專(zhuān)利名稱(chēng)：電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置、過(guò)熱保護(hù)方法及切割機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路封裝設(shè)備制造領(lǐng)域，特別是涉及一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置、過(guò)熱保護(hù)方法及切割機(jī)。
背景技術(shù)：
切割機(jī)是半導(dǎo)體后封裝關(guān)鍵設(shè)備，其作用是將晶圓分割成單個(gè)的電路單元。切割機(jī)的工作機(jī)理是強(qiáng)力磨削，電主軸是強(qiáng)力磨削的執(zhí)行部件。電主軸是將電機(jī)的定子、轉(zhuǎn)子直接裝入主軸組件的內(nèi)部，有時(shí)也稱(chēng)作直接驅(qū)動(dòng)主軸(Direct Drive Spindle)，是內(nèi)裝式電機(jī)主軸。為了保證晶圓切割質(zhì)量，要求電主軸具備高轉(zhuǎn)速、高精度及高穩(wěn)定性，通常采用空氣靜壓電主軸。電主軸如空氣靜壓電主軸高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，電主軸溫升引起的熱變形是影響電主軸精度的重要因素之一，為減小電主軸溫升，通常是在主軸內(nèi)設(shè)置有冷卻液通道，通過(guò)接入冷卻液進(jìn)行冷卻，而對(duì)冷卻液流量的監(jiān)測(cè)和電主軸溫升監(jiān)測(cè)考慮的少。本發(fā)明的發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的切割機(jī)電主軸過(guò)熱保護(hù)方法及裝置對(duì)電主軸溫升的考慮不夠，而當(dāng)電主軸溫升超過(guò)正常溫度時(shí)，如系統(tǒng)不使電主軸停止運(yùn)行，則將影響電主軸工作的精度甚至燒壞電主軸電機(jī)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置、過(guò)熱保護(hù)方法及切割機(jī)，以解決現(xiàn)有技術(shù)未充分考慮切割機(jī)電主軸過(guò)熱保護(hù)的技術(shù)問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/ 或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，所述溫度監(jiān)測(cè)模塊包括溫度傳感器，用于檢測(cè)所述電主軸的溫度，并根據(jù)所述檢測(cè)出的溫度輸出對(duì)應(yīng)的
第三信號(hào)；第一濾波電路模塊，用于對(duì)所述第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊，用于對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊，用于比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，輸出所述第一信號(hào)。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，所述冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊包括
流量傳感器，用于檢測(cè)所述冷卻液的流量，并根據(jù)所述檢測(cè)出的冷卻液流量輸出對(duì)應(yīng)的第四信號(hào)；第二濾波電路模塊，用于對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊，用于對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊，用于比較所述第二放大電路模塊與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，輸出所述第二信號(hào)。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，所述控制模塊包括處理模塊，用于當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第一控制信號(hào)；電主軸驅(qū)動(dòng)模塊，用于根據(jù)所述第一控制信號(hào)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，所述控制模塊還包括報(bào)警模塊，所述處理模塊進(jìn)一步用于在所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第二控制信號(hào)；所述報(bào)警模塊根據(jù)所述第二控制信號(hào)發(fā)出報(bào)警信息。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其中，所述溫度傳感器與內(nèi)置于所述電主軸的電機(jī)定子相接觸。另一方面，提供一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)方法，其中，包括監(jiān)測(cè)電主軸的溫度；監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。 優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)方法，其中，所述監(jiān)測(cè)電主軸的溫度的步驟包括溫度傳感器根據(jù)檢測(cè)出的電主軸的溫度，輸出第三信號(hào)；第一濾波電路模塊對(duì)所述溫度傳感器輸出的第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，確定出所述電主軸的溫度高于所述第一閾值。優(yōu)選地，所述的過(guò)熱保護(hù)方法，其中，所述監(jiān)測(cè)冷卻液的流量的步驟包括流量傳感器根據(jù)檢測(cè)出的冷卻液的流量，輸出第四信號(hào)；第二濾波電路模塊對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊比較所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，確定出所述冷卻液的流量低于所述第二閾值。又一方面，提供一種切割機(jī)，包括電主軸，其中，還包括與所述電主軸相連接的過(guò)熱保護(hù)裝置，所述過(guò)熱保護(hù)裝置包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；
冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/ 或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。上述技術(shù)方案中的一個(gè)技術(shù)方案具有如下技術(shù)效果通過(guò)利用溫度監(jiān)測(cè)模塊監(jiān)測(cè)電主軸的溫度、利用冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊監(jiān)測(cè)用于冷卻電主軸的冷卻液的流量，可在出現(xiàn)電主軸的溫度高于第一閾值或冷卻液的流量低于第二閾值中的至少一種情況時(shí)，對(duì)電主軸的運(yùn)行進(jìn)行控制，停止電主軸運(yùn)行或控制電主軸按照預(yù)定的方式運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)了對(duì)電主軸溫度和冷卻液流量的同時(shí)監(jiān)測(cè)，較佳的實(shí)現(xiàn)了對(duì)電主軸的過(guò)熱保護(hù)，穩(wěn)定了電主軸的工作狀態(tài)，避免了過(guò)熱導(dǎo)致的主機(jī)工作精度受影響，提高了工作質(zhì)量，并保護(hù)了電主軸。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明又一實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。圖1為本發(fā)明實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1，本發(fā)明一實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液如冷卻水的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)未充分考慮切割機(jī)的電主軸的過(guò)熱保護(hù)的技術(shù)問(wèn)題，通過(guò)同時(shí)檢測(cè)電主軸的溫度和用于冷卻電主軸的冷卻液的流量來(lái)避免切割機(jī)電主軸如空氣靜壓電主軸在工作過(guò)程中電主軸溫升過(guò)高，從而避免了由于電主軸的溫升過(guò)高可能引起的電主軸較大熱變形、降低切割機(jī)切割品質(zhì)、以及甚至發(fā)生電主軸電機(jī)燒壞的嚴(yán)重后果，起到了溫度電主軸工作狀態(tài)和保護(hù)電主軸的作用。圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2，該實(shí)施例的過(guò)熱保護(hù)裝置中，溫度監(jiān)測(cè)模塊包括溫度傳感器，用于檢測(cè)所述電主軸的溫度，并根據(jù)所述檢測(cè)出溫度輸出對(duì)應(yīng)的第三信號(hào)；第一濾波電路模塊，用于對(duì)所述第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊，用于對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊，用于比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，輸出所述第一信號(hào)。冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊包括流量傳感器，用于檢測(cè)所述冷卻液的流量，并根據(jù)所述檢測(cè)出的冷卻液流量輸出對(duì)應(yīng)
6的第四信號(hào)；第二濾波電路模塊，用于對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊，用于對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊，用于比較所述第二放大電路模塊與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，輸出所述第二信號(hào)。示例性地，溫度傳感器根據(jù)檢測(cè)出的溫度輸出的信號(hào)可以是電壓信號(hào)或電流信號(hào)，對(duì)應(yīng)的第一比較電路模塊可以是電壓比較器或電流比較器。類(lèi)似的，冷卻液流量傳感器根據(jù)檢測(cè)出的冷卻液流量輸出的信號(hào)可以是電壓信號(hào)或電流信號(hào)，對(duì)應(yīng)的第二比較電路模塊可以是電壓比較器或電流比較器。優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置中，控制模塊包括處理模塊，用于當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第一控制信號(hào)；電主軸驅(qū)動(dòng)模塊，用于根據(jù)所述第一控制信號(hào)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。示例性地，處理模塊可通過(guò)一電腦如PC機(jī)實(shí)現(xiàn)；電主軸驅(qū)動(dòng)模塊可為一電主軸驅(qū)動(dòng)器，電主軸驅(qū)動(dòng)器與電主軸相連接。進(jìn)一步地，本發(fā)明的其它實(shí)施例中，控制模塊還包括報(bào)警模塊，處理模塊進(jìn)一步用于在所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第二控制信號(hào)；報(bào)警模塊根據(jù)所述第二控制信號(hào)發(fā)出報(bào)警信息。圖3為本發(fā)明又一實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3，該例中，溫度監(jiān)測(cè)模塊和冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊都包括濾波電路、放大電路和比較電路；控制模塊包括處理器如PC機(jī)、電主軸驅(qū)動(dòng)器、報(bào)警器；電主軸驅(qū)動(dòng)器與電主軸相連接，可根據(jù)PC 機(jī)發(fā)出的控制信號(hào)對(duì)電主軸的運(yùn)行進(jìn)行控制，如停止電主軸的運(yùn)行。