專利名稱：感光性層疊體制造裝置和制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將形成在支承體上的感光材料S貼附在襯底上后，剝離所述支承體，制造感光tiJi疊體的感光性層疊體制造裝置和制造方法。
技術(shù)背景在襯底表面貼附具有感光性樹脂層(感光材料層)的感光性板體(感光性板)，構(gòu)成例如液晶面板用襯底、印刷電路布線用襯底、PDP用襯底。 感光性板例如在撓性塑料支承體上按順序?qū)盈B感光性樹脂層和保護(hù)薄膜。在這種感光性板體的貼附1 f使用的制造裝置通常采用將玻璃襯底或 樹脂襯底等襯底分別分開規(guī)定的間隔，在薄片軋輥之間輸送，并且將剝離 與貼附在所述襯底上的感光性樹脂層的范圍對應(yīng)的保護(hù)薄膜的感光性板 體在所述薄片軋輥之間輸送的方式。例如，在專利第3316093號(hào)公報(bào)中描述的制造裝置中，如圖9所示， 從巻1抽出感光性板體2，向半切斷裝:覽3供給，以規(guī)定的間隔切斷在構(gòu) 成感光性板體2的支承體上層疊的保護(hù)薄膜和感光性樹脂層。接著，對保 護(hù)薄膜除去部4供給所述感光性板體2，使用粘膠帶等剝離與襯底5的貼 附范圍對應(yīng)的保護(hù)薄膜后，對熱壓接輥6a、 6b之間供給。而在熱壓接輥 6a、 6b之間搬入加熱的襯底5，剝離保護(hù)薄膜，通過露出的感光性樹脂層， 感光性板體2加熱壓接到襯底5的下面部。加熱壓接感光性板體2的襯底 5從熱壓接輥6a、 6b搬出后，提供給分離裝置7，切斷襯底5之間的感光 性板體2，制造感光性層疊體8。另外，在這樣分離的感光性層疊體8殘存支承體，進(jìn)行從襯底5剝離 該支承體的處理。剝離的支承體收容在支承體收容部中后廢棄。圖10是圖11是支承體的一般的剝離收容機(jī)構(gòu)的說明圖。在感光性層 疊體8殘存的支承體9由夾具10把持，從襯底5剝離后，落下到在下部待機(jī)的支承體收容部11而收容。這時(shí)，為了高效制造感光性層疊體8，需要從襯底5連續(xù)剝離支承體9，在支承體收容部11層疊收容多個(gè)支承體9后，將它們一起廢棄。因此， 支承體收容部11以能收容多個(gè)支承體9的方式較深地形成。但是，如果支承體收容部11變深，則支承體9的落下距離變長。這 時(shí)，支承體9由薄的撓性塑料形成，并且不由夾具10把持的端部是自由 端，所以收容到支承體收容部11中時(shí)，如圖11所示， 一部分彎曲，在支 承體收容部11中無法收容多個(gè)支承體9。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供高效地在支承體收容部中收容從襯底剝離的 支承體，由此能高效制造感光性層疊體的感光性層疊體制造裝置和制造方 法。此外，本發(fā)明的目的在于，提供不使支承體收容部大型化，能有效地 收容支承體的感光性層疊體制造裝置和制造方法。本發(fā)明提供一種感光性層疊體制造裝青，其在襯底上貼附形成在支承 體上的感光材料層后，剝離所述支承體，制造感光性層疊體，所述感光性層疊體制造裝置的特征在于，包括一對載置臺(tái)，其相對配置，在載置面載置被剝離的所述支承體； 載置臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述一對載置臺(tái)移動(dòng)而分開； 載置臺(tái)傾斜機(jī)構(gòu)，其使所述"^t載置臺(tái)的接近的各端部側(cè)向下方傾斜；支承體收容部，其配置在所述一對載置臺(tái)的下部，收容從通過所述載 置臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)分開的所述一對載置臺(tái)之間落下的所述支承體。此外，本發(fā)明提供—種感光性層疊體制造方法，其在襯底上貼附形成 在支承體上的感光材料層后，剝離所述支承體，制造感光性層疊體，所述 感光性層疊體制造方法的特征在于，包括在相對配置的一對載覽臺(tái)的載置面上載置被剝離的所述支承體的步驟；使載置有所述支承體的所述一對載置臺(tái)分開，并且使所述一對載置臺(tái)的接近的各端部側(cè)向下方傾斜的步驟；從分開的所述-"對載置臺(tái)之間，使所述支承體落下到配置在所述一對 載置臺(tái)的下部的支承體收容部中而收容的步驟。在本發(fā)明中，從襯底剝離的支承體暫且載置到一對載置臺(tái)后，使所述 一對載置臺(tái)分開，并且向下方傾斜，落下到支承體收容部而收容，由此支 承體不會(huì)彎曲，能在支承體收容部高效收容多個(gè)支承體。