專利名稱：靜電噴墨頭和記錄設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電噴墨頭，以及利用這種靜電噴墨頭的記錄設(shè)備。
背景技術(shù)：
圖1是用于解釋利用靜電力的噴墨頭的主要部分的透視圖，本發(fā)明將要應(yīng)用于該噴墨頭上，而圖2是該主要部分的橫截面圖，該圖示出圖1所示的噴墨頭的致動器的結(jié)構(gòu)(在振動板長邊方向上的輪廓橫截面圖在圖1中線II-II處看到的剖面圖)。這些圖示出電極板10，該電極板10包括電極11；液體腔室板20，該液體腔室板20包括在液體腔室22切開槽時形成的振動板21、和將墨水供給到每個墨水腔室的公共液體腔室23；以及噴嘴板30，該噴嘴板30包括將墨水排放到液體腔室22內(nèi)的噴嘴31。電極板10、振動板(液體腔室板)20、以及噴嘴板30被層疊設(shè)置。(雖然圖1和圖2示出了側(cè)噴射器結(jié)構(gòu)，但是也可以使用端部噴射器結(jié)構(gòu))。在作用為墨水腔室22的一部分和公共液體腔室23的一部分的振動板20中，設(shè)置了與噴嘴3 1連接的墨水腔室22、以及振動板21，該振動板為導(dǎo)電的并且做得較薄，以便獲得較低的剛性，使得它是柔軟的。
電極板10包括單個電極11，該電極安裝成面對振動板21，并且在墨水腔室的外側(cè)距振動板有一個預(yù)定間隙。雖然用于防止與振動板21短路等的保護膜12形成在單個電極11上，如果需要的話，保護膜也可以形成在振動板21的背面(在面對電極的一側(cè)上)。
如圖1所示，多個如圖2所示的致動器安裝在將應(yīng)用本發(fā)明的靜電噴墨頭之內(nèi)，并且墨滴(ink drop)從每個致動器排出。
在圖1和圖2中，當(dāng)電壓施加到振動板21和單個電極11之間時，振動板21由靜電力朝電極11偏移。當(dāng)電壓去除時，振動板21返回到先前位置，即，返回到施加電壓之前的位置。靜電噴墨頭利用這個響應(yīng)振動板21的靜電力的機械特性作為墨水噴射的墨水排出力。在每個致動器中，由電極板10和振動板20形成的空間40被稱為間隙腔室，而由振動板和電極板形成的作為間隙腔室一部分的空間被稱為振動腔室。
在如上所述的靜電噴墨頭中，振動板21做得較薄，使驅(qū)動電壓可以較低，該驅(qū)動電壓用于產(chǎn)生在振動板21和單個電極11之間讓振動板21偏移的靜電力，電壓施加在靜電致動器的振動板21和單個電極11之間。薄的振動板需要較低的驅(qū)動電壓，然而，振動板的剛性變低。在剛性較低的情況下，振動腔室和間隙腔室內(nèi)存在的空氣(或其他氣體)極大地影響振動板的特性。例如，當(dāng)振動板21靠近電極11時，空氣的壓縮阻力導(dǎo)致使振動板21接觸電極11所需的電壓(該電壓此后稱為接觸電壓)在動態(tài)情況下與靜態(tài)情況相比變大。對于這個問題，已經(jīng)研發(fā)了某些措施。例如，如日本臨時公開第7-299908號已經(jīng)公開，其中，除了振動腔室之外，間隙腔室設(shè)置成當(dāng)振動板朝向電極側(cè)偏移時使空氣溢出，從而抑制了空氣的壓縮阻力。
本發(fā)明致力于解決另一重要問題，如下面所解釋的，該問題是由于如上所述存在空氣。
圖3的部分A到D示出靜電噴墨頭的主要部分的概要結(jié)構(gòu)，用于解釋本發(fā)明要解決的問題。圖3的部分A和B示出當(dāng)驅(qū)動頻率低時振動板的實際偏移范圍(L)。圖3的部分C和D示出當(dāng)驅(qū)動頻率高時振動板的實際偏移范圍(1)。
