一種mocvd旋轉(zhuǎn)式密封門的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及MOCVD設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地涉及一種用于MOCVD設(shè)備的旋轉(zhuǎn)式密封門。
【背景技術(shù)】
[0002]MOCVD全稱金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀，是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。目前全球MOCVD設(shè)備制造商主要有兩家，分別是德國(guó)的AIXTR0N公司和美國(guó)的VEECO公司，其中AIXTR0N公司大約占60-70%的國(guó)際市場(chǎng)份額，VEECO公司占30-40%。在MOCVD設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域中幾乎所有核心技術(shù)均被上述兩家公司占有壟斷，國(guó)內(nèi)還沒有這一領(lǐng)域的核心專利和成熟的設(shè)計(jì)技術(shù)。我國(guó)的MOCVD設(shè)備主要依賴于進(jìn)口，隨著國(guó)家能源的緊缺和半導(dǎo)體照明工程的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作的重要性愈加凸顯。
[0003]目前，MOCVD設(shè)備中都配有載片盤暫存區(qū)，載片盤用于送入、送出石墨物料盤，載片盤暫存區(qū)成為操作室與反應(yīng)室之間載片盤的周轉(zhuǎn)站。載片盤暫存區(qū)為真空密閉的暫存腔室，暫存腔室設(shè)有后門，通常用于在設(shè)備進(jìn)行調(diào)試或維修時(shí)開啟使用，后門采用固定的密封門板來實(shí)現(xiàn)真空密封?，F(xiàn)有的后門固定密封結(jié)構(gòu)非常不方便開啟使用，每次開啟、關(guān)閉后門都很費(fèi)力，從而增加了 MOCVD設(shè)備的調(diào)試、維修難度，同時(shí)也影響了生產(chǎn)效率。
[0004]因此，為了便于調(diào)試、維修MOCVD設(shè)備，如何設(shè)計(jì)一種方便開啟的MOCVD密封門，是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，既能實(shí)現(xiàn)暫存腔室的真空密封又能方便的開啟，非常利于MOCVD設(shè)備的使用、調(diào)試及維修。
[0006]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是:一種MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，包括鋁合金門扇、及設(shè)于門扇內(nèi)側(cè)的暫存腔室，暫存腔室與門扇相接的側(cè)面為門框，還包括設(shè)于門扇一邊用于與暫存腔室的門框活動(dòng)連接的鉸鏈、及設(shè)于門扇另一邊上用于鎖緊門扇和暫存腔室的搭扣門鎖，所述門扇內(nèi)側(cè)與門框之間壓緊設(shè)有確保暫存腔室真空密封的密封圈。
[0007]所述暫存腔室的上端密封設(shè)有蓋板、與門扇相對(duì)的側(cè)面開設(shè)有用于機(jī)械手傳輸石墨物料盤的通口。
[0008]所述鉸鏈包括固定在門框側(cè)邊的鉸鏈座、及貫穿鉸鏈座的鉸鏈軸，所述門扇邊上對(duì)應(yīng)鉸鏈軸設(shè)有帶有軸孔的凸起，鉸鏈軸安裝在軸孔內(nèi)且門扇以其為轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
[0009]所述搭扣門鎖包括水平設(shè)置的把手、與把手朝向門扇邊緣的一端活動(dòng)連接的鎖舌、及相對(duì)應(yīng)門框上設(shè)置的具有鎖舌收容腔的固定扣。
[0010]所述鉸鏈設(shè)在門扇的豎直側(cè)邊上或者水平底邊上。[0011 ] 所述鉸鏈優(yōu)選設(shè)置兩個(gè)，所述搭扣門鎖也優(yōu)選設(shè)置兩個(gè)。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:針對(duì)暫存腔室設(shè)計(jì)新的密封方式，將原來固定的密封門板增加鉸鏈連接，實(shí)現(xiàn)可活動(dòng)的旋轉(zhuǎn)門，再選擇合適的具有一定壓力的搭扣門鎖結(jié)構(gòu)，對(duì)旋轉(zhuǎn)門施加初始密封所需要的壓力，從而構(gòu)成了旋轉(zhuǎn)式密封門，在能夠滿足真空密封的同時(shí)，又能夠方便的開啟使用，減少M(fèi)OCVD設(shè)備調(diào)試時(shí)間，減輕調(diào)試使用人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，生產(chǎn)效率也隨之提高。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為圖1中A-A的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖以及【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。
[0016]請(qǐng)參見圖1至圖2，本實(shí)用新型涉及一種MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，包括門扇1、鉸鏈、搭扣門鎖、及暫存腔室8，門扇I的一邊通過設(shè)置鉸鏈與暫存腔室8活動(dòng)連接，門扇I的另一邊再設(shè)置具有一定壓力的搭扣門鎖，同時(shí)實(shí)現(xiàn)真空暫存腔室8的密封。