其結(jié)果，從支承 體收容部廢棄支承體的處理次數(shù)少，能高效制造感光性層疊體。此外，能 高效收容支承體，所以能小型地構(gòu)成支承體收容部。根據(jù)附圖以及以下的優(yōu)選實(shí)施方式例的說明，可更清楚地了解所述目 的、特征以及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本實(shí)施方式的層壓裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是層壓裝置中使用的長條狀感光性板的剖視圖。圖3是將粘接標(biāo)簽粘接到長條狀感光性板上的狀態(tài)的說明圖。圖4是分離的感光性層疊體的剖視圖。圖5是撓性基膜的剝離廢棄機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)立體圖。圖6是撓性基膜的剝離廢棄機(jī)構(gòu)的側(cè)面局部剖視圖。圖7是基膜收容部的剖視圖。圖8是撓性基膜的剝離廢棄機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。圖9是以往技術(shù)的制造裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖10是以往技術(shù)的支承體的剝離收容機(jī)構(gòu)的立體說明圖。圖11是以往技術(shù)的支承體的剝離收容機(jī)構(gòu)的剖視說明圖。具體實(shí)施方式

圖1是本實(shí)施方式的感光性層疊體制造裝置即層壓裝置20的概略結(jié) 構(gòu)圖，該層壓裝置20在液晶或有機(jī)EL用濾色器等的制作工序中，進(jìn)行將 由規(guī)定寬度尺寸構(gòu)成的長條狀感光性板22的感光性樹脂層28(后面描述) 熱轉(zhuǎn)印(層壓)到玻璃襯底24上的作業(yè)。圖2是層壓裝置20中使用的長條狀感光性板22的剖視圖。層疊撓性基膜(支承體)26、感光性樹脂層(感光材料層)28、保護(hù)薄膜30，構(gòu)成 該長條狀感光性板22。如圖1所示，層壓裝置20包括收容將長條狀感光性板22巻繞為輥 狀的感光性板輥23，能從所述感光性板輥23送出所述長條狀感光性板22 的板送出機(jī)構(gòu)32;形成在送出的長條狀感光性板22的保護(hù)薄膜30和感光 性樹脂層28的寬度方向能切斷的2處邊界部分即半切斷部位34a、34b(參 照圖2)的加工機(jī)構(gòu)36;將在局部具有非粘接部38a的粘接標(biāo)簽38 (參照 圖3)與所述保護(hù)薄膜30粘接的標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40的下游配置用于將長條狀感光性板22從間歇輸送 變更為連續(xù)輸送的儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、能以規(guī)定的長度間隔從長條狀感光性板 22剝離保護(hù)薄膜30的剝離機(jī)構(gòu)44、在將玻璃襯底24加熱到規(guī)定溫度的 狀態(tài)下對貼附位置供給的襯底供給機(jī)構(gòu)45、將由于保護(hù)薄膜30的剝離而 露出的感光性樹脂層28與所述玻璃襯底24 —體地貼附的貼附機(jī)構(gòu)46。在貼附機(jī)構(gòu)46的貼附位置的上游附近配置拍攝包含半切斷部位34a、 34b的長條狀感光性板22的圖像的攝影部47。層壓裝置20根據(jù)由攝影部 47拍攝的半切斷部位34a、 34b的圖像，計(jì)算半切斷部位34a、 34b相對于 貼附機(jī)構(gòu)46的位置偏移量，進(jìn)行長條狀感光性板22的輸送量的修正。在板送出機(jī)構(gòu)32的下游附近配置將大致使用完畢的長條狀感光性板 22的后端和新使用的^條狀感光性板22的前端貼附的貼附臺(tái)49。在貼附 臺(tái)49的下游，為了控制感光性板輥23的巻偏移引起的寬度方向的偏移， 配置薄膜末端位置檢測器51。這里，使板送出機(jī)構(gòu)32在寬度方向移動(dòng)， 進(jìn)行薄膜末端位置調(diào)整，但是也可以附設(shè)組合輥的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)而進(jìn)行。加工機(jī)構(gòu)36配置在用于計(jì)算板送出機(jī)構(gòu)32上收容纏繞的感光性板輥 23的輥直徑的輥對50的下游。