一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，包括拆裝頭和手柄，拆裝頭包括固定座和連接于固定座上的定位釘，手柄與固定座連接，定位釘與手柄相互垂直。本實(shí)用新型使用時(shí)，在推動(dòng)同一石墨卡環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)，拆裝頭與手柄垂直的連接角度，可使使用者最省力；定位釘?shù)脑O(shè)置可在使用時(shí)將石墨卡環(huán)固定，便于拆卸；拆裝頭和手柄為一體成型，牢固耐用，使用壽命長(zhǎng)；圓柱形的手柄，使得使用者在使用時(shí)方便握持，在施力時(shí)手感更加舒適。
【專利說(shuō)明】一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及拆卸工具，尤其涉及一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具。
【背景技術(shù)】
[0002]由于碳化硅本身具有大禁帶寬度、優(yōu)良的穩(wěn)定性、高熱導(dǎo)率、高臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高飽和電子漂移速度等優(yōu)良特性，所以碳化硅成為制作高溫、大功率、高頻和強(qiáng)輻射電力電子器件的理想半導(dǎo)體材料。與傳統(tǒng)的硅器件相比，碳化硅器件能夠在10倍于硅器件的電場(chǎng)強(qiáng)度下正常工作。而用于制作碳化硅器件的碳化硅材料通常是生長(zhǎng)在碳化硅襯底上的碳化硅外延片。目前碳化硅外延生長(zhǎng)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化，用于外延生長(zhǎng)碳化硅的設(shè)備中，反應(yīng)室頂蓋為設(shè)備中重要的一個(gè)部件，在外延生長(zhǎng)反應(yīng)室設(shè)計(jì)中起到了很大的作用，它能調(diào)節(jié)反應(yīng)室內(nèi)部溫度場(chǎng)分布，改善外延生長(zhǎng)條件，是外延生長(zhǎng)反應(yīng)室重要的組成部分。
[0003]頂蓋主要分為兩部分:上頂蓋為隔熱材料石墨泡沫，下頂蓋為帶有TaC涂層的高純石墨。在實(shí)際使用中，下頂蓋上會(huì)有很多中間產(chǎn)物的沉積。這些沉積物隨著使用時(shí)間的增加越來(lái)越厚，并會(huì)在外延生長(zhǎng)過(guò)程中掉落到晶片上從而引起外延生長(zhǎng)缺陷的產(chǎn)生，因此需要定期對(duì)下頂蓋進(jìn)行拆卸、清理和更換。上頂蓋與下頂蓋通過(guò)石墨卡環(huán)連接，在拆卸下頂蓋前，需要先拆下石墨卡環(huán)，然而當(dāng)在進(jìn)行多次外延生長(zhǎng)后，頂蓋會(huì)由于高溫而變形，另外，反應(yīng)的中間產(chǎn)物會(huì)將上頂蓋與下頂蓋之間的縫隙填滿，使其牢固的粘附在一起，造成石墨卡環(huán)很難旋轉(zhuǎn)拆卸。
[0004]由于上頂蓋在高溫下受熱膨脹擠壓下頂蓋，而現(xiàn)有頂蓋拆卸工具手柄與定位釘在同一直線上，手柄連接于圓柱形固定座的底面，在使用時(shí)，力矩過(guò)小，故很難對(duì)石墨卡環(huán)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致用現(xiàn)有的頂蓋拆卸工具很難把頂蓋組件拆卸下來(lái)，因此亟需一種新的拆卸工具對(duì)石墨卡環(huán)進(jìn)行拆卸。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型提出一種能夠輕松拆卸碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，解決了現(xiàn)有技術(shù)中碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具在使用時(shí)，力矩過(guò)小，造成拆卸難度大的問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0007]一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，包括拆裝頭和手柄，所述拆裝頭包括固定座和連接于固定座上的定位釘，所述手柄與所述固定座連接，所述定位釘與所述手柄相互垂直。
[0008]進(jìn)一步，所述固定座為圓柱形，所述圓柱形固定座包括兩個(gè)圓形底面和一個(gè)側(cè)面，所述定位釘均勻分布在其中一個(gè)所述圓形底面上。
[0009]進(jìn)一步，所述手柄連接于所述側(cè)面上。
[0010]進(jìn)一步，所述定位釘?shù)臄?shù)量至少為2個(gè)。[0011 ] 優(yōu)選的，所述手柄為圓柱形。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果:
[0013]1、定位釘與手柄相互垂直，使用時(shí)，定位釘與石墨卡環(huán)相匹配，故定位釘與石墨卡環(huán)的連接處為受力點(diǎn)，工作人員握住手柄旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)同一石墨卡環(huán)旋轉(zhuǎn)，在相同力道下，力臂范圍廣，力矩可調(diào)的范圍大，且當(dāng)力臂達(dá)到最大值時(shí)，力矩達(dá)到最大，可使使用者最省力。
