晶圓切割裝置制造方法
【專利摘要】一種晶圓切割裝置，于機(jī)臺(tái)上設(shè)有平行設(shè)置且作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一及第二滑座，第一及第二滑座上分別設(shè)有旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，以供分別承載晶圓，機(jī)臺(tái)上方架置有分別作Y軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一及第二切割機(jī)構(gòu)，使第一及第二切割機(jī)構(gòu)呈相對(duì)向設(shè)置，對(duì)第一及第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)，機(jī)臺(tái)上設(shè)有一取像機(jī)構(gòu)，分別對(duì)第一及第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行取像及對(duì)位作業(yè)；當(dāng)?shù)谝患暗诙懈顧C(jī)構(gòu)對(duì)第一滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)時(shí)，取像機(jī)構(gòu)對(duì)第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行取像及對(duì)位作業(yè)，當(dāng)?shù)谝换男D(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓完成切割作業(yè)后，第一及第二切割機(jī)構(gòu)快速的對(duì)第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓接續(xù)進(jìn)行切割作業(yè)，有效提升切割產(chǎn)能。
【專利說(shuō)明】晶圓切割裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于多載臺(tái)交替切割晶圓的作業(yè)，進(jìn)而有效提升切割產(chǎn)能的晶圓切割裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]請(qǐng)參閱圖1，一般而言，晶圓10上橫直劃設(shè)有多條的經(jīng)緯線，晶圓10黏附于一黏膜層11上，黏膜層11再固定于一金屬制的框架12上，而可以框架12搬移晶圓10，在切割時(shí)控制刀具的切割深度，在不切割到黏膜層11的情形下，將晶圓10依據(jù)劃設(shè)的經(jīng)緯線橫直切割出多個(gè)晶片，并繼續(xù)以框架12搬移至下一個(gè)作業(yè)站。
[0003]請(qǐng)參閱圖2，其為中國(guó)臺(tái)灣專利申請(qǐng)第91132706號(hào)『在切割機(jī)器中對(duì)準(zhǔn)一工件的方法』專利案，其是于機(jī)臺(tái)21上設(shè)有一由驅(qū)動(dòng)源22驅(qū)動(dòng)作X方向位移的夾掣臺(tái)23，用以承置待切割的晶圓，另于機(jī)臺(tái)21的支撐框架211上設(shè)有第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25，第一切割機(jī)構(gòu)24設(shè)有一可切割晶圓的第一切刀241,并設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)源242及第二驅(qū)動(dòng)源243分別驅(qū)動(dòng)第一切刀241作Y — Z方向位移，第二切割機(jī)構(gòu)25設(shè)有一可切割晶圓的第二切刀251，并設(shè)有第三驅(qū)動(dòng)源252及第四驅(qū)動(dòng)源253分別驅(qū)動(dòng)第二切刀251作Y — Z方向位移；于使用時(shí)，夾掣臺(tái)23可承置待切割的晶圓，并由驅(qū)動(dòng)源22驅(qū)動(dòng)作X方向位移至切割區(qū)，第一切割機(jī)構(gòu)24控制第一、二驅(qū)動(dòng)源242、243驅(qū)動(dòng)第一切刀241作Y — Z方向位移至切割區(qū)，第二切割機(jī)構(gòu)25亦控制第三、四驅(qū)動(dòng)源252、253驅(qū)動(dòng)第二切刀251作Y — Z方向位移至切割區(qū)，于驅(qū)動(dòng)源22驅(qū)動(dòng)夾掣臺(tái)23作X方向位移時(shí)，即可使第一、二切刀241、251切割?yuàn)A掣臺(tái)23上的晶圓。
[0004]請(qǐng)同時(shí)配合參閱圖1，由于待切割的晶圓10在放置于夾掣臺(tái)23時(shí)，晶圓10其上橫直劃設(shè)的多條的經(jīng)緯線并無(wú)法完全準(zhǔn)確的與切割路徑對(duì)位，而有X軸向、Y軸向及Θ角的偏移誤差，因此分別于第一切割機(jī)構(gòu)24上裝設(shè)第一取像機(jī)構(gòu)26,以及于第二切割機(jī)構(gòu)25上裝設(shè)第二取像機(jī)構(gòu)27，而憑借第一取像機(jī)構(gòu)26及第二取像機(jī)構(gòu)27的取像，經(jīng)由控制器的比對(duì)，即可找出晶圓10于切割路徑上X軸向、Y軸向及Θ角的偏移誤差，Y軸向的偏移誤差可由第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25作Y方向位移的補(bǔ)償，Θ角的偏移誤差則由夾掣臺(tái)23作旋轉(zhuǎn)的補(bǔ)償，至于X軸向的偏移誤差，則因?yàn)閵A掣臺(tái)23作X方向進(jìn)給，因此可由夾掣臺(tái)23X方向進(jìn)給量補(bǔ)償。由于切割作業(yè)前必須先完成取像及對(duì)位的作業(yè)，而該切割機(jī)的第一取像機(jī)構(gòu)26及第二取像機(jī)構(gòu)27又裝設(shè)于第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25上，因此當(dāng)?shù)谝蝗∠駲C(jī)構(gòu)26及第二取像機(jī)構(gòu)27由第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25帶動(dòng)位移進(jìn)行取像及對(duì)位的作業(yè)時(shí)，第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25必須停止作業(yè)，因此第一切割機(jī)構(gòu)24及第二切割機(jī)構(gòu)25必須在完成取像及對(duì)位的作業(yè)后，才能接續(xù)進(jìn)行切割作業(yè)，即便是在夾掣臺(tái)23的旁邊平行配置另外一組交替用的夾掣臺(tái)，也無(wú)法在進(jìn)行切割作業(yè)的同時(shí)，以第一取像機(jī)構(gòu)26及第二取像機(jī)構(gòu)27對(duì)該交替用的夾掣臺(tái)先進(jìn)行取像及對(duì)位的作業(yè)，進(jìn)而無(wú)法有效提升切割產(chǎn)能。
[0005]有鑒于此，本發(fā)明人遂以其多年從事相關(guān)行業(yè)的研發(fā)與制作經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)目前所面臨的問(wèn)題深入研究，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期努力的研究與試作，終究研創(chuàng)出一種晶圓切割裝置，以有效提升切割產(chǎn)能，此即為本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)宗旨。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的，是提供一種晶圓切割裝置，達(dá)到有效提升切割產(chǎn)能的實(shí)用效
