專利名稱：分?jǐn)嘌b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)對(duì)脆性板材形成劃線、且使脆性板材沿著劃線脆性破壞而將脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材的分?jǐn)嘌b置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶片或構(gòu)成平面顯示面板的玻璃基板等脆性板材可由進(jìn)行刻劃加工的分?jǐn)嘌b置分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材。脆性板材為包含脆性材料的板狀的構(gòu)件，脆性材料包括半導(dǎo)體、玻璃、石英及陶瓷等。另外，平面顯示面板例如為液晶顯示面板及有機(jī) EL(electroluminescence,電激發(fā)光)面板等。
進(jìn)行刻劃加工的以往的分?jǐn)嘌b置例如在專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2等中有所揭示。 刻劃加工是通過(guò)刻劃步驟及斷開(kāi)步驟來(lái)實(shí)現(xiàn)。
刻劃步驟是對(duì)脆性板材的表面沿著多個(gè)元件板材的邊界線形成劃線的步驟。劃線是從脆性板材的一邊緣至另一邊緣形成為直線狀或曲線狀的龜裂。而且，劃線是通過(guò)鉆石等高硬度的切刀在脆性板材的表面滑動(dòng)或滾動(dòng)而形成，或者利用激光來(lái)形成。
以下，將切刀或激光的出射部等對(duì)脆性板材形成劃線的作用點(diǎn)稱為刻劃加工端。 另外，切刀例如是在圓盤(pán)狀的旋轉(zhuǎn)體的外周部分形成圓環(huán)狀的鉆石的刀且與脆性板材的表面相接并滾動(dòng)的刻劃輪，或者是在脆性板材的表面滑動(dòng)的鉆石頭(diamond point)等。
斷開(kāi)步驟是如下步驟，S卩，通過(guò)對(duì)脆性板材的形成著劃線的面的相反側(cè)的面沿著著劃線推壓斷開(kāi)棒(Break bar)以施加壓力，而使脆性板材沿著劃線脆性破壞。在斷開(kāi)步驟中使用的斷開(kāi)棒是前端形成與劃線吻合的脊線的構(gòu)件。脆性板材是通過(guò)沿著劃線產(chǎn)生脆性破壞、即形成在一面上的劃線(線狀的龜裂)延伸至相反側(cè)的面，而沿著劃線被分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材。
而且，成為液晶顯示面板的母材的玻璃基板具有2片玻璃板夾著液晶層重疊而成的構(gòu)造。如專利文獻(xiàn)I所示，通過(guò)對(duì)2片玻璃板中的每一個(gè)實(shí)施刻劃步驟及斷開(kāi)步驟，而將這種雙層構(gòu)造的脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材。
而且，在專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2所示的刻劃加工中，橫貫脆性板材的劃線與縱貫脆性板材的劃線以相互交叉的狀態(tài)形成。
然而，在如手機(jī)或智能手機(jī)(smart phone)具有的小型的平面顯示面板等相對(duì)較小的面板零件的制造步驟中，有時(shí)只沿著橫貫寬度方向的劃線分?jǐn)鄬挾容^窄且較長(zhǎng)的脆性板材。在該情況下，在刻劃步驟中，只對(duì)較長(zhǎng)的脆性板材形成橫貫寬度方向的劃線。以下， 將包括這種刻劃步驟的刻劃加工稱為橫貫型刻劃加工。
圖8及圖9是將專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2所示的以往的分?jǐn)嘌b置用于脆性板材的橫貫型刻劃加工的例子，且分別是第I先前例的分?jǐn)嗖襟E及第2先前例的分?jǐn)嗖襟E的示意圖。在圖8及圖9所示的分?jǐn)嗖襟E中，沿著遍及包括刻劃步驟及斷開(kāi)步驟的多個(gè)步驟的直線狀的主路徑Rl輸送作為加工對(duì)象的脆性板材的工件9。
另外，在圖8及圖9所示的坐標(biāo)軸中，X軸方向是主路徑Rl所沿著的直線方向，Y軸方向是與主路徑Rl的方向正交的寬度方向，Z軸方向是與主路徑Rl的方向及寬度方向正交的高度方向。
圖8(a)及圖8(b)分別是表示第I先前例的分?jǐn)嗖襟E中的刻劃步驟執(zhí)行前的狀態(tài)及執(zhí)行后的狀態(tài)的圖。在第I先前例中的刻劃步驟中，使用包括沿著寬度方向(Y軸方向) 往返移動(dòng)的刻劃加工端101的刻劃裝置100A。
在第I先前例中的刻劃步驟中，工件9是在其長(zhǎng)度方向沿著主路徑Rl的方向的狀態(tài)下沿著主路徑Rl每隔一定距離地被搬送。此外，通過(guò)每當(dāng)每隔一定距離地搬送工件9后， 刻劃加工端101便沿著寬度方向移動(dòng)，而對(duì)工件9的一面形成橫貫工件9的多條平行的劃線Ls。
而且，在第I先前例中，在刻劃步驟后執(zhí)行反轉(zhuǎn)步驟。圖8(c)是表示反轉(zhuǎn)步驟的圖。在反轉(zhuǎn)步驟中，反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200使形成著多條劃線Ls的工件9上下反轉(zhuǎn)。
此外，在第I先前例中，在反轉(zhuǎn)步驟后執(zhí)行斷開(kāi)步驟。圖8(d)是表示執(zhí)行斷開(kāi)步驟后的狀態(tài)的圖。在第I先前例中的斷開(kāi)步驟中，使用包括斷開(kāi)棒301的斷開(kāi)裝置300，該斷開(kāi)棒301沿著寬度方向(Y軸方向)被支撐，并且沿著高度方向(Z軸方向)往返移動(dòng)。
在第I先前例中的刻劃步驟中，工件9是在其長(zhǎng)度方向沿著主路徑Rl的方向的狀態(tài)下沿著主路徑Rl每隔一定距離地被搬送。此外，通過(guò)每當(dāng)每隔一定距離地搬送工件9后， 斷開(kāi)棒301便沿著高度方向移動(dòng)，而沿著劃線Ls推壓工件9的另一面。由此，工件9沿著多條劃線Ls中的每一條產(chǎn)生脆性破壞，而被分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。
另外，工件9的另一面是相對(duì)于工件9的形成著刻劃Ls的面為相反側(cè)的面。
其次，對(duì)第2先前例進(jìn)行說(shuō)明。圖9(a)及圖9(b)分別是表示第2先前例中的分?jǐn)嗖襟E中的刻劃步驟執(zhí)行前的狀態(tài)及執(zhí)行后的狀態(tài)的圖。在第2先前例中的刻劃步驟中， 使用包括沿著寬度方向(Y軸方向)隔開(kāi)間隔排列的多個(gè)刻劃加工端101的刻劃裝置100B。
在第2先前例中的刻劃步驟中，工件9是在其長(zhǎng)度方向沿著與主路徑Rl的方向正交的方向(Y軸方向)的狀態(tài)下沿著主路徑Rl被搬送。此外，多個(gè)刻劃加工端101沿著主路徑Rl而對(duì)正在移動(dòng)的工件9的一面形成橫貫工件9的多條平行的劃線Ls。
而且，在第2先前例中，在刻劃步驟后執(zhí)行方向轉(zhuǎn)換步驟。圖9(c)是表示方向轉(zhuǎn)換步驟的圖。在方向轉(zhuǎn)換步驟中，方向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)400使形成著多條劃線Ls的工件9旋轉(zhuǎn)， 而使工件9的朝向變更90°。
