合器橫向延伸的部位的下表面；42 —接合器橫向延伸的部位的側(cè)面；44一安裝壁部；45 —安裝壁部的內(nèi)側(cè)的側(cè)面;46 —?dú)んw的上表面；47、 48、 49一螺釘；51—被涂敷物；52 —基板；53 — 側(cè)長器；g—間隙；j一噴出區(qū)域；Pl —噴嘴間距。具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。 [第一實(shí)施方式]圖1 圖6例示本發(fā)明的第一實(shí)施方式。該第一實(shí)施方式所述的噴墨頭 1，如圖1所示，由安裝兩個(gè)線型噴墨嘴2a、 2b和線型噴墨嘴2a、 2b的 殼體3構(gòu)成。線型噴墨嘴2a、2b以規(guī)定的間隔， 一列地配設(shè)噴出液狀材料的噴嘴4。 線型噴墨嘴2a、 2b在成形時(shí)同時(shí)地成形噴嘴4，因此能夠精度優(yōu)良地制造 各噴嘴4的形狀及位置。此外，該線型噴墨嘴2a、 2b分別從各自的液狀 材料供給部(省略圖示)向各噴嘴4供給液狀材料，且基于控制裝置(省 略圖示)的噴射指令信號(hào)，在規(guī)定的時(shí)刻噴出液狀材料。由此，線型噴墨 嘴2a、 2b能夠在相同時(shí)刻使各噴嘴4噴出液狀材料，也能夠使液狀材料 僅從選擇的幾個(gè)噴嘴4中噴出。如圖1所示，該噴墨頭1將兩個(gè)線型噴墨嘴2a、 2b以相互使噴嘴4 的位置錯(cuò)開噴嘴間距P1的半個(gè)間距(1/2P1)量的方式，兩個(gè)并列地配設(shè) 于殼體3。精度優(yōu)良地調(diào)整兩個(gè)線型噴墨嘴2a、 2b的相對(duì)位置關(guān)系對(duì)該噴 墨頭1極為重要。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，當(dāng)在殼體3中安裝線型噴墨嘴2a、 2b 時(shí)，在殼體3中，在隔著線型噴墨嘴2與噴嘴安裝面5相對(duì)的位置處配設(shè) CCD照相機(jī)12 (圖像取入裝置、照相機(jī))，基于CCD照相機(jī)12的圖像， 使線型噴墨嘴2a、 2b的噴嘴4的位置一致。進(jìn)行噴墨頭1的裝配操作的操作空間10，例如，如圖2所示，具備 固定殼體3的殼體固定部11、 CCD照相機(jī)12、和控制CCD照相機(jī)12的 移動(dòng)的控制部13。圖2中，15是存儲(chǔ)部，16是移動(dòng)操作部，17是顯示由 CCD照相機(jī)12拍攝的圖像的監(jiān)視器。該殼體固定部11將殼體3的噴嘴安裝面5朝向下地固定。CCD照相機(jī)12以與固定于殼體固定部11的殼體3的噴嘴安裝面5相對(duì)的狀態(tài)，相對(duì)于噴嘴安裝面5平行地移動(dòng)的方式來配置。例如，CCD照相機(jī)12設(shè)置 于可精密地調(diào)整位置的XY工作臺(tái)14上，從而能夠相對(duì)于噴嘴安裝面5 精度極為良好地調(diào)整CCD照相機(jī)12的位置。此外，控制部13以殼體3任意選擇的部位為基準(zhǔn)位置來設(shè)定XY坐 標(biāo)，并具備分別存儲(chǔ)各線型噴墨嘴2a、 2b的任意選擇的部位需要位于的 位置坐標(biāo)(xl， yl)、 (x2， y2)、 (x3， y3)、 (x4， y4)…的存儲(chǔ)部15，和 根據(jù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部15的位置坐標(biāo)使CCD照相機(jī)12移動(dòng)的移動(dòng)操作部16。 CCD照相機(jī)12的移動(dòng)操作可以利用計(jì)算機(jī)來操作，以使CCD照相機(jī)12 正確地移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，存儲(chǔ)部15以圖1的殼體3的右上角18作為殼體3 的基準(zhǔn)位置(0， 0)來設(shè)定XY坐標(biāo)，并分別存儲(chǔ)各線型噴墨嘴2a、 2b 的左右兩端的噴嘴4al、 4a2、 4bl、 4b2的位置坐標(biāo)(xl， yl)、 (x2， y2)、 (x3， y3)、 (x4， y4)。接下來，表示利用了上述的進(jìn)行噴墨頭1的裝配操作的操作空間10 的線型噴墨嘴2a、 2b的位置調(diào)整的一例。在線型噴墨嘴2a、 2b的位置調(diào)整中，首先，在殼體3的噴嘴安裝面5 的規(guī)定的安裝位置，設(shè)置線型噴墨嘴2a、 2b而不進(jìn)行正確的位置調(diào)整。 在本實(shí)施方式中，殼體3使噴嘴安裝面5朝向下地安裝于操作空間10，線 型噴墨嘴2a、 2b以不從噴嘴安裝面5掉落，且可對(duì)位置進(jìn)行微調(diào)整的狀 態(tài)暫固。線型噴墨嘴2a、 2b的位置調(diào)整通過將各線型噴墨嘴2a、 2b的左右兩 端的噴嘴4al、 4a2、 4bl、 4b2調(diào)整到存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部15的位置坐標(biāo)(xl， yl)、 (x2， y2)、 (x3， y3)、 (x4， y4)來進(jìn)行。在本實(shí)施方式中，在映出到監(jiān)視器17的圖像中，與CCD照相機(jī)12 拍攝的圖像重疊，在圖像的中心顯示表示拍攝中心的標(biāo)識(shí)m (例如，十字 的標(biāo)識(shí))。使CCD照相機(jī)12移動(dòng)到CCD照相機(jī)12的拍攝中心與殼體3的基準(zhǔn) 位置(在本實(shí)施方式中，如圖1所示，殼體3的右上角18)重疊的位置。 并且，在觀察拍攝了包含殼體3的基準(zhǔn)位置18的區(qū)域sl的CCD照相機(jī)12的圖像的同時(shí)，操作XY工作臺(tái)14使CCD照相機(jī)12移動(dòng)，以使表示 CCD照相機(jī)12的拍攝中心的標(biāo)識(shí)m與殼體3的基準(zhǔn)位置18重疊。而且， 殼體3的基準(zhǔn)位置18是否與CCD照相機(jī)12的拍攝中心一致，例如可通 過基于計(jì)算機(jī)的圖像處理，識(shí)別殼體3的基準(zhǔn)位置18，并由計(jì)算機(jī)判定殼 體3的基準(zhǔn)位置18與CCD照相機(jī)12的拍攝中心一致。如此，將CCD照相機(jī)12的拍攝中心與殼體3的基準(zhǔn)位置重合的位置 作為XY工作臺(tái)14的坐標(biāo)原點(diǎn)。在本實(shí)施方式中，將殼體3的右上角作 為殼體3的基準(zhǔn)位置18，并以該位置取XY坐標(biāo)，但殼體3的基準(zhǔn)位置 18可以設(shè)定在殼體3的噴嘴安裝面5的任意的位置。接下來，利用控制部13基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部15的線型噴墨嘴2a、 2b 的噴嘴4的位置坐標(biāo)移動(dòng)CCD照相機(jī)12。在本實(shí)施方式中，基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部15的噴嘴的位置坐標(biāo)的數(shù)據(jù)， 使CCD照相機(jī)12移動(dòng)到線型噴墨嘴2a的右端的噴嘴4al應(yīng)位于的位置 (xl， yl)。此時(shí)，表示CCD照相機(jī)12的拍攝中心的標(biāo)識(shí)m表示了線型 噴墨嘴2a的右端的噴嘴4al應(yīng)在的位置(xl， yl)。并且，固定如此地移 動(dòng)后的CCD照相機(jī)12，并調(diào)整線型噴墨嘴2a的位置，以使在其圖像中， 適宜地設(shè)置于殼體3的規(guī)定的安裝位置的線型噴墨嘴2a的右端的噴嘴4al 被照出，并且線型噴墨嘴2a的右端的噴嘴4al的中心與表示CCD照相機(jī) 12的拍攝中心的標(biāo)識(shí)m的中心重合。在本實(shí)施方式中，利用圖像識(shí)別機(jī)構(gòu)，識(shí)別噴嘴4al的圓形，并計(jì)算 出噴嘴4al的中心位置。并且，在觀察監(jiān)視器17的同時(shí)，對(duì)適當(dāng)?shù)胤胖?于殼體3的規(guī)定的安裝位置的線型噴墨嘴2的位置進(jìn)行微調(diào)整，以使噴嘴 4al的中心位置與表示CCD照相機(jī)12的拍攝中心的標(biāo)識(shí)m的中心重合。 而且，也可計(jì)算出以殼體3的基準(zhǔn)位置18為基準(zhǔn)的XY坐標(biāo)系中的噴嘴 4al的中心位置的坐標(biāo)，并使噴嘴4al的中心位置的坐標(biāo)顯示在監(jiān)視器17 中，在觀察顯示于監(jiān)視器17中的坐標(biāo)值的同時(shí)，對(duì)線型噴墨嘴2的位置 進(jìn)行微調(diào)整，以使噴嘴4al的中心位置的坐標(biāo)與噴嘴4al的中心應(yīng)在的位 置(xl， yl) —致。由此，能夠?qū)⒕€型噴墨嘴2a的右端的噴嘴4al的中心調(diào)整到應(yīng)在的 位置(xl， yl)。線型噴墨嘴2a的左端的噴嘴也同樣地調(diào)整。線型噴墨嘴2a也可將左右兩端的噴嘴4al、 4a2的位置同時(shí)地調(diào)整到 應(yīng)在的位置(xl， yl)、 (x2， y2)，并固定在殼體3上。因此，例如使用 兩個(gè)CCD照相機(jī)12，同時(shí)地拍攝線型噴墨嘴2a的左右兩端的噴嘴4al、 4a2，從而調(diào)整線型噴墨嘴2a的位置。此外，其他的線型噴墨嘴2b也同樣地將左右兩端噴嘴4bl、 4b2的位 置同時(shí)地調(diào)整到應(yīng)在的位置(x3， y3)、 (x4， y4)，從而精度良好地安裝 在殼體3的規(guī)定位置。如此地，能夠精度良好且相互將噴嘴4的位置錯(cuò)開噴嘴間距Pl的半 間距(1/2間距)地并列配設(shè)兩個(gè)線型噴墨嘴2a、 2b。如此地配設(shè)了線型 噴墨嘴2的噴墨頭1作為整體，與一個(gè)線型噴墨嘴2按一半的噴嘴間距 (1/2P1)配設(shè)噴嘴4的狀態(tài)相等。從而，在將線型噴墨嘴2的噴嘴間距 Pl縮窄到界限的情況下，該噴墨頭1作為整體能夠?qū)娮扉g距進(jìn)一步設(shè)定 到一半。此外，該噴墨頭1能夠按各線型噴墨嘴2來調(diào)節(jié)液狀材料的噴出時(shí)刻。 由此，能夠簡單地進(jìn)行精細(xì)涂敷和粗涂敷等點(diǎn)間距的調(diào)整。例如，如果僅 從一個(gè)線型噴墨嘴2進(jìn)行液狀材料的噴出，則噴墨頭1整體的噴嘴間距變 為一個(gè)線型噴墨嘴2a的噴嘴間距Pl。此外，如果在規(guī)定的時(shí)刻從兩個(gè)線 型噴墨嘴2a、 2b噴出液狀材料，則噴墨頭1作為整體能夠以窄的噴嘴間 距(1/2pl)噴出液狀材料。以上，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)將一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴 4的線型噴墨嘴2，以使噴嘴4的位置相互錯(cuò)開噴嘴間距Pl的1/2間距量 的方式，并列地配設(shè)了兩個(gè)的噴墨頭l進(jìn)行了說明，但并列地配設(shè)的線型 噴墨嘴2的個(gè)數(shù)n可以任意地增加。例如，省略圖示，如果以將噴嘴4的位置每隔噴嘴間距P1的1/3間距 量地相互錯(cuò)開的方式，并列地配設(shè)三個(gè)線型噴墨嘴2，則能夠?qū)娔^整 體的噴嘴間距形成為線型噴墨嘴2的噴嘴間距P1的1/3。此外，如果以將 噴嘴4的位置每隔噴嘴間距Pl的1/4間距量地相互錯(cuò)開的方式，并列地配 設(shè)四個(gè)線型噴墨嘴2，則能夠?qū)娔^整體的噴嘴間距形成為線型噴墨嘴 2的噴嘴間距P1的1/4。同樣地，如果以將噴嘴4的位置每隔噴嘴間距P1 的1/n間距量地相互錯(cuò)開的方式，并列地配設(shè)n個(gè)線型噴墨嘴2，則能夠?qū)娔^整體的噴嘴間距形成為線型噴墨嘴2的噴嘴間距P1的l/n。越增加如此地并列配設(shè)的線型噴墨嘴2的個(gè)數(shù)n，越能夠減小噴墨頭 整體的噴嘴間距。