圖3的部分A和C示出在振動板長邊方向的剖面圖。圖3的部分B和D示出在振動板短邊方向的剖面圖。傳統(tǒng)靜電噴墨頭的振動板需要在大到10kHz的范圍內(nèi)動態(tài)振動。由于振動板和電極之間的空間較窄，其中振動板如上所述以高速振動，因此，振動板21在朝向電極11運動的周期內(nèi)受到空氣的壓縮阻力。一部分空氣隨著振動溢出到振動板30的外側(cè)(如箭頭所示)。這個現(xiàn)象稱為擠壓效應(yīng)(squeezing effect)。然后，在去除電壓并且振動板21與電極11分離時，振動腔室30的內(nèi)側(cè)還原(reduce)到與大氣相比的負壓狀態(tài)。由此，振動板21返回的位置成為比原始位置更靠近電極11的位置。在此，在一定的單位周期內(nèi)從振動腔室40內(nèi)擠出的空氣量與振動板21接觸電極11的周期的增大成比例地增大。即，驅(qū)動頻率越高，驅(qū)動電脈沖的寬度越寬，從振動腔室擠出到外側(cè)的空氣的量越大，并且振動腔室的負壓越大，使得電脈沖斷開時振動板返回的位置更靠近電極。
圖9示出一個示例(與平行間隙(parallel gap)相關(guān)的接觸周期)。這個圖示出沿著致動器的振動板短邊方向在中心位置測量的振動偏移的結(jié)果，該測量是通過激光多普勒振動計進行的。垂直軸代表偏移量δ，而水平軸代表驅(qū)動電壓的大小，其中，驅(qū)動電壓的波形為矩形。δ-v特性用作為參數(shù)的驅(qū)動頻率來表示。存在如下的區(qū)域，即在該區(qū)域處偏移量在特定電壓下飽和。飽和的偏移量被稱為接觸偏移量。
參照圖9，驅(qū)動頻率越高，則從振動腔室內(nèi)擠出且不能返回到振動腔室中的空氣量越大。由于這個原因，如圖3中部分C和D所表示的，振動板21更靠近電極11振動，使得電極和振動板之間的距離非常短，導(dǎo)致接觸電壓下降。從而，存在當(dāng)驅(qū)動頻率低時不造成問題而在驅(qū)動頻率高時并且在驅(qū)動電壓的脈沖寬度較寬時造成問題的現(xiàn)象。
雖然上述情況對于以至多10kHz工作的傳統(tǒng)靜電噴墨頭不成為問題，但是為用在將來的高速打印機上，這卻成為待提前解決的問題。然而，對于這個問題還沒有提出任何對策。
在此，該問題在于振動板與電極接觸的接觸驅(qū)動中，而在二者不接觸的非接觸驅(qū)動的情況下，并不產(chǎn)生如上所述的頻率相關(guān)問題，或者說并不存在這個問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于如上所述的當(dāng)前情況做出，并且本發(fā)明的目的是僅通過設(shè)置驅(qū)動電壓的波形來改善靜電致動器的頻率相關(guān)性。
本發(fā)明提供了一種靜電噴墨頭，該噴墨頭包括振動板、和面對振動板以預(yù)定間隙安裝的電極，其中，電脈沖施加在電極和振動板之間，以便振動板由靜電力偏移，并且通過振動板的機械彈性擠壓墨水腔室內(nèi)的墨水而排出墨滴，其中，象素是由一個電脈沖所排出的墨水形成，振動板和電極彼此接觸的周期與形成象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.97×PV)％，其中，PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉構(gòu)成的空間。
本發(fā)明還提供了一種靜電噴墨頭，以及面對振動板以預(yù)定間隙安裝的電極，其中，電脈沖施加到電極和振動板之間，以便振動板由靜電力偏移，并且通過振動板的機械彈性擠壓墨水腔室內(nèi)的墨水而排出墨滴；其中，象素是由多個電脈沖所排出的模式形成，振動板與電極彼此接觸的周期與形成象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.97×PV)％，其中，PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉構(gòu)成的空間。
本發(fā)明還提供了一種靜電噴墨頭，其包括噴嘴、連接到噴嘴上的墨水腔室、構(gòu)成公共電極的振動板、安裝在墨水腔室外側(cè)并以預(yù)定間隙面對振動板的單個電極、以及從噴嘴中排出墨滴的多個靜電致動器，墨水在墨水腔室內(nèi)，并受到由于施加到振動板和單個電極之間的電脈沖使振動板產(chǎn)生的靜電力變形時而隨之產(chǎn)生的振動板的機械彈性力所擠壓，其中，振動板與電極彼此接觸的周期與形成象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.79×PV)％，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板所封閉的空間。