而且，在第2先前例中，在方向轉(zhuǎn)換步驟后，以與第I先前例相同的方式執(zhí)行反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟。圖9(d)是表示反轉(zhuǎn)步驟的圖，圖9(e)是表示執(zhí)行斷開(kāi)步驟后的狀態(tài)的圖。第2先前例中的反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟的內(nèi)容與所述第I先前例中的反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟的內(nèi)容相同。
先行技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本專利特開(kāi)2006-315901號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 日本專利特開(kāi)2003-292333號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明要解決的問(wèn)題]
在采用圖8所示的第I先前例的情況下，可減小寬度方向上的分?jǐn)嘌b置的尺寸。 然而，第I先前例具有以下問(wèn)題，即，脆性板材(工件9)的分?jǐn)鄶?shù)越多、即劃線Ls的數(shù)量越多，刻劃步驟所需的時(shí)間越長(zhǎng)。
另一方面，在采用圖9所示的第2先前例的情況下，通過(guò)設(shè)置與脆性板材的分?jǐn)鄶?shù)相應(yīng)的數(shù)量的刻劃加工端11，可縮短刻劃步驟所需的時(shí)間。然而，第2先前例具有以下問(wèn)題，即，脆性板材的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，與主路徑Rl的方向正交的寬度方向上的分?jǐn)嘌b置的尺寸越大。此外，第2先前例還具有以下問(wèn)題，即，與需要使脆性板材轉(zhuǎn)換方向的機(jī)構(gòu)及步驟相應(yīng)地，分?jǐn)嘌b置變得大型化及復(fù)雜化，并且分?jǐn)嗖襟E所需的時(shí)間變長(zhǎng)。
而且，作為圖8所示的第I先前例的應(yīng)用例，也可考慮使多個(gè)刻劃加工端沿著較長(zhǎng)的脆性板材的寬度方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在該情況下，支撐多個(gè)刻劃加工端的構(gòu)件成為沿著第一方向的較長(zhǎng)的構(gòu)件。
然而，支撐多個(gè)刻劃加工端的較長(zhǎng)的構(gòu)件需要有較高的剛性，因此，為較粗且較重的構(gòu)件。使這種較重的構(gòu)件移動(dòng)的機(jī)構(gòu)也為大型的機(jī)構(gòu)，因此，并不實(shí)用。
本發(fā)明的目的在于在利用刻劃加工只沿著橫貫寬度方向的多條劃線分?jǐn)噍^長(zhǎng)的脆性板材的情況下，可縮短刻劃步驟所需的時(shí)間，并且可使分?jǐn)嘌b置簡(jiǎn)化及小型化。
[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
第I發(fā)明的分?jǐn)嘌b置是如下裝置，S卩，通過(guò)對(duì)朝沿著第一方向的主路徑上的多個(gè)位置依序輸送的脆性板材形成劃線，且使脆性板材沿著劃線脆性破壞，而將脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材，且該分?jǐn)嘌b置包括以下所示的各構(gòu)成要素。
(I)第I構(gòu)成要素是支撐臺(tái)，支撐并固定所述脆性板材。
(2)第2構(gòu)成要素是支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述支撐臺(tái)從所述主路徑上的指定位置沿著與所述第一方向交叉的第二方向往返移動(dòng)。
(3)第3構(gòu)成要素是多個(gè)刻劃加工端，對(duì)所述脆性板材形成所述劃線。
(4)第4構(gòu)成要素是加工端支撐機(jī)構(gòu)，沿著所述第一方向隔開(kāi)間隔支撐多個(gè)所述刻劃加工端中的每一個(gè)，并且將多個(gè)所述刻劃加工端中的每一個(gè)保持在可對(duì)利用所述支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)而正在移動(dòng)的所述支撐臺(tái)上固定的所述脆性板材形成所述劃線的加工位置。
第2發(fā)明的分?jǐn)嘌b置除第I發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的構(gòu)成以外，還包括以下構(gòu)成。S卩，第 2發(fā)明的分?jǐn)嘌b置還包括具有以下所示的一連串支架及移動(dòng)支撐部的輸送機(jī)構(gòu)。所述一連串支架是如下構(gòu)件，即，在所述主路徑的左右兩側(cè)中的一側(cè)，在遍及到達(dá)所述第一方向上的所述加工基準(zhǔn)位置的兩側(cè)的范圍內(nèi)，沿著所述第一方向而形成。所述移動(dòng)支撐部是如下機(jī)構(gòu)，即，沿著所述第一方向可移動(dòng)地由所述一連串支架支撐，選擇性地切換支撐所述脆性板材的狀態(tài)與解除所述脆性板材的支撐的狀態(tài)，且將所述脆性板材依序輸送至所述主路徑上的多個(gè)位置。此外，在第2發(fā)明的分?jǐn)嘌b置中，所述加工端支撐機(jī)構(gòu)配置在所述主路徑的左右兩側(cè)中的另一側(cè)。
而且，在第I發(fā)明或第2發(fā)明的分?jǐn)嘌b置中，作為刻劃加工端的典型例，可考慮采用與脆性板材相接而刻出劃線的切刀。在該情況下，所述加工端支撐機(jī)構(gòu)是如下機(jī)構(gòu)，即沿著所述第一方向隔開(kāi)間隔地支撐多個(gè)所述切刀中的每一個(gè)，并且將多個(gè)所述切刀中的每一個(gè)選擇性地保持在和利用所述支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)而正在去路及回路中的一者上移動(dòng)的所述支撐臺(tái)上固定的所述脆性板材相接的所述加工位置與和所述脆性板材相隔的避讓位置。
[發(fā)明的效果]
在第I發(fā)明中，在將多個(gè)刻劃加工端保持在加工位置的狀態(tài)下，脆性板材通過(guò)支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)而沿著與作為輸送方向的第一方向交叉的第二方向(寬度方向)移動(dòng)。因此， 根據(jù)第I發(fā)明，同時(shí)對(duì)正在移動(dòng)的脆性板材的表面形成沿著第二方向橫貫脆性板材的多條劃線。這樣，與I個(gè)刻劃加工端只往返移動(dòng)與劃線的條數(shù)相應(yīng)的次數(shù)的第I先前例(參照?qǐng)D8)相比，刻劃步驟所需的時(shí)間大幅度地縮短。
而且，一般來(lái)說(shuō)，只形成橫貫寬度方向的劃線的較長(zhǎng)的脆性板材與形成格子狀的劃線的脆性板材不同，而是相對(duì)較小，且較輕。因此，第I發(fā)明中的支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)可利用相對(duì)小型且簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
而且，在第I發(fā)明中，在脆性板材為較長(zhǎng)的板材的情況下，該脆性板材在長(zhǎng)度方向沿著第一方向(主路徑的方向)的狀態(tài)下被輸送。而且，支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)只要使固定著脆性板材的支撐臺(tái)沿著脆性板材的寬度方向從主路徑上的指定位置只往返移動(dòng)較脆性板材的較小的寬度略長(zhǎng)的程度的較短的距離即可。因此，根據(jù)第I發(fā)明，不論脆性板材的長(zhǎng)度如何，與輸送方向正交的寬度方向上的分?jǐn)嘌b置的尺寸均抑制地相對(duì)較小。