加工機(jī)構(gòu)36具有分開距離M (參照圖2) 的一對圓刀52a、 52b。圓刀52a、 52b在長條狀感光性板22的寬度方向運(yùn) 動(dòng)，在夾著保護(hù)薄膜30的殘存部分B的規(guī)定的2個(gè)位置形成半切斷部位 34a、 34b (參照圖2)。如圖2所示，半切斷部位34a、 34b需要至少切斷保護(hù)薄膜30和感光 性樹脂層28，實(shí)際上，以切入到撓性基膜26的方式設(shè)定圓刀52a、 52b的 切入深度。圓刀52a、 52b采用在不旋轉(zhuǎn)而固定的狀態(tài)下，在長條狀感光性板22的寬度方向移動(dòng)，形成半切斷部位34a、 34b的方式；或者，不 在所述長條狀感光性板22上滑動(dòng)， 一邊旋轉(zhuǎn)一邊在所述寬度方向移動(dòng)， 形成所述半切斷部位34a、 34b的方式。該半切斷部位34a、 34b也可以代 替圓刀52a、 52b，例如采用使用了激光或超聲波的切斷方式，除此之外還 可以采用以刀刃、剪斷刀(湯姆遜刀)等形成的方式。半切斷部位34a、 34b設(shè)定為將感光性樹脂層28在玻璃襯底24貼附 時(shí)，例如從所述玻璃襯底24的兩端部分別向內(nèi)側(cè)進(jìn)入10mm的位置。須 指出的是，玻璃襯底24之間的保護(hù)薄膜30的殘存部分B作為在后面描述 的貼附機(jī)構(gòu)46，將感光性樹脂層28在所述玻璃襯底24貼附為框狀時(shí)的掩 模起作用。標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40為了與玻璃襯底24之間對應(yīng)而剩下保護(hù)薄膜30的 殘存部分B，供給連接半切斷部位34b側(cè)的剝離部分A和半切斷部位34a 側(cè)的剝離部分A的粘接標(biāo)簽38。如圖3所示，粘接標(biāo)簽38構(gòu)成為長方形，例如用與保護(hù)薄膜30相同 的樹脂材料形成。粘接標(biāo)簽38在中央部具有不涂敷粘合劑的非粘接部(包 含微粘合)38a，并且在該非粘接部38a的兩側(cè)即所述粘接標(biāo)簽38的縱向 兩側(cè)端部具有與前方的剝離部分A粘接的第- -粘接部38b、和與后方的剝 離部分A粘接的第二粘接部38c。如圖1所示，標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40具有分別隔開規(guī)定間隔最大能貼附7 個(gè)粘接標(biāo)簽38的吸附盤54a 54g，并且在基于所述吸附盤54a 54g的所述 粘接標(biāo)簽38的貼附位置，可自由升降地配置用于從下方保持長條狀感光 性板22的承受臺(tái)56。儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42為了吸收上游側(cè)的長條狀感光性板22的間歇輸送和下游 側(cè)的所述長條狀感光性板22的連續(xù)輸送的速度差，具有在箭頭方向能自 由擺動(dòng)的松緊調(diào)節(jié)輥60。配置在儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42的下游側(cè)的剝離機(jī)構(gòu)44具有遮斷長條狀感光性板 22的送出側(cè)的張力變動(dòng)，用于使層壓時(shí)的張力穩(wěn)定化的吸入筒62。在吸 入筒62的附近配置剝離輥在剝離機(jī)構(gòu)44的下游側(cè)配置能對長條狀感光性板22賦予張力的張力 控制機(jī)構(gòu)66。通過張力浮動(dòng)輥70在工作缸68的驅(qū)動(dòng)作用F擺動(dòng)變位，張 力控制機(jī)構(gòu)66能調(diào)整長條狀感光性板22的張力。須指出的是，張力控制 機(jī)構(gòu)66可以按照需要使用，也可以不使用。襯底供給機(jī)構(gòu)45具有夾持玻璃襯底24而配置的襯底加熱部(例如， 加熱器)74、將該玻璃襯底24在箭頭Y方向輸送的輸送部76。在襯底加 熱部74，始終監(jiān)視玻璃襯底24的溫度，在異常時(shí)，產(chǎn)生輸送部76的停止 或警報(bào)，并且發(fā)出異常信息，將異常的玻璃襯底24在以后的步驟中進(jìn)行 NG排出，能在質(zhì)量管理或生產(chǎn)管理中利用。在輸送部76配置未圖示的氣 浮板，玻璃襯底24浮起，在箭頭Y方向輸送。玻璃襯底24的輸送也能由 滾柱式輸送器進(jìn)行。玻璃襯底24的溫度測定優(yōu)選在襯底加熱部74內(nèi)或貼附位置之前進(jìn) 行。