本發(fā)明還提供了如上所述的靜電噴墨頭，其中，在形成一個象素時，一個電脈沖施加到振動板和單個電極之間。
本發(fā)明還提供了如上所述的靜電噴墨頭，其中，當(dāng)形成一個象素時，多個電脈沖施加到振動板和單個電極之間。
本發(fā)明提供了一種噴墨記錄設(shè)備，其包括如上所述的靜電噴墨頭，其中靜電噴墨頭面對記錄紙，以便通過噴射墨滴進行記錄。


圖1是用于解釋利用靜電力的噴墨頭的主要部分的透視圖，本發(fā)明要應(yīng)用于該噴墨頭上；圖2示出圖1中所示的噴墨頭致動器的主要部分的結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖3示出用于解釋本發(fā)明主題的靜電噴墨頭的主要部分的概要結(jié)構(gòu)；圖4示出施加在振動板和單個電極之間的驅(qū)動電脈沖的一個示例；圖5示出所試驗的靜電噴墨頭的間隙類型的輪廓圖；圖6示出沿著振動板長邊方向的平行間隙類型致動器的偏移測量結(jié)果；圖7示出沿著振動板短邊方向的非平行間隙G1形式的致動器的偏移測量結(jié)果；圖8示出沿著振動板短邊方向的非平行間隙G2形式的致動器的偏移測量結(jié)果；圖9示出由多普勒振動計在振動板短邊方向的中心處測得的平行間隙致動器的振動偏移量(接觸周期為4.0微秒)的測量結(jié)果；圖10示出由多普勒振動計在振動板短邊方向的中心處測得的平行間隙致動器的振動偏移量(接觸周期為6.0微秒)的測量結(jié)果；圖11示出由多普勒振動計在振動板短邊方向的中心處測得的平行間隙致動器的振動偏移量(接觸周期為10.0微秒)的測量結(jié)果；圖12示出由多普勒振動計在振動板短邊方向的中心處測得的平行間隙致動器的振動偏移量(接觸周期為20.0微秒)的測量結(jié)果；圖13示出非平行間隙G1形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為2.8微秒；圖14示出非平行間隙G1形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為4.8微秒；圖15示出非平行間隙G1形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為8.8微秒；圖16示出非平行間隙G2形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為4.0微秒；圖17示出非平行間隙G2形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為6.0微秒；圖18示出非平行間隙G2形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為10.0微秒；圖19示出非平行間隙G2形式的接觸周期相關(guān)性，接觸周期為20.0微秒。
具體實施例方式
本發(fā)明提供了一種如圖1和2所示的靜電噴墨頭，其包括噴嘴3 1、連接到噴嘴31上的墨水腔室22、形成為墨水腔室22的一部分以及公共電極的一部分的振動板21、以及面對振動板21設(shè)置并與墨水腔室22分隔開預(yù)定間隙的單個電極11，并且還包括多個靜電致動器，它們能夠通過在振動板21和單個電極11之間加了電脈沖產(chǎn)生變形的振動板21在除去電壓后由于機械彈性復(fù)位時從噴嘴31中排出墨水，其中，在由電脈沖形成象素時，通過使振動板和電極相互接觸的周期小于形成象素所需的周期的(200-2.79×PV)％而極大地抑制頻率相關(guān)性，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極板所封閉的空間。