而且,根據(jù)第I發(fā)明，由于在脆性板材的長(zhǎng)度方向沿著第一方向(主路徑的方向) 的狀態(tài)下形成劃線，所以不像圖9所示的第2先前例那樣需要使脆性板材轉(zhuǎn)換方向的機(jī)構(gòu)及步驟。因此，也不會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題，即，為了轉(zhuǎn)換脆性板材的方向，而分?jǐn)嘌b置變得大型化及復(fù)雜化，并且分?jǐn)嗖襟E所需的時(shí)間變長(zhǎng)。
如上所示，根據(jù)第I發(fā)明，在利用刻劃加工而只沿著著沿著寬度方向的劃線分?jǐn)噍^長(zhǎng)的脆生板材的情況下，可縮短刻劃步驟所需的時(shí)間，并且可使分?jǐn)嘌b置簡(jiǎn)化及小型化。
而且，根據(jù)第2發(fā)明，沿著主路徑輸送脆性板材的輸送機(jī)構(gòu)與加工端支撐機(jī)構(gòu)分開(kāi)配置在主路徑的左右兩側(cè)。在該情況下，在輸送機(jī)構(gòu)中，將支撐脆性板材的移動(dòng)支撐部可移動(dòng)地支撐的支架無(wú)需為了避免與加工端支撐機(jī)構(gòu)的干擾而與加工端支撐機(jī)構(gòu)分開(kāi)配置在加工基準(zhǔn)位置的上游側(cè)及下游側(cè)。因此，在第2發(fā)明中，輸送機(jī)構(gòu)的支架在遍及從加工基準(zhǔn)位置的上游側(cè)至下游側(cè)的范圍內(nèi)形成一連串。這樣，輸送機(jī)構(gòu)的構(gòu)成得到簡(jiǎn)化。


圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式的分?jǐn)嘌b置I的俯視圖。
圖2是分?jǐn)嘌b置I包括的刻劃裝置10的透視圖。
圖3是分?jǐn)嘌b置I包括的反轉(zhuǎn)裝置20的透視圖。
圖4是分?jǐn)嘌b置I包括的斷開(kāi)裝置30的透視圖。
圖5是分?jǐn)嘌b置I包括的輸送裝置40的透視圖。
圖6是表示利用分?jǐn)嘌b置I進(jìn)行的收進(jìn)步驟及刻劃步驟的示意圖。
圖7是表示利用分?jǐn)嘌b置I進(jìn)行的反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟的示意圖。
圖8是第I先前例的分?jǐn)嗖襟E的示意圖。
圖9是第2先前例的分?jǐn)嗖襟E的示意圖。
[符號(hào)的說(shuō)明]
I 分?jǐn)嘌b置
Rl 主路徑6
R2副路徑
Pl加工基準(zhǔn)位置
P2反轉(zhuǎn)位置
P3送出位置
P4副路徑開(kāi)始位置
P5副路徑結(jié)束位置
9工件
10刻劃裝置
11切刀
12桿
13第一支撐臺(tái)
14第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)
15刻劃裝置的升降機(jī)構(gòu)
16位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
20反轉(zhuǎn)裝置
21反轉(zhuǎn)臺(tái)
22旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部
23可動(dòng)支撐構(gòu)件
24反轉(zhuǎn)裝置的升降機(jī)構(gòu)
30斷開(kāi)裝置
31斷開(kāi)棒
32斷開(kāi)裝置的升降機(jī)構(gòu)
33第二支撐臺(tái)
34第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)
35第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)
40輸送裝置
41支架
42移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)
91元件板材
141軌道
341軌道
351軌道
142滾珠螺桿
342滾珠螺桿
352滾珠螺桿
143驅(qū)動(dòng)裝置
342驅(qū)動(dòng)裝置
353驅(qū)動(dòng)裝置
344基臺(tái)部
421 工件保持部
422 輸送裝置的升降機(jī)構(gòu)
423 輸送裝置的行進(jìn)機(jī)構(gòu)具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。以下的實(shí)施方式是將本發(fā)明具體化的一例，并非限定本發(fā)明的技術(shù)范圍的實(shí)例。
〈實(shí)施方式〉
首先，參照?qǐng)DI至圖5對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的分?jǐn)嘌b置I的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。分?jǐn)嘌b置I是如下裝置，即，通過(guò)對(duì)作為加工對(duì)象的脆性板材的工件9實(shí)施刻劃加工，而將工件 9分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。更具體地來(lái)說(shuō)，分?jǐn)嘌b置I通過(guò)對(duì)朝指定的主路徑Rl上的多個(gè)位置依序輸送的工件9形成劃線Ls，且使工件9沿著劃線Ls脆性破壞，而將工件9分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。
在本實(shí)施方式中，工件9是寬度較窄且較長(zhǎng)的矩形狀的脆性板材。而且，利用分?jǐn)嘌b置1，形成橫貫寬度方向的多條劃線Ls，從而沿著這些多條劃線Ls分?jǐn)噍^長(zhǎng)的工件9。另外，脆性板材為包含脆性材料的板狀的構(gòu)件，脆性材料包括半導(dǎo)體、玻璃、石英及陶瓷等。
如圖I所示，分?jǐn)嘌b置I包括刻劃裝置10、反轉(zhuǎn)裝置20、斷開(kāi)裝置30及輸送裝置 40。
〈輸送裝置〉
輸送裝置40是朝沿著預(yù)先規(guī)定的直線方向的主路徑Rl上的多個(gè)位置依序輸送工件9的裝置。更具體地來(lái)說(shuō)，輸送裝置40將工件9從主路徑Rl上的收進(jìn)位置PO輸送至加工基準(zhǔn)位置P1，此外，將工件9從加工基準(zhǔn)位置Pl輸送至反轉(zhuǎn)位置P2。而且，輸送裝置40 將通過(guò)下述斷開(kāi)裝置30而從反轉(zhuǎn)位置P2移動(dòng)至送出位置P3的工件9從送出位置P3進(jìn)一步輸送至下游側(cè)的位置。
即，在主路徑Rl上，從工件9的輸送方向的上游側(cè)至下游側(cè)，各位置按照收進(jìn)位置 PO、加工基準(zhǔn)位置P1、反轉(zhuǎn)位置P2及送出位置P3的順序排列。
在以下的說(shuō)明中，將水平面內(nèi)的主路徑Rl所沿著的直線方向稱為主路徑方向。而且，將水平面內(nèi)的與主路徑方向正交的方向稱為裝置寬度方向。而且，將與主路徑方向及裝置寬度方向正交的方向稱為高度方向。另外，在各圖所示的坐標(biāo)軸中，X軸方向?yàn)橹髀窂椒较?，Y軸方向?yàn)檠b置寬度方向，Z軸方向?yàn)楦叨确较颉?br> 如圖I及圖5所示，輸送裝置40包括一連串支架41及移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42。一連串支架41是在主路徑Rl的左右兩側(cè)中的一側(cè)沿著主路徑方向形成的一連串構(gòu)件。該一連串支架41在遍及從主路徑方向上的收進(jìn)位置PO至較送出位置P3更靠后步驟側(cè)的范圍內(nèi)形成一連串。
