專利名稱：一種空氣刀裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及液晶顯示面板生產(chǎn)加工技術(shù)領域，特別涉及一種空氣刀裝置。
背景技術(shù)：
隨著九十年代TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜場效應晶體管液晶顯示器)技術(shù)的成熟，液晶顯示面板由于其平板、輕薄、低功耗、多樣化、環(huán)保性等優(yōu)點得到迅速發(fā)展。隨著液晶顯示面板中玻璃基板的大型化，為保證產(chǎn)品的合格率，TFT-LCD的生產(chǎn)技術(shù)中各步工藝的均一性要求面臨著更大的挑戰(zhàn)。其中，濕法刻蝕是TFT-IXD加工工藝中重要的一環(huán)，利用混合酸液對玻璃表面光刻膠未覆蓋的金屬進行刻蝕，從而形成所需要的金屬圖案。而在實際工藝過程中，刻蝕設備 刻蝕反應單元的出口處安裝有空氣刀裝置，空氣刀裝置用于截留刻蝕液，減少產(chǎn)品對刻蝕液的帶出量，降低生產(chǎn)成本；空氣刀裝置還可以用來對濕法刻蝕工藝中的清洗液進行截留
坐寸ο如圖I所示，圖I為現(xiàn)有技術(shù)中的一種空氣刀裝置的側(cè)視剖視截面結(jié)構(gòu)示意圖。圖I所示方位的空氣刀裝置主要包括具有板狀結(jié)構(gòu)的氣刀本體，氣刀本體有通過固定件4固定連接的第一板體I和第二板體2組成，第一板體I和第二板體2中相對的兩個面之間形成氣體腔室6，第一板體I和第二板體2的下端形成噴嘴部，如圖I中所示A區(qū)域，第一板體I上具有至少一個與氣體腔室6流體連通的氣體通入口 3，且上述噴嘴部的下端具有一線縫隙狀的氣體噴射口 5，氣體噴射口 5與氣體腔室6流體連通；高壓氣體通過氣體通入口 3通入氣體腔室6，并通過氣體噴射口 5噴向玻璃基板，以對玻璃基板上的刻蝕液進行截留。由于空氣刀裝置的第一板體I 一般對應的是刻蝕液及清洗液的噴淋單元，刻蝕液以及清洗液會濺落到第一板體I上，而氣體噴射口 5位于氣刀本體的下端，且橫向延伸，濺落在第一板體I上的刻蝕液及清洗液的液滴匯聚形成的液流會流向氣刀本體的下端，并在氣體噴射口 5處流下，氣體噴射口 5處流下的液流會影響縫隙狀的氣體噴射口 5噴射氣幕的均勻性，導致氣體噴射口 5噴射的氣幕分叉不均，造成氣體噴射口 5對玻璃基板上殘留的刻蝕液的截留不均勻，造成產(chǎn)品中由于殘留刻蝕液不均勻造成的各種不良，甚至造成產(chǎn)品直線不良區(qū)域的出現(xiàn)，嚴重影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種空氣刀裝置，能夠降低液流對氣體噴射口形成的氣幕均勻性的影響，進而提高產(chǎn)品質(zhì)量。為達到上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案一種用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，所述氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，所述氣體噴射口與氣體腔室流體連通，所述第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口；所述第一板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽，所述導流槽貫穿所述第一板體的長度方向。優(yōu)選地，所述第二板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第二板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽。優(yōu)選地，第二板體背離所述氣體腔室的外表面具有兩個導流槽。優(yōu)選地，所述第一板體和第二板體通過兩排緊固螺絲固定連接，每一個所述緊固螺絲由第二板體穿過與第一板體固定連接，且每一排所述固定螺絲在所述第二板體上的一個導流槽內(nèi)均勻分布?！0014]優(yōu)選地，一個所述導流槽的兩個側(cè)壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側(cè)壁與導流槽的槽底之間的夾角為銳角。優(yōu)選地，至少一個所述導流槽的兩個側(cè)壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側(cè)壁具有導流坡；沿所述導流坡的導流頂點指向?qū)Я鞯c的方向，所述導流坡的上游點距所述噴嘴部的端表面的距離，大于所述導流坡的下游點距所述噴嘴部的端表面的距離。優(yōu)選地，所述第一側(cè)壁具有一個導流坡，所述導流坡的導流頂點為第一側(cè)壁的一端，所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。