但是，越增加并列地配設(shè)的線型噴墨嘴2的個(gè)數(shù)n，并 列的線型噴墨嘴2的前頭的線型噴墨嘴與后方的線型噴墨嘴之間的距離變 大。因此，在噴出的液狀材料的融合不良成為問題的用途(例如，形成取 向膜的用途等)中，調(diào)整并列地配設(shè)的線型噴墨嘴的個(gè)數(shù)n，以達(dá)到不產(chǎn) 生問題的程度。在現(xiàn)狀下，認(rèn)為在這些用途中并列地安裝的線型噴墨嘴的 個(gè)數(shù)為4或5個(gè)左右以內(nèi)較適當(dāng)。接下來，對(duì)如上所述地將線型噴墨嘴2并列地組合后的噴墨頭1作為 一個(gè)噴墨嘴單元，并將其串聯(lián)裝配而構(gòu)成的噴墨頭進(jìn)行說明。如圖3所示，該噴墨頭20是以噴墨嘴單元1的液狀材料的噴出區(qū)域j 的左右兩端分別連接于鄰接的噴墨嘴單元1的液狀材料噴出區(qū)域j的方式， 串聯(lián)地配設(shè)噴墨嘴單元1。如圖4所示，在本實(shí)施方式中，在安裝軸21的寬度方向上，在夾著 安裝軸21的兩側(cè)，交錯(cuò)狀地、相互不同地配設(shè)有噴墨嘴單元1。在安裝軸 21的一側(cè)的側(cè)面(圖4中，上側(cè)的側(cè)面)上形成有基準(zhǔn)平面22。該基準(zhǔn) 平面22為精度優(yōu)良地配設(shè)噴墨嘴單元1，確保了需要的平面度。在本實(shí)施 方式中，基準(zhǔn)平面22在整體上確保士5pm的平面度，進(jìn)而在局部上確保 了士l/160mm的平面度。此外，在安裝軸21的下表面，在長度方向上， 以規(guī)定的間隔形成有安裝噴墨嘴單元1 (噴墨嘴單元1的后述的T字接合 器24)的螺孔23。如圖4、圖5所示，噴墨嘴單元1經(jīng)由上表面具備大致T字的平面形 狀的接合器24安裝于安裝軸21。接合器24精度極為優(yōu)良地成形。噴墨嘴 單元1以在T字的接合器24的橫向延伸的部位24b之下，沿在T字的接 合器24的橫向延伸的部位24b配設(shè)線型噴墨嘴2的方式來安裝。噴墨嘴 單元1相對(duì)于T字接合器24精度優(yōu)良地安裝于規(guī)定的位置。在本實(shí)施方 式中，將接合器24安裝于安裝軸21，然后，將噴墨嘴單元安裝于接合器 24。通常，在卸下噴墨嘴單元時(shí)，能夠在將接合器24保持在安裝于安裝 軸21的狀態(tài)下，僅將噴墨嘴單元從接合器24卸下。如圖4、圖5所示，接合器24在縱向延伸的部位24a的中央部具備安裝安裝軸21的槽25。在槽25的縱向的兩側(cè)面26、 27確保與安裝軸21 的基準(zhǔn)平面22相同程度的平面度。在槽25的底面上，與安裝軸21的螺 孔23對(duì)應(yīng)地形成有裝有螺釘?shù)穆菘?8。該螺孔28相對(duì)于安裝的螺釘?shù)闹?徑形成直徑大的孔，以可微小地調(diào)節(jié)安裝軸21與接合器24的相對(duì)的位置 關(guān)系。此外，在槽25的兩側(cè)分別設(shè)有螺釘孔29、 30，其用于安裝在縱向 上將接合器24的側(cè)面(26或27)壓接于基準(zhǔn)平面22的螺釘(省略圖示)。將接合器24安裝于安裝軸21時(shí)，如圖5所示，將接合器24的槽25 嵌入到安裝軸21的下表面，在T字的接合器24的縱向延伸的部位24a以 相對(duì)于安裝軸21正交的方式被安裝于安裝軸21。并且，如圖4所示，各 接合器24與安裝軸21的基準(zhǔn)平面22對(duì)位地固定于安裝軸21 。在本實(shí)施方式中，預(yù)先將T字的接合器24的槽25的一側(cè)的側(cè)面(26 或27)壓接于安裝軸21的基準(zhǔn)平面22，相對(duì)于安裝軸21精度優(yōu)良地安 裝接合器24，進(jìn)而將噴墨嘴單元1精度優(yōu)良地安裝在接合器24上，從而 確保了噴墨嘴單元1相對(duì)于安裝軸21的安裝精度。接合器24的安裝例如將T字的接合器24的槽25安裝在安裝軸21的 下表面31，并在該狀態(tài)下，從接合器24的下表面安裝螺釘32、 33，從而 將接合器24輕輕地固定在安裝軸21上(暫固)。并且，在安裝軸21的基 準(zhǔn)平面22的相反側(cè)的側(cè)面34側(cè)，在槽25的側(cè)面(26或27)的螺孔(29 或30)中安裝螺釘(省略圖示)，使該螺釘螺合，并將螺釘?shù)那岸藟航佑?安裝軸21的側(cè)面34。由此，在安裝軸21的基準(zhǔn)平面22側(cè)，使槽25的側(cè) 面(27或26)與基準(zhǔn)平面22抵接，從而形成T字的接合器24精度良好 地與安裝軸21正交的狀態(tài)，并由螺釘32、 33將接合器24固定于安裝軸 21。由此，能夠在精度良好地使沿T字的接合器24的縱向延伸的部位24a 與安裝軸21正交的狀態(tài)下，將接合器24固定于安裝軸21。更具體地，在如圖5所示的接合器24中，槽25的側(cè)面26、 27中、 在T字的縱向上延伸的部位24a的前端側(cè)的側(cè)面26與安裝軸21的基準(zhǔn)平 面22相對(duì)。在此情況下，通過將螺合于圖中左側(cè)的基端側(cè)的螺孔30中的 螺釘(省略圖示)的前端壓接于安裝軸21的側(cè)面34，使圖中右側(cè)的側(cè)面 26與安裝軸21的基準(zhǔn)平面22抵接。圖示雖然省略，但在接合器24的槽25的側(cè)面26、 27中、在T字的縱向延伸的部位24a的基段側(cè)的側(cè)面27與安裝軸21的基準(zhǔn)平面22相對(duì) 的情況下(圖5的左右任意相反的情況下)，也可使螺釘螺合于前端側(cè)的 螺孔29，并將螺釘?shù)那岸藟航佑诎惭b軸21的側(cè)面34，從而將接合器24 的基端側(cè)的側(cè)面27壓接于安裝軸21的基準(zhǔn)平面22。如此地，在本實(shí)施方式中，在安裝軸21 —側(cè)的側(cè)面上形成基準(zhǔn)平面 22，并配合該基準(zhǔn)平面22地安裝所有的接合器24。如此，如果精度良好 地確保安裝軸21的基準(zhǔn)平面22，則能夠精度良好地安裝所有的接合器24， 所以確保接合器24的安裝精度能夠容易地進(jìn)行。接下來，對(duì)將噴墨嘴單元1安裝在如此地精度良好地安裝于安裝軸21 的接合器24上的方法進(jìn)行說明。在將噴墨嘴單元1安裝于接合器24的情 況下，與上述的接合器24的安裝同樣地要求確保高度的安裝精度。在本實(shí)施方式中，噴墨嘴單元1安裝在被安裝的接合器24的橫向延 伸的部位24b的下部，為確保上述的高度的安裝精度，精度良好地加工接 合器24的橫向延伸的部位24b的下表面及側(cè)面42。具體地，接合器24的橫向延伸的部位24b的側(cè)面42以與接合器24 的槽25的側(cè)面26、 27平行的方式形成，接合器24的橫向延伸的部位24b 的下表面41以相對(duì)于橫向延伸的部位24b的側(cè)面42呈直角地延伸的方式， 精度優(yōu)良地形成。而且，接合器24的橫向延伸的部位24b的下表面41和 側(cè)面42以與安裝軸21的基準(zhǔn)平面相同程度的平面度來形成。此外，噴墨嘴單元1的殼體3'，如圖5所示，在殼體3'的上部(噴 嘴安裝面5的相反側(cè)的面)的側(cè)緣部具有垂直地立起的安裝壁部44，并分 別精度優(yōu)良地加工安裝壁部44的內(nèi)側(cè)的側(cè)面45和殼體3'的上表面46。具體地，安裝壁部44的內(nèi)側(cè)的側(cè)面45相對(duì)于殼體3'的上表面46 呈直角地延伸而形成，安裝壁部44的內(nèi)側(cè)的側(cè)面45和殼體3'的上表面 46分別以與基準(zhǔn)平面22相同程度的平面度來形成。在將噴墨嘴單元1安裝于接合器24的情況下，首先，如圖5所示， 首先將噴墨嘴單元1的殼體3'的上表面46及安裝壁部44的內(nèi)側(cè)的側(cè)面 45壓接于接合器24的橫向延伸的部位24b的下表面41及側(cè)面42。接下 來，利用安裝在接合器24的橫向延伸的部位24b上的螺釘47、 48輕輕地 將噴墨嘴單元1的殼體3'固定于接合器24 (暫固)。接下來，利用從外側(cè)安裝到殼體3，的安裝壁部44上的螺釘49，以 將安裝壁部44的側(cè)面45與接合器24的橫向延伸的部位24b的側(cè)面42相 抵的方式輕輕擰住。并且，調(diào)節(jié)殼體3'相對(duì)于接合器24的水平方向的位 置，同時(shí)交互地?cái)Q緊螺釘47、 48、 49，從而將噴墨嘴單元1固定于接合器 24。如此地，在本實(shí)施方式中，通過在將殼體3'的上表面46與接合器 24的橫向延伸的部位24b的下表面41，及安裝壁部44的內(nèi)側(cè)的側(cè)面45 與接合器24的橫向延伸的部位24b的側(cè)面42分別壓接的狀態(tài)下，固定噴 墨嘴單元1的殼體3'，由此確保了噴墨嘴單元1相對(duì)于接合器24的安裝 精度。根據(jù)本實(shí)施方式所述的噴墨嘴單元l的安裝方法，通常在卸下噴墨嘴 單元1時(shí)，能夠在接合器24保持安裝在安裝軸21的狀態(tài)下，僅將噴墨嘴 單元1從接合器24卸下。并且，在將噴墨嘴單元1安裝到接合器24的情 況下，如上所述地交互地?cái)Q緊螺釘47、 48、 49，從而將噴墨嘴單元1固定 在接合器24上，則能夠精度優(yōu)良地安裝噴墨嘴單元l。從而，噴墨嘴單元 1的安裝與卸下能夠容易地進(jìn)行。接下來，對(duì)噴墨嘴單元1與涂敷液狀材料的被涂敷物51之間的間隙g (參照?qǐng)D6)的調(diào)整進(jìn)行說明。如果間隙g過大，則易生成飛行彎曲，如 果過窄，則積存在噴墨嘴單元1的下面的積液與被涂敷物51發(fā)生接觸。 因此，間隙g的下限設(shè)在0.5mm以上(更優(yōu)選0.7mm以上)，間隙g的上 限調(diào)整到1.2mm以下(更優(yōu)選1.0以下)的規(guī)定的值。在本實(shí)施方式中，如圖6所示，間隙g的調(diào)整在被涂敷物51的上表 面以端部從被涂敷物51伸出的方式放置基板52 (玻璃基板)。此外，與配 設(shè)有噴墨嘴單元1的噴嘴4的面相對(duì)地配設(shè)測長器53。在本實(shí)施方式中， 測長器53為能夠正確地進(jìn)行距離測定，使用光學(xué)式的測長器(激光測長 器)。并且，利用測長器53，測定測長器53與噴墨嘴單元1的噴嘴面之間 的距離Ll。接下來，使載置在被涂敷物51之上的基板52進(jìn)入到測長器 53的上方，測定測長器53與基板52的下表面之間的距離L2。線型噴墨 嘴2的噴嘴面與被涂敷物51的上表面之間的間隙g作為距離Ll與距離 L2的差(g=Ll-L2)算出。并且，也可調(diào)整安裝有噴墨嘴單元1的安裝軸 21的高度，以使測定的間隙g達(dá)到預(yù)先設(shè)定的間隙值。由此，能夠高精度地調(diào)整間隙g，且從噴墨嘴單元1的各噴嘴4噴出 的液狀材料的彈附位置的控制能夠容易地進(jìn)行，并且能夠防止積液附著于 被涂敷物。如以上的說明，根據(jù)該噴墨頭20，將一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴4的噴墨嘴2以將噴嘴4的位置相互錯(cuò)開噴嘴間距Pl的1/n量的方式， n個(gè)并列地配設(shè)的噴墨頭1作為噴墨嘴單元使用，因此，作為整體能夠縮 窄線型噴墨嘴2的噴嘴間距。此外，該噴墨頭20能夠按各噴墨嘴單元1 的各線型噴墨嘴2來調(diào)節(jié)液狀材料的噴出時(shí)刻。由此，能夠進(jìn)行點(diǎn)間距的 調(diào)整，并能夠簡單地進(jìn)行從精細(xì)的涂敷到粗涂敷等的調(diào)整。并且，如上所述，通過將多個(gè)噴墨嘴單元l精度優(yōu)良地安裝在安裝軸 21上，能夠確?？梢淮瓮糠笠籂畈牧系膮^(qū)域，從而能夠使處理的速度提高。本實(shí)施方式所述的噴墨頭20在將從噴墨頭20噴出的液狀材料設(shè)為取 向膜材料，將涂敷取向膜材料的被涂敷物例如設(shè)為液晶元件基板的情況 下，能夠以將安裝軸21的長度確保為與液晶元件基板的寬度相應(yīng)的長度， 且液晶元件基板的寬度整面與噴墨嘴單元1相對(duì)的方式來配設(shè)噴墨嘴單元 1。由此，在向液晶元件基板涂敷取向膜材料時(shí)，能夠一次地進(jìn)行涂敷， 從而能夠使取向膜材料的膜厚均勻，并且能夠使處理的速度提高。