作為測定方法，除了接觸式(例如熱電偶)外，也可以是非接觸式。貼附機(jī)構(gòu)46具有上下配置并且加熱到規(guī)定溫度的橡膠輥(壓接輥) 80a、 80b。橡膠輥80a、 80b與后備輥82a、 82b滑接。 一后備輥82b通過 構(gòu)成輥夾緊部83的加壓工作缸84按壓在橡膠輥80b側(cè)。玻璃襯底24由構(gòu)成從貼附機(jī)構(gòu)46在箭頭Y方向延伸的輸送路線的多 個(gè)襯底輸送輥90a 卯f輸送。在襯底輸送輥90b、 90c之間配置通過切斷玻 璃襯底24之間的長條狀感光性板22來分離在玻璃襯底24貼附有感光性 材料層的感光性層疊體92的切斷機(jī)構(gòu)94。這時(shí)，被分離的感光性層疊體 92如圖4所示，將撓性基膜26經(jīng)由感光性樹脂層28貼附在玻璃襯底24 上。在玻璃襯底24的前后，保護(hù)薄膜30的殘存部分B、感光性樹脂層28 和撓性基膜26的一部分突出。此外，在襯底輸送輥90e、 90f的側(cè)部配置從感光性層疊體92剝離撓 性基膜26而廢棄的剝離廢棄機(jī)構(gòu)96。圖5和圖6是剝離廢棄機(jī)構(gòu)96的結(jié) 構(gòu)圖。剝離廢棄機(jī)構(gòu)96具有以在玻璃襯底24殘留感光性樹脂層28的狀 態(tài)，把持撓性基膜26的一端部，將撓性基膜26從感光性層疊體92在箭 頭X方向剝離的夾具98a、 98b;配置在感光性層疊體92的側(cè)部，載置被 剝離的撓性基膜26的一對載置臺(tái)100a、 100b;配置在載置臺(tái)100a、 100b的下部，以層疊狀態(tài)收容被剝離的多個(gè)撓性基膜26的基膜收容部102 (支承體收容部)。各載置臺(tái)100a、 100b在作為感光性展疊體92的輸送方向的箭頭Y方 向相對配置，具有使撓性基膜26的載置面在彼此接近的箭頭Yl、 Y2方 向移動(dòng)的帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d (載置面移動(dòng)機(jī)構(gòu))。所述各 載置面通過帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d的分開的各一端部上安裝 的電機(jī)薦a、 108b移動(dòng)。這些帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d的所 述各一端部軸支承在沿著導(dǎo)軌110a、 110b禾L] 110c、 110d能在箭頭Yl、 Y2方向移動(dòng)的移動(dòng)框112a、 112b (載置臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu))。此外，導(dǎo)軌110a、 110b和110c、 110d固定在支承框114a、 114b上。支承框114a、 114b、和 帶式輸送機(jī)104a 104d以及106a 106d的接近的各另一端部由使所述各另 一端部側(cè)從水平狀態(tài)向箭頭e方向傾斜的傾斜工作缸116a、 116b和116c、 116d (載置臺(tái)傾斜機(jī)構(gòu))連接。配置在載置臺(tái)100a、 100b的下部的基膜收容部102如圖6所示，具 有在箭頭Z方向升降的底面部118;使底面部118升降的升降工作缸120 (底面下降機(jī)構(gòu))；與基膜收容部102的開口部相對配置，構(gòu)成檢測被收 容的撓性基膜26的收容狀態(tài)的收容狀態(tài)檢測機(jī)構(gòu)的發(fā)光元件122和受光 元件124。這時(shí)，底面部118如圖7所示，設(shè)定為相對于撓性基膜26的剝 離方向即箭頭X方向傾斜的狀態(tài)。須指出的是，在如以上那樣構(gòu)成的層壓裝置20中，板送出機(jī)構(gòu)32、 加工機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40、儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、剝離機(jī)構(gòu)44和張力控制機(jī) 構(gòu)66和攝影部47配置在貼附機(jī)構(gòu)46的上方，但是也可以與此相反，是 在所述貼附機(jī)構(gòu)46的下方配置從所述板送出機(jī)構(gòu)32到所述攝影部47，長 條狀感光性板22的上下變?yōu)橄喾?