[0014]2、拆裝頭和手柄為一體成型，因此，工作人員在施力時(shí)，不會(huì)因?yàn)榱Φ肋^(guò)大而導(dǎo)致拆裝頭和手柄脫落，故本實(shí)用新型牢固耐用，使用壽命長(zhǎng)。
[0015]3、圓柱形固定座的圓形底面直徑與圓形石墨卡環(huán)的直徑相匹配,方便固定，圓柱形的手柄，使得使用者在使用時(shí)方便握持，在施力時(shí)手感更加舒適。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為圖1的左視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0020]參照?qǐng)D1和2，一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，包括拆裝頭I和手柄2，所述拆裝頭I包括固定座3和連接于固定座3上的定位釘4，所述手柄2與所述固定座3連接，所述定位釘4與所述手柄2相互垂直。
[0021]本實(shí)用新型拆裝頭和手柄為一體成型，因此，工作人員在施力時(shí)，不會(huì)因?yàn)榱Φ肋^(guò)大而導(dǎo)致拆裝頭和手柄脫落，故本實(shí)用新型牢固耐用，使用壽命長(zhǎng)。
[0022]所述固定座3為圓柱形，所述圓柱形固定座3包括兩個(gè)圓形底面和一個(gè)側(cè)面，所述定位釘4均勻分布在其中一個(gè)所述圓形底面上。
[0023]所述手柄2連接于所述側(cè)面上。
[0024]所述定位釘4與所述手柄2相互垂直，所述手柄2連接于所述圓柱形固定座3的側(cè)面，使用時(shí)，在相同作用力的情況下，力臂范圍廣，故力矩可調(diào)的范圍比較大，且當(dāng)力臂達(dá)到最大值時(shí)，力矩達(dá)到最大，在推動(dòng)同一石墨卡環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述拆裝頭I與所述手柄2垂直的連接角度，可使使用者最省力。
[0025]力矩(M) =力(F) X力臂(L)，在F相同時(shí)，傳統(tǒng)拆卸工具的手柄與圓柱形固定座的底面連接，使用時(shí)，L最大值為圓柱形手柄的底面半徑，而本實(shí)用新型所述手柄2與所述圓柱形固定座3的側(cè)面連接，使用時(shí)，L最大值等于所述圓柱形固定座3的底面半徑與所述手柄2長(zhǎng)度的和，因此，本實(shí)用新型使用時(shí)，在工作人員施用相同作用力(F)的情況下，其L值遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于使用傳統(tǒng)拆卸工具時(shí)的L值，使得本實(shí)用新型使用時(shí)的力矩(M)增大，在推動(dòng)相同石墨卡環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)更加省力。
[0026]所述定位釘4的數(shù)量至少為2個(gè)。所述定位釘4的數(shù)量可根據(jù)石墨卡環(huán)上孔的數(shù)量進(jìn)行對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述圓柱形固定座3的頂面可與圓形的石墨卡環(huán)相匹配，方便固定。所述定位釘4與石墨卡環(huán)上的孔相對(duì)應(yīng)，使用時(shí)，將所述定位釘4對(duì)應(yīng)插入石墨卡環(huán)上的孔，固定住石墨卡環(huán)，推動(dòng)手柄2旋轉(zhuǎn)，即可帶動(dòng)石墨卡環(huán)旋轉(zhuǎn)，從而順利將石墨卡環(huán)卸下。
[0027]優(yōu)選的，所述手柄2為圓柱形。所述圓柱形手柄2的設(shè)計(jì)，使得使用者在使用時(shí)方便握持，在施力時(shí)手感更加舒適。
[0028]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，包括拆裝頭和手柄，其特征在于:所述拆裝頭包括固定座和連接于固定座上的定位釘，所述手柄與所述固定座連接，所述定位釘與所述手柄相互垂直。
2.如權(quán)利要求1所述的碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，其特征在于:所述固定座為圓柱形，所述圓柱形固定座包括兩個(gè)圓形底面和一個(gè)側(cè)面，所述定位釘均勻分布在其中一個(gè)所述圓形底面上。
3.如權(quán)利要求2所述的碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，其特征在于:所述手柄連接于所述側(cè)面上。
4.如權(quán)利要求3所述的碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，其特征在于:所述定位釘?shù)臄?shù)量至少為2個(gè)。
5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的碳化硅外延生長(zhǎng)反應(yīng)室頂蓋的拆卸工具，其特征在于:所述手柄為圓柱形。
【文檔編號(hào)】B25B27/14GK203495884SQ201320583053
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年9月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月21日
【發(fā)明者】羅金云, 馮淦, 趙建輝 申請(qǐng)人:瀚天天成電子科技（廈門）有限公司