優(yōu)選地，所述第一側(cè)壁具有兩個導流坡，兩所述導流坡具有同一個導流頂點，一所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的一端，另一所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。優(yōu)選地，所述氣體通入口為多個，且沿所述氣刀本體的長度方向均勻分布。優(yōu)選地，所述第一板體與第二板體相對的兩個面之間具有密封墊片。本實用新型提供的用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，所述氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，所述氣體噴射口與氣體腔室流體連通，所述第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口，所述第一板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽，所述導流槽貫穿所述第一板體的長度方向。本實用新型提供的空氣刀裝置在使用過程中，其氣體噴射口的噴射方向向下，高壓氣體通過氣體通入口通入氣體腔室內(nèi)，并通過氣體噴射口噴出，形成氣幕，對產(chǎn)品表面的刻蝕液以及清洗液等液體進行截留；其中，第一板體朝向濕法刻蝕設備的噴淋裝置，噴淋裝置噴淋的液滴濺落在第一板體背離氣體腔室的外表面，第一板體外表面上的液滴匯聚后向下流動，由于第一板體外表面設有至少一個導流槽，液滴匯聚之后形成的液流會流入導流槽，并沿導流槽導離氣體噴射口所對應的區(qū)域。這樣，濺落到第一板體的外表面的液滴匯聚而成的液流被導流槽導向別處流下，進而降低了液流對氣體噴射口形成的氣幕均勻性的影響。因此，本實用新型提供的空氣刀裝置能夠降低液流對氣體噴射口形成的氣幕均勻性的影響，進而提高產(chǎn)品質(zhì)量。

[0024]圖I為現(xiàn)有技術(shù)中的一種空氣刀裝置的側(cè)視剖視截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型提供的空氣刀裝置的剖視截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型提供的空氣刀裝置中第二板體中一種導流槽結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型提供的空氣刀裝置中第一板體的正視結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實用新型提供的空氣刀裝置中第二板體中另一種導流槽結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實用新型提供的空氣刀裝置中第一板體中另一種導流槽結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型的技術(shù)方案一中提供的空氣刀裝置，包括氣刀本體，氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，氣體噴射口與氣體腔室流體連通，第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口；第一板體背離氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽，導流槽貫穿第一板體的長度方向。空氣刀裝置在使用過程中，第一板體對應濕法刻蝕設備的噴淋裝置，通過第一板體背離氣體腔室的外表面設置的至少一個導流槽，將濺落在第一板體上的液滴匯聚而成的液流導離氣體噴射口所對應的區(qū)域，進而降低液流對氣體噴射口噴射形成氣幕的均勻性，提聞廣品質(zhì)量。作為本實用新型的技術(shù)方案二，本技術(shù)方案在技術(shù)方案一的基礎上，為了降低第二板體上的液滴匯聚而成的液流對氣體噴射口形成氣幕均勻性的影響，第二板體背離氣體腔室的外表面具有至少一個導流槽，用于將第二板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域。第二板體背離氣體腔室的外表面形成的導流槽可以將第二板體上的液滴匯聚成的液流導離氣體噴射口對應的區(qū)域，進一步降低了氣刀本體上匯聚的液流對氣體噴射口形成氣幕均勻性的影響。作為本實用新型的技術(shù)方案三，本技術(shù)方案在技術(shù)方案二的基礎上對第二板體上設置的導流槽進行限定第二板體背離氣體腔室的外表面具有兩個導流槽。作為本實用新型的技術(shù)方案四，本技術(shù)方案在技術(shù)方案三的基礎上，對第一板體和第二板體之間的固定連接的方式進行限定優(yōu)選地，第一板體和第二板體通過兩排緊固螺絲固定連接，每一個緊固螺絲由第二板體穿過與第一板體固定連接，且每一排固定螺絲在第二板體上的一個導流槽內(nèi)均勻分布。