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一種改進型單晶硅棒切斷機的制作方法

文檔序號:1961618閱讀:344來源:國知局
專利名稱:一種改進型單晶硅棒切斷機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽能行業(yè)的單晶硅切斷加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種改進 型單晶硅棒切斷機。
(二)
背景技術(shù)
現(xiàn)有的單晶硅棒切斷機,其工件夾緊后,每切斷一次,需松開夾具,通過 手動調(diào)節(jié)單晶硅棒的進給量后,再夾緊夾具,由于單晶硅棒的表面不平滑,夾
緊后會產(chǎn)生應(yīng)力集中,其經(jīng)常松開和夾緊夾具保證不了切斷工件兩端面的平行 度,影響加工質(zhì)量,且調(diào)節(jié)費時費力,工作效率低。
(三)

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題,本發(fā)明提供了一種改進型單晶硅棒切斷機,其一次性裝夾 工件后,通過驅(qū)動裝置調(diào)節(jié)單晶硅棒的進給量,多次切斷,能保證切斷后單晶 硅兩端面的平行度,且工作效率高。
其技術(shù)方案是這樣的其包括切割部分、進給部分、夾具,所述切割部分 通過連接板連接所述進給部分,所述夾具支承于所述進給部分上端,其特征在 于所述進給部分包括X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu),所述X軸進給機構(gòu)、Z軸
偏移機構(gòu)外露端各自連接其對應(yīng)的驅(qū)動裝置。
其進一步特征在于所述X軸進給機構(gòu)包括X軸伺服電機、X軸聯(lián)軸器、X 軸滾珠絲桿、X軸軸承座、X軸直線導軌,所述X軸伺服電機輸出端通過所述X 軸聯(lián)軸器連接所述X軸滾珠絲桿的輸入端,所述X軸滾珠絲桿支承于所述X軸
軸承座內(nèi),所述x軸軸承座支承于所述進給部分的機座,所述x軸伺服電機支 承于所述機座,所述x軸滾珠絲桿通過絲桿螺母連接其上部的x軸滑板,x軸直
線導軌支承于所述機座,所述X軸滑板的底部與所述X軸直線導軌配合連接;
所述z軸偏移機構(gòu)包括z軸伺服電機、z軸聯(lián)軸器、z軸滾珠絲桿、z軸軸 承座、z軸直線導軌,所述z軸伺服電機輸出端通過所述z軸聯(lián)軸器連接所述z 軸滾珠絲桿的輸入端,所述z軸滾珠絲桿支承于所述z軸軸承座內(nèi),所述z軸軸承座支承于所述x軸滑板,所述Z軸伺服電機支承于所述X軸滑板,所述z 軸滾珠絲桿通過絲桿螺母連接其上部的z軸滑板,Z軸直線導軌支承于所述X軸
滑板,所述Z軸滑板的底部與所述Z軸直線導軌配合連接;
所述z軸滑板開有z軸向的燕尾槽,燕尾上導軌和所述燕尾槽配合安裝,
所述夾具支承于所述燕尾上導軌,所述燕尾上導軌的一端連接有z軸向的進給
油缸;
所述夾具包括上支架、下支架,所述下支架緊固連接所述燕尾上導軌,所 述上支架、下支架兩端部分別配合連接,所述連接后的上支架、下支架的內(nèi)端 空腔內(nèi)安裝有夾緊塊,所述夾緊塊的非夾持端面連接關(guān)節(jié)軸承,所述關(guān)節(jié)軸承 安裝于軸承座內(nèi)部,所述軸承座安裝于所述上支架或下支架所開的安裝通孔內(nèi), 所述軸承座通過連接件連接外部驅(qū)動件;
其更進一步特征在于所述上支架、下支架的一端沿著夾持的單晶硅棒長 度方向上分別開有對應(yīng)的通孔,所述上支架、下支架嵌套對應(yīng)連接后,銷軸通 過其對應(yīng)的通孔連接所述上支架、下支架;
所述上支架的另一端開有垂直其連接端面的通孔,所述下支架的另一端開 有安裝槽,螺栓的頭部位于所述安裝槽內(nèi),所述螺栓的頭部通過銷軸連接于所 述下支架,所述螺栓的螺栓部分貫穿所述上支架的另一端的通孔后,其螺栓端 部安裝有旋轉(zhuǎn)手把;所述夾緊塊的非夾持端面通過連接支架連接連接關(guān)節(jié)軸承; 所述外部驅(qū)動件具體為徑向端旋轉(zhuǎn)手把、所述連接件具體為連接軸,所述連接 軸一端連接所述軸承座,所述連接軸另一端連接所述徑向端旋轉(zhuǎn)手把。
本發(fā)明的上述結(jié)構(gòu)中,當所述夾具裝夾完工件后,其通過對應(yīng)的驅(qū)動裝置 完成X軸進給和Z軸方向?qū)Φ毒叩膶ξ?,做到一次裝夾,多次切斷,能保證切 斷后單晶硅兩端面的平行度,且工作效率高。

