專利名稱：一種集成式特氣房的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種集成式特氣房。
背景技術(shù)：
特種氣體(以下簡(jiǎn)稱特氣)是指用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、夕卜延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體以及工藝設(shè)備所使用的氣體，大部分的特氣泄漏后會(huì)對(duì)人員的生命健康造成威脅，也對(duì)環(huán)境造成污染，因此在實(shí)際生產(chǎn)中需要對(duì)特氣設(shè)置單獨(dú)的儲(chǔ)存空間，便于對(duì)其進(jìn)行較為妥善的保存?，F(xiàn)有技術(shù)中，通常根據(jù)生產(chǎn)廠房所使用的特氣的種類以及使用量決定是單獨(dú)的區(qū)域建造獨(dú)立的特氣間還是在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)布置特氣間。布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特氣間，一般采用氣瓶柜、氣瓶架和氣瓶集裝格等部件向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體，而當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的氣體儲(chǔ) 量超過(guò)規(guī)定容量時(shí)，必須設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體房，一般采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長(zhǎng)管拖車等向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。根據(jù)特種氣體的性質(zhì)一般又需要分為可燃性氣體間、毒性/腐蝕性氣體間和惰性氣體間等。綜上可知，不論是在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)布置特氣間還是在單獨(dú)的區(qū)域建造獨(dú)立的特氣房，均為土建結(jié)構(gòu)。而且建設(shè)完成后，操作人員需要在建設(shè)好的特氣房?jī)?nèi)對(duì)氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管路進(jìn)行布置，即需要操作人員在施工現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行工作，不利于對(duì)特氣房的集中生產(chǎn)。此外，由于土建結(jié)構(gòu)的特氣間或特氣房的建設(shè)周期長(zhǎng)，建造成本高，工程量大，且特氣房?jī)?nèi)各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)的安裝調(diào)試受用戶水、電、氣等配套條件的影響，不可避免的會(huì)對(duì)用戶的生產(chǎn)建設(shè)周期造成影響。因此，如何提供一種特氣房，以便集中生產(chǎn)同時(shí)降低建設(shè)周期，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種特氣房，以便集中生產(chǎn)同時(shí)降低建設(shè)周期。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案—種集成式特氣房，包括特氣房主體和設(shè)置在所述特氣房主體內(nèi)的氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管道系統(tǒng)，其中，所述特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運(yùn)輸?shù)南渥?。?yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體為金屬板構(gòu)成的箱子。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體為集裝箱。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，還包括EHS安全系統(tǒng)。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的下底板上鋪設(shè)有防靜電耐磨PVC地板。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的側(cè)壁均鋪設(shè)有防火板。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的側(cè)壁設(shè)置有門。優(yōu)選地，上述的集成式特氣房中，所述門為推拉式伸縮門或快推式防火門。[0015]從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型提供了一種集成式特氣房，包括特氣房主體和設(shè)置在特氣房主體內(nèi)的氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管道系統(tǒng)，其中，特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運(yùn)輸?shù)南渥印Ｍㄟ^(guò)將特氣房主體設(shè)置為能夠被運(yùn)輸?shù)南渥拥男问?，使得特氣房主體內(nèi)部的設(shè)備、裝置和管閥等的安裝和調(diào)試工作均可在制造工廠內(nèi)完成。使用時(shí)，只需要將其運(yùn)輸?shù)接脩衄F(xiàn)場(chǎng)，通過(guò)管道的連通即可實(shí)現(xiàn)特種氣體的供應(yīng)。通過(guò)上述描述可知，該集成式特氣房可集中進(jìn)行建設(shè)，因此，與土建房相比建造成本低，生產(chǎn)周期短。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的集成式特氣房的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型核心是提供一種集成式特氣房，以便集中生產(chǎn)同時(shí)降低建設(shè)周期。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖1，圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的集成式特氣房的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)的集成式特氣房，包括特氣房主體I和設(shè)置在該特氣房主體I內(nèi)的氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管道系統(tǒng)，其中，特氣房主體I為具有上蓋和下底且能夠被運(yùn)輸?shù)南渥印Ｍㄟ^(guò)將特氣房主體I設(shè)置為能夠被運(yùn)輸?shù)南渥拥男问?