一排固定螺絲在第二板體設置的一個導流槽內(nèi)分布，則該導流槽可以對該排固定螺絲中每一個固定螺絲的螺帽上匯聚的液體進行導流，防止螺帽上匯聚的液體滴落在產(chǎn)品上。當然，第一板體和第二板體之間還可以通過其它方式固定連接，如使用扣鎖、卡接、焊接等方式，只要能夠?qū)崿F(xiàn)上述結(jié)構(gòu)的固定連接即可。作為本實用新型的技術(shù)方案五，本技術(shù)方案分別在技術(shù)方案一至技術(shù)方案四任一技術(shù)方案的基礎上對導流槽的具體結(jié)構(gòu)進行限定一個導流槽的兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口的第一側(cè)壁與導流槽的槽底之間的夾角為銳角。由于空氣刀裝置在使用過程中，氣體噴射口的噴射方向向下，導流槽中，靠近氣體噴射口的第一側(cè)壁與導流槽的槽底之間的夾角為銳角，則導流槽第一側(cè)壁的外側(cè)的高度高于內(nèi)側(cè)的高度，液流流入導流槽之后，會被第一側(cè)壁的外側(cè)阻擋，只能沿著導流槽的導流方向流動，增強了導流槽的導流能力。作為本實用新型的技術(shù)方案六，本技術(shù)方案分別在技術(shù)方案一至技術(shù)方案五任一技術(shù)方案的基礎上對導流槽的具體結(jié)構(gòu)進行限定至少一個導流 槽的兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口的第一側(cè)壁具有導流坡，沿導流坡的導流頂點指向?qū)Я鞯c的方向，導流坡的上游點距噴嘴部的端表面的距離，大于導流坡的下游點距噴嘴部的端表面的距離。導流坡的導流頂點是指第一側(cè)壁中距離氣刀本體的最下端最遠的位置，導流坡的導流底點是指第一側(cè)壁中距離氣刀本體的最下端最近的位置。導流坡的設置，可以使液流在進入導流槽之后沿導流坡的導流方向?qū)Я?，由導流頂點流向?qū)Я鞯c，增強了導流槽的導流性。作為本實用新型的技術(shù)方案七，本技術(shù)方案在技術(shù)方案六的基礎上，對技術(shù)方案六中導流槽的導流坡的設置方式進行限定；具體的，第一側(cè)壁具有一個導流坡，導流坡的導流頂點為第一側(cè)壁的一端，導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。作為本實用新型的技術(shù)方案八，本技術(shù)方案在技術(shù)方案六的基礎上，對技術(shù)方案六中導流槽的導流坡的設置方式進行限定具體的，第一側(cè)壁具有兩個導流坡，兩導流坡具有同一個導流頂點，一導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的一端，另一導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。將導流坡設置為分段結(jié)構(gòu)，可以將導流槽的導流方向分為兩個方向，能夠起到分流作用，將流入導流槽的液流分兩個方向進行導流，進一步增強了導流槽的導流性。作為本實用新型的技術(shù)方案九，本技術(shù)方案分別在技術(shù)方案一至技術(shù)方案八任一技術(shù)方案的基礎上，對氣體通入口的布置方式進行限定具體的，氣體通入口為多個，且沿氣刀本體的長度方向均勻分布。作為本實用新型的技術(shù)方案十，本技術(shù)方案分別在技術(shù)方案一至技術(shù)方案九任一技術(shù)方案的基礎上，對第一板體和第二板體之間的密封裝置進行增加優(yōu)選地，第一板體與第二板體相對的兩個面之間具有密封墊片。密封片的設置，可以增強第一板體與第二板體之間邊緣部位的密封性，防止氣體腔室在除卻氣體噴射口以外的位置產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象。上述列舉了本實用新型的十種優(yōu)選的技術(shù)方案，相應的技術(shù)方案之間可以進行組合，以形成本實用新型中相應的實施例，在具體實施例中，上述多個技術(shù)方案中存在其他替代方案，這里不再一一贅述。下面列舉一下比較重要的實施例對本實用新型提供的空氣刀裝置進行描述，以便于本領域技術(shù)人員對本實用新型技術(shù)方案的理解。實施例一如圖2、圖4以及圖6所示。[0053]本實用新型提供的用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室16的第一板體11和第二板體12，第一板體11和第二板體12的一端形成具有一線氣體噴射口 15的噴嘴部，噴嘴部具體如圖2中所示虛線框B區(qū)域，氣體噴射口 15與氣體腔室16流體連通，第一板體11具有與氣體腔室16流體連通的至少一個氣體通入口 13，第一板體11背離氣體腔室16的外表面形成用于將第一板體11上匯聚的液體導離氣體噴射口 15對應區(qū)域的至少一個導流槽111，導流槽111貫穿第一板體11的長度方向。