圖4的部分A、B和C示出施加到振動板和單個電極之間的驅(qū)動電脈沖的示例。對于一個象素，可以施加一個脈沖或多個脈沖作為驅(qū)動電壓。圖4的部分A示出一個驅(qū)動脈沖形成一個象素的示例。圖4的部分B示出如下的示例，其中使用正和負脈沖二者(負脈沖也偏移振動板)(施加正和負脈沖來去除靜電噴墨頭特有的殘留電荷)。圖4的部分C示出在形成一個象素時使用多個脈沖(即多個墨滴)的示例。在此，當(dāng)通過多個脈沖形成一個象素時，墨點不必要是圓形的，而且墨點不必完好融合以便在記錄介質(zhì)上形成一個點，而是該結(jié)構(gòu)為使得多個微小的點大致形成一個點。此外，雖然沒有示出，該結(jié)構(gòu)可以為在不排出墨水的周期內(nèi)施加非零電壓。
在此，在本發(fā)明中，驅(qū)動電壓為振動板接觸到電極時的電壓。在每個象素一個脈沖的情況下，進行一次接觸以形成一個象素。在每個象素n個脈沖的情況下，進行n次接觸來形成一個象素。例如，在圖4的部分A和B所示的示例中，每個象素施加一個脈沖，且最高的驅(qū)動頻率為1/T(其中T為形成一個象素所需的周期)。另一方面，在圖4的部分C所示的示例中，施加多個脈沖來形成一個象素，而最高驅(qū)動頻率為1/T1。
如上所述，本發(fā)明將振動板與電極相接觸的周期控制成等于或短于作為形成一個象素所需周期的T的(200-2.79×PV)％，其中，PV是在T過程中，即在形成一個象素所需的周期內(nèi)，振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極板封閉的空間。在圖4的部分C的情況下，即使振動板與電極相接觸的周期比對應(yīng)于最高驅(qū)動頻率的T1的(200-2.79×PV)％長，只要它短于T的(200-2.79×PV)％，則也可以獲得本發(fā)明的效果，即抑制頻率相關(guān)性。在此，將在下面的實施例的描述中解釋(200-2.79×PV)％這個值的來歷。
為了致動，靜電頭的擠壓效果與振動板與電極接觸的周期在一個象素形成周期內(nèi)的比率相關(guān)，即，驅(qū)動頻率不是唯一的分量。即，上述頻率相關(guān)性代表接觸周期與一個象素形成周期的相關(guān)性的一個分量(此后描述為對接觸周期/象素形成周期的相關(guān)性)。在此，對接觸周期/象素形成周期的相關(guān)性是用于形成一個象素的周期，包括多個墨滴被識別為一個象素的情況，即使所形成的點不是圓形的，或者不是一個點。
驅(qū)動頻率設(shè)定得越高，可以設(shè)定驅(qū)動電壓的脈沖寬度的范圍越窄。結(jié)果，由于噴墨頭結(jié)構(gòu)造成的特定的振動頻率、彎液面振動(meniscus vibration)等，不能選擇出可最好地進行墨水排出的最佳脈沖寬度。然而，當(dāng)采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)時，可以明顯地改善總的墨水排出效率和頻率特性，即使墨水的排出并非在最佳條件下進行。
決定圖象質(zhì)量的一個重要的參數(shù)是點直徑，這是由偏移減小的可允許范圍所決定的。點直徑取決于很多參數(shù)，如墨水體積、噴射速度、記錄紙質(zhì)量、和其他環(huán)境因素，并且用相同的墨滴體積，圖片上的點直徑也可以不同。至于點直徑偏差的分布，不存在一個可允許的總的接受范圍。在本發(fā)明中，點直徑的誤差容許等級設(shè)定為±10％。此外，假設(shè)墨水體積線性決定墨水在記錄紙上的擴散面積。那么，墨水體積需要在0.9025(即0.95×0.95)×M和1.1025(即1.05×1.05)×M之間的范圍內(nèi)，這給出大約±10％的范圍，其中M代表理想的墨水體積，而R代表點的半徑，對于R的公差為±5％。由于在靜電噴墨頭中，縱橫比(振動板的寬度/間隙)為100或更大，振動板的偏移量的偏移比幾乎等于消耗體積的比。因此，為了將點直徑的變化抑制在±10％的范圍內(nèi)，振動板的偏移比應(yīng)抑制在±10％的范圍內(nèi)。
靜電致動器的說明噴墨頭的基本結(jié)構(gòu)如圖1和2所示。電極板10蝕刻成形成一個間隙腔室，同時利用TiN形成單個電極薄膜11。由SiO制成的保護膜12形成在電極上。此外，Si板20蝕刻成形成一個液體腔室22。以這種方式形成的薄板用作振動板21。上述兩個板連接到一起，以作用為一個靜電頭40。