另外，在本實(shí)施方式中，一連串支架41沿著主路徑方向所占的范圍是到達(dá)加工基準(zhǔn)位置Pl的兩側(cè)的范圍的一例，并且，也是進(jìn)一步到達(dá)從反轉(zhuǎn)位置P2至送出位置P3的范圍的兩側(cè)的范圍的一例。
另一方面，移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42是沿著主路徑方向可移動(dòng)地由一連串支架41支撐的機(jī)構(gòu)。移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42選擇性地切換利用真空吸附支撐工件9的狀態(tài)、與解除利用真空吸附支撐工件9的狀態(tài)。而且，移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42在吸附支撐著工件9的狀態(tài)下沿著一連串支架41移動(dòng)至目標(biāo)位置，在目標(biāo)位置，解除對(duì)工件9的吸附支撐。由此，移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42將工件9依序輸送至主路徑Rl上的多個(gè)位置。
更具體地來(lái)說(shuō),如圖5所示,移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42包括工件保持部421、升降機(jī)構(gòu)422 及行進(jìn)機(jī)構(gòu)423。行進(jìn)機(jī)構(gòu)423使工件保持部421及升降機(jī)構(gòu)422沿著一連串支架41從輸送開(kāi)始位置移動(dòng)至目標(biāo)位置。升降機(jī)構(gòu)422在輸送開(kāi)始位置及目標(biāo)位置中的每個(gè)位置使工件保持部421暫時(shí)下降后上升。
升降機(jī)構(gòu)422例如包括伺服馬達(dá)或氣缸(air cylinder)等。而且,行進(jìn)機(jī)構(gòu)423 包括伺服馬達(dá)等。
在收進(jìn)位置PO，在利用升降機(jī)構(gòu)422使工件保持部421下降至工件9的高度時(shí)， 工件保持部421吸附并保持工件9。此外，在目標(biāo)位置，在利用升降機(jī)構(gòu)422使工件保持部 421降低至目標(biāo)高度時(shí)，工件保持部421解除對(duì)工件9的吸附。
工件保持部421的與工件9相接的面形成為主路徑方向(X軸方向)的尺寸大于裝置寬度方向(Y軸方向)的尺寸，以可有用且高效地支撐較長(zhǎng)的工件9。而且，輸送裝置 40在較長(zhǎng)的工件9的長(zhǎng)度方向沿著主路徑方向的狀態(tài)下沿著主路徑Rl輸送工件9。
而且，在將工件9從加工基準(zhǔn)位置Pl輸送至送出位置P3的過(guò)程中，工件9的方向不會(huì)轉(zhuǎn)換為其長(zhǎng)度方向朝向與主路徑方向交叉的狀態(tài)。
另外，在圖5所示的例子中，移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42相對(duì)于一連串支架41而包括2個(gè)移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42。然而，也可考慮從移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42相對(duì)于一連串支架41而包括I個(gè)移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42的情況，或相對(duì)于一連串支架41而包括3個(gè)以上移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42的情況。
〈刻劃裝置〉
刻劃裝置10是對(duì)由輸送裝置40輸送至加工基準(zhǔn)位置Pl的工件9的一面形成劃線Ls的裝置。在以下的說(shuō)明中，將工件9的形成劃線Ls的一側(cè)的面稱為第一面。而且，將工件9的形成著劃線Ls的面的相反側(cè)的面稱為第二面。
如圖I及圖2所示，刻劃裝置10包括多個(gè)切刀11、桿(beam) 12、第一支撐臺(tái)13、第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14、升降機(jī)構(gòu)15及位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)16。
第一支撐臺(tái)13是從下方支撐工件9、并且通過(guò)真空吸附來(lái)固定工件9的臺(tái)。由于成為加工對(duì)象的工件9為較長(zhǎng)的矩形狀，所以，第一支撐臺(tái)13形成為主路徑方向(X軸方向) 的尺寸大于裝置寬度方向(Y軸方向)的尺寸，以可有用且高效地支撐較長(zhǎng)的工件9。利用輸送裝置40將工件9載置在第一支撐臺(tái)13上。
第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14是使第一支撐臺(tái)13從主路徑Rl上的加工基準(zhǔn)位置Pl沿著與主路徑方向(X軸方向)交叉的方向往返移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14使第一支撐臺(tái)13從加工基準(zhǔn)位置Pl沿著裝置寬度方向(Y軸方向)往返移動(dòng)。 另外，裝置寬度方向是第二方向的一例。
更具體地來(lái)說(shuō)，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14包括一對(duì)軌道141，支撐第一支撐臺(tái)13 可沿著裝置寬度方向移動(dòng)；滾珠螺桿(ball screw) 142,是使由一對(duì)軌道141支撐的第一支撐臺(tái)13沿著一對(duì)軌道141直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；及驅(qū)動(dòng)裝置143，驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿142。
另外，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14也可為包括伺服馬達(dá)等的其他機(jī)構(gòu)。
切刀11是與工件9相接而刻出劃線Ls的切割工具，且是對(duì)工件9形成劃線Ls的刻劃加工端的一例。切刀11例如是在圓盤(pán)狀的旋轉(zhuǎn)體的外周部分形成圓環(huán)狀的鉆石的刀且與工件9的表面相接并滾動(dòng)的刻劃輪，或者是在工件9的表面滑動(dòng)的鉆石頭等。
另外，在圖I及圖2所示的例子中，刻劃裝置10包括3個(gè)切刀11，也可考慮刻劃裝置10包括2個(gè)切刀11或4個(gè)以上切刀11的情況。
桿12是沿著主路徑方向、即與主路徑Rl平行地隔開(kāi)間隔支撐多個(gè)切刀11中的每一個(gè)的構(gòu)件。桿12例如為在長(zhǎng)度方向沿著主路徑方向的狀態(tài)下由支柱支撐的棒狀的金屬構(gòu)件。