[0007]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓切割裝置，其包括有:
[0008]機(jī)臺(tái)；
[0009]第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu),設(shè)于機(jī)臺(tái)上,該第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一滑座，于該第一滑座上設(shè)有至少一第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)，以供定位承載晶圓；
[0010]第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，與第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)平行設(shè)置于機(jī)臺(tái)上，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第二滑座，于該第二滑座上設(shè)有至少一第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)，以供定位承載晶圓；
[0011]第一 Y軸向機(jī)架，設(shè)于機(jī)臺(tái)上，于該第一 Y軸向機(jī)架上設(shè)置有至少一第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；
[0012]至少一第一切割機(jī)構(gòu)，設(shè)于第一 Y軸向機(jī)架的第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上，該第一切割機(jī)構(gòu)上設(shè)有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu),使該第一切割機(jī)構(gòu)作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng),另該第一切割機(jī)構(gòu)于第一轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第一刀片，而對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓交替進(jìn)行切割作業(yè)；
[0013]取像機(jī)構(gòu)，設(shè)于機(jī)臺(tái)上，并由另一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)帶動(dòng)作Y軸向進(jìn)給移動(dòng)，而分別對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓`進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成各晶圓的對(duì)位作業(yè)。
[0014]所述的晶圓切割裝置，其中，該第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的定位結(jié)構(gòu)，為多個(gè)用于吸附晶圓定位的第一吸孔，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的定位結(jié)構(gòu)，為多個(gè)用于吸附晶圓定位的第二吸孔。
[0015]所述的晶圓切割裝置，其中，該第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源，該第二X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)則設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源。
[0016]所述的晶圓切割裝置，其中，該第一 Y軸向機(jī)架更設(shè)有第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，該第
二Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上設(shè)有第二切割機(jī)構(gòu)，該第二切割機(jī)構(gòu)另設(shè)有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，使該第二切割機(jī)構(gòu)作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng)，該第二切割機(jī)構(gòu)是于第二轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第二刀片，而對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)。
[0017]所述的晶圓切割裝置，其中，該第二切割機(jī)構(gòu)的第二轉(zhuǎn)軸與第一切割機(jī)構(gòu)的第一轉(zhuǎn)軸呈相對(duì)向設(shè)置，并使第二刀片與第一切割機(jī)構(gòu)的第一刀片位于相同的X軸向位置上。
[0018]所述的晶圓切割裝置，其中，該第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一滑座上分別設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二滑座上則分別設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，另該第一 Y軸向機(jī)架上的第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)分別設(shè)有具Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一切割機(jī)構(gòu)及第三切割機(jī)構(gòu)，該第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)則分別設(shè)有具Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二切割機(jī)構(gòu)及第四切割機(jī)構(gòu)，該第三切割機(jī)構(gòu)是于第三轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第三刀片，該第四切割機(jī)構(gòu)則于第四轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第四刀片。
[0019]所述的晶圓切割裝置，其中，該第四切割機(jī)構(gòu)的第四轉(zhuǎn)軸與該第三切割機(jī)構(gòu)的第三轉(zhuǎn)軸呈相對(duì)向設(shè)置，并使第四刀片與第三刀片位于相同的X軸向位置上。
[0020]所述的晶圓切割裝置，其中，該取像機(jī)構(gòu)架設(shè)于第一 Y軸向機(jī)架上的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。
[0021]所述的晶圓切割裝置，其中，該取像機(jī)構(gòu)架設(shè)于第二 Y軸向機(jī)架上的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。
[0022]所述的晶圓切割裝置，其中，該第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)供架設(shè)一作X-Z軸向移動(dòng)的機(jī)械手臂，該取像機(jī)構(gòu)則架設(shè)于該機(jī)械手臂上。
