一種半導體檢驗自動標記裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種標記裝置，尤其涉及一種半導體檢驗自動標記裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在半導體生產(chǎn)時，需要檢驗晶圓體焊線是否合格，并對檢驗不合格的晶圓體進行標記，傳統(tǒng)標記方法為手動使用記號筆對檢驗不合格的晶圓體進行標記，當操作人員發(fā)現(xiàn)不合格品時，需要手動移動存放晶圓體的框架并標記，由于分布在框架上的晶圓體數(shù)量眾多，長時間工作后，操作人員不僅容易出現(xiàn)漏標記或重復標記，而且生產(chǎn)效率低，勞動強度大。鑒于上述缺陷，實有必要設計一種半導體檢驗自動標記裝置。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題在于:提供一種半導體檢驗自動標記裝置，來解決手工標記時，操作人員容易漏標記或重復標記，勞動強度大的問題。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是:
[0005]—種半導體檢驗自動標記裝置，包括顯微鏡、檢驗平臺、底座、移動板、直線電機、絲杠、標記組件，所述的移動板位于底座上端，所述的移動板與底座滑動相連，所述的直線電機位于移動板下表面右側(cè)，所述的直線電機與移動板螺紋相連，所述的絲杠貫穿直線電機，所述的絲杠與直線電機螺紋相連且與底座轉(zhuǎn)動相連，所述的標記組件還包括支架、氣缸、套管、導柱、標記筆、行程開關，所述的支架位于移動板上表面右側(cè)上端，所述的支架與移動板螺紋相連，所述的氣缸位于支架下端，所述的氣缸與支架螺紋相連，所述的套管位于氣缸下端，所述的套管與氣缸螺紋相連，所述的導柱位于套管下端，所述的導柱與套管螺紋相連，所述的標記筆位于導柱外壁兩側(cè)，所述的標記筆與導柱焊接相連，所述的行程開關位于支架中部，所述的行程開關與支架螺紋相連，所述標記筆與套管采用螺紋連接，操作人員可以方便快捷的將標記筆取下。
[0006]本實用新型進一步的改進如下:
[0007]進一步的，所述的底座上表面上下兩側(cè)設有滑軌，所述的滑軌與底座螺紋相連。
[0008]進一步的，所述的移動板下表面上下兩側(cè)設有滑塊，所述滑塊與移動板螺紋相連。
[0009]進一步的，所述的移動板上表面還設有第一按鈕、第二按鈕、第三按鈕，所述的第一按鈕與移動板螺紋相連，所述的第二按鈕與移動板螺紋相連，所述的第三按鈕與移動板螺紋相連，所述第一按鈕用于控制直線電機正轉(zhuǎn)，所述第二按鈕用于控制直線電機反轉(zhuǎn)，所述的第三按鈕用于控制標記組件動作。
[0010]進一步的，所述的標記筆頂部還設有塞頭，所述的塞頭與標記筆緊配相連，當標記筆內(nèi)油墨用盡時，打開塞頭可以向標記筆內(nèi)添加油墨。
[0011]進一步的，所述的塞頭還設有排氣孔，所述的排氣孔貫穿塞頭主體，所述排氣孔用于連通標記筆內(nèi)腔與大氣。
[0012]進一步的，所述的標記筆還設有筆芯，所述的筆芯位于標記筆內(nèi)部，且所述的筆芯貫穿標記筆底部，所述的筆芯與標記筆緊配相連。
[0013]與現(xiàn)有技術相比，該半導體檢驗自動標記裝置，工作時，直線電機通過絲杠帶動移動板做直線運動，設定直線電機轉(zhuǎn)動角度，使得每操作一下第一按鈕或第二按鈕，移動板帶動顯微鏡移動的距離等于兩個晶圓體之間的間距，當操作人員發(fā)現(xiàn)有焊線不合格的晶圓體時，按下第三按鈕，直線電機帶動標記組件移動至焊線不合格的晶圓體正上方，氣缸帶動標記筆向下移動對晶圓體進行標記，當標記筆觸發(fā)行程開關后，氣缸帶動標記筆向上運動，同時直線電機帶動移動板返回至初始位置。該裝置結(jié)構簡單，自動對焊線不合格的晶圓體進行標記，操作人員不會發(fā)生漏標記或重復標記情況，大大降低操作人員勞動強度，提高檢驗效率及正確率。