，在玻璃襯底24的下側(cè)貼附感光性樹脂 層28的結(jié)構(gòu)，此外，也nj以將長條狀感光性板22的輸送路線構(gòu)成為直線 狀。層壓裝置20內(nèi)，經(jīng)由分隔壁126劃分為第一無塵室128a和第二無塵 室128b。在第一無塵室128a收容從板送出機(jī)構(gòu)32到張力控制機(jī)構(gòu)66， 在第二無塵室128b收容攝影部47以后的機(jī)構(gòu)。第一無塵室128a和第二 無塵室128b通過貫通部130連通用與本發(fā)明的制造方法的關(guān)聯(lián)，說明以上構(gòu)成的層壓裝置20的動(dòng)作。首先，從安裝在板送出機(jī)構(gòu)32上的感光性板輥23送出長條狀感光性 板22。長條狀感光性板22輸送到加工機(jī)構(gòu)36。在加工機(jī)構(gòu)36，圓刀52a、52b在長條狀感光性板22的寬度方向移動(dòng)， 將長條狀感光性板22從保護(hù)薄膜30切入到感光性樹脂層28和撓性基膜 26，形成分開保護(hù)薄膜30的殘存部分B的寬度M的半切斷部位34a、 34b (參照圖2)。由此，在長條狀感光性板22上夾著所述殘存部分B設(shè)置前 方的剝離部分A和后方的剝離部分A (參照圖2)。須指出的是，以長條狀感光性板22不延伸為前提，以提供給貼附機(jī) 構(gòu)46的橡膠輥80a、 80b之間的玻璃襯底24之間的距離為基準(zhǔn)，設(shè)定殘 存部分B的寬度M。此外，以寬度M形成的一組半切斷部位34a、 34b以 貼附在玻璃襯底24上的感光性樹脂層28的基準(zhǔn)長度的間隔形成在長條狀 感光性板22。接著，長條狀感光性板22輸送到標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，保護(hù)薄膜30的規(guī) 定的貼附部位配置在承受臺(tái)56上。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，規(guī)定個(gè)數(shù)的粘接 標(biāo)簽38由吸附盤54b 54g吸附保持，各粘接標(biāo)簽38跨保護(hù)薄膜30的殘 存部分B，與前方的剝離部分A和后方的剎離部分A —體地粘接(參照 圖3)。例如，粘接7個(gè)粘接標(biāo)簽38的長條狀感光性板22如圖1所示，經(jīng)由 儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42防止送出側(cè)的張力變動(dòng)后，連續(xù)地輸送到剝離機(jī)構(gòu)44。在剝 離機(jī)構(gòu)44，長條狀感光性板22的撓性基膜26由吸入筒62吸附保持，并 且保護(hù)薄膜30剩下殘存部分B，從所述長條狀感光性板22剝離。該保護(hù) 薄膜30通過剝離輥63剝離，.巻繞在保護(hù)薄膜巻繞部64上(參照圖1 )。在剝離機(jī)構(gòu)44的作用下，保護(hù)薄膜30剩下殘存部分B，從撓性基膜 26剝離后，長條狀感光性板22通過張力控制機(jī)構(gòu)66進(jìn)行張力調(diào)整，接著， 在攝影部47，在規(guī)定的攝影定時(shí)拍攝包含半切斷部位34a、 34b的長條狀 感光性板22的圖像。通過攝影部47后的長條狀感光性板22輸送到貼附機(jī)構(gòu)46，由此進(jìn)行 感光性樹脂層28相對于玻璃襯底24的熱轉(zhuǎn)印處理(層壓)。這時(shí)，根據(jù) 由攝影部47拍攝的半切斷部位34a、 34b的圖像，調(diào)整貼附機(jī)構(gòu)46的半切斷部位34a、 34b的位置。在貼附機(jī)構(gòu)46，最初將橡膠輥80a、 80b設(shè)定為分開的狀態(tài)，在橡膠 輥80a、 80b之間的規(guī)定位置，將長條狀感光性板22的半切斷部位34a定 位，在該狀態(tài)下，暫停所述長條狀感光性板22的輸送。在該狀態(tài)下，通 過構(gòu)成襯底供給機(jī)構(gòu)45的襯底加熱部74加熱到規(guī)定溫度的玻璃襯底24 的前端部由輸送部76搬入橡膠輥80a、 80b之間時(shí)，在加壓工作缸84的 作用下，后備輥82b、橡膠輥80b上升，玻璃襯底24和長條狀感光性板 22以規(guī)定的壓力夾入橡膠輥80a、 80b之間。須指出的是，橡膠輥80a、 80b加熱到規(guī)定的層壓溫度。接著，橡膠輥80a、 80b旋轉(zhuǎn)，玻璃襯底24和長條狀感光性板22向 箭頭Y方向輸送。其結(jié)果，感光性樹脂層28加熱熔融，熱轉(zhuǎn)印到玻璃襯 底24 (層疊)。