[0023]本實(shí)用新型的有益效果是:當(dāng)?shù)谝磺懈顧C(jī)構(gòu)及第二切割機(jī)構(gòu)對(duì)第一滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)時(shí)，取像機(jī)構(gòu)可對(duì)第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行取像及對(duì)位作業(yè)，當(dāng)?shù)谝换男D(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓完成切割作業(yè)后，第一切割機(jī)構(gòu)及第二切割機(jī)構(gòu)即可快速的對(duì)第二滑座的旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓接續(xù)進(jìn)行切割作業(yè)，進(jìn)而達(dá)到有效提升切割產(chǎn)能的實(shí)用效益。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1為晶圓結(jié)合于框架上的示意圖；
[0025]圖2為中國(guó)臺(tái)灣申請(qǐng)第91132706號(hào)專利案切割機(jī)器的示意圖；
[0026]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的示意圖；
[0027]圖4為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的動(dòng)作示意圖(一)；
[0028]圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的動(dòng)作示意圖(二)；
[0029]圖6為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的示意圖；
[0030]圖7為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的示意圖；
[0031]圖8為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的示意圖；
[0032]圖9為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的動(dòng)作示意圖(一)；
[0033]圖10為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的動(dòng)作示意圖(二)。
[0034]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0035]【背景技術(shù)】:10_晶圓；11-黏膜層；12_框架；21_機(jī)臺(tái)；211_支撐框架；22_驅(qū)動(dòng)源；23_夾掣臺(tái)；24_第一切割機(jī)構(gòu)；241-第一切刀；242_第一驅(qū)動(dòng)源；243_第二驅(qū)動(dòng)源；25-第二切割機(jī)構(gòu)；251-第二切刀；252-第三驅(qū)動(dòng)源；253-第四驅(qū)動(dòng)源；26-第一取像機(jī)構(gòu)；27-第二取像機(jī)構(gòu)；
[0036]本實(shí)用新型:30_機(jī)臺(tái)；31_第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；311-第一滑座；312_第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；313_第一吸孔；314_第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；32_第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；321_第二滑座；322_第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；323_第二吸孔；324_第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；33_第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；34-第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；35_第一切割機(jī)構(gòu)；351-Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；352_第一轉(zhuǎn)軸；353_第一刀片；36_第二切割機(jī)構(gòu)；361-Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；362_第二轉(zhuǎn)軸；363_第二刀片；37_第
一Y軸向機(jī)架；38_取像機(jī)構(gòu)；39_第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；40_第二 Y軸向機(jī)架；41_機(jī)械手臂；50_晶圓；51_晶圓；60_機(jī)臺(tái)；61_第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；611-第一滑座；612a_第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；612b-第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；613a-第一吸孔；613b-第三吸孔；614a-第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；614b-第三旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；62-第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；621_第二滑座；622a_第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；622b-第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；623a-第二吸孔；623b_第四吸孔；624a_第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；624b_第四旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；63_第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；64_第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；65a-第一切割機(jī)構(gòu)；651a-Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；652a-第一轉(zhuǎn)軸；653a_第一刀片；65b_第三切割機(jī)構(gòu)；651b_Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；652b-第三轉(zhuǎn)軸；653b-第三刀片；66a_第二切割機(jī)構(gòu)；661a_Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；662a-第二轉(zhuǎn)軸；663a-第二刀片；66b_第四切割機(jī)構(gòu)；661b_Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；662b_第四轉(zhuǎn)軸；663b-第四刀片；67_第一 Y軸向機(jī)架；68_取像機(jī)構(gòu)；69_第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；70_第二 Y軸向機(jī)架；80_晶圓；81_晶圓；82_晶圓；83_晶圓。
【具體實(shí)施方式】
[0037]為使貴審查員對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的了解，茲舉較佳實(shí)施例并配合圖式，詳述如后:
