專利名稱：雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種連熔爐，特別是一種雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐。
背景技術(shù)：
石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業(yè)技術(shù)玻璃，是一種非常優(yōu)良的基礎(chǔ)材料，它具有一系列優(yōu)良的物理、化學(xué)性能。石英玻璃工業(yè)多是采用連熔法生產(chǎn)石英玻璃管產(chǎn)品?，F(xiàn)有技術(shù)中，連熔法生產(chǎn)石英玻璃管使用的連熔爐的主要結(jié)構(gòu)是，它包括爐體、爐蓋和芯桿，爐體內(nèi)設(shè)有坩鍋，芯桿的底部設(shè)有成型器。其中坩鍋僅設(shè)有一個，并設(shè)有一套與之配套的投料器。用現(xiàn)有技術(shù)中的連熔爐生產(chǎn)的石英玻璃管的整體內(nèi)、外壁材料均相同，因此不能適應(yīng)一些特殊的應(yīng)用要求。砷化鎵(GaAs)材料是目前生產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣泛，因而也是最重要的III - V族化合物半導(dǎo)體材料，是僅次于硅的最重要的半導(dǎo)體材料。由于其優(yōu)越的性能和能帶結(jié)構(gòu)，使砷化鎵(GaAs)材料在微波器件和發(fā)光器件等方面具有很大發(fā)展?jié)摿?。是一種直接帶隙半導(dǎo)體材料，禁帶寬度1.42^V，遠(yuǎn)大于鍺的0.67 eV和硅的1.12 eV，可以制作出870nm波長近紅外光發(fā)光管。直接帶隙、消耗功率低等特性，電子遷移率約為硅材料的5. 7倍，介電常數(shù)小，能引入深能級雜質(zhì)、電子有效質(zhì)量小，能帶結(jié)構(gòu)特殊，可作磊晶片。所制出的這種高頻、高速、防輻射的高溫器件多用於光電元件和高頻通訊用元件。如WLAN、W^L、光纖通訊、 衛(wèi)星通訊、LMDS、VSAT等微波通訊上?，F(xiàn)有技術(shù)中的普通連熔爐生產(chǎn)的內(nèi)外壁材料完本相同的石英玻璃管用于制造砷化鎵晶體生長用器具材料時，存在使用壽命短、長晶良率低、器具強度低，并存在高溫軟化現(xiàn)象。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單合理、能拉制出區(qū)別材料的管壁的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐。本實用新型所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)的。本實用新型是一種雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，包括爐體、爐蓋和芯桿，爐體內(nèi)設(shè)有坩鍋，芯桿的底部設(shè)有成型器；其特點是所述的坩鍋由母坩鍋和子坩鍋組成，所述的子坩鍋設(shè)在母坩鍋內(nèi)；它還設(shè)有分別用于給母坩鍋和子坩鍋投料的2臺投料器。本實用新型雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐技術(shù)方案中，優(yōu)選的技術(shù)方案是1、所述的子坩鍋的長度優(yōu)選為母坩鍋長度的1/3-2/3，進(jìn)一步優(yōu)選為母坩鍋長度的 1/2。2、子坩鍋的水平截面積優(yōu)選為母坩鍋的水平截面積的1/3-1/2。3、所述的子坩鍋、母坩鍋可以為鎢坩鍋或鉬坩鍋。其進(jìn)一步的優(yōu)選方案是所述的母坩鍋為鎢坩鍋，所述的子坩鍋為經(jīng)高溫鍍鎢錸處理的鉬坩堝。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型由于設(shè)有子母2個坩鍋，在進(jìn)行石英玻璃管拉管時，可以通過所設(shè)的2套加料器分別向子、母坩鍋中加入不同純度、區(qū)別摻雜的高純石英砂(一般純度大于95%)，處于母坩鍋中的高純石英砂熔融后處于外層，處于子坩鍋中的高純石英砂熔融后處于內(nèi)層，經(jīng)拉制成型于是得到區(qū)別的內(nèi)外層材料的一體式石英玻璃管，該石英玻璃管可以用于要求區(qū)別內(nèi)外層的石英玻璃管的應(yīng)用需求，特別適合用于制作砷化鎵晶體生長用石英坩堝。