須指出的是，作為層壓條件，是速度1.0m/min 10.0m/min，橡膠輥80a、 80b的溫度80。C 14(TC，所述橡膠輥80a、 80b的橡膠硬度40度~90度， 該橡膠輥80a、 80b的壓力(線壓力)50N/cm 400N/cm。如果相對于玻璃襯底24，長條狀感光性板22的一個(gè)量的層壓結(jié)束， 則停止橡膠輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn)，而層壓有長條狀感光性板22的玻璃襯底 24的前端部由襯底輸送輥90a夾緊。這時(shí)，在橡膠輥80a、 80b之間的規(guī) 定位置配置半切斷部位34b。然后，橡膠輥80b在離開橡膠輥80a的方向退讓，解除夾緊，并且襯 底輸送輥90a的旋轉(zhuǎn)以低速再次開始，在玻璃襯底24層壓有長條狀感光 性板22的感光性層疊體在箭頭Y方向輸送與保護(hù)薄膜30的殘留部分B 的寬度M對應(yīng)的距離，下一半切斷部位34a輸送到橡膠輥80a的下方附近 的規(guī)定位置以后，橡膠輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn)停止。須指出的是，以下，將 只在半切斷部位34a、 34b之間輸送長條狀感光性板22的處理稱作"襯底 間輸送"。而在所述的狀態(tài)中，通過襯底供給機(jī)構(gòu)45將下一玻璃襯底24向貼附 位置輸送。通過重復(fù)以上的動(dòng)作，連續(xù)地制造在玻璃襯底24貼附有感光 性樹脂層28的感光性層疊體92。這時(shí)，感光性層疊體如圖4所示，各自的端部彼此由保護(hù)薄膜30的殘留部分B覆蓋。因此，感光性樹脂層28轉(zhuǎn)印到玻璃襯底24時(shí)，橡膠輥 80a、 80b不會(huì)被所述感光性樹脂層28污染。由貼附機(jī)構(gòu)46制造的感光性層疊體92在由貼附機(jī)構(gòu)46將長條狀感 光性板22進(jìn)行襯底間輸送后，處于暫停狀態(tài)時(shí)，通過配置在襯底輸送輥 90b、90c之間的切斷機(jī)構(gòu)94，切斷玻璃襯底24之間的長條狀感光性板22， 從而分離。接著，分離的感光性層疊體92輸送到剝離廢棄機(jī)構(gòu)96，進(jìn)行撓性基 膜26的剝離廢棄處現(xiàn)。在剝離廢棄機(jī)構(gòu)96，如圖5所示，從感光性層疊體92的輸送方向(箭 頭Y方向)的兩端部突出的撓性基膜26的端部由夾具98a、 98b把持后， 夾具98a、 98b在箭頭X方向移動(dòng)，由此，在玻璃襯底24上殘留有感光性 樹脂層28的狀態(tài)下，從玻璃襯底24側(cè)剝離撓性基膜26。須指出的是，剝 離了撓性基膜26的感光性層疊體92提供給下一處理步驟。從玻璃襯底24剝離的撓性基膜26載置到構(gòu)成在側(cè)部待機(jī)的載置臺(tái) 100a、 100b的帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d上。須指出的是，載置 撓性基膜26時(shí)，帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d如圖6所示，載置 面設(shè)定為水平狀態(tài)，并且設(shè)定為相互接近的狀態(tài)。因此，撓性基膜26在 沒有彎曲的平的狀態(tài)下載置到載置面。接著，電機(jī)108a、 108b驅(qū)動(dòng)，由此， 一帶式輸送機(jī)104a 104d的載 置面的載置面在箭頭Yl移動(dòng)，并且另一帶式輸送機(jī)106a 106d的載置面 在箭頭Y2方向移動(dòng)。此外， 一移動(dòng)框112a沿著導(dǎo)軌110a、 110b在箭頭 Y2方向移動(dòng)，并且另一移動(dòng)框112b沿著導(dǎo)軌110c、 110d在箭頭Yl方向 移動(dòng)。進(jìn)而，傾斜工作缸116a、 116b禾卩116c、 116d驅(qū)動(dòng)，帶式輸送機(jī) 104a 104d和106a 106d的接近的端部側(cè)在箭頭e方向傾斜。這時(shí)，撓性基膜26的載置面在對稱的箭頭Yl、 Y2方向移動(dòng)，并且 帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d在箭頭Yl、 Y2方向分幵，由此，在 載置的撓性基膜26保持在剝離廢棄機(jī)構(gòu)96的中央部分的狀態(tài)下，成為從 分開的帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d之間向下方向彎曲的狀態(tài)。