如此地， 該噴墨頭將并列地組合了線型噴墨嘴的噴墨頭作為一個(gè)噴墨嘴單元，并將 其串聯(lián)地裝配而構(gòu)成，且噴嘴間距及點(diǎn)間距的調(diào)整容易，并且，通過將噴 墨嘴單元串聯(lián)地配設(shè)規(guī)定的長度，能夠均勻地涂敷液狀材料，處理的速度 也提高。因此，特別適于作為需要使被涂敷的液狀材料無斑地融合，并確 保膜厚的均勻性的取向膜形成裝置用的噴墨頭。以上，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式所述的噴墨頭進(jìn)行了說明，但本發(fā)明 并不限定于上述的實(shí)施方式。例如，殼體3、安裝軸21、接合器24等各 結(jié)構(gòu)部件的形狀或各結(jié)構(gòu)部件間的相互的安裝構(gòu)造等可有各種變更。[第二實(shí)施方式]圖7~圖11例示本發(fā)明的第二實(shí)施方式。該第二實(shí)施方式所述的噴墨 頭的噴出異常檢測裝置l，如圖7及圖8 (a)所示，由對(duì)從噴墨頭2的噴 嘴3噴出的液狀材料4進(jìn)行拍攝的照相機(jī)5;照射拍攝需要的光的光源6;處理由照相機(jī)5拍攝的圖像，從而檢測噴出異常的噴出異常檢測部7而構(gòu) 成。而且，在本實(shí)施方式中，如圖7所示，噴墨頭2形成將串聯(lián)地配設(shè)有噴嘴3的單一的噴墨頭2a在長度方向上交錯(cuò)狀地相互不同地錯(cuò)開位置而 配設(shè)的構(gòu)造。照相機(jī)5如圖7所示，以從與噴墨頭2的噴出方向正交的方向，能夠 對(duì)從噴墨頭2噴出的液狀材料4 (參照?qǐng)D8 (a))進(jìn)行拍攝的方式來配設(shè)。 而且，照相機(jī)5的焦點(diǎn)設(shè)定為，在液狀材料從噴墨頭2正常地噴出時(shí)，與 液狀材料4重合。光源6隔著液狀材料4配設(shè)在照相機(jī)5的相反側(cè)，.為不使從光源6照 射的光(直接光)直接入射照相機(jī)5的取景器5a，不與照相機(jī)5正對(duì)，從 正對(duì)照相機(jī)5的位置沿橫、斜或上下方向稍微錯(cuò)開位置，從而相對(duì)于照相 機(jī)5的拍攝方向，從斜向照射光。由此，從光源6照射的光(直接光)， 如圖9所示，以液狀材料4折射后的光(折射光12)入射照相機(jī)5的取景 器5a。利用上述結(jié)構(gòu)，如果從光源6照射光，并以照相機(jī)5進(jìn)行拍攝，則因 為液狀材料4的液滴噴出的速度快，從而，如圖10所示，液狀材料4看 起來為液柱狀。此外，如果從光源6瞬間地照射光，并以照相機(jī)5來拍攝， 則如圖ll所示，能夠以液滴的狀態(tài)拍攝液狀材料4。此外，在本實(shí)施方式中，如圖7所示，具備使照相機(jī)5和光源6相對(duì) 于噴墨頭2相對(duì)地移動(dòng)的控制部8。照相機(jī)5的焦點(diǎn)根據(jù)照相機(jī)5和光源6的相對(duì)移動(dòng)，總是在假定從噴 嘴3正常地噴出的情況，照相機(jī)5的焦點(diǎn)與液狀材料4重合的方式來控制。在本實(shí)施方式中，如圖8 (b)所示，控制部8控制照相機(jī)5與光源6 相對(duì)于噴嘴3的位置關(guān)系，以使相對(duì)于照相機(jī)5和光源6的相對(duì)移動(dòng)，照 相機(jī)5的焦點(diǎn)總是在假定從噴嘴3正常地噴出的情況下，與液狀材料4重 合。即，在本實(shí)施方式中，在對(duì)從配設(shè)于圖中右側(cè)的單一的噴墨頭2a2噴 出的液狀材料4進(jìn)行拍攝時(shí)，與對(duì)從配設(shè)于圖中左側(cè)的噴墨頭2al噴出的 液狀材料4進(jìn)行拍攝時(shí)相比，照相機(jī)5和光源6向右移動(dòng)，在對(duì)從配設(shè)在 圖中左側(cè)的單一的噴墨頭2a2噴出的液狀材料4進(jìn)行拍攝時(shí)，照相機(jī)5和 光源6相反地向左移動(dòng)。而且，圖8 (a)表示在對(duì)從配設(shè)于圖中左側(cè)的單一的噴墨頭2al噴出 的液狀材料41進(jìn)行拍攝時(shí)的、照相機(jī)5和光源6相對(duì)于噴墨頭2的位置。 另外，圖8 (b)表示在對(duì)從配設(shè)于圖中右側(cè)的單一的噴墨頭2a2噴出的液 狀材料42進(jìn)行拍攝時(shí)的、照相機(jī)5和光源6相對(duì)于噴墨頭2的位置。噴出異常檢測部7，如圖7所示，基于由照相機(jī)5拍攝的液狀材料4 的圖像，在噴嘴3的噴出方向的至少兩處以上的位置處，計(jì)算液狀材料4 的位置或液幅，并在分別計(jì)算液狀材料4的位置或液幅的位置處，與從噴 嘴3正常地噴出液狀材料4時(shí)的液狀材料4的位置或液幅相比較，從而檢 測噴嘴3的噴出異常。在本實(shí)施方式中，噴出異常檢測部7具備存儲(chǔ)由照相機(jī)5拍攝的圖 像的圖像存儲(chǔ)部16;在噴嘴3的噴出方向的至少兩處以上的位置處，計(jì)算 液狀材料4的位置或液幅的計(jì)算部17;存儲(chǔ)有從噴嘴3正常地噴出液狀材 料4時(shí)的液狀材料4的位置或液幅的正常值的正常值存儲(chǔ)部18;判定噴嘴 的噴出異常的判定部19。計(jì)算部17基于存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部16中的圖像，進(jìn)行提取液狀材料4 的二值化處理，確定計(jì)算液狀材料4的位置或液幅的位置，并計(jì)算液狀材 料4的位置或液幅。二值化處理是著眼于亮度或色彩等圖像上的特征，對(duì)存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ) 部16中的圖像的各像素設(shè)置閾值，并在計(jì)算機(jī)可識(shí)別的狀態(tài)下，從存儲(chǔ) 于圖像存儲(chǔ)部16的圖像中，提取液狀材料4的處理。由此，能夠提取利 用照相機(jī)5拍攝成液柱狀的液狀材料4。在提取了液狀材料4的二值化圖 像中，例如，能夠使液狀材料4或液狀材料4以外的部分的一種顯示為白， 另外一種顯示為黑。接下來，對(duì)液狀材料4的位置或液幅進(jìn)行計(jì)算的位置選擇從相對(duì)于噴 嘴3的噴出方向離開的至少兩處以上的位置。在本實(shí)施方式中，如圖10 所示，對(duì)于噴嘴3的噴出方向S，在接近噴嘴3的位置和遠(yuǎn)離噴嘴3的位 置處，噴嘴3的噴出方向S帶有規(guī)定的寬度，將相對(duì)于噴墨頭2的下表面 平行地延伸的兩個(gè)假想的塊A、 B應(yīng)用于二值化圖像。并且，按各塊A、 B計(jì)算塊A、 B與液狀材料4交叉的四個(gè)交叉坐標(biāo)a d。并且，由該四個(gè) 交叉坐標(biāo)a d計(jì)算在接近噴嘴3的位置和遠(yuǎn)離噴嘴3的位置處的液狀材料4的位置和液幅。液狀材料4的位置例如可按各塊A、 B，作為塊A、 B與液狀材料4 交叉的四個(gè)交叉坐標(biāo)a d的中心(塊A、 B與液狀材料4交叉而描出的四 角形abcd的重心)來計(jì)算。此外，液狀材料4的液幅例如可作為塊A、 B 與液狀材料4交叉而描出的四角形abcd的上邊和下邊的平均值來計(jì)算。接下來，判定部19基于由計(jì)算部17計(jì)算的液狀材科4的位置和液幅 的計(jì)算值來判定噴墨頭2的噴出異常。正常值存儲(chǔ)部18存儲(chǔ)有閾值，該閾值對(duì)于利用計(jì)算部17計(jì)算液狀材 料4的位置和液幅的噴嘴3的噴出方向S的位置，規(guī)定能夠分別判斷液狀 材料4從噴墨頭2的各噴嘴3正常地噴出的液狀材料4的位置和液幅的適 當(dāng)?shù)恼Ｖ档姆秶?。而且，閾值可任意地設(shè)定為能夠判斷液狀材料4從噴 嘴3正常地噴出的合適的值。在本實(shí)施方式中，在正常值存儲(chǔ)部18中設(shè) 定有用于在由假想的塊A、 B確定的接近噴嘴3的位置和遠(yuǎn)離噴嘴3的位 置處，對(duì)于液狀材料4的位置和液幅，分別地判斷液狀材料4從噴墨頭2 的各噴嘴3正常地噴出的閾值。此外ia，判定部19判定由計(jì)算部17計(jì)算的計(jì)算值是否位于由存儲(chǔ)在 正常值存儲(chǔ)部18中的閾值所規(guī)定的正常值的范圍內(nèi)。在本實(shí)施方式中， 噴出異常的判定是判定由塊A、 B確定的接近噴嘴3的位置和遠(yuǎn)離噴嘴3 的位置處的各個(gè)計(jì)算值是否位于存儲(chǔ)在正常值存儲(chǔ)部18中的閾值的范圍 內(nèi)。由此，判定液狀材料4是否從噴墨頭2的各噴嘴3正常地噴出，將在 各噴嘴3中，在接近噴嘴3的位置A和遠(yuǎn)離噴嘴3的位置B的兩處，液 狀材料4的位置和液幅的計(jì)算值位于正常值的范圍內(nèi)的情況下，噴嘴3的 噴出判定為正常地進(jìn)行。除此以外，液狀材料的噴出判定為異常。例如，如圖10所示的噴嘴N1、 N2、 N4、 N7、 N9，在液狀材料4正 常地從噴墨頭2的噴嘴3噴出的情況下，在接近噴嘴3的位置A和遠(yuǎn)離噴 嘴3的位置B的兩處，液狀材料4的位置和液幅收斂于噴出正常情況的范 圍內(nèi)，因此，從噴嘴3的噴出可判斷為正常。如噴嘴N3，在液狀材料4未被噴出的情況下，在接近噴嘴3的位置A 和遠(yuǎn)離噴嘴3的位置B的兩處，液狀材料4的位置和液幅未被測定，因而判斷為噴出不良。此外，如噴嘴N5或N6，在液滴彎曲飛行的情況下，在遠(yuǎn)離噴嘴3的位置B處，液狀材料4的位置偏離在正常的情況下得到的范 圍，因此由液狀材料4的位置可判斷為噴出不良。此外，如圖12所示， 在，在照相機(jī)5的拍攝方向上產(chǎn)生飛行彎曲的情況下，在遠(yuǎn)離噴嘴3的位 置B處，因?yàn)檎障鄼C(jī)5的焦點(diǎn)偏移，所以如虛線f所示，拍攝的液狀材料 4變大。因此，即使在照相機(jī)5的拍攝方向上產(chǎn)生飛行彎曲的情況下，由 液狀材料4的寬度可判斷噴出不良。此外，如噴嘴N8，在液狀材料4被異常廣地噴出的情況下，在接近 噴嘴3的位置A和遠(yuǎn)離噴嘴3的位置B的兩處，液狀材料4被較大地拍 攝，因此利用液狀材料4的液幅判斷為噴出不良。此外，如噴嘴IO，在液 狀材料4的噴出材料少的情況下(液滴小的情況下)，因?yàn)橐籂畈牧?的 液幅被較細(xì)地拍攝，因此通過液狀材料4的液幅判斷為噴出不良。上述的噴出不良的各判定可在能夠判斷液狀材料4從噴墨頭2的各噴 嘴3被正常地噴出的合適的范圍內(nèi)設(shè)定閾值，并判定計(jì)算的液狀材料4的 位置和液幅是否在該閾值內(nèi)。如此，該噴出異常檢測裝置1基于對(duì)從噴墨頭2的噴嘴3噴出的液狀 材料4進(jìn)行拍攝后的圖像，在噴嘴3的噴出方向的至少兩個(gè)以上的位置處， 計(jì)算液狀材料4的位置和液幅，從而檢測噴嘴3的噴出異常。在噴嘴存在 噴出異常的情況下，在液狀材料的位置或液幅的特征量中得到顯著的差。 由此，噴嘴的噴出異常的檢測能夠容易且確實(shí)地進(jìn)行。此外，該噴出異常檢測裝置1以如下方式來配設(shè)光源6，即相對(duì)于 從噴嘴3噴出的液狀材料4，在照相機(jī)5的相反側(cè)與照相機(jī)5對(duì)置，并且 從光源6投射的直接光11不入射照相機(jī)5的取景器5a，從而使由從噴嘴 3噴出的液狀材料4折射的折射光12入射照相機(jī)5的取景器5a來進(jìn)行拍 攝。由此，能夠抑制光暈等不良狀況，從而能夠更鮮明地對(duì)液狀材料4進(jìn) 行拍攝，并能夠更準(zhǔn)確地計(jì)算液狀材料4的位置和液幅，從而能夠使噴出 異常檢測裝置1的噴出異常的檢測精度提高。而且，該噴出異常檢測裝置1如果從光源6瞬間地照射光，并由照相 機(jī)5拍攝，則如圖11所示，能夠以液滴的狀態(tài)拍攝從噴嘴3噴出的液狀 材料4。并且，如果基于在液滴的狀態(tài)下拍攝的圖像，測定液滴的間隔D，則能夠測定噴嘴3的噴出速度。從而，該噴出異常檢測裝置1能夠判定液 狀材料4是否以正常的噴出速度從噴嘴3噴出。以上，說明了本發(fā)明的一實(shí)施方式所述的噴墨頭的噴出異常檢測裝 置，但本發(fā)明所述的噴墨頭的噴出異常檢測裝置并不限定于上述的實(shí)施方 式。例如，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)于拍攝后的液狀材料的圖像，確定在 噴嘴的噴出方向上的至少兩處以上的位置的方法并不限定于上述的實(shí)施 方式，可以采用各種方法。