，使得特氣房主體I內(nèi)部的設(shè)備、裝置和管閥等的安裝和調(diào)試工作均可在制造工廠內(nèi)完成，使用時(shí)，只需要將其運(yùn)輸?shù)接脩衄F(xiàn)場(chǎng)，通過(guò)管道的連通即可實(shí)現(xiàn)特種氣體的供應(yīng)。通過(guò)上述描述可知，該集成式特氣房可集中進(jìn)行建設(shè)，因此，與土建房相比建造成本低，生產(chǎn)周期短。實(shí)際生產(chǎn)中，可根據(jù)設(shè)置的特種氣體的種類和數(shù)量將該特氣房主體I內(nèi)部設(shè)置為多個(gè)小模塊，即將該集成式特氣房?jī)?nèi)部隔成多個(gè)小空間，以便對(duì)多種氣體同時(shí)存放，還可將操作空間隔離出來(lái)，以保證操作人員的安全。具體的包括多個(gè)氣瓶間3、氣柜操作間4和配電間5，通過(guò)隔斷的設(shè)計(jì)使各個(gè)區(qū)域模塊化，便于管理；也可將多個(gè)特氣房主體I組成整套特氣系統(tǒng)，以便存放較大的特氣鋼瓶，同時(shí)，還可將氣柜操作間4，配電間5集中放置，便于管理。在具體實(shí)施例中，由于金屬板的機(jī)械強(qiáng)度大，生產(chǎn)成本低，可以將特氣房主體I設(shè)置為由金屬板構(gòu)成的箱子。本領(lǐng)域技術(shù)人員還可以將其設(shè)置為金屬?gòu)?fù)合板，由于金屬?gòu)?fù)合板還具有防腐蝕性和防爆性，因此可進(jìn)一步保證該特氣房的使用長(zhǎng)久性和安全性。在上述方案的技術(shù)上，為了進(jìn)一步節(jié)省生產(chǎn)成本，本實(shí)施例中將特氣房主體I設(shè)置為集裝箱或進(jìn)行簡(jiǎn)單改裝的集裝箱。由于同種型號(hào)的集裝箱尺寸相同，因此，便于對(duì)同種型號(hào)的集裝箱內(nèi)的設(shè)備、裝置和管閥等統(tǒng)一設(shè)置，即實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)，即進(jìn)一步縮短生產(chǎn)周期。同時(shí)在生產(chǎn)過(guò)程中使用的集裝箱可以為再次利用的集裝箱，即可進(jìn)一步節(jié)省生產(chǎn)成本。為了進(jìn)一步保證該集成式特氣房的安全性能，還包括EHS安全系統(tǒng)。EHS (環(huán)境Environment、健康Health、安全Safety的縮寫)管理體系是環(huán)境管理體系和職業(yè)健康管理體系兩體系的整合。[0026]為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，本實(shí)施例中在特氣房主體I的下底板上鋪設(shè)防靜電耐磨PVC地板。PVC地板是指采用聚氯乙烯材料生產(chǎn)的地板，具有安裝施工快捷、維護(hù)方便，無(wú)毒，無(wú)輻射；同時(shí)還具有耐磨、耐刮擦，化學(xué)性能優(yōu)良，耐腐蝕性強(qiáng)；表面平整光亮，抗靜電效果持久的特性。因此，進(jìn)一步延長(zhǎng)了該集成式特氣房的使用壽命。優(yōu)選地，可將特氣房主體I的側(cè)壁均鋪設(shè)有防火板。具體實(shí)施例中，在特氣房主體I的側(cè)壁上設(shè)置有供人進(jìn)出和供用于運(yùn)輸氣瓶的設(shè)備進(jìn)出的門2，優(yōu)選地，本實(shí)施例中提供的門2為推拉式伸縮門或快推式防火門，以方便操作人員進(jìn)出該特氣房。本實(shí)施例中，在特氣房主體I 一邊的側(cè)壁上設(shè)置了供人員進(jìn)出的普通式雙開(kāi)門，在相對(duì)邊側(cè)壁上開(kāi)設(shè)了供運(yùn)輸氣瓶的叉車進(jìn)出的推拉式伸縮門或快推式防火門，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，開(kāi)設(shè)的門2的大小和數(shù)量可根據(jù)不同的需要進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整，且均在保護(hù)范圍內(nèi)。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他 實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種集成式特氣房，包括特氣房主體(I)和設(shè)置在所述特氣房主體(I)內(nèi)的氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管道系統(tǒng)，其特征在于，所述特氣房主體(I)為具有上蓋和下底且能夠被運(yùn)輸?shù)南渥印?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)為金屬板構(gòu)成的箱子。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)為集裝箱。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，還包括EHS安全系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的下底板上鋪設(shè)有防靜電耐磨PVC地板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的側(cè)壁均鋪設(shè)有防火板。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的側(cè)壁設(shè)置有門(2)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的集成式特氣房，其特征在于，所述門(2)為推拉式伸縮門或快推式防火門。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種集成式特氣房，包括特氣房主體和設(shè)置在所述特氣房主體內(nèi)的氣體控制柜、氣體監(jiān)控裝置以及配套管道系統(tǒng)，其中，所述特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運(yùn)輸?shù)南渥?。通過(guò)將特氣房主體設(shè)置為能夠被運(yùn)輸?shù)南渥拥男问剑沟锰貧夥恐黧w內(nèi)部的設(shè)備、裝置和管閥等的安裝和調(diào)試工作均可在制造工廠內(nèi)完成。使用時(shí)，只需要將其運(yùn)輸?shù)接脩衄F(xiàn)場(chǎng)，通過(guò)管道的連通即可實(shí)現(xiàn)特種氣體的供應(yīng)。通過(guò)上述描述可知，該集成式特氣房可集中進(jìn)行建設(shè)，因此，與土建房相比建造成本低，生產(chǎn)周期短。
文檔編號(hào)E04H7/04GK202658937SQ20122024795
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月29日
發(fā)明者連海洲, 吳海華, 薛元 申請(qǐng)人:上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司