另 外，帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d的接近的端部側(cè)在箭頭9方向傾 斜，所以撓性基膜26從帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d之間開始向下落下。圖8表示這時(shí)的狀態(tài)。如果帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d之間分幵規(guī)定距離，并且變 為規(guī)定的傾斜角度，則撓性基膜26落下，收容于在下部待機(jī)的基膜收容 部102中。這時(shí)，僥性基膜26在沿與剝離的方向即箭頭X方向正交的方 向彎曲的狀態(tài)下，下降到基膜收容部102側(cè)。因此，對撓性基膜26賦予 相對于剝離方向(箭頭X方向)不易彎曲的強(qiáng)度，在該狀態(tài)下，載置到基 膜收容部102的底面部118上。此外，撓性基膜26在F降到基膜收容部 102側(cè)的期間，由帶式輸送機(jī)104a 104d和106a 106d支承，在該狀態(tài)下， 撓性基膜26的載黃面和基膜收容部102的距離縮短，所以撓性基膜26以 穩(wěn)定的姿勢載置到底面部118上。如上所述，在基膜收容部102內(nèi)層疊收容了多個(gè)感光性樹脂層28時(shí)， 層疊在最上部的感光性樹脂層28和帶式輸送機(jī)104a 104d以及106a 106d 的載置面的距離減小。因此，通過配置在基膜收容部102的發(fā)光元件122 和受光元件124，檢測到最上部的感光性樹脂層28時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降工作缸 120，使底面部118在箭頭Z方向T降規(guī)定距離，由此將最上部的感光性 樹脂層28和載置面的距離保持一定，能在始終穩(wěn)定的狀態(tài)下，在基膜收 容部102收容撓性基膜26。須指出的是，在上述的實(shí)施方式中，將從一個(gè)感光性板輥23供給的 長條狀感光性板22貼附到玻璃襯底24，由此制造所謂的一份感光性層疊 體，但是，例如也可以從2個(gè)感光性板輥或3個(gè)以上的感光性板輥供給長 條狀感光性板22，在玻璃襯底24貼附，制造所謂的2份、3份感光性層 疊體。
權(quán)利要求
1.一種感光性層疊體制造裝置，其在襯底(24)上貼附形成在支承體(26)上的感光材料層(28)后，剝離所述支承體(26)，制造感光性層疊體(92)，所述感光性層疊體制造裝置的特征在于，包括一對載置臺(tái)(100a、100b)，其相對配置，在載置面載置被剝離的所述支承體(26)；載置臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(112a、112b)，其使所述一對載置臺(tái)(100a、100b)移動(dòng)而分開；載置臺(tái)傾斜機(jī)構(gòu)(116a～116d)，其使所述一對載置臺(tái)(100a、100b)的接近的各端部側(cè)向下方傾斜；支承體收容部(102)，其配置在所述一對載置臺(tái)(100a、100b)的下部，收容從通過所述載置臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(112a、112b)而分開的所述一對載置臺(tái)(100a、100b)之間落下的所述支承體(26)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體制造裝置，其特征在于， 具有支承體剝離機(jī)構(gòu)(98a、 98b)，所述支承體剝離機(jī)構(gòu)(98a、 98b)把持所述支承體(26)的端部，沿著所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)的載 置面剝離所述支承體(26)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體制造裝置，其特征在于， 所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)具有使所述載置面向使它們接近的方向移動(dòng)的載置面移動(dòng)機(jī)構(gòu)(104a 104d、 106a 