對(duì)于計(jì)算液狀材料的位置和液幅的噴嘴的噴出 方向的位置，只要能夠判定飛行彎曲等不良狀況，也可以適當(dāng)?shù)剡x定偏離 噴嘴的噴出方向的位置。[第三實(shí)施方式]圖13~圖17例示本發(fā)明的第三實(shí)施方式。該第三實(shí)施方式所述的膜形 成裝置，如圖13所示，具備噴墨頭IO、膜厚設(shè)定部20、膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 部30、濃淡等級(jí)分布圖生成部40、和膜形成部50。在該實(shí)施方式中，噴墨頭10是將一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴 11的線型噴墨嘴12形成以噴嘴11的位置相互地錯(cuò)開噴嘴間距Pn的半間 距1/2Pn量的方式并列地配設(shè)的一個(gè)噴墨嘴單元13，且沿配設(shè)有線型噴墨 嘴12的噴嘴11的方向呈交錯(cuò)狀地、相互不同地錯(cuò)開位置，串聯(lián)地配設(shè)該 噴墨嘴單元13。該噴墨頭10以將噴嘴11的位置相互錯(cuò)開噴嘴間距的半間距量的方 式，并列地配設(shè)一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴11的線型噴墨嘴12。 因此，作為噴墨頭IO整體，與能夠縮窄噴嘴間距的物理界限相比，能夠 進(jìn)一步縮窄噴嘴間距。進(jìn)而，通過調(diào)節(jié)各線型噴墨嘴12的噴出時(shí)刻，點(diǎn) 間距的調(diào)整能夠簡單地進(jìn)行，從而能夠簡單地從精細(xì)的涂敷到粗涂敷進(jìn)行 調(diào)整。此外，該噴墨頭10的噴墨嘴單元13具有可覆蓋膜形成區(qū)域?qū)挾鹊?寬度，從而可由一次的掃描，在膜形成區(qū)域的整個(gè)區(qū)域內(nèi)涂敷液狀材料。在本實(shí)施方式中，噴墨頭10的各線型噴墨嘴12分別從液狀材料供給 部(省略圖示)向各噴嘴供給液狀材料，并且基于控制裝置(省略圖示) 產(chǎn)生的噴出指令信號(hào)，在規(guī)定的時(shí)刻噴出液狀材料。此外，雖然圖示省略， 但各噴嘴ll采用通過壓電振動(dòng)元件的機(jī)械性的振動(dòng)，從小孔(orifice)噴發(fā)送電信號(hào)的噴嘴控制部。而且，在本發(fā)明中，噴墨頭的構(gòu)造和噴墨頭的各噴嘴的噴出方式并不 限定于上述的實(shí)施方式。例如，在上述的實(shí)施方式中，噴墨頭具有并聯(lián)及 串聯(lián)地配設(shè)有多個(gè)線型噴墨嘴的構(gòu)造，但線型噴墨嘴可以為一個(gè)，而且即 使在使用多個(gè)的情況下，也可通過上述以外的配置來配設(shè)。在使用了該噴墨頭10的膜形成裝置中，膜厚T由噴嘴間距Pn、點(diǎn)間 距Pd、噴出液滴量Vj、液狀材料的固態(tài)成分濃度S、和噴出圖案Vp五個(gè)要素決定。膜厚T例如，如下述的數(shù)學(xué)式(式1)，可通過在單位面積(10mm角)的總噴出液滴量乘以膜厚系數(shù)來計(jì)算。T= (10+Pn) X (10+Pd) XVjXVpXSXM…(式1)在上述的式1中，T為膜厚(A)， Pn為噴嘴間距(pm)， Pd為點(diǎn)間 距(pm)， Vj為噴出墨滴量(pL)， Vp為噴出圖案比例(％)， S為固態(tài)成 分濃度(％)， M為膜厚系數(shù)(A+ (pL + cm2))。其中，噴嘴間距Pn為噴墨頭10的噴嘴的間隔。噴嘴間距Pn是根據(jù) 噴墨頭10的機(jī)械性的構(gòu)造的，除交換噴墨頭10等情況，不能變更他們。點(diǎn)間距Pd是噴出到被涂敷物上的液滴的間隔。因?yàn)辄c(diǎn)間距Pd是根據(jù) 噴出頭10的噴出時(shí)刻的，因此，能夠在與被涂敷物的相對(duì)移動(dòng)方向(行 進(jìn)方向)上變更，但無法在其正交方向(寬度方向)上變更。噴出液滴量Vj是從噴嘴11噴出的液滴的液量。噴出液滴量Vj由發(fā) 送給線型噴墨嘴12的噴出指令信號(hào)(電信號(hào))的電壓和脈沖寬度來確定， 但各線型噴墨嘴12在噴出指令信號(hào)(電壓與脈沖寬度)與噴出液滴量Vj 的關(guān)系中分別具有固有的噴出特性。因此，即使發(fā)送相同的電壓與脈沖寬 度的噴出指令信號(hào)，從各線型噴墨嘴12噴出的液滴量中也有若干不齊。 另外，在本實(shí)施方式中，將發(fā)送給線型噴墨嘴12的噴出指令信號(hào)的脈沖 寬度總是設(shè)為恒定，通過改變電壓來調(diào)整噴出液滴量Vj。液狀材料的固態(tài)成分濃度S是表示液狀材料中的固態(tài)成分的比例，是 表示干燥后作為膜而殘留的固態(tài)成分的濃度。固態(tài)成分濃度S是液狀材料 的固有的特性，在填充液狀材料后，無法容易地將其改變。噴出圖案Vp是從噴墨頭10噴出液狀材料的點(diǎn)位置的圖案。噴出圖案噴出圖案Vp是從噴墨頭10噴出液狀材料的點(diǎn)位置的圖案。噴出圖案 Vp能夠電控制從噴墨頭IO噴出液狀材料的噴嘴11，變更比較容易。在本 實(shí)施方式中，噴出圖案Vp采用液狀材料的噴出位置均勻的灰度圖案(grey pattem)。關(guān)于灰度圖案后面詳細(xì)敘述。決定膜厚T的五個(gè)要素中，噴嘴間距Pn不容易改變，點(diǎn)間距Pd可在 某種程度上改變，從而能夠改變整體的膜厚T，但無法局部地改變膜厚T。 此外，液狀材料的固態(tài)成分濃度S是一端填充后的液狀材料的固有特性， 因此難以容易地改變。本實(shí)施方式所述的膜形成裝置1首先選擇某一噴出圖案Vp，因?yàn)閲?嘴間距Pn與固態(tài)成分濃度S固定，將其數(shù)值代入數(shù)學(xué)式1，并將欲形成 的膜的厚度代入膜厚T。由此，能夠求得將噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd相 除(Vj/Pd)。由此關(guān)系，噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd具有比例的關(guān)系。并 且，當(dāng)以選擇的噴出圖案Vp噴出液狀材料時(shí)，調(diào)整噴出液滴量Vj與點(diǎn)間 距Pd，以適宜地引起液滴的融合。艮口，噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd具有比例的關(guān)系，如果增大噴出液滴 量Vj，則點(diǎn)間距Pd變大。如果過于增大噴出液滴量Vj和點(diǎn)間距Pd，則 形成在噴嘴間距方向上產(chǎn)生液滴的融合，但在點(diǎn)間距的方向上不產(chǎn)生液滴 的融合的狀態(tài)。此外，如果過于減小噴出液滴量Vj和點(diǎn)間距Pd，則形成 在點(diǎn)間距方向上產(chǎn)生液滴的融合，但在噴嘴間距的方向上不產(chǎn)生液滴的融 合的狀態(tài)。噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd的調(diào)整以使在點(diǎn)間距的方向和噴嘴 間距的方向的兩者上產(chǎn)生液滴的融合來調(diào)整。此外，在噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd恒定的情況下，如果以更深程度 的灰度圖案噴出液狀材料，則能夠增加膜厚，如果以更淺程度的灰度圖案 噴出液狀材料，則能夠減小膜厚。該膜形成裝置1使用所述的調(diào)整方法， 按單位面積修正噴出到膜形成區(qū)域的液狀材料的噴出圖案，并按單位面積 調(diào)整在被涂敷物上形成的膜的厚度，從而在被涂敷物上形成厚度均勻的 膜。為具體實(shí)現(xiàn)所述的調(diào)整方法，該膜形成裝置1具備膜厚設(shè)定部20、膜 厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30、濃淡等級(jí)分布圖生成部40、和膜形成部50。在本實(shí)施 方式中，膜厚設(shè)定部20、膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30、濃淡等級(jí)分布圖生成部40、和膜形成部50分別由計(jì)算機(jī)和利用計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)各個(gè)功能的程序來具體實(shí) 現(xiàn)。膜厚設(shè)定部20設(shè)定在被涂敷物上形成的膜的膜厚。在本實(shí)施方式中， 利用計(jì)算機(jī)來設(shè)定在被涂敷物上形成的膜的膜厚，設(shè)定的膜厚存儲(chǔ)在計(jì)算 機(jī)的存儲(chǔ)部(例如存儲(chǔ)器)中。將設(shè)定在被涂敷物上形成的膜的膜厚的工 序稱為膜厚設(shè)定工序。膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30考慮噴墨頭10的噴出特性，調(diào)整噴出液滴量與點(diǎn) 間距，并且，以任意地選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案，對(duì)膜形成區(qū)域均勻地 試噴出液狀材料，并存儲(chǔ)由試噴出形成的膜的膜厚。在本實(shí)施方式中，膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30還包括噴出特性存儲(chǔ)部31、 噴出液滴量調(diào)整部32、灰度圖案存儲(chǔ)部33、和試噴出控制部34。噴出特性存儲(chǔ)部31存儲(chǔ)有噴墨頭10的噴出特性。在本實(shí)施方式中， 在每個(gè)噴墨頭10的線型噴墨嘴12中，噴出指令信號(hào)的電壓和脈沖寬度與 噴出液滴量Vj的關(guān)系具有固有的特性，但將噴出指令信號(hào)的脈沖寬度總 是設(shè)為恒定，通過改變電壓，調(diào)整噴出液滴量Vj。因此，噴出特性存儲(chǔ)部 31存儲(chǔ)在所述的脈沖寬度值下的電壓與噴出液滴量Vj的關(guān)系。噴出液滴量調(diào)整部32具備對(duì)噴墨頭10的噴出液滴量和點(diǎn)間距進(jìn)行調(diào) 整的功能。噴出液滴量的調(diào)整首先具備考慮存儲(chǔ)在噴出特性存儲(chǔ)部31中 的噴墨頭的噴出特性，并控制噴出指令信號(hào)的電壓和脈沖寬度，以噴出規(guī) 定的噴出液滴量Vj的功能。在本實(shí)施方式中，將噴出指令信號(hào)的脈沖寬 度總是設(shè)為恒定，通過改變電壓，調(diào)整噴出液滴量Vj，所以噴出液滴量調(diào) 整部32基于存儲(chǔ)在噴出特性存儲(chǔ)部31中的電壓與噴出液滴量Vj的關(guān)系， 控制噴出指令信號(hào)的電壓，調(diào)整噴出液滴量，以使規(guī)定的噴出液滴量Vj 被噴出。接下來，噴出液滴量調(diào)整部32調(diào)整噴出液滴量Vj和點(diǎn)間距Pd，以使在數(shù)學(xué)式(式O中，關(guān)于噴出圖案Vp形成在后述的試噴出工序中選擇的灰度圖案，且在點(diǎn)間距的方向、噴嘴間距的方向的兩方上產(chǎn)生液滴的融 合?；叶葓D案存儲(chǔ)部33按濃淡等級(jí)存儲(chǔ)噴出單位面積的液狀材料的灰度 圖案。灰度圖案為噴出每單位面積的液滴的圖案(液狀材料的噴出圖案)。例如，從噴墨頭io的所有噴嘴n，以全部的點(diǎn)間距噴出液狀材料的噴出 圖案為濃淡等級(jí)100%的灰度圖案。例如，如圖14所示，以可噴出液狀材料的點(diǎn)位置由規(guī)定的噴嘴間距Pnl和點(diǎn)間距Pdl格子狀地配設(shè)的情況(同圖中，實(shí)線的圓dl和虛線的 圓d2分別表示可噴出液狀材料的點(diǎn)位置)來說明灰度圖案。而且，實(shí)線 的圓dl在點(diǎn)間距方向的第奇數(shù)列中，位于噴嘴間距方向的第奇數(shù)號(hào)的點(diǎn) 位置，在點(diǎn)間距方向的第偶數(shù)列中，位于噴嘴間距方向的第偶數(shù)號(hào)的點(diǎn)位 置。