圖1為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下參照附圖，進(jìn)一步描述本實用新型的具體技術(shù)方案，以便于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步地理解本實用新型，而不構(gòu)成對其權(quán)利的限制。實施例1。參照圖1。一種雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，包括爐體1、爐蓋和芯桿2，爐體1內(nèi)設(shè)有坩鍋，芯桿2的底部設(shè)有成型器；所述的坩鍋由母坩鍋3和子坩鍋4組成，所述的子坩鍋4設(shè)在母坩鍋3內(nèi)；它還設(shè)有分別用于給母坩鍋3和子坩鍋4投料的2臺投料器5。實施例2。實施例1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐中子坩鍋4的長度為母坩鍋3長度的1/3。實施例3。實施例1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐中子坩鍋4的長度為母坩鍋3長度的2/3。實施例4。實施例1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐中子坩鍋4的長度為母坩鍋3長度的1/2。實施例5。實施例1-4任何一項所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐中子坩鍋4的水平截面積為母坩鍋3的水平截面積的1/3。所述的母坩鍋3為鎢坩鍋，所述的子坩鍋4為經(jīng)高溫鍍鎢錸處理(采用常規(guī)工藝)的鉬坩堝。實施例6。實施例1-4任何一項所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐中子坩鍋4的水平截面積為母坩鍋3的水平截面積的1/2 ；所述的子坩鍋4、母坩鍋3為鎢坩鍋或鉬坩鍋。
權(quán)利要求1.一種雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，包括爐體、爐蓋和芯桿，爐體內(nèi)設(shè)有坩鍋，芯桿的底部設(shè)有成型器；其特征在于所述的坩鍋由母坩鍋和子坩鍋組成，所述的子坩鍋設(shè)在母坩鍋內(nèi)；它還設(shè)有分別用于給母坩鍋和子坩鍋投料的2臺投料器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，其特征在于子坩鍋的長度為母坩鍋長度的1/3-2/3。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，其特征在于子坩鍋的長度為母坩鍋長度的1/2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，其特征在于子坩鍋的水平截面積為母坩鍋的水平截面積的1/3-1/2。
專利摘要本實用新型是一種雙料壁石英玻璃管生產(chǎn)用連熔爐，包括爐體、爐蓋和芯桿，爐體內(nèi)設(shè)有坩堝，芯桿的底部設(shè)有成型器；其特征在于所述的坩堝由母坩堝和子坩堝組成，所述的子坩堝設(shè)在母坩堝內(nèi)；它還設(shè)有分別用于給母坩堝和子坩堝投料的2臺投料器。本實用新型由于設(shè)有子母2個坩堝，在進(jìn)行石英玻璃管拉管時，可以通過所設(shè)的2套加料器分別向子、母坩堝中加入不同純度、區(qū)別摻雜的高純石英砂，處于母坩堝中的高純石英砂熔融后處于外層，處于子坩堝中的高純石英砂熔融后處于內(nèi)層，經(jīng)拉制成型于是得到區(qū)別的內(nèi)外層材料的一體式石英玻璃管，該石英玻璃管可以用于要求區(qū)別內(nèi)外層的石英玻璃管的應(yīng)用需求，特別適合用于制作砷化鎵晶體生長用石英坩堝。
文檔編號C03B5/06GK202030639SQ20112008912
公開日2011年11月9日 申請日期2011年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月30日
發(fā)明者呂德潤, 張堯, 濮曉明, 濮陽坤, 王婧姝, 陶明頓, 顧國良 申請人:連云港福東正佑照明電器有限公司