圖5示出作為一個試驗的靜電噴墨頭的間隙類型的輪廓。在A處，圖5示出由平行于振動板21安裝的單個電極11形成的平行間隙G。在B處，圖5示出由振動板21和電極11形成的非平行間隙G1，其中，在振動板短邊方向上的一端幾乎接觸到電極。在C處，圖5示出由振動板21和電極11形成的非平行間隙G2，其中，在振動板短邊方向上的兩個端部都幾乎接觸電極。
致動器的主要尺寸如下。在此，僅對于非平行間隙G1，氧化膜形成在振動板21的背面上，作為保護膜。
平行間隙噴墨頭(圖5中的A)振動板和電極之間的間隙在圖5的A處示出的平行間隙G間隙長度0.2μm(規(guī)格0.2μm)
振動板厚度(規(guī)格)2.5μm振動板面積130μm×2000μm非平行間隙噴墨頭(圖5中的B)振動板和電極之間的間隙圖5的B處所示的非平行間隙G1最大間隙長度0.21μm(規(guī)格0.2μm)振動板厚度(規(guī)格)2.5μm振動板面積130μm×1000μm非平行間隙噴墨頭(圖5中的C)振動板和電極之間的間隙圖5中C所示的非平行間隙G2最大間隙長度0.23μm(規(guī)格0.25μm)振動板厚度(規(guī)格)2.5μm振動板面積125μm×2000μm圖6、圖7和圖8示出致動器的每種間隙類型的振動板在短邊方向上的偏移，且接觸周期設(shè)定在6微秒。圖9到圖12示出平行間隙G致動器的振動板在短邊方向的中心處(在圖6中a方向的0微米位置處)測得的振動偏移量，該偏移量由激光多普勒振動計測量。在圖9～圖12中，水平軸代表驅(qū)動電壓的大小，該驅(qū)動電壓的波形為矩形。在每條曲線和每種驅(qū)動條件下，存在偏移量的增加幾乎飽和的區(qū)域。圖13～圖15示出非平行間隙G1致動器在圖7中所示的a方向上的10微米位置處的偏移量。圖16～圖19示出非平行間隙G2致動器在圖8所示a方向上的0微米位置處的偏移量。
例如，如圖9所示，在驅(qū)動脈沖條件(上升時間Pr＝0、脈沖寬度Pw＝4、下降時間Pf＝0微秒)相同的同時，隨著頻率變高，振動板在接觸電極時的偏移量(稱為接觸偏移量)減小，并且接觸電壓變低。如上所述，這是由于擠壓效應(yīng)，并且為對靜電噴墨頭的[接觸周期/一個象素形成周期]的相關(guān)性。
圖9到圖19表明了以下事項。即，以驅(qū)動電壓的脈沖寬度變化和接觸周期作為參數(shù)而測得的偏移量不依賴于接觸周期，也不依賴于驅(qū)動頻率，而是大致依賴于[接觸周期/一個象素形成周期]。
在平行間隙G的情況下，圖9到圖12表明如果[接觸周期/一個象素形成周期]被控制成下降大約40％或更低，偏移量的減小可以抑制到大約10％。
類似地，如圖13～15所示，如果在非平行間隙G1的情況下[接觸周期/一個象素形成周期]被控制成下降約5.5％或更??；并且，如圖16到圖19所示，在非平行間隙G2的情況下，如果[接觸周期/一個象素形成周期]控制成下降大約25％或更小，則偏移量的減小可以抑制到約10％。
可以認為對[接觸周期/一個象素形成周期]的相關(guān)性取決于當(dāng)振動板從電源斷開的位置偏移時所產(chǎn)生的偏移容積V1與振動腔室的容積V0的比。當(dāng)振動板的長邊遠長于短邊時，V1/V0可以大致為S1/S0，其中S0是間隙面積，而S1是振動板從電源斷開時的位置偏移所產(chǎn)生的偏移面積，如圖5的部分D所示，該部分D為短邊方向的橫截面。
下面的表1表明了在對于圖6到圖8所示的每種間隙類型的致動器偏移獲得S0和S1之后，在實際使用電壓范圍內(nèi)通過計算S1/S0所獲得的V1/V0的大致值。
表1在每種間隙類型致動器中的S1/S0比

同時，從圖10、圖14和圖17獲得對于每種間隙類型的偏移量減小10％情況下的[接觸周期/一個象素形成周期]的比，并在下面的表2中給出表2在偏移量減小10％的情況下對于每種間隙類型的致動器的[接觸周期/一個象素形成周期]值


對應(yīng)用最低實際電壓，即58(平行間隙G)、69(非平行間隙G1)、和64(非平行間隙G2)的S1/S0×100(％)的值、以及表2的結(jié)果繪于曲線中。然后，進行線性逼近。然后，作為結(jié)果得出以下的關(guān)系表達式。