此外，虛線的圓d2在點(diǎn)間距方向的第奇數(shù)列中，位于噴嘴間距方向 的第偶數(shù)號(hào)的點(diǎn)位置，在點(diǎn)間距方向的第偶數(shù)列中，位于噴嘴間距方向的 第奇數(shù)號(hào)的點(diǎn)位置。在可噴出液狀材料的所有的點(diǎn)位置噴出液狀材料的噴出圖案稱為濃 淡等級(jí)100%。此情況下的濃淡等級(jí)100%的灰度圖案，如圖15所示，是 在圖14中的實(shí)線的圓dl和虛線的圓d2的兩者的點(diǎn)位置上噴出了液狀材 料。而且，此處100%的噴出正確地也可解釋為并不包含在"灰度"這一 概念中，但在本發(fā)明書中，為方便起見，將所述狀態(tài)的噴出稱為濃淡等級(jí) 100%的灰度圖案。接下來，如圖16所示，50%的灰度圖案是僅在圖14中的實(shí)線的圓dl 的點(diǎn)位置處噴出了液狀材料。其結(jié)果，50%的灰度圖案與濃淡等級(jí)100% 的灰度圖案相比，是將噴出液狀材料的點(diǎn)位置均勻地去掉50%而形成的。在本實(shí)施方式中，如圖13所示，使用一個(gè)以將噴嘴11的位置相互地 錯(cuò)開噴嘴間距的一半間距量的方式，將一列地配設(shè)有噴嘴11的線型噴墨 嘴12并列地配設(shè)的噴墨嘴單元13，因此，關(guān)于各噴墨嘴單元13，通過將 第一列的線型噴墨嘴12噴出液狀材料的時(shí)刻和第二列的線型噴墨嘴12噴 出的時(shí)刻分別錯(cuò)開一個(gè)點(diǎn)間距量地噴出液狀材料，能夠以濃淡等級(jí)50%的 灰度圖案噴出液狀材料。圖示雖然省略，但濃淡等級(jí)70%的灰度圖案同樣地與濃淡等級(jí)100% 的灰度圖案相比，是將液狀材料被噴出的點(diǎn)位置，在每單位面均勻地去掉 30%而形成。此外，濃淡等級(jí)30%的灰度圖案與濃淡等級(jí)100%的灰度圖 案相比，液狀材料被噴出的點(diǎn)位置在每單位面積均勻地去掉70%。在本實(shí)施方式中，灰度圖案存儲(chǔ)部33分別存儲(chǔ)從濃淡等級(jí)0%至100%，及同樣地將液狀材料被噴出的點(diǎn)位置在每單位面積均勻地去掉的、 任意濃淡等級(jí)的灰度圖案。而且，灰度圖案存儲(chǔ)部33例示了分別存儲(chǔ)任 意的濃淡等級(jí)的灰度圖案的存儲(chǔ)部，但并不限定于此，例如，對(duì)于任意的 濃淡等級(jí)，也可存儲(chǔ)有計(jì)算并求得與其相應(yīng)的灰度圖案的功能，具備計(jì)算 并求得與每次的任意的濃淡等級(jí)相對(duì)應(yīng)的灰度圖案的功能。接下來，試噴出控制部34是以由噴出液滴量調(diào)整部32調(diào)整后的噴墨 頭10的噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd，并以從存儲(chǔ)在灰度圖案存儲(chǔ)部33中 的任意的濃淡等級(jí)的灰度圖案中選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案，控制向膜形 成區(qū)域均勻地噴出液狀材料的試噴出。從試噴出控制部34向噴墨頭10的 噴嘴控制部15發(fā)送噴出指令信號(hào)，并控制噴墨頭IO，從而以規(guī)定的灰度 圖案噴出液狀材料。將進(jìn)行該試噴出的工序稱為試噴出工序。在本實(shí)施方式中，在試噴出中，基于由膜厚設(shè)定部20設(shè)定的膜厚T， 利用數(shù)學(xué)式(式l)，設(shè)定噴出液滴量Vj、點(diǎn)間距Pd及噴出圖案Vp (灰 度圖案的濃淡等級(jí))。在本實(shí)施方式中，為以濃淡等級(jí)50%的灰度圖案， 且由膜厚設(shè)定部20設(shè)定的膜厚來形成膜，調(diào)整噴出液滴量Vj與點(diǎn)間距Pd， 并在試噴出中，以濃淡等級(jí)50%的灰度圖案噴出液狀材料。在本實(shí)施方式中，各噴墨嘴單元13的噴嘴間距微小，噴出液滴量Vj 與點(diǎn)間距Pd被調(diào)整到在試噴出中以所選擇的濃淡等級(jí)50%的灰度圖案， 鄰接的被噴出后的墨滴之間可融合的量。由此，在試噴出工序中，如圖17 (a)所示，對(duì)于膜形成區(qū)域能夠均 勻地噴出液狀材料，被噴出后的液滴的融合在所有的膜形成區(qū)域m中同樣 地產(chǎn)生，液狀材料的膜厚暫且形成均勻的厚度。并且，保持如圖17 (a) 所示的狀態(tài)，液狀材料如果干燥，則如圖17 (d)所示，應(yīng)以由膜厚設(shè)定 部20設(shè)定的膜厚來形成膜。但是，實(shí)際上，由于干燥從液狀材料的表面發(fā)生，因此在干燥過程中， 如圖17 (b)所示，膜厚發(fā)生變化。而且，在膜形成區(qū)域m的中央部ml， 膜厚不太變化，但在膜形成區(qū)域m的周緣部m2 (邊緣部和角部)，膜厚易 變化。此外，液滴的融合及干燥后的膜厚具有如下的傾向，即如果液滴 噴出量Vj、點(diǎn)間距Pd及噴出圖案Vp相同，干燥的條件相同，則產(chǎn)生大致相同的液滴的融合及干燥，在膜形成區(qū)域m的相同處形成相同的膜厚。 在本實(shí)施方式中，如圖17 (b)所示，膜形成區(qū)域m的周緣部m2在干燥 過程中從膜形成區(qū)域m的邊緣e向外側(cè)伸出。膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30存儲(chǔ)利用上述的試噴出形成的膜的膜厚。在本實(shí) 施方式中，膜厚按與灰度圖案的單位面積對(duì)應(yīng)的區(qū)域來測定并存儲(chǔ)。在此 情況下，膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30的膜厚的數(shù)據(jù)是由相對(duì)于膜形成區(qū)域，按噴 出液狀材料的灰度圖案的單位面積記錄有膜厚的數(shù)據(jù)表(data map)而構(gòu) 成。接下來，對(duì)濃淡等級(jí)分布圖生成部40進(jìn)行說明。濃淡等級(jí)分布圖生成部40考慮在試噴出工序中形成的膜的膜厚，為 能夠以膜厚設(shè)定部設(shè)定的膜厚形成均勻的膜，按單位面積修正噴出液狀材 料的灰度圖案的濃淡等級(jí)。具體地，具備基于存儲(chǔ)在膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30中的試噴出工序中的膜 厚的數(shù)據(jù)，對(duì)于膜形成區(qū)域，按噴出液狀材料的灰度圖案的單位面積，生 成設(shè)定了噴出的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)的濃淡等級(jí)分布圖的功 能。在本實(shí)施方式中，在生成濃淡等級(jí)分布圖的濃淡等級(jí)分布圖生成工序 中，考慮在試噴出階段的灰度圖案的濃淡等級(jí)，和試噴出工序中的每單位 面積的膜厚，變更該單位面積的灰度圖案濃淡等級(jí)。例如，如圖17 (c)所示，在試噴出工序中形成的膜的膜厚厚于由膜 厚設(shè)定部20設(shè)定的膜厚之處q (參照?qǐng)D17 (b))將該單位面積的灰度圖 案的濃淡等級(jí)改變?yōu)闇\的等級(jí)。此外在試噴出工序中形成的膜的膜厚薄于 由膜厚設(shè)定部20設(shè)定的膜厚之處r (參照?qǐng)D17 (b))，將該單位面積的灰 度圖案的濃淡等級(jí)改變?yōu)樯畹牡燃?jí)。濃淡等級(jí)的改變程度通過存儲(chǔ)在膜厚 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30中的膜厚與在膜厚設(shè)定部20中設(shè)定的膜厚的差的程度來調(diào) 整。所述調(diào)整可以通過計(jì)算，或者也可根據(jù)基于某種程度的經(jīng)驗(yàn)的數(shù)據(jù)來 調(diào)整。將在濃淡等級(jí)分布圖生成部40中生成濃淡等級(jí)分布圖的工序稱為 濃淡等級(jí)分布圖生成工序。而且，在本實(shí)施方式中，如圖17 (b)所示， 膜形成區(qū)域m的周緣部m2在干燥過程中從膜形成區(qū)域m的邊緣e向外側(cè) 稍許伸出。因此，在生成濃淡等級(jí)分布圖的工序中，如圖17 (c)所示， 考慮膜形成區(qū)域m的周緣部m2在干燥的過程中從膜形成區(qū)域m的邊緣e向外側(cè)稍許伸出，從而將噴出液狀材料的區(qū)域的外緣設(shè)定在邊緣e的稍內(nèi) 此外，在本實(shí)施方式中，在試噴出工序中，為了以濃淡等級(jí)50%的灰度圖案來形成由膜厚設(shè)定部20設(shè)定的膜厚的膜，調(diào)整噴出液滴量與點(diǎn)間 距，并以濃淡等級(jí)50%的灰度圖案噴出液狀材料，所以在濃淡等級(jí)分布圖 生成工序中，將濃淡等級(jí)50%向深方向，也有向淺方向相同的調(diào)整區(qū)域， 濃淡等級(jí)的修正容易進(jìn)行。而且，如此地，在濃淡等級(jí)分布圖生成工序中， 需要將濃淡等級(jí)的調(diào)整即向深方向也向淺方向調(diào)整，因此，試噴出工序一 定以比100%的濃淡等級(jí)淺的濃淡等級(jí)進(jìn)行液狀材料的噴出。此外，在干躁過程中，特別地與膜形成區(qū)域m的中央部ml相比，周 緣部m2 (邊緣部和角部)的膜厚易變化。因此，在試噴出工序中形成的 膜，如圖17 (b)所示，在膜形成區(qū)域m的中央部ml的膜厚大致均勻， 但在周緣部m2 (邊緣部和角部)膜厚具有產(chǎn)生差的傾向。在濃淡等級(jí)分 布圖生成工序中，著眼于該傾向，如圖17 (c)所示，膜形成區(qū)域m的e 中央部ml均勻地修正灰度圖案的濃淡等級(jí)，周緣部m2按單位面積修正 灰度圖案的濃淡等級(jí)。由此，能夠節(jié)省濃淡等級(jí)分布圖生成工序的操作， 并能夠?qū)崿F(xiàn)操作的高效化。此外，膜形成區(qū)域m的周緣部m2由于液滴融合后的干燥過程而在邊 緣部產(chǎn)生的膜厚的傾向和在角部產(chǎn)生的膜厚的傾向并不限于各自的邊緣 部和角部，具有大致相同的傾向。在濃淡等級(jí)分布圖生成工序中，著眼于 該傾向，將對(duì)某一邊緣部按單位面積修正濃淡等級(jí)后的結(jié)果復(fù)制到其他的 邊緣部，對(duì)某一角部按單位面積修正濃淡等級(jí)后的結(jié)果也復(fù)制到其他的邊 緣部。由此，能夠進(jìn)一步節(jié)省濃淡等級(jí)分布圖生成工序的操作，并能夠進(jìn) 一步實(shí)現(xiàn)操作的高效化。接下來，膜形成部50具備基于在所述的濃淡等級(jí)分布圖生成部40中 生成的濃淡等級(jí)分布圖，向被涂敷物噴出液狀材料，從而形成膜的功能。 膜形成部50向噴墨頭10的噴嘴控制部15送出噴出指令控制信號(hào)，并基 于由濃淡等級(jí)分布圖生成部40生成的濃淡等級(jí)分布圖來控制噴墨頭10， 以噴出液狀材料。因?yàn)樵跐獾燃?jí)分布圖生成部40中，基于試噴出工序的結(jié)果，修正噴出到被噴出物的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)，從而以在膜厚設(shè)定部 20中設(shè)定的膜厚來形成厚度均勻的膜，所以膜形成部50如圖17 (d)所 示，能夠形成厚度均勻的膜。
以上，如進(jìn)行的說明，該膜形成裝置利用上述的膜厚設(shè)定部20、膜厚 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部30、濃淡等級(jí)分布圖生成部40、及膜形成部50，能夠形成厚 度更均勻的膜。
此外，該膜形成裝置l也可如，試噴出工序一濃淡等級(jí)分布圖生成工 序一膜形成工序(第二次的試噴出工序)一濃淡等級(jí)分布圖生成工序一膜 形成工序(第三次的試噴出工序)…，數(shù)次地重復(fù)濃淡等級(jí)分布圖生成工 序。如此，將在膜形成工序中形成的膜看作是在試噴出工序中形成的膜， 再次進(jìn)行濃淡等級(jí)分布圖生成工序，并將在膜形成工序中形成的膜看作是 在試噴出工序中形成的膜，進(jìn)一步進(jìn)行濃淡等級(jí)分布圖生成工序，從而通 過數(shù)次地重復(fù)濃淡等級(jí)分布圖生成工序，能夠極高精度地形成厚度均勻的 膜。