本實用新型提供的空氣刀裝置在使用過程中，其氣體噴射口 15的噴射方向向下，高壓氣體通過至少一個氣體通入口 13通入氣體腔室16內(nèi)，并通過氣體噴射口 15噴出，形成氣幕，對產(chǎn)品表面的刻蝕液以及清洗液等液體進行截留；其中，第一板體11朝向濕法刻蝕設備的噴淋裝置，噴淋裝置噴淋的液滴濺落在第一板體11背離氣體腔室的外表面112，第一板體11外表面112上的液滴匯聚后向下流動，由于第一板體11外表面112設有至少一個導流槽111，液滴匯聚之后形成的液流會流入導流槽111，并沿導流槽111導離氣體噴射口 15所對應的區(qū)域。這樣，濺落到第一板體11的外表面112的液滴匯聚而成的液流被·導流槽111導向別處流下，進而降低了液流對氣體噴射口 15形成的氣幕均勻性的影響。因此，本實用新型提供的空氣刀裝置能夠降低液流對氣體噴射口 15形成的氣幕均勻性的影響，進而提高產(chǎn)品質(zhì)量。當然，上述導流槽111的具體結(jié)構(gòu)以及具體設置方式可以有多種選擇如，優(yōu)選技術(shù)方案中，上述導流槽111的兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁113與導流槽111的槽底之間的夾角α為銳角。如圖2所示。由于空氣刀裝置在使用過程中，氣體噴射口 15的噴射方向向下,導流槽111中,靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁113與導流槽111的槽底之間的夾角α為銳角，則導流槽111第一側(cè)壁113的外側(cè)的高度高于內(nèi)側(cè)的高度，液流流入導流槽111之后，會被第一側(cè)壁113的外側(cè)阻擋，只能沿著導流槽111的導流方向流動，增強了導流槽111的導流能力。進一步地，優(yōu)選技術(shù)方案中，如圖2和圖4所示，上述技術(shù)方案中第一板體11具有的導流槽111的兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁113具有導流坡，沿導流坡的導流頂點C指向?qū)Я鞯cD1，和/或，導流底點D2的方向，導流坡的上游點距噴嘴部的端表面的距離，大于導流坡的下游點距噴嘴部的端表面的距離。導流坡的導流頂點C是指第一側(cè)壁113中距離氣刀本體的最下端最遠的位置，如圖4中所示位置C，導流坡的導流底點是指第一側(cè)壁113中距離氣刀本體的最下端最近的位置，如圖4中所示位置Dl和D2。導流坡的設置，可以使液流在進入導流槽111之后沿導流坡的導流方向?qū)Я?，由導流頂點C流向?qū)Я鞯cD1，和/或，導流底點D2，增強了導流槽111的導流性。具體的，如圖6所示結(jié)構(gòu)，上述提到的導流槽111的第一側(cè)壁113具有一個導流坡，導流坡的導流頂點為第一側(cè)壁113的一端，導流坡的導流底點為第一側(cè)壁113的另一端?；蛘撸鐖D4所示結(jié)構(gòu)，上述導流槽111的第一側(cè)壁113具有兩個導流坡，兩導流坡具有同一個導流頂點C，一導流坡的導流底點Dl為第一側(cè)壁113的一端，另一導流坡的導流底點D2為第一側(cè)壁113的另一端。[0063]將導流坡設置為分段結(jié)構(gòu)，可以將導流槽111的導流方向分為兩個方向，能夠起到分流作用，將流入導流槽111的液流分兩個方向進行導流，進一步增強了導流槽的導流性。進一步地，優(yōu)選技術(shù)方案中，上述氣體通入口 13為多個，且沿氣刀本體的長度方向均勻分布。氣體通入口 13沿氣刀本體的長度方向均勻分布，可以增強氣體通入氣體腔室16時的均勻性。優(yōu)選地，第一板體11與第二板體12相對的兩個面之間具有密封墊片17。密封片17的設置，可以增強第一板體11與第二板體12之間邊緣部位的密封性，防止氣體腔室16在除卻氣體噴射口 15以外的位置產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，防止漏氣在氣刀本體外表面產(chǎn)生的氣泡對液體的濺射，增強產(chǎn)品刻蝕的均衡性。實施例二 如圖2 圖6所示。本實用新型提供的用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室16的第一板體11和第二板體12，第一板體11和第二板體12的一端形成具有一線氣體噴射口 15的噴嘴部，噴嘴部具體如圖2中所示虛線框B區(qū)域，氣體噴射口 15與氣體腔室16流體連通，第一板體11具有與氣體腔室16流體連通的至少一個氣體通入口 13，第一板體11背離氣體腔室16的外表面形成用于將第一板體11上匯聚的液體導離氣體噴射口 15對應區(qū)域的至少一個導流槽111，導流槽111貫穿第一板體11的長度方向，同時，第二板體12背離氣體腔室16的外表面123具有至少一個導流槽，用于將第二板體12上匯聚的液體導離氣體噴射口 15對應區(qū)域。