106d)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性層疊體制造裝置，其特征在于， 所述支承體收容部(102)通過層疊所述支承體(26)的底面相對于與所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)分開的方向正交的方向傾斜而構(gòu)成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體制造裝置，其特征在于， 所述支承體收容部(102)包括收容狀態(tài)檢測機(jī)構(gòu)(122、 124)，其檢測被收容的所述支承體(26) 的收容狀態(tài)；底面下降機(jī)構(gòu)(120)，其按照由所述收容狀態(tài)檢測機(jī)構(gòu)(122、 124)檢測到的所述收容狀態(tài)，使層'疊所述支承體(26)的底面下降。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性層疊體制造裝置，其特征在于， 所述收容狀態(tài)檢測機(jī)構(gòu)(122、 124)由配置在所述支承體收容部(102)的開口部的發(fā)光元件(122)和受光元件(124)構(gòu)成，按照所述發(fā)光元件 (122)和所述受光元件(124)之間所述支承體(26)的有無，檢測所述 支承體(26)的收容狀態(tài)。
7. —種感光性層疊體制造方法，其在襯底(24) h貼附形成在支承 體(26)上的感光材科層(28)后，剝離所述支承體(26)，制造感光性 層疊體(92)，所述感光性層疊體制造方法的特征在于，包括在相對配置的一對載置臺(tái)(100a、 100b)的載置面上載置被剝離的所 述支承體(26)的步驟；使載置有所述支承體(26)的所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)分開， 并且使所述一對載置f (100a、 100b)的接近的各端部側(cè)向下方傾斜的步 驟；從分開的所述一對載覽臺(tái)(100a、 100b)之間，使所述支承體(26) 落下到配置在所述--對載置臺(tái)(100a、 100b)的下部的支承體收容部(102) 中而收容的步驟。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性層疊體制造方法，其特征在于， 所述支承體(26)沿著所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)的載置面被剝離而載置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性層疊體制造方法，其特征在于， 使載置有所述支承體(26)的所述一對載置臺(tái)(100a、 100b)分開，并且使所述一對載置臺(tái)U00a、 100b)的所述載置面向使它們接近的方向 移動(dòng)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性層疊體制造方法，其特征在于，包含檢測收容在所述支承體收容部(102)中的所述支承體(26)的收容 狀態(tài)的步驟；按照所述收容狀態(tài)，使層疊所述支承體(26)的所述支承體收容部 (102)的底面下降的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性層疊體制造裝置和制造方法。將撓性基膜(26)載置到帶式輸送機(jī)(104a～104d)和(106a～106d)后，使一帶式輸送機(jī)(104a～104d)在箭頭(Y2)方向移動(dòng)，并且使載置面在箭頭(Y1)方向移動(dòng)，使另一帶式輸送機(jī)(106a～106d)在箭頭(Y1)方向移動(dòng)，并且使載置面在箭頭(Y2)方向移動(dòng)，進(jìn)而，使帶式輸送機(jī)(104a～104d)和(106a～106d)在箭頭(θ)方向移動(dòng)，由此，使撓性基膜(26)從帶式輸送機(jī)(104a～104d)和(106a～106d)落下到基膜收容部(102)而收容。
文檔編號(hào)B32B38/18GK101274502SQ20081008788
公開日2008年10月1日 申請日期2008年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月28日
發(fā)明者澤原真吾, 長谷明彥 申請人:富士膠片株式會(huì)社