此外，在如潔凈室等環(huán)境恒定的室內(nèi)制造膜的情況下，液滴的融合傾 向也恒定，干燥機(jī)的干燥條件也恒定，因而如果一次地生成高精度調(diào)整后 的濃淡等級(jí)分布圖，則在量產(chǎn)階段可持續(xù)地利用該濃淡等級(jí)分布圖。由此， 能夠高精度地批量生產(chǎn)厚度均勻的膜。
以上，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式中的膜形成方法及膜形成裝置進(jìn)行了說 明，但本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式。
還有，在圖13中例示的噴墨頭10中，噴嘴間距不僅是超越能夠使噴 嘴間距變窄的物理極限而能夠使噴嘴間距變窄的意思，而且向噴嘴間距方 向上鄰接的點(diǎn)位置噴出的噴嘴的位置在鄰接的點(diǎn)位置之間，噴出液態(tài)材料 的時(shí)間差小。因此，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行鄰接的點(diǎn)位置之間的液滴的融合。該噴墨 頭10具有這樣的特性，因此是欲使液滴的融合及液滴的融合后的干燥過 程中的膜厚變化引起的膜厚差均勻的本發(fā)明的膜形成裝置中優(yōu)選采用的 方式之一。
圖18 圖25是例示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的圖。該第四實(shí)施方式中， 將本發(fā)明適用于液晶顯示裝置的透明基板的取向膜涂敷裝置。如圖18所示，膜涂敷裝置具有將作為被涂敷物的透明基板70水平固定載置的基 臺(tái)71、和沿安裝于該基臺(tái)71上的導(dǎo)軌(省略圖示)向箭頭A方向移動(dòng)的
打印頭單元72。透明基板72利用基臺(tái)72上的公知的多個(gè)夾緊機(jī)構(gòu)(省略 圖示)水平固定。打印頭單元72能夠利用任意的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向箭頭A方向 移動(dòng)。作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)最適合等速穩(wěn)定性優(yōu)越，且完全沒有齒隙的線性電動(dòng) 機(jī)方式。即，設(shè)置于基臺(tái)72的直線導(dǎo)軌上安裝打印頭單元72，且使打印 頭單元72滑動(dòng)自如，利用附設(shè)于導(dǎo)軌和打印頭的對(duì)置面兩者的多個(gè)磁鐵 構(gòu)成線性電動(dòng)機(jī)。作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，除此之外，例如，可以使用組合電動(dòng)機(jī)、 滑輪及帶齒的帶的帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或組合電動(dòng)機(jī)和螺旋桿的螺旋桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 就帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來說，在圖18的左右方向上張?jiān)O(shè)環(huán)狀帶齒的帶，將該帶齒 的帶纏繞在左右兩端的滑輪。將帶齒的帶的一部分與打印頭單元72連結(jié)， 利用伺服電動(dòng)機(jī)等使任一方的滑輪正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此使打印頭單元72 在左右方向上前進(jìn)及后退。就螺旋桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來說，在圖18左右方向上 配設(shè)螺旋桿，利用導(dǎo)軌可以滑動(dòng)自如，但將把滑動(dòng)方向作為中心軸觀察的 情況下不能圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)的打印頭單元72的一部分螺合于螺旋桿，利 用伺服電動(dòng)機(jī)等正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，使打印頭單元72在左右方向上 前進(jìn)及后退。
在打印頭單元72上搭載有多個(gè)打印頭73。在圖18中，以示意性顯示 了以交錯(cuò)狀僅搭載7個(gè)打印頭73的狀態(tài)，但打印頭73的個(gè)數(shù)可以根據(jù)透 明基板70的寬度增減。例如，在透明基板70的寬度為1500mm的情況下， 打印頭73的搭載個(gè)數(shù)通常為40 50個(gè)。打印頭73的交錯(cuò)狀配置是為了 避免在鄰接的打印頭73之間，涂敷液的點(diǎn)膜之間不過于空開。
圖19是表示向打印頭73的涂敷液的供給配管13或涂敷液的回收配 管83等、配管系統(tǒng)的圖。在本發(fā)明裝置中，將供給槽12、供給泵15及回 收槽8配置于膜涂敷裝置的固定側(cè)低位置。因此，需要對(duì)打印頭73的供 給配管13和回收配管83。若在打印頭單元72有空間剩余，則將供給槽 12、供給泵15及回收槽8搭載于移動(dòng)側(cè)、即打印頭單元72上，將供給配 管13和回收配管83也搭載于打印頭單元72也可。由于N2供給配管80 和大氣開放配管81不能省略，因此，作為固定側(cè)和移動(dòng)側(cè)之間的配管系 統(tǒng)，以N2供給配管80和大氣開放配管81共計(jì)兩根作為最低需要。N2供給配管80與固定側(cè)的N2高壓氣體容器連接。大氣開放配管81與工廠內(nèi) 的溶劑排氣處理系統(tǒng)連接。
供給配管13、回收配管83、 N2供給配管80及大氣開放配管81四根 配管收容于共用的線纜護(hù)線鏈(^一7"^<7) 82內(nèi)。線纜護(hù)線鏈82的 以圓弧狀折曲的一側(cè)朝向打印頭單元72的移動(dòng)方向(前進(jìn)方向或后退方 向)。
供給槽12是上端向大氣開放的立式扁平容器，其內(nèi)部貯存涂敷液。 供給配管13的一端浸漬于供給槽12的內(nèi)部的涂敷液中。在靠近供給槽12 的位置，向供給配管13安裝供給泵15。用該供給泵15向供給配管13送 出涂敷液。在供給泵15的下游側(cè)的靠近供給泵15的位置，向供給配管13 安裝供給闊14。
墨槽1是密閉式，貯存一種涂敷液。該墨槽1配設(shè)于比供給槽12或 回收槽8高的位置，安裝有檢測涂敷液面的電平開關(guān)16和內(nèi)壓用壓力計(jì) 17。電平幵關(guān)16在墨槽1內(nèi)的涂敷液面得到規(guī)定的高度以下的情況下將 其檢測，使供給泵15運(yùn)行，將墨槽1內(nèi)的涂敷液面高度時(shí)常保持恒定。 內(nèi)壓用壓力計(jì)17檢測墨槽1的壓力。
墨槽1與N2供給配管80和大氣開放配管81并列連接。N2供給配管 80向墨槽1內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)獾燃訅河枚栊詺怏w，將墨槽1內(nèi)加壓為規(guī)定壓力， 促進(jìn)向打印頭73的涂敷液填充。大氣開放配管81在墨槽1內(nèi)的壓力達(dá)到 規(guī)定壓力以上的情況下，向大氣中放出多余的加壓用氣體，將墨槽l內(nèi)維 持為規(guī)定的壓力。N2供給配管80的上游端位于固定側(cè)，與氮?dú)獠鄣燃訅?用惰性氣體源連接。在N2供給配管80的上游側(cè)依次配設(shè)有放氣壓力調(diào)節(jié) 器31、放氣用壓力計(jì)32、放氣用閥33。放氣閥33的下游側(cè)經(jīng)由垂直壓力 控制配管29、水平壓力可變基配管25的一部分及槽閥26，與墨槽1的內(nèi) 部上方空間連通。壓力控制配管29與壓力可變基配管25的中間部連接。 壓力控制配管29的中間部與水平返回配管34和水平分支配管39的各一 端連接。返回配管34的另一端與放氣壓力調(diào)節(jié)器31的上游側(cè)連接。放氣 配管34上從放氣壓力調(diào)節(jié)器31的上游側(cè)依次安裝有大氣開放調(diào)節(jié)器34、 大氣開放用壓力計(jì)36及大氣開放閥37。大氣開放透鏡35和大氣開放用壓 力計(jì)36的中間的返回配管34與輔助分支配管38連接。該輔助分支配管與分支配管39并聯(lián)狀與大氣開放配管81連接。在分支配管39上從 下游側(cè)依次安裝有負(fù)壓泵41和負(fù)壓閥42。負(fù)壓泵41將壓力控制配管29 內(nèi)的氣體向大氣開放配管81中強(qiáng)制排氣。壓力可變基配管25經(jīng)由旁通閥 27與旁路配管18a的中間部連接。
從墨槽1經(jīng)由共通送液配管2和個(gè)別送液配管3向各打印頭73供給 涂敷液。個(gè)別送液配管3從共通送液配管2以等間隔分支。個(gè)別送液配管 3的末端經(jīng)由脫氣機(jī)構(gòu)5與打印頭73連接。各打印頭73和脫氣機(jī)構(gòu)5如 圖所示，作為獨(dú)立體分離也可， 一體化也可。在共通送液配管2的兩端、 即對(duì)于共通送液配管2的最上游位置的個(gè)別送液配管3的當(dāng)前上游側(cè)、和 對(duì)于共通送液配管2的最下游位置的個(gè)別送液配管3的當(dāng)前下游側(cè)，配設(shè) 有送液閥7和回收閥10?；厥臻yIO經(jīng)由回收傳感器11與回收配管83連 接。
各打印頭73與向垂直上方豎立的個(gè)別流動(dòng)氣體配管19連接。這些個(gè) 別流動(dòng)氣體配管19的上端聚齊而延伸至墨槽1的液面上方，與水平旁路 配管18a連接。旁路配管18a在比墨槽l的最高液位高的上方位置，沿水 平方向延伸。旁通股票18a的一端與最上游的個(gè)別流動(dòng)氣體配管19連接， 旁路配管18a的下端經(jīng)由氣體放出閥23及共通流氣配管18，與回收配管 83的上游端、即對(duì)于回收配管83的回收傳感器11的連接位置連接。
連接于共通送液配管2的最下游端的個(gè)別流動(dòng)氣體與送液流動(dòng)氣體配 管20的下端連接。該送液流動(dòng)氣體配管20的上端經(jīng)由液體填充確認(rèn)傳感 器21與氣體放出閥23的當(dāng)前上游側(cè)的閥配管18a連接。
本發(fā)明如圖19所示，對(duì)多個(gè)打印頭73的涂敷液供給用配管系采用共
用化的一根共通送液配管2。 g卩，不是向打印頭73并聯(lián)供給涂敷液，而是
串聯(lián)供給，因此，向打印頭73供給的配管系和控制設(shè)備的數(shù)目非常少，
結(jié)構(gòu)簡單化。這也是使打印頭73側(cè)移動(dòng)的本發(fā)明方式能夠?qū)崿F(xiàn)的要因的 一個(gè)。
在固定側(cè)和移動(dòng)側(cè)之間從一方向另一方供給液體、氣體、電氣的機(jī)構(gòu) 使用線纜護(hù)線鏈82。該線纜護(hù)線鏈82以匯集撓曲性的配管、配線類的狀 態(tài)被支撐為自然地折曲自如，使作為移動(dòng)側(cè)的打印頭單元72在阻力少的 情況下移動(dòng)。線纜護(hù)線鏈82例如由撓曲性扁平剖面的管構(gòu)成，在其內(nèi)部收容多根配管配線類。
但是，如作為本發(fā)明的適用對(duì)象的一個(gè)的液晶顯示元件的透明基板70 的膜涂敷裝置一樣，需要高精度的移動(dòng)控制的裝置中，希望收容于線纜護(hù) 線鏈的配管配線類的根數(shù)盡量少。本發(fā)明中使用的線纜護(hù)線鏈82如上所 述，固定側(cè)和移動(dòng)側(cè)之間的配管類總計(jì)僅為4根，因此，能夠與打印頭單
元72的高精度移動(dòng)控制同時(shí)實(shí)現(xiàn)。
另一方面，對(duì)于作為膜涂敷裝置的移動(dòng)側(cè)的打印頭73的配線在以往 的考慮方法中，通常如圖20 (B)所示，從具有計(jì)算機(jī)的涂敷控制部94 以電線束95的形式分別對(duì)打印頭73配置涂敷數(shù)據(jù)信號(hào)線91、高壓脈沖線 92及電源線93。但是，在這種情況下，需要將對(duì)應(yīng)于打印頭73的個(gè)數(shù)的 量的電線束95收容于線纜護(hù)線鏈82內(nèi)，因此，在透明基板70的整個(gè)寬 度上排列多個(gè)打印頭73的情況下，不能向線纜護(hù)線鏈82內(nèi)收容所有電線 束95。