而且，升降機(jī)構(gòu)15是如下機(jī)構(gòu)，即，將多個(gè)切刀11中的每一個(gè)選擇性地保持在和固定在利用第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14而正在去路及回路中的一者上移動(dòng)的第一支撐臺(tái)13上的工件9相接的加工位置與和工件9相隔的避讓位置。升降機(jī)構(gòu)15例如包括伺服馬達(dá)或氣缸等。
位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)16是調(diào)節(jié)多個(gè)切刀11中的每一個(gè)在主路徑方向(X軸方向)上的位置的機(jī)構(gòu)。位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)16根據(jù)應(yīng)形成在工件9上的多條劃線Ls中的每一條的位置， 來(lái)調(diào)節(jié)多個(gè)切刀11中的每一個(gè)在主路徑方向上的位置。另外，桿12、升降機(jī)構(gòu)15及位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)16是加工端支撐機(jī)構(gòu)的一例。
然而，支撐多個(gè)切刀11的桿12及支撐桿12的支柱需要有較高的剛性，因此，為較粗且較重的構(gòu)件。因此，設(shè)置使這種較重的構(gòu)件與多個(gè)切刀11 一起沿著裝置寬度方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)會(huì)招致裝置的大型化，并不實(shí)用。
〈反轉(zhuǎn)裝置〉
反轉(zhuǎn)裝置20是如下裝置，即，包括使在第一面形成著橫貫裝置寬度方向的劃線Ls 的工件9在主路徑Rl上的反轉(zhuǎn)位置P2上下反轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。更具體地來(lái)說(shuō)，如圖I及圖3所示，反轉(zhuǎn)裝置20包括反轉(zhuǎn)臺(tái)21、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部22、可動(dòng)支撐構(gòu)件23及升降機(jī)構(gòu)24。
反轉(zhuǎn)臺(tái)21是在反轉(zhuǎn)位置P2通過(guò)真空吸附來(lái)保持由輸送裝置40輸送來(lái)的工件9 的臺(tái)。而且，升降機(jī)構(gòu)24在反轉(zhuǎn)位置P2使可動(dòng)支撐部23從反轉(zhuǎn)位置P2的指定的接收高度暫時(shí)下降至更靠下方的交付高度后上升。
可動(dòng)支撐構(gòu)件23是支撐旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部22的構(gòu)件。在可動(dòng)支撐部23位于接收高度時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部22使反轉(zhuǎn)臺(tái)21繞沿著主路徑方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°，而使反轉(zhuǎn)臺(tái)21上下反轉(zhuǎn)。由此，保持在反轉(zhuǎn)臺(tái)21上的工件9也與反轉(zhuǎn)臺(tái)21 —起上下反轉(zhuǎn)。此外，在可動(dòng)支撐部23從交付高度的位置上升至接收高度的位置的過(guò)程中、或返回至接收高度的位置時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部22使反轉(zhuǎn)臺(tái)21返回至原來(lái)的狀態(tài)。
而且，在可動(dòng)支撐部23位于接收高度時(shí)，反轉(zhuǎn)臺(tái)21吸附并保持由輸送裝置40輸送至反轉(zhuǎn)位置P2的工件9。此外，在可動(dòng)支撐部23位于交付高度時(shí)，反轉(zhuǎn)臺(tái)21解除對(duì)工件 9的吸附。
反轉(zhuǎn)臺(tái)21形成為主路徑方向(X軸方向)的尺寸大于裝置寬度方向(Y軸方向) 的尺寸，以可有用且高效地支撐較長(zhǎng)的工件9。
另外，在可動(dòng)支撐部23位于交付高度的狀態(tài)下，反轉(zhuǎn)臺(tái)21為靠近下述第二支撐臺(tái) 33的狀態(tài)。因此，在第二支撐臺(tái)33上載置解除利用反轉(zhuǎn)臺(tái)21進(jìn)行的保持后的工件9。
旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部22例如包括伺服馬達(dá)等。而且，升降機(jī)構(gòu)24例如包括氣缸或伺服馬達(dá)等。
<斷開(kāi)裝置>
斷開(kāi)裝置30是如下裝置，即，通過(guò)使在上一步驟中形成多條劃線Ls的工件9沿著劃線Ls中的每一條脆性破壞，而將工件9分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。
如圖I及圖4所示，斷開(kāi)裝置30包括斷開(kāi)棒31、升降機(jī)構(gòu)32、第二支撐臺(tái)33、第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34及第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35。
第二支撐臺(tái)33是從下方支撐由反轉(zhuǎn)裝置20反轉(zhuǎn)的工件9、并且通過(guò)真空吸附來(lái)固定工件9的臺(tái)。由于成為加工對(duì)象的工件9是較長(zhǎng)的矩形狀，所以第二支撐臺(tái)33形成為主路徑方向(X軸方向)的尺寸大于裝置寬度方向(Y軸方向)的尺寸，以可有用且高效地支撐較長(zhǎng)的工件9。利用反轉(zhuǎn)裝置20將工件9載置在第二支撐臺(tái)33上。
第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34是使第二支撐臺(tái)33在主路徑Rl上的位置與和主路徑Rl并列的副路徑R2上的位置之間沿著裝置寬度方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。副路徑R2是與主路徑Rl平行地并列、且短于主路徑Rl的路徑。另一方面，第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35是使第二支撐臺(tái)33沿著副路徑R2移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
更具體地來(lái)說(shuō)，第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34包括一對(duì)軌道341，支撐第二支撐臺(tái) 33可沿著裝置寬度方向移動(dòng)；滾珠螺桿342，是使由一對(duì)軌道341支撐的第二支撐臺(tái)33沿著一對(duì)軌道341直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；及驅(qū)動(dòng)裝置343，驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿342。另外，第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34由基臺(tái)部344支撐。