[0038]請(qǐng)參閱圖3，其是于機(jī)臺(tái)30上設(shè)有至少兩平行設(shè)置的第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)31及第
二X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)32，第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)31設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一滑座311，第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)32則設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第二滑座321，該第一滑座311上并設(shè)有至少一第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312，第二滑座321上則設(shè)有至少一第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322，以供分別承載晶圓，該第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322分別設(shè)有可定位晶圓的定位結(jié)構(gòu)，該定位結(jié)構(gòu)設(shè)有至少一為夾具或可連通抽氣裝置(圖未示出)的吸孔，于本實(shí)施例中，該定位結(jié)構(gòu)分別于第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第一吸孔313以及于第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第二吸孔323，又第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312上設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源314，第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上則設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源324，以分別驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322作角度旋轉(zhuǎn)；另于機(jī)臺(tái)30上方設(shè)有第一 Y軸向機(jī)架37，以供設(shè)置第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)33及第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)34，該第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)33及第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)34并可分別帶動(dòng)第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36于Y軸向進(jìn)給移動(dòng)，該第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36另分別具有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)351、361，使得該第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36可作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng)；該第一切割機(jī)構(gòu)35是于第一轉(zhuǎn)軸352上裝設(shè)有第一刀片353，該第二切割機(jī)構(gòu)36是于第二轉(zhuǎn)軸362上裝設(shè)有第二刀片363，其中，該第二轉(zhuǎn)軸362與該第一轉(zhuǎn)軸352呈相對(duì)向設(shè)置，并可使第二刀片363與第一刀片353位于相同的X軸向位置上，而于第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322承載晶圓作X軸向進(jìn)給移動(dòng)時(shí)，可利用第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36同時(shí)在兩位置對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上的晶圓交替進(jìn)行切割作業(yè)；另于機(jī)臺(tái)30上設(shè)有一非由第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36帶動(dòng),而由另一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)帶動(dòng)作Y軸向進(jìn)給移動(dòng)的取像機(jī)構(gòu)38，于本實(shí)施例中，該取像機(jī)構(gòu)38獨(dú)立架設(shè)于第一 Y軸向機(jī)架37上的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39上，而可分別對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上的晶圓進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成晶圓的對(duì)位作業(yè)。
[0039]請(qǐng)參閱圖4，當(dāng)?shù)谝磺懈顧C(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36同時(shí)對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)312上的晶圓50進(jìn)行切割作業(yè)時(shí)，由于取像機(jī)構(gòu)38獨(dú)立架設(shè)于第一 Y軸向機(jī)架37的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39上，因此可作Y軸向移動(dòng)至對(duì)應(yīng)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322的位置，并利用第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322作X軸向的進(jìn)給移動(dòng)，而對(duì)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上的晶圓51進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成晶圓51的對(duì)位作業(yè)。
[0040]請(qǐng)參閱圖5，由于晶圓50切割的時(shí)間較長(zhǎng)于晶圓51取像對(duì)位的時(shí)間，因此當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)載臺(tái)312上的晶圓50完成切割作業(yè)時(shí)，第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322上的晶圓51已經(jīng)完成取像對(duì)位的作業(yè)，并退回至原點(diǎn)，此時(shí)第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36即可快速的作Y軸向移動(dòng)至對(duì)應(yīng)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322的位置，而變換對(duì)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)322的晶圓51進(jìn)行切割作業(yè)，使得第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36不會(huì)因等待晶圓51取像對(duì)位作業(yè)，而導(dǎo)致過(guò)長(zhǎng)的待機(jī)時(shí)間，進(jìn)而達(dá)到有效提升切割產(chǎn)能的實(shí)用效益。