本實用新型提供的空氣刀裝置，如實施例一中所述，導流槽111可以將濺落到第一板體11的外表面112的液滴匯聚而成的液流導向別處流下，進而降低第一板體11上匯聚的液流對氣體噴射口 15形成的氣幕均勻性的影響；同理，第二板體12背離氣體腔室16的外表面123形成的導流槽可以將第二板體12上的液滴匯聚成的液流導離氣體噴射口 15對應的區(qū)域，降低了第二板體12上的液流對氣體噴射口 15形成的氣幕均勻性的影響，進一步降低了氣刀本體上匯聚的液流對氣體噴射口 15形成氣幕均勻性的影響。具體的，上述第二板體12背離氣體腔室16的外表面123具有兩個導流槽，如圖2和圖3所示，分別為導流槽121和導流槽122。導流槽設置為兩個，且上下分布，可以最大限度地對第二板體12上液滴匯聚的液流進行導流。進一步地，上述第一板體11與第二板體12之間的固定件為兩排緊固螺絲，每一個緊固螺絲由第二板體12穿過與第一板體11固定連接，且每一排固定螺絲在第二板體12上的一個導流槽內(nèi)均勻分布。如圖2和圖3所示，一排固定螺絲141在第二板體12設置的導流槽121內(nèi)分布，則導流槽121可以對該排固定螺絲141中每一個固定螺絲的螺帽上匯聚的液體進行導流，防止螺帽上匯聚的液體滴落在產(chǎn)品上；另一排固定螺絲142在第二板體12設置的導流槽122內(nèi)分布，則導流槽122可以對該排固定螺絲142中的每一個固定螺絲的螺帽上匯聚的液體進行導流，防止螺帽上匯聚的液體滴落在產(chǎn)品上。當然，上述導流槽111、導流槽121以及導流槽122的具體結(jié)構(gòu)以及具體設置方式可以有多種選擇[0075]如，優(yōu)選技術(shù)方案中，上述導流槽111、導流槽121以及導流槽122中的至少一個，其兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁與該導流槽的槽底之間的夾角為銳角。由于空氣刀裝置在使用過程中，氣體噴射口 15的噴射方向向下，以導流槽111為例進行描述；導流槽111中，靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁113與導流槽111的槽底之間的夾角α為銳角，則導流槽111第一側(cè)壁113的外側(cè)的高度高于內(nèi)側(cè)的高度，液流流入導流槽111之后，會被第一側(cè)壁113的外側(cè)阻擋，只能沿著導流槽111的導流方向流動，增強了導流槽111的導流能力。優(yōu)選地，如圖2所示，上述導流槽111的第一側(cè)壁113與其槽底之間夾角α為銳
角，導流槽121的第一側(cè)壁125與其槽底之間的夾角β為銳角，導流槽122的第一側(cè)壁124與其槽底之間的夾角Y為銳角。進一步地，優(yōu)選技術(shù)方案中，如圖2和圖4所示，上述技術(shù)方案中第一板體11具有的導流槽111的兩個側(cè)壁中，靠近氣體噴射口 15的第一側(cè)壁113具有導流坡，沿導流坡的導流頂點C指向?qū)Я鞯cD1，和/或，導流底點D2的方向，導流坡的上游點距噴嘴部的端表面的距離，大于導流坡的下游點距噴嘴部的端表面的距離。導流坡的導流頂點C是指第一側(cè)壁113中距離氣刀本體的最下端最遠的位置，如圖4中所示位置C，導流坡的導流底點是指第一側(cè)壁113中距離氣刀本體的最下端最近的位置，如圖4中所示位置Dl和D2。導流坡的設置，可以使液流在進入導流槽111之后沿導流坡的導流方向?qū)Я?，由導流頂點C流向?qū)Я鞯cD1，和/或，導流底點D2，增強了導流槽111的導流性。具體的，如圖6所示結(jié)構(gòu)，上述提到的導流槽111的第一側(cè)壁113具有一個導流坡，導流坡的導流頂點為第一側(cè)壁113的一端，導流坡的導流底點為第一側(cè)壁113的另一端。或者，如圖4所示結(jié)構(gòu)，上述導流槽111的第一側(cè)壁113具有兩個導流坡，兩導流坡具有同一個導流頂點C，一導流坡的導流底點Dl為第一側(cè)壁113的一端，另一導流坡的導流底點D2為第一側(cè)壁113的另一端。將導流坡設置為分段結(jié)構(gòu)，可以將導流槽111的導流方向分為兩個方向，能夠起到分流作用，將流入導流槽111的液流分兩個方向進行導流，進一步增強了導流槽的導流性。當然，第二板體12的外表面123具有的導流槽121和導流槽122也可應具有上述導流坡，如圖3和圖5所示。進一步地，優(yōu)選技術(shù)方案中，上述氣體通入口 13為多個，且沿氣刀本體的長度方向均勻分布。氣體通入口 13沿氣刀本體的長度方向均勻分布，可以增強氣體通入氣體腔室16時的均勻性。優(yōu)選地，第一板體11與第二板體12相對的兩個面之間具有密封墊片17。密封片17的設置，可以增強第一板體11與第二板體12之間邊緣部位的密封性，防止氣體腔室16在除卻氣體噴射口 15以外的位置產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，防止漏氣在氣刀本體外表面產(chǎn)生的氣泡對液體的濺射，增強產(chǎn)品刻蝕的均衡性。