另一方面，第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35包括一對(duì)軌道351，支撐第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34的基臺(tái)部344可沿著輸送方向移動(dòng)；滾珠螺桿352，是使由一對(duì)軌道351支撐的基臺(tái)部344沿著一對(duì)軌道351直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；及驅(qū)動(dòng)裝置353，驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿352。
如果由反轉(zhuǎn)裝置20反轉(zhuǎn)的工件9固定在第二支撐臺(tái)33上，那么第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34使第二支撐臺(tái)33從反轉(zhuǎn)位置P2移動(dòng)至副路徑R2上的副路徑開(kāi)始位置P4。另外，在圖I中，利用虛擬線(兩點(diǎn)鏈線)來(lái)描繪第二支撐臺(tái)33位于副路徑開(kāi)始位置P4時(shí)的第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34。
接著，第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35使第二支撐臺(tái)33沿著副路徑R2從副路徑開(kāi)始位置P4移動(dòng)至副路徑結(jié)束位置P5。接著，第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34進(jìn)一步使第二支撐臺(tái)33從副路徑結(jié)束位置P5移動(dòng)至主路徑Rl上的送出位置P3。
另外，第二支撐臺(tái)33在移動(dòng)至送出位置P3后，利用第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35 而返回至主路徑Rl上的反轉(zhuǎn)位置P2。
斷開(kāi)棒31是前端形成沿著劃線Ls的脊線的構(gòu)件。在本實(shí)施方式中，由于在工件 9上形成直線狀的刻劃Ls，所以斷開(kāi)棒31的前端形成直線狀的脊線。
斷開(kāi)棒31是以前端形成的脊線橫貫副路徑R2的朝向由升降機(jī)構(gòu)32支撐。斷開(kāi)棒31是在前端形成的脊線沿著與主路徑方向交叉的方向的狀態(tài)下可升降地得到支撐。
升降機(jī)構(gòu)32是如下機(jī)構(gòu)，即，在副路徑R2上，將斷開(kāi)棒31選擇性地保持在和第二支撐臺(tái)33上的工件9的第二面(上側(cè)的面)相接的加壓位置與和工件9相隔的避讓位置。 升降機(jī)構(gòu)32例如包括伺服馬達(dá)或氣缸等。
更具體地來(lái)說(shuō)，在第二支撐臺(tái)33沿著副路徑R2移動(dòng)的過(guò)程中，升降機(jī)構(gòu)32對(duì)固定在第二支撐臺(tái)33上的工件9的第二面沿著多條劃線Ls中的每一條依序推壓斷開(kāi)棒31。 即，每當(dāng)工件9的多條劃線Ls中的每一條到達(dá)斷開(kāi)棒31的正下方時(shí)，升降機(jī)構(gòu)32便使斷開(kāi)棒31從避讓位置下降至加壓位置后上升至避讓位置。
如果升降機(jī)構(gòu)32對(duì)工件9的第二面沿著劃線Ls以適當(dāng)?shù)膲毫ν茐簲嚅_(kāi)棒31的前端，那么工件9沿著劃線Ls產(chǎn)生脆性破壞，而被分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。
如上所示，斷開(kāi)棒31及升降機(jī)構(gòu)32構(gòu)成如下推壓機(jī)構(gòu)，即，通過(guò)在第二支撐臺(tái)33 沿著副路徑R2移動(dòng)的過(guò)程中，沿著劃線Ls推壓固定在第二支撐臺(tái)33上的工件9的第二面， 而將工件9分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91。
而且，如圖I所示，反轉(zhuǎn)裝置20、與構(gòu)成推壓機(jī)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)32及斷開(kāi)棒31配置在從裝置寬度方向(Y軸方向)觀察時(shí)一部分重疊的位置。
〈分?jǐn)嗖襟E〉
其次，參照?qǐng)D6及圖7，以分?jǐn)嘌b置I中的工件9的移動(dòng)過(guò)程為中心，對(duì)利用分?jǐn)嘌b置I進(jìn)行的分?jǐn)嗖襟E進(jìn)行說(shuō)明。分?jǐn)嗖襟E包括收進(jìn)步驟、刻劃步驟、反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟。
另外，圖6是表示利用分?jǐn)嘌b置I進(jìn)行的收進(jìn)步驟及刻劃步驟的示意圖。而且，圖 7是表示利用分?jǐn)嘌b置I進(jìn)行的反轉(zhuǎn)步驟及斷開(kāi)步驟的示意圖。而且，圖6(a)是表示收進(jìn)步驟的圖，圖6(b)是表示刻劃步驟的圖，圖6 (c)是表示從刻劃步驟過(guò)渡至反轉(zhuǎn)步驟的狀態(tài)的圖。而且，圖7 (a)是表示反轉(zhuǎn)步驟的圖，圖7(b)是表示斷開(kāi)步驟的圖，圖7(c)是表示斷開(kāi)步驟結(jié)束后的狀態(tài)的圖。
〈收進(jìn)步驟〉
在分?jǐn)嗖襟E中，首先，如圖6(a)所示，利用輸送裝置40，將放置在收進(jìn)位置PO的工件9沿著主路徑Rl從收進(jìn)位置PO輸送至位于加工基準(zhǔn)位置Pl的第一支撐臺(tái)13上。此外，通過(guò)真空吸附來(lái)將利用輸送裝置40而得以載置在第一支撐臺(tái)13上的工件9固定在第一支撐臺(tái)13上。
〈刻劃步驟〉
其次，如圖6(b)所示，利用第一支待臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14，而使固定著工件9的第一支撐臺(tái)13在主路徑Rl的一側(cè)從加工基準(zhǔn)位置Pl沿著裝置寬度方向(Y軸方向)往返移動(dòng)。利用第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14的裝置寬度方向上的去路及回路的移動(dòng)距離分別為工件9的寬度以上的距離。
而且，在固定在第一支撐臺(tái)13上的工件9沿著裝置寬度方向(Y軸方向)在去路及回路中的一者上移動(dòng)的過(guò)程中，刻劃裝置10的升降機(jī)構(gòu)15將多個(gè)切刀11中的每一個(gè)保持在與工件9相接的加工位置，其他時(shí)候?qū)⒍鄠€(gè)切刀11中的每一個(gè)保持在避讓位置。由此， 將沿著工件9的移動(dòng)方向的、即沿著裝置寬度方向的多條平行的劃線Ls形成在工件9的第一面。
圖6(b)所示的例是在固定在第一支撐臺(tái)13上的工件9沿著裝置寬度方向在去路上移動(dòng)的過(guò)程中將多個(gè)切刀11保持在加工位置的例子。另外，也可在工件9沿著裝置寬度方向在回路上移動(dòng)的過(guò)程中，將多個(gè)切刀11保持在加工位置。
〈反轉(zhuǎn)步驟〉