[0041]請(qǐng)參閱圖6，本實(shí)用新型可于機(jī)臺(tái)30上另設(shè)有第二 Y軸向機(jī)架40，并于該第二 Y軸向機(jī)架40上架設(shè)第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39，而取像機(jī)構(gòu)38則獨(dú)立架設(shè)于該第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39上，使該取像機(jī)構(gòu)38相同的可在第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36進(jìn)行切割作業(yè)的同時(shí)，對(duì)另一待切割的晶圓進(jìn)行取像及完成晶圓的對(duì)位作業(yè)，而使第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36接續(xù)對(duì)另一待切割的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)，以有效提升切割產(chǎn)能。
[0042]請(qǐng)參閱圖7，本實(shí)用新型可于機(jī)臺(tái)30上另設(shè)有第二 Y軸向機(jī)架40，并于該第二 Y軸向機(jī)架40上架設(shè)第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39，該第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)39供架設(shè)一可作X-Z軸向移動(dòng)的機(jī)械手臂41，并利用該機(jī)械手臂41對(duì)晶圓進(jìn)行進(jìn)、出料作業(yè)，而取像機(jī)構(gòu)38則架設(shè)于該機(jī)械手臂41上，使該取像機(jī)構(gòu)38相同的可在第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36進(jìn)行切割作業(yè)的同時(shí)，對(duì)另一待切割的晶圓進(jìn)行取像及完成晶圓的對(duì)位作業(yè)，而使第一切割機(jī)構(gòu)35及第二切割機(jī)構(gòu)36接續(xù)對(duì)另一待切割的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)，以有效提升切割產(chǎn)倉(cāng)泛。
[0043]請(qǐng)參閱圖8，其是于機(jī)臺(tái)60上設(shè)有至少兩平行設(shè)置的第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)61及第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)62,第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)61設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一滑座611，第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)62則設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第二滑座621，該第一滑座611上并設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a及第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b，第二滑座621上則設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b，以供分別承載晶圓，該第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a、第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b、第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b分別設(shè)有可定位晶圓的定位結(jié)構(gòu),該定位結(jié)構(gòu)設(shè)有至少一為夾具或可連通抽氣裝置(圖未示出)的吸孔，于本實(shí)施例中，該定位結(jié)構(gòu)是于第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第一吸孔613a，于第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第三吸孔613b，于第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第二吸孔623a，以及于第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b設(shè)有多個(gè)可吸附晶圓定位的第四吸孔623b，又于第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a上設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源614a,于第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b設(shè)有第三旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源614b，于第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a上設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源624a，以及于第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b設(shè)有第四旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源624b，以分別驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a、第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b、第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b作角度旋轉(zhuǎn)；另于機(jī)臺(tái)60上方設(shè)有第一 