當然，上述實施例一和實施例二僅僅是上述十種技術(shù)方案組合而成的諸多實施例中的優(yōu)選實施例，上述十種技術(shù)方案還可以組合出其他實施例，這里不再一一贅述。[0088]顯然，本領域的技術(shù)人員可以對本實用新型實施例進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精 神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，所述氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，所述氣體噴射口與氣體腔室流體連通，所述第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口，其特征在于， 所述第一板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽，所述導流槽貫穿所述第一板體的長度方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第二板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第二板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空氣刀裝置，其特征在于，第二板體背離所述氣體腔室的外表面具有兩個導流槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一板體和第二板體通過兩排緊固螺絲固定連接，每一個所述緊固螺絲由第二板體穿過與第一板體固定連接，且每一排所述固定螺絲在所述第二板體上的一個導流槽內(nèi)均勻分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空氣刀裝置，其特征在于，一個所述導流槽的兩個側(cè)壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側(cè)壁與導流槽的槽底之間的夾角為銳角。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空氣刀裝置，其特征在于，至少一個所述導流槽的兩個側(cè)壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側(cè)壁具有導流坡；沿所述導流坡的導流頂點指向?qū)Я鞯c的方向，所述導流坡的上游點距所述噴嘴部的端表面的距離，大于所述導流坡的下游點距所述噴嘴部的端表面的距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一側(cè)壁具有一個導流坡，所述導流坡的導流頂點為第一側(cè)壁的一端，所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一側(cè)壁具有兩個導流坡，兩所述導流坡具有同一個導流頂點，一所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的一端，另一所述導流坡的導流底點為第一側(cè)壁的另一端。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述氣體通入口為多個，且沿所述氣刀本體的長度方向均勻分布。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一板體與第二板體相對的兩個面之間具有密封墊片。
專利摘要本實用新型公開了一種空氣刀裝置，包括氣刀本體，所述氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，所述氣體噴射口與氣體腔室流體連通，所述第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口，所述第一板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區(qū)域的至少一個導流槽，所述導流槽貫穿所述第一板體的長度方向。本實用新型提供的空氣刀裝置在使用過程中通過導流槽，將濺落到第一板體的外表面的液滴匯聚而成的液流被導向別處流下，進而降低了液流對氣體噴射口形成的氣幕均勻性的影響。
文檔編號C03C15/00GK202705232SQ201220364688
公開日2013年1月30日 申請日期2012年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月25日
發(fā)明者李登濤, 侯智, 吳代吾, 楊子衡, 梁亞東, 李茜茜 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司