如圖3，溫度監(jiān)測(cè)模塊301中，濾波電路(第一濾波電路)包括電阻R11、電阻 R13、電阻R14、電容Cll和第一濾波器302。示例性地，該第一濾波器為L(zhǎng)M6132BIN運(yùn)算放大器。電阻Rll的一端與溫度傳感器相連接，另一端與運(yùn)算放大器的第一輸入端(正輸入端)相連接，電容Cll的一端接地，另一端與運(yùn)算放大器的第一輸入端相連接；電阻R13的一端與運(yùn)算放大器的輸出端相連接，另一端與運(yùn)算放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接；電阻R14的一端與運(yùn)算放大器的負(fù)輸入端相連接，另一端作為參考電壓的輸入端；運(yùn)算放大器的電源端(Vcc)連接電源。放大電路(第一放大電路)包括電阻R15、電阻R16、電阻R17和第一放大器303。示例性地，該第一放大器為M54565放大器。第一濾波電路的輸出端通過(guò)電阻R15與第一放大器的第一輸入端(正輸入端)相連接，電阻R16的一端接地、另一端與放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，電阻R17與的一端與運(yùn)算放大器的輸出端相連接，另一端與運(yùn)算放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，放大器的電源端(Vcc) 連接電源。比較電路(第一比較電路)包括電阻R18、電阻R19和第一比較器304。示例性地，該第一比較器為L(zhǎng)M393比較器。第一放大電路的輸出端通過(guò)電阻R18與第一比較器的第一輸入端(正輸入端)相連接；電阻R19的一端與第一比較器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，另一端作為參考電壓的輸入端；第一比較器的電源端(Vcc)連接電源。電主軸的溫度傳感器輸出的信號(hào)通過(guò)電阻Rll輸入到濾波電路，經(jīng)過(guò)放大電路放大、再經(jīng)過(guò)比較電路，將比較結(jié)果輸入到PC機(jī)。第一比較器LM393的參考電壓(第三閾值)根據(jù)溫度與電壓的關(guān)系以及切割機(jī)電主軸的工作要求預(yù)先設(shè)置好。當(dāng)電主軸的溫度超過(guò)設(shè)定值(第一閾值)時(shí)，比較電路輸出
7高電平信號(hào)。高電平信號(hào)輸入到PC機(jī)，PC機(jī)控制報(bào)警器發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并發(fā)出停止電主軸運(yùn)行信號(hào)給電主軸驅(qū)動(dòng)器，電主軸驅(qū)動(dòng)器可根據(jù)該信號(hào)停止電主軸的運(yùn)行。如圖3，冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊305中，濾波電路(第二濾波電路)包括電阻R21、 電阻R22、電阻R23、電阻R24、電容C21、電容C22和第二濾波器306。示例性地，第二濾波器為L(zhǎng)M6132BIN運(yùn)算放大器。電阻Rll的一端與溫度傳感器相連接，另一端與電阻R22的串聯(lián)連接，電阻R22的另一端與運(yùn)算放大器的第一輸入端(正輸入端)相連接；電容C21的一端接地，另一端與電阻R21的一端相連接；電容C22的一端接地，另一端與運(yùn)算放大器的第一輸入端相連接；電阻R23的一端與運(yùn)算放大器的輸出端相連接，另一端與運(yùn)算放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接；電阻R24的一端與運(yùn)算放大器的負(fù)輸入端相連接，另一端作為參考電壓的輸入端；運(yùn)算放大器的電源端(Vcc)連接電源。放大電路(第二放大電路) 包括電阻R25、電阻R26、電阻R27和第二放大器307。示例性地，該第二放大器為M54565 放大器。第二濾波電路的輸出端通過(guò)電阻R25與第二放大器的第一輸入端(正輸入端)相連接，電阻R26的一端接地、另一端與放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，電阻R27與的一端與運(yùn)算放大器的輸出端相連接，另一端與運(yùn)算放大器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，放大器的電源端(Vcc)連接電源。比較電路(第二比較電路)包括電阻R28、電阻 R29和第二比較器308。示例性地，該第二比較器為L(zhǎng)M393比較器。第二放大電路的輸出端通過(guò)電阻R28與第二比較器的第一輸入端(正輸入端)相連接；電阻R29的一端與第二比較器的第二輸入端(負(fù)輸入端)相連接，另一端作為參考電壓的輸入端；第二比較器的電源端(Vcc)連接電源。冷卻液流量傳感器將檢測(cè)輸出的信號(hào)輸入濾波電路濾波、放大電路放大后，再經(jīng)過(guò)第二比較電路，比較結(jié)果輸入到PC機(jī)。第二比較器的參考電壓(第四閾值)根據(jù)流量與電壓的關(guān)系以及切割機(jī)電主軸的工作要求預(yù)先設(shè)置好，當(dāng)流量小于設(shè)定值(第二閾值)時(shí)，第二比較電路輸出高電平信號(hào)。 高電平信號(hào)輸入到PC機(jī)，PC機(jī)控制報(bào)警器發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并發(fā)出停止電主軸運(yùn)行信號(hào)給電主軸驅(qū)動(dòng)器，電主軸驅(qū)動(dòng)器可根據(jù)該信號(hào)停止電主軸的運(yùn)行。圖3中，電主軸驅(qū)動(dòng)器簡(jiǎn)稱(chēng)驅(qū)動(dòng)器；電主軸簡(jiǎn)稱(chēng)為主軸。顯然，第一、第二濾波電路不限于圖3中的實(shí)現(xiàn)方式，現(xiàn)有技術(shù)的其它濾波電路也可用于實(shí)現(xiàn)作為本發(fā)明實(shí)施例的第一、第二濾波電路。