Y軸向機(jī)架67，以供設(shè)置第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)63及第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)64，該第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)63并可分別帶動(dòng)第一切割機(jī)構(gòu)65a及第三切割機(jī)構(gòu)65b于Y軸向進(jìn)給移動(dòng)，第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)64則分別帶動(dòng)第二切割機(jī)構(gòu)66a及第四切割機(jī)構(gòu)66b于Y軸向進(jìn)給移動(dòng)，該第一切割機(jī)構(gòu)65a及第三切割機(jī)構(gòu)65b另分別具有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)651a、651b，第二切割機(jī)構(gòu)66a及第四切割機(jī)構(gòu)66b則分別具有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)661a、661b，使得該第一切割機(jī)構(gòu)65a、第三切割機(jī)構(gòu)65b、第二切割機(jī)構(gòu)66a及第四切割機(jī)構(gòu)66b可作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng)；該第一切割機(jī)構(gòu)65a是于第一轉(zhuǎn)軸652a上裝設(shè)有第一刀片653a，該第三切割機(jī)構(gòu)65b是于第三轉(zhuǎn)軸652b上裝設(shè)有第三刀片653b，該第二切割機(jī)構(gòu)66a是于第二轉(zhuǎn)軸662a上裝設(shè)有第二刀片663a，該第四切割機(jī)構(gòu)66b則于第四轉(zhuǎn)軸662b上裝設(shè)有第四刀片663b，其中，該第二轉(zhuǎn)軸662a與該第一轉(zhuǎn)軸652a呈相對(duì)向設(shè)置，并可使第二刀片663a與第一刀片653a位于相同的X軸向位置上，而第四轉(zhuǎn)軸662b與該第三轉(zhuǎn)軸652b呈相對(duì)向設(shè)置，并可使第四刀片663b與第三刀片653b位于相同的X軸向位置上，于第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a及第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b承載晶圓作X軸向進(jìn)給移動(dòng)時(shí)，可利用第三切割機(jī)構(gòu)65b及第四切割機(jī)構(gòu)66b同時(shí)在二位置交替對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)，而第一切割機(jī)構(gòu)65a及第二切割機(jī)構(gòu)66a則同時(shí)在二位置交替對(duì)第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)；另于機(jī)臺(tái)60上設(shè)有一非由第一切割機(jī)構(gòu)65a、第二切割機(jī)構(gòu)66a、第三切割機(jī)構(gòu)65b及第四切割機(jī)構(gòu)66帶動(dòng)，而作Y軸向進(jìn)給移動(dòng)的取像機(jī)構(gòu)68，于本實(shí)施例中，該取像機(jī)構(gòu)68獨(dú)立架設(shè)于第二 Y軸向機(jī)架70的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)69上，而可分別對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a、第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a、第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b或第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b上的晶圓進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成晶圓的對(duì)位作業(yè)。
[0044]請(qǐng)參閱圖9，當(dāng)?shù)谌懈顧C(jī)構(gòu)65b及第四切割機(jī)構(gòu)66b同時(shí)在兩位置對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612a上的晶圓80進(jìn)行切割作業(yè)，以及第一切割機(jī)構(gòu)65a及第二切割機(jī)構(gòu)66a同時(shí)在兩位置對(duì)第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b上的晶圓81進(jìn)行切割作業(yè)時(shí)，由于取像機(jī)構(gòu)68獨(dú)立架設(shè)于第二 Y軸向機(jī)架70的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)69上，因此可作Y軸向移動(dòng)至對(duì)應(yīng)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b的位置，并利用第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b作X軸向的進(jìn)給移動(dòng)，而對(duì)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a上的晶圓82及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b上的晶圓83進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成晶圓82、83的對(duì)位作業(yè)。
[0045]請(qǐng)參閱圖10，由于晶圓80、81切割的時(shí)間較長(zhǎng)于晶圓82、83取像對(duì)位的時(shí)間，因此當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)載臺(tái)612a上的晶圓80及第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)612b上的晶圓81完成切割作業(yè)時(shí)，第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a上的晶圓82及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b上的晶圓83已經(jīng)完成取像對(duì)位的作業(yè)，并退回至原點(diǎn)，此時(shí)第一切割機(jī)構(gòu)65a、第二切割機(jī)構(gòu)66a、第三切割機(jī)構(gòu)65b及第四切割機(jī)構(gòu)66b即可快速的作Y軸向移動(dòng)至對(duì)應(yīng)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b的位置，而變換對(duì)第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622a上的晶圓82及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)622b上的晶圓83進(jìn)行切割作業(yè)，使得第一切割機(jī)構(gòu)65a、第二切割機(jī)構(gòu)66a、第三切割機(jī)構(gòu)65b及第四切割機(jī)構(gòu)66b不會(huì)因等待晶圓82、83取像對(duì)位作業(yè)，而導(dǎo)致過(guò)長(zhǎng)的待機(jī)時(shí)間，進(jìn)而達(dá)到有效提升切割產(chǎn)能的實(shí)用效益。