【附圖說明】
[0014]圖1示出本實用新型軸測圖
[0015]圖2示出本實用新型移動板仰視圖
[0016]圖3示出本實用新型標記筆剖視圖
[0017]顯微鏡 I檢驗平臺2
[0018]底座 3移動板4
[0019]直線電機 5絲杠6
[0020]標記組件 7滑軌301
[0021]滑塊 401第一旋鈕402
[0022]第二按鈕 403第三按鈕404
[0023]支架 701氣缸702
[0024]套管 703導柱704
[0025]標記筆 705行程開關706
[0026]塞頭 707排氣孔708
[0027]筆芯709
【具體實施方式】
[0028]如圖1、圖2、圖3所示，一種半導體檢驗自動標記裝置，包括顯微鏡1、檢驗平臺2、底座3、移動板4、直線電機5、絲杠6、標記組件7，所述的移動板4位于底座3上端，所述的移動板4與底座3滑動相連，所述的直線電機5位于移動板4下表面右側(cè)，所述的直線電機5與移動板4螺紋相連，所述的絲杠6貫穿直線電機5，所述的絲杠6與直線電機5螺紋相連且與底座轉(zhuǎn)動相連，所述的標記組件7還包括支架701、氣缸702、套管703、導柱704、標記筆705、行程開關706，所述的支架701位于移動板4上表面右側(cè)上端，所述的支架701與移動板4螺紋相連，所述的氣缸702位于支架701下端，所述的氣缸702與支架701螺紋相連，所述的套管703位于氣缸702下端，所述的套管703與氣缸702螺紋相連，所述的導柱704位于套管703下端，所述的導柱704與套管703螺紋相連，所述的標記筆位705于導柱704外壁兩側(cè)，所述的標記筆705與導柱704焊接相連，所述的行程開關706位于支架701中部，所述的行程開關706與支架701螺紋相連，由于采用螺紋連接，操作人員可以方便快捷的將標記筆705取下，所述的底座3上表面上下兩側(cè)設有滑軌301，所述的滑軌301與底座3螺紋相連，所述的移動板4下表面上下兩側(cè)設有滑塊401，所述滑塊401與移動板4螺紋相連，所述的移動板4上表面還設有第一按鈕402、第二按鈕403、第三按鈕404，所述的第一按鈕402與移動板4螺紋相連，所述的第二按鈕403與移動板4螺紋相連，所述的第三按鈕403與移動板4螺紋相連，所述第一按鈕402用于控制直線電機5正轉(zhuǎn)，所述第二按鈕403用于控制直線電機5反轉(zhuǎn)，所述的第三按鈕404用于控制標記組件7動作，所述的標記筆705頂部還設有塞頭707，所述的塞頭707與標記筆705緊配相連，當標記筆705內(nèi)油墨用盡時，打開塞頭707可以向標記筆內(nèi)添加油墨，所述的塞頭707還設有排氣孔708，所述的排氣孔708貫穿塞頭707主體，所述排氣孔708用于連通標記筆705內(nèi)腔與大氣，所述的標記筆705還設有筆芯709，所述的筆芯709位于標記筆705內(nèi)部，且所述的筆芯709貫穿標記筆705底部，所述的筆芯709與標記筆705緊配相連，該半導體檢驗自動標記裝置，工作時，直線電機5通過絲杠6帶動移動板4做直線運動，設定直線電機5轉(zhuǎn)動角度，使得每操作一下第一按鈕402或第二按鈕403，移動板5帶動顯微鏡I移動的距離等于兩個晶圓體之間的間距，當操作人員發(fā)現(xiàn)有焊線不合格的晶圓體時，按下第三按鈕404，直線電機5帶動標記組件7移動至焊線不合格的晶圓體正上方，氣缸702帶動標記筆705向下移動對晶圓體進行標記，當標記筆705觸發(fā)行程開關706后，氣缸702帶動標記筆705向上運動，同時直線電機5帶動移動板4返回至初始位置。該裝置結(jié)構簡單，自動對焊線不合格的晶圓體進行標記，操作人員不會發(fā)生漏標記或重復標記情況，大大降低操作人員勞動強度，提高檢驗效率及正確率。
