一種減反結(jié)構(gòu)和減反膜的制作方法
【專利摘要】一種減反結(jié)構(gòu)和減反膜，包括位于上下外側(cè)的兩層介質(zhì)層、位于中間的導(dǎo)電金屬層和分別夾在導(dǎo)電金屬層與兩層介質(zhì)層之間的兩層抗氧化金屬層，其中所述抗氧化金屬層為鋅或鈦。該減反結(jié)構(gòu)的實(shí)際物理厚度在幾十個(gè)納米的范圍，利用該減反結(jié)構(gòu)，選擇柔性基材，通過(guò)卷對(duì)卷磁控濺射的方法，實(shí)現(xiàn)具有優(yōu)異光學(xué)性能且厚度僅有幾十個(gè)納米的減反射膜的大規(guī)模生產(chǎn)，為克服傳統(tǒng)減反膜的缺點(diǎn)進(jìn)行大面積產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)指明一條新思路。
【專利說(shuō)明】一種減反結(jié)構(gòu)和減反膜
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)薄膜領(lǐng)域，特別是涉及一種包含金屬層的多層膜系減反結(jié)構(gòu)和減反膜。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，光在兩種介質(zhì)的界面上傳播會(huì)同時(shí)發(fā)生反射和折射。從能量的角度看，對(duì)于任何透明介質(zhì)，光的能量并不會(huì)全部透過(guò)界面，而是總有一部分從界面上反射回來(lái)。例如在空氣到PET基材的界面上正入射時(shí)，反射光能約占入射光能的6%。在實(shí)際應(yīng)用中，有時(shí)候需要采用多層結(jié)構(gòu)，這樣會(huì)造成更大的光能損失。此外，這些反射光在顯示過(guò)程中還會(huì)產(chǎn)生有害的雜光，影響成像的清晰度。為了避免這種情況，通常在表面鍍上減反射膜(又稱為增透膜)，它的主要作用是減少或消除光學(xué)膜散射和反射的雜光，增加柔性材料光學(xué)膜的透光量。為了便于理解，首先簡(jiǎn)單介紹增透膜的原理。
[0003]光在單層膜中的反射示意圖如圖1所示:
[0004]其中n1是空氣層的折射率，n是減反膜的折射率，n2是基材的折射率。假設(shè)入射光線的強(qiáng)度為1，空氣與薄膜界面的反射率為R1，薄膜與基材界面的反射率為R2，不考慮材料對(duì)光的吸收。光線a是入射光線經(jīng)過(guò)空氣與薄膜界面一次反射形成，則其光強(qiáng)為R1 ;光線b是由入射光線經(jīng)過(guò)空氣與薄膜界面兩次折射和薄膜與基底的界面一次反射形成，其光強(qiáng)為(1-R1)2R2 ;光線c是入射光線經(jīng)過(guò)空氣與薄膜的界面兩次折射、一次反射和薄膜與基底的界面兩次反射形成，其光強(qiáng)為(1-R1)2R1R2^
[0005]在入射角很小的情況下，
【權(quán)利要求】
1.一種減反結(jié)構(gòu),其特征在于:包括位于上下外側(cè)的兩層介質(zhì)層、位于中間的導(dǎo)電金屬層和分別夾在導(dǎo)電金屬層與兩層介質(zhì)層之間的兩層抗氧化金屬層，其中所述抗氧化金屬層為鋅或鈦。
2.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述兩層介質(zhì)層的總光學(xué)厚度為I個(gè)光學(xué)單位，且該兩層介質(zhì)層的光學(xué)厚度以中間的導(dǎo)電金屬層為鏡像對(duì)稱。
3.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述導(dǎo)電金屬層的厚度小于10nm，抗氧化金屬層的厚度在1-1Onm之間，且該兩層抗氧化金屬層以中間的導(dǎo)電金屬層為鏡像對(duì)稱。
4.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述兩層介質(zhì)層的折射率分別大于2。
5.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述導(dǎo)電金屬層為金或銀。
6.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述減反結(jié)構(gòu)的方塊電阻小于10 Ω / 口。
7.如權(quán)利要求1所述的減反結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述介質(zhì)層的材質(zhì)為TiOx、NbOx、ZrOx、ZnOx、CeOx、TaOx、ZnSe 或 ZnS 中的一種。
8.一種減反膜，包括襯底，附著在該襯底一側(cè)的減反結(jié)構(gòu)，以及附著在襯底另一側(cè)的保護(hù)層，其特征在于:所述減反結(jié)構(gòu)為權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的減反結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的減反膜，其特征在于:所述襯底為柔性透明材質(zhì)。
10.如權(quán)利要求8所述的減反膜，其特征在于:所述保護(hù)層為光學(xué)膠。
【文檔編號(hào)】B32B15/04GK103744132SQ201410042064
【公開(kāi)日】2014年4月23日 申請(qǐng)日期:2014年1月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月28日
【發(fā)明者】于甄, 胡坤, 劉玉婷 申請(qǐng)人:張家港康得新光電材料有限公司