同樣，第一、第二放大電路不限于圖 3中的實(shí)現(xiàn)方式，現(xiàn)有技術(shù)的其它放大電路也可用于實(shí)現(xiàn)作為本發(fā)明實(shí)施例的第一、第二放大電路；第一、第二比較電路不限于圖3中的實(shí)現(xiàn)方式，現(xiàn)有技術(shù)的其它比較電路也可用于實(shí)現(xiàn)作為本發(fā)明實(shí)施例的第一、第二比較電路。在本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)中，可在電主軸的外殼上鉆孔，將主軸溫度傳感器探頭伸入到孔內(nèi)、與內(nèi)置與電主軸的電機(jī)定子相接觸。在本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)中，冷卻液如冷卻水的流量傳感器可安裝在切割機(jī)的機(jī)架上，主軸冷卻液經(jīng)過(guò)流量傳感器輸入主軸內(nèi)部冷卻液通道如冷卻水通道，并經(jīng)主軸冷卻水排水口排出，實(shí)現(xiàn)主軸的冷卻。本發(fā)明實(shí)施例還公開(kāi)了一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)方法，包括如下步驟監(jiān)測(cè)電主軸的溫度；監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。優(yōu)選地，該實(shí)施例的過(guò)熱保護(hù)方法中，通過(guò)溫度傳感器對(duì)電主軸的溫度進(jìn)行檢測(cè)， 并根據(jù)檢測(cè)出的溫度輸出第一信號(hào)，通過(guò)冷卻液流量傳感器對(duì)電主軸的溫度進(jìn)行檢測(cè)，并根據(jù)檢測(cè)出的流量輸出第二信號(hào)，當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。優(yōu)選地，上述第一、第二信號(hào)可以是電壓信號(hào)或電流信號(hào)。優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)方法中，監(jiān)測(cè)電主軸的溫度的步驟又包括如下步驟溫度傳感器根據(jù)檢測(cè)出的電主軸的溫度，輸出第三信號(hào)；第一濾波電路模塊對(duì)所述溫度傳感器輸出的第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，確定出所述電主軸的溫度高于所述第一閾值。優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的電主軸的過(guò)熱保護(hù)方法中，監(jiān)測(cè)冷卻液的流量的步驟又包括如下步驟流量傳感器根據(jù)檢測(cè)出的冷卻液的流量，輸出第四信號(hào)；第二濾波電路模塊對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊比較所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，確定出所述冷卻液的流量低于所述第二閾值。本發(fā)明實(shí)施例還公開(kāi)了一種切割機(jī)，包括電主軸，其中，還包括與所述電主軸相連接的過(guò)熱保護(hù)裝置，所述過(guò)熱保護(hù)裝置包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/ 或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的切割機(jī)，溫度監(jiān)測(cè)模塊包括溫度傳感器，用于檢測(cè)所述電主軸的溫度，并根據(jù)所述檢測(cè)出的溫度輸出對(duì)應(yīng)的第三信號(hào)；第一濾波電路模塊，用于對(duì)所述第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊，用于對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊，用于比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，輸出所述第一信號(hào)；優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的切割機(jī)，所述冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊包括流量傳感器，用于檢測(cè)所述冷卻液的流量，并根據(jù)所述檢測(cè)出的冷卻液流量輸出對(duì)應(yīng)的第四信號(hào)；第二濾波電路模塊，用于對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊，用于對(duì)所述第二濾波電路
9模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊，用于比較所述第二放大電路模塊與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，輸出所述第二信號(hào)。上述過(guò)熱保護(hù)裝置的其它實(shí)施方式可參照上文對(duì)電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置的實(shí)施例的描述，在此不再贅述。上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明實(shí)施例所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，所述溫度監(jiān)測(cè)模塊包括溫度傳感器，用于檢測(cè)所述電主軸的溫度，并根據(jù)所述檢測(cè)出的溫度輸出對(duì)應(yīng)的第三信號(hào)；第一濾波電路模塊，用于對(duì)所述第三信號(hào)進(jìn)行濾波； 第一放大電路模塊，用于對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大； 第一比較電路模塊，用于比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值， 