即，如果PT(％)在(200-2.79×PV)的界限內(nèi)取值，則由擠壓效果造成的偏移量的減小可以抑制到不造成問題的程度，其中PV(％)是振動板的偏移容積與振動板和電極封閉的空間的容積的比，而PT(％)是振動板與電極接觸的周期與形成象素的周期的比。
靜電噴墨頭的頻率特性得以顯著改善，墨水排出特性的穩(wěn)定性得以提高，結(jié)果，噴墨頭的可靠性通過正確設(shè)定施加到靜電噴墨頭的振動板和單個電極之間的電脈沖的周期與形成一個象素的周期(基本上為周期中振動板與電極接觸的那部分)的比，并通過正確設(shè)定間隙腔室容積與振動腔室容積的比來得以提高。
權(quán)利要求
1.一種靜電噴墨頭，包括振動板；以及面對振動板以預(yù)定間隙安裝的電極；其中，一電脈沖施加到所述電極和振動板之間，以便振動板由靜電力偏移，并且通過振動板的機械彈性擠壓墨水腔室內(nèi)的墨水而排出一個墨滴；其中，一象素是通過由一個電脈沖排出的墨水所形成；并且，振動板與電極彼此接觸的周期與形成一個象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.79×PV)％，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉的空間。
2.一種靜電噴墨頭，包括振動板；以及面對振動板以預(yù)定間隙安裝的電極；其中，一電脈沖施加到所述電極和振動板之間，以便振動板由靜電力偏移，并且通過振動板的機械彈性擠壓墨水腔室內(nèi)的墨水而排出一個墨滴；其中，象素是通過由多個電脈沖排出的墨水所形成；并且，振動板與電極彼此接觸的周期與形成一個象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.79×PV)％，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉的空間。
3.一種靜電噴墨頭，包括噴嘴；連接到噴嘴上的墨水腔室；構(gòu)成公共電極的振動板；安裝到墨水腔室外側(cè)并以預(yù)定間隔面對振動板的單個電極；以及多個靜電致動器，它們從噴嘴中排出墨滴，墨水在墨水腔室內(nèi)，當(dāng)在振動板和單個電極之間施加的電脈沖產(chǎn)生靜電力造成振動板變型時，受到振動板的機械彈性的擠壓；其中，振動板與電極彼此接觸的周期與形成一個象素所需的周期的比PT等于或小于(200-2.79×PV)％，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉的空間。
4.如權(quán)利要求3所述的靜電噴墨頭，其中，在形成一個象素時，一個電脈沖施加到所述振動板和單個電極之間。
5.如權(quán)利要求3所述的靜電噴墨頭，其中，當(dāng)形成一個象素時，多個電脈沖施加到所述振動板和單個電極之間。
6.一種噴墨記錄設(shè)備，包括如權(quán)利要求1到5中任一項所述的靜電噴墨頭，其中靜電噴墨頭面對記錄紙，以便通過噴射墨滴進行記錄。
全文摘要
靜電致動器的頻率相關(guān)性通過設(shè)定驅(qū)動電壓波形加以改善。電極(11)面對構(gòu)成墨水腔室側(cè)壁表面的一部分的振動板(21)，并且振動板(21)和電極設(shè)置有預(yù)定間隙(40)。脈沖電壓施加到電極(11)和振動板(21)之間，通過靜電力使振動板(21)偏移，并通過振動板(21)的機械彈性給墨水腔室內(nèi)的墨水上加壓，從而噴射一個墨滴。振動板(21)振動，使得它接觸電極(11)，通過一個或多個電脈沖噴射墨水。振動板與電極接觸的周期與形成一個象素的周期的比被調(diào)整為等于或小于(200－2.79×PV)％，其中PV是振動板的偏移容積與振動腔室的容積的百分比，該振動腔室是由振動板和電極的板封閉的空間。
文檔編號B41J2/045GK1496308SQ0280629
公開日2004年5月12日 申請日期2002年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月20日
發(fā)明者田中慎二 申請人:株式會社理光