專利名稱：通行門組合的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體制造工廠內潔凈室的通行門結構，具體地說，涉及 一種多功能通行門組合。
背景技術：
進行半導體器件生產的潔凈室設有多種通行門，如設備通行門(Move-in 門)、小型電動門?，F有的通行門的結構全部是單體形式，每一個都有自己獨立 的作用。設備通行門是專門為設備通行而設計；小型電動門專為工作人員曰常 通行而設計。設備通行門的門板的面積大，承受的側壓力也很大，且開啟設備 通行門對潔凈室內的正壓保持造成影響，因此工作人員日常通行使用難度大。 但是隨著潔凈室內的設備急劇增容，設備占用的面積越來越大，工作人員通行 和運送物料很不方便。因此，需要為工作人員規(guī)劃建立快捷、方便、安全的行 走路線，所以需要在潔凈室墻面多個地方設計小型電動門供工作人員通行。然 而，潔凈室墻面的使用空間有限，無法安裝多個電動門。

實用新型內容
有鑒于此，本實用新型解決的技術問題是提供一種通行門組合，其即可以 供設備通行也可以供工作人員通行，充分合理的利用潔凈室墻面的有限空間。
為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種新的通行門組合。該通行門 組合包括設備通行門、固定于設備通行門上部的滑道以及電動門，所述設備通 行門具有供工作人員通行的缺口，所述電動門頂部安裝在滑道內，且所述電動 門可在關閉和開啟設備通行門的缺口的兩位置間滑動。為了避免對潔凈室內正 壓的影響，設備通行門和電動門之間還安裝有密封膠條。
與現有技術相比，本實用新型提供的通行門組合將設備通行門和供工作人 員通行的小型電動門的功能結合在一起，充分利用了潔凈室墻面的使用空間，從而在有限的空間內可設計更多電動門。

圖1為本實用新型通行門的立體示意圖，其中電動門處于關閉狀態(tài)。
圖2為本實用新型通行門的立體示意圖，其中電動門處于開啟狀態(tài)。
圖3為本實用新型通行門的側視示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行描述，以進一步理解本實用 新型的目的、具體結構特征和優(yōu)點。
請參閱圖1和圖2，本實用新型提供了一種通行門組合1，其包括設備通行 門2、安裝在設備通行門2上部的滑道3以及電動門4。電動門4的頂部安裝在 滑道3內，電動門4在滑道3的限制下可沿箭頭A、 B滑動。設備通行門2大致 呈倒L狀，具有可供工作人員通過的缺口 6,所述電動門4的大小與缺口 6相當， 且在關閉和開啟該缺口 6的兩位置間滑動。另外，所述設備通行門2由鋼材制 造而成，因此可承受較大的負荷。
工作人員通行時，開啟電動門4 (如圖2所示)，工作人員從設備通行門2 的缺口6進出；設備通行時，開啟設備通行門2和電動門3;設備和工作人員都 不通行時，電動門4滑動到缺口 6位置關閉缺口 6。
請參閱圖3,為了防止電動門4和設備通行門2之間氣體泄漏影響潔凈室的 正壓，兩者之間還設有密封膠條5。
本實用新型的通行門組合通過在大型設備通行門上安裝小型電動門，方便 了工作人員通行和運送物料，充分利用了潔凈室墻壁的空間。
上述描述，僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型的任 何限定，對于本領域的普通技術人員來說，可以根據上述揭示內容進行簡單修 改、添加、變換，且均屬于權利要求書中保護的內容。
權利要求1.一種通行門組合，其特征在于，該通行門組合包括設備通行門、固定于設備通行門上部的滑道以及電動門，所述設備通行門具有供工作人員通行的缺口，所述電動門頂部安裝在滑道內，且所述電動門可在關閉和開啟設備通行門的缺口的兩位置間滑動。
2. 如權利要求1所述的通行門組合，其特征在于設備通行門和電動門之間安裝 有密封膠條。
專利摘要本實用新型公開了一種通行門組合，涉及半導體制造工廠內潔凈室的通行門結構。該通行門組合包括設備通行門、固定于設備通行門上部的滑道以及電動門，所述設備通行門具有供工作人員通行的缺口，所述電動門頂部安裝在滑道內，且所述電動門可在關閉和開啟設備通行門的缺口的兩位置間滑動。開啟電動門所述缺口可供工作人員進出；開啟設備通行門和電動門可供設備進出。相較現有技術，本實用新型提供的通行門組合即可用于設備進出，也可用于工作人員的日常進出，充分利用了潔凈室墻面的使用空間，從而在有限的空間內為工作人員提供了更多的進出口。
文檔編號E06B5/00GK201129119SQ20072007583
公開日2008年10月8日 申請日期2007年11月21日 優(yōu)先權日2007年11月21日
發(fā)明者王榮軍, 王金鎖 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司