當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，輸出所述第一信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，所述冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊包括流量傳感器，用于檢測(cè)所述冷卻液的流量，并根據(jù)所述檢測(cè)出的冷卻液流量輸出對(duì)應(yīng)的第四信號(hào)；第二濾波電路模塊，用于對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波； 第二放大電路模塊，用于對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大； 第二比較電路模塊，用于比較所述第二放大電路模塊與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，輸出所述第二信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，所述控制模塊包括處理模塊，用于當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第一控制信號(hào)；電主軸驅(qū)動(dòng)模塊，用于根據(jù)所述第一控制信號(hào)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，所述控制模塊還包括報(bào)警模塊，所述處理模塊進(jìn)一步用于在所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，發(fā)出第二控制信號(hào)； 所述報(bào)警模塊根據(jù)所述第二控制信號(hào)發(fā)出報(bào)警信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的過(guò)熱保護(hù)裝置，其特征在于，所述溫度傳感器與內(nèi)置于所述電主軸的電機(jī)定子相接觸。
7.一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)方法，其特征在于，包括 監(jiān)測(cè)電主軸的溫度；監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；當(dāng)所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的過(guò)熱保護(hù)方法，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)電主軸的溫度的步驟包括溫度傳感器根據(jù)檢測(cè)出的電主軸的溫度，輸出第三信號(hào)；第一濾波電路模塊對(duì)所述溫度傳感器輸出的第三信號(hào)進(jìn)行濾波；第一放大電路模塊對(duì)所述第一濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第一比較電路模塊比較所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第三閾值，當(dāng)所述第一放大電路模塊輸出的信號(hào)的值大于所述第三閾值時(shí)，確定出所述電主軸的溫度高于所述第一閾值。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的過(guò)熱保護(hù)方法，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)冷卻液的流量的步驟包括流量傳感器根據(jù)檢測(cè)出的冷卻液的流量，輸出第四信號(hào)；第二濾波電路模塊對(duì)所述第四信號(hào)進(jìn)行濾波；第二放大電路模塊對(duì)所述第二濾波電路模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大；第二比較電路模塊比較所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)與預(yù)定的第四閾值，當(dāng)所述第二放大電路模塊輸出的信號(hào)的值小于所述第四閾值時(shí)，確定出所述冷卻液的流量低于所述第二閾值。
10.一種切割機(jī)，包括電主軸，其特征在于，還包括與所述電主軸相連接的過(guò)熱保護(hù)裝置，所述過(guò)熱保護(hù)裝置包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，所述冷卻液用于冷卻所述電主軸；控制模塊，用于當(dāng)所述第一信號(hào)表明所述電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或所述第二信號(hào)表明所述冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制所述電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種電主軸的過(guò)熱保護(hù)裝置、過(guò)熱保護(hù)方法及切割機(jī)，該過(guò)熱保護(hù)裝置包括溫度監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)電主軸的溫度，并輸出第一信號(hào)；冷卻液流量監(jiān)測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)冷卻液的流量，并輸出第二信號(hào)，冷卻液用于冷卻電主軸；控制模塊，用于當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)表明電主軸的溫度高于預(yù)定的第一閾值和/或第二信號(hào)表明冷卻液的流量低于預(yù)定的第二閾值時(shí)，控制電主軸停止運(yùn)行或按預(yù)定的方式運(yùn)行。利用所述技術(shù)方案，較佳的實(shí)現(xiàn)了對(duì)電主軸的過(guò)熱保護(hù)，穩(wěn)定了電主軸的工作狀態(tài)，避免了過(guò)熱導(dǎo)致的主機(jī)工作精度受影響，提高了工作質(zhì)量，并保護(hù)了電主軸。
文檔編號(hào)B28D5/00GK102343634SQ20101024341
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者常亮, 李戰(zhàn)偉, 楊云龍, 王兵鋒, 王明權(quán), 賈月明 申請(qǐng)人:北京中電科電子裝備有限公司