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓切割裝置，其特征在于，包括有: 機(jī)臺(tái)； 第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，設(shè)于機(jī)臺(tái)上，該第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第一滑座，于該第一滑座上設(shè)有至少一第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)，以供定位承載晶圓； 第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，與第一 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)平行設(shè)置于機(jī)臺(tái)上，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)設(shè)有至少一作X軸向進(jìn)給移動(dòng)的第二滑座，于該第二滑座上設(shè)有至少一第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)，以供定位承載晶圓； 第一 Y軸向機(jī)架，設(shè)于機(jī)臺(tái)上 ，于該第一 Y軸向機(jī)架上設(shè)置有至少一第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)； 至少一第一切割機(jī)構(gòu)，設(shè)于第一 Y軸向機(jī)架的第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上，該第一切割機(jī)構(gòu)上設(shè)有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，使該第一切割機(jī)構(gòu)作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng)，另該第一切割機(jī)構(gòu)于第一轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第一刀片，而對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓交替進(jìn)行切割作業(yè)； 取像機(jī)構(gòu)，設(shè)于機(jī)臺(tái)上，并由另一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)帶動(dòng)作Y軸向進(jìn)給移動(dòng)，而分別對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行取像，并經(jīng)由控制器的比對(duì)，完成各晶圓的對(duì)位作業(yè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第一X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的定位結(jié)構(gòu)，為多個(gè)用于吸附晶圓定位的第一吸孔，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的定位結(jié)構(gòu)，為多個(gè)用于吸附晶圓定位的第二吸孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第一X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)則設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第一Y軸向機(jī)架更設(shè)有第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，該第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上設(shè)有第二切割機(jī)構(gòu)，該第二切割機(jī)構(gòu)另設(shè)有Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，使該第二切割機(jī)構(gòu)作Y-Z軸向進(jìn)給移動(dòng)，該第二切割機(jī)構(gòu)是于第二轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第二刀片，而對(duì)第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)或第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上的晶圓進(jìn)行切割作業(yè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第二切割機(jī)構(gòu)的第二轉(zhuǎn)軸與第一切割機(jī)構(gòu)的第一轉(zhuǎn)軸呈相對(duì)向設(shè)置，并使第二刀片與第一切割機(jī)構(gòu)的第一刀片位于相同的X軸向位置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第一X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一滑座上分別設(shè)有第一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第三旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，該第二 X軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二滑座上則分別設(shè)有第二旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及第四旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，另該第一 Y軸向機(jī)架上的第一 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)分別設(shè)有具Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一切割機(jī)構(gòu)及第三切割機(jī)構(gòu)，該第二 Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)則分別設(shè)有具Z軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第二切割機(jī)構(gòu)及第四切割機(jī)構(gòu)，該第三切割機(jī)構(gòu)是于第三轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第三刀片，該第四切割機(jī)構(gòu)則于第四轉(zhuǎn)軸上裝設(shè)有第四刀片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第四切割機(jī)構(gòu)的第四轉(zhuǎn)軸與該第三切割機(jī)構(gòu)的第三轉(zhuǎn)軸呈相對(duì)向設(shè)置，并使第四刀片與第三刀片位于相同的X軸向位置上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該取像機(jī)構(gòu)架設(shè)于第一Y軸向機(jī)架上的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該取像機(jī)構(gòu)架設(shè)于第二Y軸向機(jī)架上的第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓切割裝置，其特征在于，該第三Y軸向進(jìn)給機(jī)構(gòu)供架設(shè)一作X-Z軸向移動(dòng)的 機(jī)械手臂，該取像機(jī)構(gòu)則架設(shè)于該機(jī)械手臂上。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK203665734SQ201420011404
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年1月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月6日
【發(fā)明者】邱文國(guó), 林良鎮(zhèn), 楊桔青 申請(qǐng)人:臺(tái)灣暹勁股份有限公司