如果刻劃步驟結(jié)束，那么如圖6(c)所示，利用輸送裝置40，將形成著多條劃線Ls 的工件9從位于加工基準(zhǔn)位置Pl的第一支撐臺(tái)13輸送至位于反轉(zhuǎn)位置P2的反轉(zhuǎn)臺(tái)21。 此外，通過(guò)真空吸附來(lái)將利用輸送裝置40而得以載置在反轉(zhuǎn)臺(tái)21上的工件9固定在反轉(zhuǎn)臺(tái)21上。
其次，如圖7 (a)所示，工件9由反轉(zhuǎn)裝置20上下反轉(zhuǎn)后，載置在第二支撐臺(tái)33上。 此外，通過(guò)真空吸附而將工件9在第二面朝向上側(cè)的狀態(tài)下固定在第二支撐臺(tái)33上。
〈斷開(kāi)步驟〉
如果反轉(zhuǎn)步驟結(jié)束，那么如圖7(b)及圖7(c)所示，利用第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu) 34及第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35，使固定在第二支撐臺(tái)33上的工件9從主路徑Rl的反轉(zhuǎn)位置P2經(jīng)過(guò)與主路徑Rl并列的副路徑R2上的副路徑開(kāi)始位置P4及副路徑結(jié)束位置P5 而移動(dòng)至主路徑Rl的送出位置P3。
而且，在固定在第二支撐臺(tái)33上的工件9沿著副路徑R2移動(dòng)的過(guò)程中，斷開(kāi)裝置 30的升降機(jī)構(gòu)32對(duì)工件9的第二面沿著多條劃線Ls中的每一條依序推壓斷開(kāi)棒31。由此，工件9沿著劃線Ls產(chǎn)生脆性破壞，而被分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材91，并且被搬送至送出位置 P3。
< 效果 >
在分?jǐn)嘌b置I中，在將多個(gè)切刀11保持在加工位置的狀態(tài)下，利用第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14使工件9沿著與作為輸送方向的主路徑方向(X軸方向)交叉的裝置寬度方向(Y 軸方向)移動(dòng)。因此，對(duì)正在移動(dòng)的工件9的第一面同時(shí)形成沿著裝置寬度方向橫貫工件 9的多條劃線Ls。這樣，與I個(gè)切刀11只往返移動(dòng)與劃線Ls的條數(shù)相應(yīng)的次數(shù)的第I先前例(參照?qǐng)D8)相比，刻劃步驟所需的時(shí)間大幅度地縮短。
而且，一般來(lái)說(shuō)，只形成橫貫寬度方向的劃線Ls的較長(zhǎng)的工件9與形成格子狀的劃線的工件不同，而是相對(duì)較小，且較輕。因此，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14、第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34及第二支撐臺(tái)縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)35可通過(guò)相對(duì)小型且簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
而且，作為長(zhǎng)條狀脆性板材的工件9是在長(zhǎng)度方向沿著主路徑方向的狀態(tài)下被輸送。而且，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14及第二支撐臺(tái)橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)34只要使固定著工件9的第一支撐臺(tái)13沿著工件9的寬度方向從主路徑上的加工基準(zhǔn)位置Pl只往返移動(dòng)較工件9 的較小的寬度略長(zhǎng)的程度的較短距離即可。因此，不論工件9的長(zhǎng)度如何，裝置寬度方向上的分?jǐn)嘌b置I的尺寸均抑制地相對(duì)較小。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，在工件9的長(zhǎng)度方向沿著主路徑方向的狀態(tài)下形成劃線 Ls。因此，不像圖9所示的第2先前例那樣需要使工件9轉(zhuǎn)換方向的機(jī)構(gòu)及步驟。因此，也存在以下問(wèn)題，即，為了轉(zhuǎn)換工件9的方向，裝置變得大型化及復(fù)雜化，并且分?jǐn)嗖襟E所需的時(shí)間變長(zhǎng)。
如上所示，通過(guò)采用分?jǐn)嘌b置1，在利用刻劃加工而只沿著著沿著寬度方向的劃線 Ls分?jǐn)噍^長(zhǎng)的工件9的情況下，可縮短刻劃步驟所需的時(shí)間，并且可使裝置簡(jiǎn)化及小型化。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，沿著主路徑Rl輸送工件9的輸送裝置40 (輸送機(jī)構(gòu))與支撐切刀11的機(jī)構(gòu)(桿12及升降機(jī)構(gòu)15等)分開(kāi)配置在主路徑Rl的左右兩側(cè)。因此， 在輸送裝置40中，支撐移動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)42的較長(zhǎng)的支架無(wú)需為了避免與支撐切刀11的機(jī)構(gòu)的干擾而與支撐切刀11的機(jī)構(gòu)分開(kāi)配置在加工基準(zhǔn)位置Pl的上游側(cè)及下游側(cè)。因此，一連串支架41形成在遍及從加工基準(zhǔn)位置Pl的上游側(cè)至下游側(cè)的范圍內(nèi)，這樣，輸送裝置40 的構(gòu)成得到簡(jiǎn)化。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，利用反轉(zhuǎn)裝置20進(jìn)行的反轉(zhuǎn)步驟是在主路徑Rl上的反轉(zhuǎn)位置P2執(zhí)行，利用斷開(kāi)裝置30進(jìn)行的斷開(kāi)步驟是在與主路徑Rl并列的副路徑R2上執(zhí)行。因此，反轉(zhuǎn)裝置20與斷開(kāi)裝置30是錯(cuò)開(kāi)裝置寬度方向(Y軸方向)上的位置而配置。
因此，在分?jǐn)嘌b置I中，可避免反轉(zhuǎn)裝置20與斷開(kāi)裝置30的相互干擾，并且可確保各裝置的維護(hù)空間，且可使反轉(zhuǎn)裝置20與斷開(kāi)裝置30整體在主路徑方向上的尺寸、即長(zhǎng)度方向的尺寸減小。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，反轉(zhuǎn)裝置20與斷開(kāi)裝置30 (推壓機(jī)構(gòu))配置在從裝置寬度方向(Y軸方向)觀察時(shí)至少一部分重疊的位置。因此，可使反轉(zhuǎn)裝置20與斷開(kāi)裝置30 整體在主路徑方向上的尺寸更小。
〈其他〉