作為該解決機(jī)構(gòu)，如圖20 (A)所示，在打印頭73的附近配置涂敷 控制部94，用一根傳送線85 (例如，傳送方式是RS—422差動(dòng)方式)連 接該涂敷控制部94和固定側(cè)的控制部96。涂敷數(shù)據(jù)或高壓脈沖數(shù)據(jù)通過 傳送線85被串行傳送至涂敷控制部84。在涂敷控制部94設(shè)有串口傳入併 口傳出移位寄存器(serial in parallel out shift register)型中繼基板，將涂敷 數(shù)據(jù)或高壓脈沖數(shù)據(jù)經(jīng)由所述中繼基板向各打印頭73發(fā)送。這樣，利用 一根傳送線85并聯(lián)發(fā)送用于多個(gè)打印頭73的數(shù)據(jù)，由此能夠大幅度削減 線纜護(hù)線鏈82內(nèi)的配線數(shù)目，因此，這也是使打印頭73側(cè)移動(dòng)的本發(fā)明 方式能夠?qū)崿F(xiàn)的要因之一。
另外，在圖20 (B)中，使用"電磁閥"的放出閥或作為"檢測器" 的液體填充確認(rèn)傳感器等利用多心電纜97通過線纜護(hù)線鏈82與涂敷控制 部94接線，但在本發(fā)明裝置中，如圖20 (A)所示，可以將放出閥33或 液體填充確認(rèn)傳感器21經(jīng)由省略配線系統(tǒng)90 (例如，CC連接器或設(shè)備網(wǎng) 絡(luò))與控制部96接線。由此，可以將放出閥33或液體填充確認(rèn)傳感器21 的引出配線匯集為一根電纜，能夠削減線纜護(hù)線鏈82內(nèi)的配線根數(shù)。CC 連接器(Control&Communication Link)或設(shè)備網(wǎng)絡(luò)是同時(shí)且高速實(shí)現(xiàn)控 制和信息的數(shù)據(jù)處理的場網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，容易進(jìn)行PLC、計(jì)算器(PC)、傳感器、促動(dòng)器等控制設(shè)備間的相互連接。CC連接器及設(shè)備網(wǎng)絡(luò)均作為通過 省略配線降低配線成本的技術(shù)而周知。
其他配線、及圖19的供給泵15和負(fù)壓泵41的電源線如圖20(A)(B) 所示，通過線纜護(hù)線鏈82直接與固定側(cè)接線。
如上所述，比較圖20 (A)和(B)可知，作為向移動(dòng)側(cè)供給液體、 氣體或電氣的機(jī)構(gòu)，使用線纜護(hù)線鏈，但為了高精度地控制打印頭72的 移動(dòng)，使收容于線纜護(hù)線鏈82內(nèi)的配線根數(shù)為最小限度。在圖20 (B) 中，若打印頭73的配設(shè)數(shù)目增加，則電線束95的根數(shù)也正比于此而增加， 事實(shí)上不能實(shí)現(xiàn)膜涂敷裝置。對(duì)此，在圖20 (A)中，即使打印頭73的 配設(shè)數(shù)目增加，也將電線束95接線至位于移動(dòng)側(cè)的涂敷控制部94即可， 不需要增加收容于線纜護(hù)線鏈82的配線根數(shù)。從而，電源關(guān)系的多根配 線在不共用化的情況下與固定側(cè)直接接線，但根數(shù)上絕對(duì)多的數(shù)據(jù)關(guān)系的 配線可以利用串口傳入，并口傳出移位寄存器，利用高速傳送線匯集為一 根。
即使將圖19的配管的總根數(shù)和圖20 (A)的電線的總根數(shù)加起來， 也是能夠充分收容于線纜護(hù)線鏈82的總計(jì)根數(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)具備多個(gè)打印 頭73，且大型、能夠高精度移動(dòng)控制的移動(dòng)式打印頭單元72。
本發(fā)明如上所述，通過利用高精度移動(dòng)控制使在被涂敷物G的整個(gè)寬 度上排列多個(gè)的打印頭73，在與所述排列方向正交的方向上移動(dòng)被涂敷物 G的長度的量依次，被涂敷物的整個(gè)表面沒有膜的間隙，從而能夠形成膜 厚完全沒有不均的均勻壓力的良好的涂敷面。
其次，關(guān)于墨槽1的液面的擺動(dòng)防止，如圖21所示，將墨槽1的移 動(dòng)方向?qū)挾菻制作為薄，并且在墨槽1內(nèi)以垂直截?cái)嗤糠笠好娴男问较嗷?平行地設(shè)置多張緩沖板100。進(jìn)而，控制打印頭單元的移動(dòng)速度，使墨槽 l的液面不大幅度搖擺。具體來說，控制打印頭單元在被涂敷物G的長邊 方向上進(jìn)行開始移動(dòng)的起動(dòng)時(shí)的加速度。利用這樣的兩個(gè)對(duì)策，使墨槽1 的液面不擺動(dòng)，從而不產(chǎn)生泡，能夠以穩(wěn)定的彎月面(meniscus)壓力， 從墨槽1向打印頭73供給涂敷液。由此，自打印頭73的涂敷液噴出穩(wěn)定， 點(diǎn)狀涂膜的厚度均勻化。
涂敷液從圖19的供給槽12，通過墨槽1向打印頭73供給，但如果在墨槽l中液體擺動(dòng)，則涂敷液的脫氣度減低。為了彌補(bǔ)這個(gè)，需要將小型 的脫氣機(jī)構(gòu)5安裝于打印頭73的附近。
通過向打印頭73供給已脫氣涂敷液，能夠從打印頭73噴出穩(wěn)定的涂敷液。
在圖19的墨槽1或打印頭73移動(dòng)的情況下，若作為打印頭73的內(nèi) 部壓力的彎月面壓力不穩(wěn)定，則自打印頭73的涂敷液噴出不穩(wěn)定。
從而，通過圖19的負(fù)壓泵41高精度地(希望脈動(dòng)壓力+5Pa以下)控 制墨槽1和打印頭73的彎月面壓力，，能夠使打印頭73的涂敷液噴出穩(wěn) 定。
其次，對(duì)從墨槽1至打印頭73的涂敷液的供給進(jìn)行詳細(xì)說明。關(guān)于 墨槽1內(nèi)的涂敷液的貯存量的控制，利用供給泵15的運(yùn)行，從忙存大容 量的涂敷液的供給槽12通過處于開閥狀態(tài)的供給閥14向墨槽1供給涂敷 液。在這種情況下，墨槽1內(nèi)的涂敷液的液面的高低利用電平開關(guān)16控 制，因此，將墨槽l內(nèi)時(shí)常維持為貯存規(guī)定量的涂敷液的狀態(tài)。
其次，在從墨槽1向多個(gè)打印頭73輸送涂敷液的情況下，將壓力控 制配管29上的放出閥33、和壓力可變基配管25上的槽閥26以開閥的狀 態(tài)向墨槽l內(nèi)的液面的上部空間押送氮等氣體，使所述內(nèi)壓上升。在這樣 的狀態(tài)下，將共通送液配管2上的送液閥7及回收閥10、和旁路配管18a (共通流氣配管18)上的氣體放出閥23開閥，將墨槽1內(nèi)的涂敷液通過 共通送液配管2及各個(gè)個(gè)別送液配管3送至各打印頭73。此時(shí)，與涂敷液 一同在共通送液配管2內(nèi)輸送的氣體通過回收閥IO流入旁路配管18a(共 通流氣配管18)，放出在大氣中，并且各打印頭73內(nèi)的氣體通過各個(gè)流動(dòng) 氣體配管19流入旁路配管18a，通過氣體放出閥23放出到大氣中。
然后，通過連續(xù)輸送涂敷液，向各打印頭73填充涂敷液，但在該時(shí) 刻下，由于共通流氣配管18的旁路配管18a的存在下，各打印頭73的內(nèi) 壓被均勻化，因此，涂敷液被均勻地填充于各打印頭37中。還有，涂敷 液從共通送液配管2通過回收閥10到達(dá)回收傳感器11的時(shí)刻下，將回收 閥關(guān)閉。進(jìn)而，液體填充確認(rèn)傳感器21檢測出涂敷液在送液流動(dòng)配管20 內(nèi)上升至規(guī)定位置的時(shí)刻下，關(guān)閉氣體放氣闊23，并且在填充于各打印頭 73的涂敷液到達(dá)各打印頭73的噴嘴而滴落的時(shí)刻下，關(guān)閉放氣閥33和送液閥7，由此結(jié)束從墨槽l向各打印頭73的送液動(dòng)作。在這種情況下，墨 槽1的液面位置和液體填充確認(rèn)傳感器21的設(shè)置位置設(shè)定為同一或大致 同一高度位置，因此，各個(gè)別流動(dòng)氣體配管19內(nèi)成為涂敷液上升至與液 體填充確認(rèn)傳感器21的設(shè)置位置同一或大致同一的高度位置。
在該時(shí)刻下，各打印頭73和墨槽1的內(nèi)部成為加壓狀態(tài)，因此，首 先打開大氣開放閥37，使這些內(nèi)壓成為大氣壓狀態(tài)。在這種情況下，大氣 開放調(diào)節(jié)器35以O(shè).lkPa時(shí)常通過輔助分支配管38向大氣中放出氮，使大 氣不逆流，因此，輔助分支配管38處于大致大氣壓狀態(tài)，通過大氣開放 閥37減壓為大氣壓狀態(tài)。然后，關(guān)閉大氣開放閥37，并且打開負(fù)壓閥42、 槽閥26、旁通閥27、和送液閥7，由此利用負(fù)壓泵41的動(dòng)作，將各打印 頭73的內(nèi)壓降至規(guī)定的負(fù)壓，由此形成能夠從打印頭73的噴嘴適當(dāng)?shù)貒?出涂敷液的狀態(tài)。在該時(shí)刻下，各打印頭73內(nèi)的涂敷液受到作用于墨槽1 內(nèi)的液面的上部空間的負(fù)壓，和作用于旁路配管18a的負(fù)壓的影響，因而， 對(duì)于這些各打印頭73內(nèi)的涂敷液，負(fù)壓均勻且響應(yīng)性良好并且穩(wěn)定的作 用。
權(quán)利要求
1.一種噴墨頭，其特征在于，以將噴嘴的位置相互地錯(cuò)開噴嘴間距的1/n間距的方式，n個(gè)并列地配設(shè)線型噴墨嘴，該線型噴墨嘴將噴出液狀材料的噴嘴一列地配設(shè)。
2. —種噴墨頭，其特征在于，以沿配設(shè)線型噴墨嘴的噴嘴的方向交錯(cuò)狀地、相互不同地錯(cuò)開位置的 方式串聯(lián)地配設(shè)噴墨嘴單元，所述噴墨嘴單元以將噴嘴的位置相互地錯(cuò)開 噴嘴間距的1/n間距的方式，n個(gè)并列地配設(shè)所述線型噴墨嘴，且所述線 型噴墨嘴將噴出液狀材料的噴嘴一列地配設(shè)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴墨頭，其特征在于，具備安裝軸，該安裝軸一直線地形成作為噴墨嘴單元安裝位置的基準(zhǔn) 的基準(zhǔn)平面，并且將所述各噴墨嘴單元與安裝軸的基準(zhǔn)平面對(duì)位地安裝。
4. 一種線型噴墨嘴的位置調(diào)整方法，其是權(quán)利要求1中所述的噴墨 頭的并列地配設(shè)的線型噴墨嘴的位置調(diào)整方法，其特征在于，基于由照相機(jī)對(duì)并列地配設(shè)的各線型噴墨嘴進(jìn)行拍攝后的圖像，將線 型噴墨嘴調(diào)整到應(yīng)被安裝的位置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的線型噴墨嘴的位置調(diào)整方法，其特征在于， 在由所述照相機(jī)拍攝的圖像中，在線型噴墨嘴的任意選擇的部位應(yīng)位于的位置處顯示標(biāo)記，并通過將線型噴墨嘴的所述選擇的部位與所述標(biāo)記 重合，將線型噴墨嘴調(diào)整到應(yīng)被安裝的位置。
6. —種噴墨嘴單元的位置調(diào)整方法，其是權(quán)利要求2中所述的噴墨 頭的噴墨嘴單元的位置調(diào)整方法，其特征在于，使用形成有作為噴墨嘴單元的安裝位置的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)平面的安裝軸， 并將所述各噴墨嘴單元與所述安裝軸的基準(zhǔn)平面對(duì)位地安裝。
7. —種間隙計(jì)算方法，其特征在于，包括第一距離測定工序，其與噴墨嘴相對(duì)地配設(shè)測長器，并測定噴 墨嘴與測長器之間的距離；第二距離測定工序，其在被涂敷物之上載置基板，并使所述基板與所 述測長器對(duì)置，從而測定基板與測長器之間的距離，由所述第一距離測定工序測定的噴墨嘴與測長器之間的距離，與由所 述第二距離測定工序測定的基板與測長器之間的距離的差，計(jì)算噴墨嘴與 被涂敷物之間的間隙。
8. —種噴墨嘴的位置調(diào)整方法，其特征在于，基于由所述間隙計(jì)算方法計(jì)算出的、噴墨嘴與被涂敷物之間的間隙， 調(diào)整噴墨嘴與被涂敷物之間的距離。