[0029]本實用新型不局限于上述具體的實施方式，本領域的普通技術人員從上述構思出發(fā)，不經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動，所做出的種種變換，均落在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種半導體檢驗自動標記裝置，包括顯微鏡、檢驗平臺、底座，其特征在于還包括移動板、直線電機、絲杠、標記組件，所述的移動板位于底座上端，所述的移動板與底座滑動相連，所述的直線電機位于移動板下表面右側(cè)，所述的直線電機與移動板螺紋相連，所述的絲杠貫穿直線電機，所述的絲杠與直線電機螺紋相連且與底座轉(zhuǎn)動相連，所述的標記組件還包括支架、氣缸、套管、導柱、標記筆、行程開關，所述的支架位于移動板上表面右側(cè)上端，所述的支架與移動板螺紋相連，所述的氣缸位于支架下端，所述的氣缸與支架螺紋相連，所述的套管位于氣缸下端，所述的套管與氣缸螺紋相連，所述的導柱位于套管下端，所述的導柱與套管螺紋相連，所述的標記筆位于導柱外壁兩側(cè)，所述的標記筆與導柱焊接相連，所述的行程開關位于支架中部，所述的行程開關與支架螺紋相連。2.如權利要求1所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的底座上表面上下兩側(cè)設有滑軌，所述的滑軌與底座螺紋相連。3.如權利要求2所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的移動板下表面上下兩側(cè)設有滑塊，所述滑塊與移動板螺紋相連。4.如權利要求3所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的移動板上表面還設有第一按鈕、第二按鈕、第三按鈕，所述的第一按鈕與移動板螺紋相連，所述的第二按鈕與移動板螺紋相連，所述的第三按鈕與移動板螺紋相連。5.如權利要求4所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的標記筆頂部還設有塞頭，所述的塞頭與標記筆緊配相連。6.如權利要求5所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的塞頭還設有排氣孔，所述的排氣孔貫穿塞頭主體。7.如權利要求6所述的半導體檢驗自動標記裝置，其特征在于所述的標記筆還設有筆芯，所述的筆芯位于標記筆內(nèi)部，且所述的筆芯貫穿標記筆底部，所述的筆芯與標記筆緊配相連。
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體檢驗自動標記裝置，包括顯微鏡、檢驗平臺、底座、移動板、直線電機、絲杠、標記組件，直線電機通過絲杠帶動移動板做直線運動，設定直線電機轉(zhuǎn)動角度，使得每操作一下第一按鈕或第二按鈕，移動板帶動顯微鏡移動的距離等于兩個晶圓體之間間距，當操作人員發(fā)現(xiàn)有焊線不合格的晶圓體時，按下第三按鈕，直線電機帶動標記組件移動至焊線不合格的晶圓體正上方，氣缸帶動標記筆向下移動對晶圓體進行標記，當標記筆觸發(fā)行程開關后，氣缸帶動標記筆向上運動，同時直線電機帶動移動板返回至初始位置。該裝置結(jié)構簡單，自動對焊線不合格的晶圓體進行標記，操作人員不會發(fā)生漏標記或重復標記，大大降低操作人員勞動強度。
【IPC分類】B25H7/00
【公開號】CN204736210
【申請?zhí)枴緾N201520300277
【發(fā)明人】彭勇, 王明輝, 李宏圖, 趙從壽, 陶佩, 周根強, 石永洪
【申請人】池州華鈦半導體有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月11日