[0017]暫存腔室8設(shè)于門扇I的內(nèi)側(cè)，且其與門扇I相接的側(cè)面為門框，門扇I豎直覆蓋在門框上，門扇I為具有一定厚度的鋁合金材質(zhì)門板，暫存腔室8的上端密封設(shè)有蓋板，蓋板是為了加工、裝配需要而設(shè)置，暫存腔室8與門扇相對(duì)的側(cè)面開設(shè)有通口，用于機(jī)械手把石墨物料盤傳輸進(jìn)入暫存腔室。
[0018]鉸鏈包括鉸鏈座2及鉸鏈軸3，鉸鏈座2突出設(shè)置在門框的底邊上，鉸鏈座2采用螺紋固定安裝，根據(jù)暫存腔室8的大小，鉸鏈座2可以設(shè)置一個(gè)或多個(gè)，本實(shí)施例中鉸鏈座優(yōu)選設(shè)置兩個(gè)，鉸鏈軸3水平貫穿設(shè)置在鉸鏈座2突出的部分上，其中部分鉸鏈軸3裸露在夕卜，門扇I的底邊上設(shè)有連接用的凸起，在凸起上開有軸孔，鉸鏈軸3裸露在外的部分配合安裝在軸孔內(nèi)，門扇I以鉸鏈軸3為轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)打開、關(guān)閉，使用非常方便。
[0019]在與鉸鏈相對(duì)的門扇I頂邊上設(shè)有搭扣門鎖，搭扣門鎖包括把手4、鎖舌5、及固定扣6，為了便于工人操作，把手4采用水平設(shè)置，在把手4朝向門扇邊緣的一端設(shè)有活動(dòng)連接的鎖舌5，把手4以設(shè)有鎖舌5的一端為轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并在旋轉(zhuǎn)時(shí)按壓鎖舌5向下運(yùn)動(dòng)，在門框上對(duì)應(yīng)鎖舌5設(shè)有固定扣6，固定扣6具有容納鎖舌5的空腔。關(guān)閉密封門時(shí)，鎖舌5伸入固定在固定扣6內(nèi)，緊密閉合；開啟封閉門時(shí)，提拉把手4，通過把手4按壓鎖舌5，使鎖舌5從固定扣6內(nèi)脫離出來，旋轉(zhuǎn)門扇I打開。搭扣門鎖也優(yōu)選設(shè)有兩個(gè)，在門扇I頂邊兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置，保證門扇I左右所受門鎖壓力平衡。
[0020]為了確保暫存腔室8的真空密封效果，在門扇I的內(nèi)側(cè)與門框之間設(shè)有密封圈7，在關(guān)閉密封門時(shí)，通過壓緊密封圈7實(shí)現(xiàn)暫存腔室8的密封。
[0021]本實(shí)用新型的鉸鏈安裝位置也可以設(shè)在門扇I的豎直側(cè)邊上，同時(shí)，相對(duì)應(yīng)的搭扣門鎖設(shè)置在門扇I的另一豎直側(cè)邊上，其中，把手4不改變方向亦采用水平設(shè)置，通過改變安裝位置也能夠?qū)嵤┍緦?shí)用新型。
[0022]以上具體實(shí)施例僅用以舉例說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，包括鋁合金門扇、及設(shè)于門扇內(nèi)側(cè)的暫存腔室，暫存腔室與門扇相接的側(cè)面為門框，其特征在于:還包括設(shè)于門扇一邊用于與暫存腔室的門框活動(dòng)連接的鉸鏈、及設(shè)于門扇另一邊上用于鎖緊門扇和暫存腔室的搭扣門鎖，所述門扇內(nèi)側(cè)與門框之間壓緊設(shè)有確保暫存腔室真空密封的密封圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，其特征在于，所述暫存腔室的上端密封設(shè)有蓋板、與門扇相對(duì)的側(cè)面開設(shè)有用于機(jī)械手傳輸石墨物料盤的通口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，其特征在于，所述鉸鏈包括固定在門框側(cè)邊的鉸鏈座、及貫穿鉸鏈座的鉸鏈軸，所述門扇邊上對(duì)應(yīng)鉸鏈軸設(shè)有帶有軸孔的凸起，鉸鏈軸安裝在軸孔內(nèi)且門扇以其為轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，其特征在于，所述搭扣門鎖包括水平設(shè)置的把手、與把手朝向門扇邊緣的一端活動(dòng)連接的鎖舌、及相對(duì)應(yīng)門框上設(shè)置的具有鎖舌收容腔的固定扣。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，其特征在于，所述鉸鏈設(shè)在門扇的豎直側(cè)邊上或者水平底邊上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，其特征在于，所述鉸鏈設(shè)置有兩個(gè)，所述搭扣門鎖亦設(shè)置有兩個(gè)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種MOCVD旋轉(zhuǎn)式密封門，包括鋁合金門扇、及設(shè)于門扇內(nèi)側(cè)的暫存腔室，暫存腔室與門扇相接的側(cè)面為門框，還包括設(shè)于門扇一邊用于與暫存腔室的門框活動(dòng)連接的鉸鏈、及設(shè)于門扇另一邊上用于鎖緊門扇和暫存腔室的搭扣門鎖，所述門扇內(nèi)側(cè)與門框之間壓緊設(shè)有確保暫存腔室真空密封的密封圈。在能夠滿足MOCVD設(shè)備的暫存腔室真空密封的同時(shí)，又能夠方便的開啟使用，非常便于MOCVD設(shè)備的使用、調(diào)試及維修，生產(chǎn)效率也隨之提高。
【IPC分類】E06B3-36, E06B7-16, E06B3-70
【公開號(hào)】CN204326851
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420725120
【發(fā)明人】李致文, 肖四哲
【申請(qǐng)人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2014年11月28日