9. 一種取向膜形成裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求1或2所述的噴墨頭。
10. —種噴墨頭的噴出異常檢測方法，其特征在于，基于拍攝從噴墨頭的噴嘴噴出的液狀材料后的圖像，在噴嘴的噴出方 向的至少兩處以上的位置計(jì)算液狀材料的位置或液幅，從而檢測噴嘴的噴 出異常。
11. 一種噴出異常檢測裝置，其檢測具備噴出液狀材料的噴嘴的噴墨 頭的液狀材料的噴出異常，其特征在于，具備照相機(jī)，其以從相對(duì)于所述噴墨頭的噴嘴的噴出方向正交的方向，對(duì)從噴嘴噴出的液狀材料進(jìn)行拍攝的方式進(jìn)行配設(shè)；計(jì)算部，其基于由所述照相機(jī)拍攝的圖像，在噴嘴的噴出方向的至少兩處以上的位置計(jì)算液狀材料的位置或液幅；噴出異常檢測部，其基于由所述計(jì)算部計(jì)算出的液狀材料的位置或液 幅的計(jì)算值，檢測噴嘴的噴出異常。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴墨頭的噴出異常檢測裝置，其特征在于，具備光源，該光源以相對(duì)于從所述噴嘴噴出的液狀材料，在照相機(jī)的 相反側(cè)與照相機(jī)對(duì)置，并且，投射的直接光不入射照相機(jī)的取景器的方式 來配設(shè)，通過所述照相機(jī)捕捉從所述光源投射、并由從噴嘴噴出的液狀材料折 射后的折射光，對(duì)液狀材料進(jìn)行拍攝。
13. —種噴墨頭的噴出異常檢測裝置，其基于從噴墨頭噴出的液狀材料的圖像，檢測噴出異常，其特征在于，具備照相機(jī)，其以從相對(duì)于所述噴墨頭的噴嘴的噴出方向正交的方向，對(duì) 從噴嘴噴出的液狀材料進(jìn)行拍攝的方式進(jìn)行配設(shè)；光源，其以相對(duì)于從所述噴嘴噴出的液狀材料，在照相機(jī)的相反側(cè)與 照相機(jī)對(duì)置，并且，投射的直接光不入射照相機(jī)的取景器的方式來配設(shè)，從所述光源投射的光由從噴嘴噴出的液狀材料折射后的折射光被照 相機(jī)捕捉，從而對(duì)液狀材料進(jìn)行拍攝。
14. 一種膜形成方法，其使用噴墨頭噴出液狀材料，在被涂敷物上形 成均勻的膜，其特征在于，包括膜厚設(shè)定工序，其設(shè)定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚； 試噴出工序，其考慮所述噴墨頭的噴出特性，調(diào)整噴出液滴量和點(diǎn)間 距，并且以任意選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案對(duì)膜形成區(qū)域試噴出液狀材料；濃淡等級(jí)分布圖生成工序，其基于在所述試噴出工序中形成的膜的厚 度，為了以膜厚設(shè)定工序中設(shè)定的膜厚來形成厚度均勻的膜，對(duì)于在被涂 敷物上形成膜的膜形成區(qū)域，生成按單位面積設(shè)定噴出的液狀材料的灰度 圖案的濃淡等級(jí)的分布圖；膜形成工序，其維持在所述試噴出工序中調(diào)整后的噴出液滴量和點(diǎn)間 距，同時(shí)以基于在濃淡等級(jí)分布圖生成工序中生成的濃淡等級(jí)分布圖的濃 淡等級(jí)的灰度圖案，向被涂敷物噴出液狀材料，從而在被涂敷物上形成膜。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于， 在所述試噴出工序中，基于在膜厚設(shè)定工序中設(shè)定的膜厚，選定噴出液滴量、點(diǎn)間距及灰度圖案的濃淡等級(jí)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于，所述濃淡等級(jí)分布圖生成工序?qū)τ谠诒煌糠笪锷闲纬傻哪さ闹芫壊浚?生成按單位面積設(shè)定噴出的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)的分布圖。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于，在30%以上且不足100%的范圍內(nèi)選擇所述試噴出工序中的灰度圖案 的濃淡等級(jí)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于，在所述試噴出工序中，選擇濃淡等級(jí)50%的灰度圖案。
19. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于， 所述濃淡等級(jí)分布圖生成工序?qū)υ诒煌糠笪锷闲纬傻哪さ闹芫壊可蓾獾燃?jí)分布圖時(shí)，對(duì)于任意選擇的邊緣部和角部分別按單位面積生成 設(shè)定了噴出的液狀材料的灰度圖案的濃淡等級(jí)的分布圖，并且分別復(fù)制到 各邊緣部和角部，從而生成濃淡等級(jí)分布圖。
20. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的膜形成方法，其特征在于， 在所述膜形成工序中形成膜后，進(jìn)而，將在膜形成工序中形成的膜作為在試噴出工序中形成的膜，再次進(jìn)行濃淡等級(jí)分布圖生成工序及膜形成 工序，并重復(fù)一或數(shù)次此過程。
21. —種膜形成裝置，其使用噴墨頭噴出液狀材料，在被涂敷物上形 成均勻的膜，其特征在于，具備-膜厚設(shè)定部，其設(shè)定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚，膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，其考慮所述噴墨頭的噴出特性，調(diào)整噴出液滴量和 點(diǎn)間距，并且以任意選擇的濃淡等級(jí)的灰度圖案對(duì)膜形成區(qū)域試噴出液狀 材料，并存儲(chǔ)由所述試噴出形成的膜的膜厚；濃淡等級(jí)分布圖生成部，其基于在所述膜厚數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的膜厚 數(shù)據(jù)，為了以由所述膜厚設(shè)定部設(shè)定的膜厚來形成厚度均勻的膜，對(duì)于在 被涂敷物上形成膜的膜形成區(qū)域，生成按單位面積設(shè)定噴出的液狀材料的 灰度圖案的濃淡等級(jí)的分布圖；膜形成部，其維持在所述試噴出時(shí)調(diào)整后的噴出液滴量和點(diǎn)間距，同 時(shí)以基于在濃淡等級(jí)分布圖生成工序中生成的濃淡等級(jí)分布圖的濃淡等 級(jí)的灰度圖案，向被涂敷物噴出液狀材料，從而在被涂敷物上形成膜。
22. —種膜涂敷裝置，其在被涂敷物表面上利用噴墨打印機(jī)形成涂敷 液的膜，其特征在于，具備在所述被涂敷物表面上可沿第一方向移動(dòng)的打印頭單元； 對(duì)于所述打印頭單元，在與所述第一方向正交的方向上，在整個(gè)涂敷 寬度上，連續(xù)地安裝的多個(gè)打印頭。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 當(dāng)將被涂敷物的長度設(shè)為L，打印頭的寬度設(shè)為P時(shí)，所述膜涂敷裝置的第一方向的長度實(shí)質(zhì)上在L+2P的范圍內(nèi)。
24. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 在固定側(cè)配設(shè)涂敷液用的供給槽、供給泵及回收槽，在與打印頭相同的移動(dòng)側(cè)配設(shè)涂敷液用的墨槽，由具有可彎性的供給配管連接所述供給泵 的噴出側(cè)和墨槽，并且由具有可彎性的回收配管連接所述打印頭和回收槽o
25. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 在與所述打印頭相同的移動(dòng)側(cè)，配設(shè)有涂敷液用的供給槽、供給泵、回收槽及涂敷液用的墨槽。
26. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 將向打印頭發(fā)送涂敷數(shù)據(jù)的多根信號(hào)線聚集于一根實(shí)時(shí)傳送的傳送線，并且在傳送線的末端連接串行輸入*并行輸出的移位寄存器型中繼基 板，并從所述中繼基板向各打印頭配送涂敷數(shù)據(jù)。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 將連結(jié)固定側(cè)和移動(dòng)側(cè)的打印頭單元之間的配管系及配線系收容在一個(gè)線纜護(hù)線鏈內(nèi)。
28. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 將積存打印頭用的涂敷液的墨槽搭載于打印頭單元，并且，在所述墨槽內(nèi)的涂敷液面上，在與所述第二方向正交的方向上，豎立設(shè)置有擋板。
29. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 將分別與多個(gè)打印頭連通的涂敷液供給用的多個(gè)單獨(dú)送液配管并列地連接于與積存一種涂敷液的一個(gè)墨槽連通的共通送液配管，并且將與所 述各共通送液配管和多個(gè)單獨(dú)送液配管的各連接部或各打印頭或者他們 各兩者之間連通的可氣體流通的單獨(dú)流氣配管連接于可對(duì)大氣開放或關(guān) 閉的共通流氣配管。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 使氣體從所述共通送液配管與最下游端的單獨(dú)流氣配管的連接部或者其附近排出到所述共通流氣配管。
31. 根據(jù)權(quán)利要求30所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 在所述共通流氣配管上連接與負(fù)壓源連通的負(fù)壓配管。
32. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 所述共通流氣配管具有與所述負(fù)壓配管連通的旁路配管，并在該旁路配管上隔開規(guī)定間隔地連接所述各單獨(dú)流氣配管。
33. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 在所述墨槽的內(nèi)部空間上連接有壓送來自氣壓源的壓力氣體的壓力氣體供給配管。
34. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的膜涂敷裝置，其特征在于， 所述共通流氣配管在所述墨槽的液面的更上方位置沿水平方向延伸，并且所述各單獨(dú)流氣配管從該共通送液配管向下方延伸，同時(shí)，所述共通 送液配管位于所述共通流氣配管的更下方位置，并在所述各打印頭的上方 位置沿水平方向延伸，并且所述各單獨(dú)送液配管從該共通送液配管向下方 延伸。
35. —種膜涂敷方法，其是在被涂敷物表面上利用噴墨打印機(jī)形成涂 敷液的膜的方法，其特征在于，使用在所述被涂敷物表面上可沿第一方向移動(dòng)的打印頭單元，和對(duì)于 所述打印頭單元在與所述第一方向正交的方向上，在整個(gè)涂敷寬度上連續(xù) 地安裝的多個(gè)打印頭，使所述多個(gè)打印頭在第一方向上同時(shí)地移動(dòng)，從而 一次完成涂敷。
全文摘要
將一列地配設(shè)有噴出液狀材料的噴嘴(4)的n個(gè)線型噴墨嘴(2)，以將噴嘴(4)的位置錯(cuò)開噴嘴間距P1的1/n間距量的方式并列地配設(shè)。由此，噴墨頭(1)作為整體形成與一個(gè)按線型噴墨嘴2的1/n的噴嘴間距來配設(shè)噴嘴相當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。
文檔編號(hào)B41J2/01GK101247957SQ200580051399
公開日2008年8月20日 申請(qǐng)日期2005年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月24日
發(fā)明者中野輝幸, 小澤康博 申請(qǐng)人:株式會(huì)社石井表記