在分?jǐn)嘌b置I中，也可暫且認(rèn)為第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14是使第一支撐臺(tái)13沿著與主路徑方向以除90°以外的角度交叉的方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。例如在要求將長(zhǎng)方形狀的工件9分?jǐn)喑善叫兴倪呅螤畹亩鄠€(gè)元件板材91的情況下，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14只要使第一支撐臺(tái)13沿著與主路徑方向(X軸方向)傾斜地交叉的方向往返移動(dòng)即可。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，也可認(rèn)為第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)14是使第一支撐臺(tái)13在與主路徑方向交叉的方向上沿著曲線路徑移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。由此，形成沿著寬度方向橫貫工件9 的曲線狀的劃線Ls。但是，在該情況下，斷開(kāi)棒31是其前端形成沿著曲線狀的劃線Ls的曲線狀的脊線的構(gòu)件。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，也可認(rèn)為斷開(kāi)裝置30中的包括斷開(kāi)棒31及升降機(jī)構(gòu)32 的推壓機(jī)構(gòu)整體配置在從裝置寬度方向(Y軸方向)觀察時(shí)與反轉(zhuǎn)裝置20重疊的位置。由此，分?jǐn)嘌b置I在主路徑方向(X軸方向)上的尺寸變得更小。
例如可通過(guò)將反轉(zhuǎn)裝置20的支柱兼用作支撐推壓機(jī)構(gòu)中的升降機(jī)構(gòu)32的2根支柱中的一者等，而將推壓機(jī)構(gòu)整體配置在從裝置寬度方向觀察時(shí)與反轉(zhuǎn)裝置20重疊的位置。
然而，像成為液晶顯示面板的母材的玻璃基板那樣，存在工件9具有2片脆性板材重疊而成的構(gòu)造的情況。這種雙層構(gòu)造的工件9必須對(duì)2片脆性板材中的每一片執(zhí)行分?jǐn)嗖襟E。
因此，在作為加工對(duì)象的工件9具有雙層構(gòu)造的情況下，沿著主路徑方向(X軸方向)并列配置2個(gè)分?jǐn)嘌b置I即可。在該情況下，配置在前段的分?jǐn)嘌b置I中的送出位置 P3成為配置在后段的分?jǐn)嘌b置I中的收進(jìn)位置PO。
另外，在作為加工對(duì)象的工件9具有雙層構(gòu)造的情況下，沿著主路徑方向并列配置的2個(gè)分?jǐn)嘌b置I整體是將雙層構(gòu)造的工件9整體分?jǐn)喑煞謩e具有雙層構(gòu)造的多個(gè)元件板材91的分?jǐn)嘞到y(tǒng)。
而且，在2個(gè)分?jǐn)嘌b置I沿著主路徑方向(X軸方向)并列配置的情況下，也可認(rèn)為輸送裝置40中的一連串支架41遍及2個(gè)分?jǐn)嘌b置I的兩者而形成一連串。
而且，如上所述，分?jǐn)嘌b置I是相對(duì)于長(zhǎng)度方向的尺寸來(lái)說(shuō)寬度方向的尺寸極小的裝置。因此，也可認(rèn)為多個(gè)分?jǐn)嘌b置I沿著裝置寬度方向并列配置。例如可認(rèn)為2個(gè)分?jǐn)嘌b置I是關(guān)于沿著主路徑方向的中心線對(duì)稱地配置。在該情況下，可認(rèn)為構(gòu)成2個(gè)輸送裝置40的2根支架41配置在裝置寬度方向上的兩外側(cè)。
而且，在作為加工對(duì)象的工件9具有雙層構(gòu)造的情況下，也可認(rèn)為分別包括沿著主路徑方向并列的2個(gè)分?jǐn)嘌b置I的多組分?jǐn)嘞到y(tǒng)沿著裝置寬度方向并列配置。例如可認(rèn)為2組分?jǐn)嘌b置系統(tǒng)關(guān)于沿著主路徑方向的中心線對(duì)稱地配置。
而且，在分?jǐn)嘌b置I中，也可認(rèn)為對(duì)工件9形成劃線Ls的多個(gè)切刀11為對(duì)工件9 形成劃線Ls的多個(gè)激光出射部。另外，激光出射部為刻劃加工端的一例。
權(quán)利要求
1.一種分?jǐn)嘌b置，通過(guò)對(duì)朝沿著第一方向的主路徑上的多個(gè)位置依序輸送的脆性板材形成劃線，且使所述脆性板材沿著所述劃線脆性破壞，而將所述脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€(gè)元件板材，且該分?jǐn)嘌b置包括 支撐臺(tái)，支撐并固定所述脆性板材； 支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述支撐臺(tái)從所述主路徑上的指定的加工基準(zhǔn)位置沿著與所述第一方向交叉的第二方向往返移動(dòng)； 多個(gè)刻劃加工端，對(duì)所述脆性板材形成所述劃線 '及 加工端支撐機(jī)構(gòu)，沿著所述第一方向隔開(kāi)間隔支撐多個(gè)所述刻劃加工端中的每ー個(gè)，并且將多個(gè)所述刻劃加工端中的每ー個(gè)保持在可對(duì)利用所述支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)而正在移動(dòng)的所述支撐臺(tái)上固定的所述脆性板材形成所述劃線的加工位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的分?jǐn)嘌b置，還包括輸送機(jī)構(gòu)，該輸送機(jī)構(gòu)包含 一連串支架，在所述主路徑的左右兩側(cè)中的ー側(cè)，在遍及到達(dá)所述第一方向上的所述加工基準(zhǔn)位置的兩側(cè)的范圍內(nèi)，沿著所述第一方向而形成；及 移動(dòng)支撐部，沿著所述第一方向可移動(dòng)地由所述ー連串支架支撐，選擇性地切換支撐所述脆性板材的狀態(tài)與解除所述脆性板材的支撐的狀態(tài)，且將所述脆性板材依序輸送至所述主路徑上的多個(gè)位置；且 所述加工端支撐機(jī)構(gòu)配置在所述主路徑的左右兩側(cè)中的另ー側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的分?jǐn)嘌b置，其中 所述刻劃加工端是與所述脆性板材相接而刻劃所述劃線的切刀， 所述加工端支撐機(jī)構(gòu)是如下機(jī)構(gòu)，即，沿著所述第一方向隔開(kāi)間隔地支撐多個(gè)所述切刀中的每ー個(gè)，并且將多個(gè)所述切刀中的每ー個(gè)選擇性地保持在和利用所述支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)而正在去路及回路中的一者上移動(dòng)的所述支撐臺(tái)上固定的所述脆性板材相接的所述加エ位置與和所述脆性板材相隔的避讓位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分?jǐn)嘌b置。本申請(qǐng)發(fā)明在利用刻劃加工只沿著橫貫寬度方向的多條劃線分?jǐn)嚅L(zhǎng)條狀脆性板材的工件的情況下，可縮短刻劃步驟所需的時(shí)間，并且可使分?jǐn)嘌b置簡(jiǎn)化及小型化。在分?jǐn)嘌b置(1)中，第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)使工件(9)從主路徑(R1)上的指定位置(P1)在與主路徑(R1)的方向交叉的裝置寬度方向上往返移動(dòng)。桿(12)沿著主路徑(R1)的方向隔開(kāi)間隔地支撐多個(gè)刻劃加工端(11)中的每一個(gè)。升降機(jī)構(gòu)(15)將多個(gè)刻劃加工端(11)中的每一個(gè)保持在可對(duì)利用第一支撐臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)而正在移動(dòng)的第一支撐臺(tái)(13)上固定的工件(9)形成劃線的加工位置。
文檔編號(hào)C03B33/03GK102976604SQ20121031358
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月2日
發(fā)明者西尾　仁孝, 中田　勝喜 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司