圖l是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是圖1的左視圖的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖3是圖1的A處局部放大結(jié)構(gòu)示意圖; 圖4是圖2中夾具3局部放大結(jié)構(gòu)示意圖; 圖5是圖4的C-C剖局部放大結(jié)構(gòu)示意圖;圖6是圖4的D處局部放大結(jié)構(gòu)示意圖。 具體實施例方式
見圖l、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6,本發(fā)明包括切割部分l、進給部分 2、夾具3,切割部分1通過連接板4連接進給部分2,夾具3支承于進給部分2 上端,進給部分2包括X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu),X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移 機構(gòu)外露端各自連接其對應(yīng)的驅(qū)動裝置。X軸進給機構(gòu)包括X軸伺服電機5、 X 軸聯(lián)軸器6、 X軸滾珠絲桿7、 X軸軸承座8、 X軸直線導軌9, X軸伺服電機5 輸出端通過X軸聯(lián)軸器6連接X軸滾珠絲桿7的輸入端,X軸滾珠絲桿7支承 于X軸軸承座8內(nèi),X軸軸承座8支承于進給部分2的機座10, X軸伺服電機 5支承于機座10, X軸滾珠絲桿7通過絲桿螺母11連接其上部的X軸滑板12, X軸直線導軌9支承于機座10, X軸滑板12的底部與X軸直線導軌9配合連接;
Z軸偏移機構(gòu)包括Z軸伺服電機13、 Z軸聯(lián)軸器14、 Z軸滾珠絲桿15、 Z軸 軸承座16、 Z軸直線導軌17, Z軸伺服電機13輸出端通過Z軸聯(lián)軸器14連接 Z軸滾珠絲桿15的輸入端,Z軸滾珠絲桿15支承于Z軸軸承座16內(nèi),Z軸軸 承座16支承于X軸滑板12, Z軸伺服電機13支承于X軸滑板12, Z軸滾珠 絲桿15通過絲桿螺母18連接其上部的Z軸滑板37, Z軸直線導軌17支承于X 軸滑板12, Z軸滑板37的底部與Z軸直線導軌17配合連接;
Z軸滑板37開有Z軸向的燕尾槽19,燕尾上導軌20和燕尾槽19配合安裝, 夾具3支承于燕尾上導軌20,燕尾上導軌20的一端連接有Z軸向的進給油缸 21;
見圖4,夾具3包括上支架22、下支架23,下支架23緊固連接燕尾上導軌 20,上支架22、下支架23兩側(cè)部分別配合連接,下支架23的一端沿著夾持的 單晶硅棒24長度方向上分別開有對應(yīng)的通孔,上支架22、下支架23嵌套對應(yīng) 連接后,銷軸25通過其對應(yīng)的通孔連接上支架22、下支架23;上支架22的另 一端開有垂直其連接端面26的通孔,下支架23的另一端開有安裝槽27,螺栓 28的頭部位于所述安裝槽27內(nèi),螺栓28的頭部通過銷軸29連接于下支架23, 螺栓28的螺栓部分貫穿上支架22的另一端的通孔后,其螺栓端部安裝有旋轉(zhuǎn) 手把30;連接后的上支架22、下支架23的內(nèi)端空腔內(nèi)安裝有夾緊塊31,夾緊 塊31的非夾持端面通過連接支架32連接關(guān)節(jié)軸承33,關(guān)節(jié)軸承33安裝于軸承座34內(nèi)部,軸承座34安裝于上支架22或下支架23所開的安裝通孔內(nèi),軸承 座34通過連接軸35連接徑向端旋轉(zhuǎn)手把36,連接軸35 —端連接軸承座34, 連接軸35另一端連接徑向端旋轉(zhuǎn)手把36。
其工作原理如下夾持單晶硅棒24時,擰開旋轉(zhuǎn)手把30,將上支架22繞 著銷軸25旋轉(zhuǎn)將其打開,放上單晶硅棒24,將上支架22繞著銷軸25旋轉(zhuǎn)至原 位,擰緊旋轉(zhuǎn)手把30關(guān)閉上支架22,然后通過調(diào)節(jié)徑向端旋轉(zhuǎn)手把36,帶動 軸承座34在安裝通孔內(nèi)移動,進而通過關(guān)節(jié)軸承33帶動夾緊塊31夾持單晶硅 棒24。夾緊塊31的非夾持端面連接關(guān)節(jié)軸承33,由于關(guān)節(jié)軸承33可以在一定 的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動,故其可根據(jù)工件不平的表面進行自動調(diào)整,使夾緊塊10受力均 勻。每個夾具夾緊單晶硅棒24后,通過X軸伺服電機5、 Z軸伺服電機13和Z 軸向的進給油缸21分別調(diào)節(jié)其在X軸向的進給量、Z軸向的偏移量(配合切割 部分l的刀具位置),然后切割取得需要的單晶硅棒長度。
權(quán)利要求
1、一種改進型單晶硅棒切斷機,其包括切割部分、進給部分、夾具,所述切割部分通過連接板連接所述進給部分,所述夾具支承于所述進給部分上端,其特征在于所述進給部分包括X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu),所述X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu)外露端各自連接其對應(yīng)的驅(qū)動裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述X軸進給機構(gòu)包括x軸伺服電機、x軸聯(lián)軸器、x軸滾珠絲桿、x軸軸承座、x軸直線導軌,所述x軸伺服電機輸出端通過所述X軸聯(lián)軸器連接所述X軸滾珠絲桿的輸入端,所述x軸滾珠絲桿支承于所述x軸軸承座內(nèi),所述x軸軸承座支 承于所述進給部分的機座,所述x軸伺服電機支承于所述機座,所述x軸滾珠 絲桿通過絲桿螺母連接其上部的x軸滑板,x軸直線導軌支承于所述機座,所述X軸滑板的底部與所述X軸直線導軌配合連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述z軸偏移機構(gòu)包括z軸伺服電機、z軸聯(lián)軸器、z軸滾珠絲桿、z軸軸承座、z 軸直線導軌,所述z軸伺服電機輸出端通過所述z軸聯(lián)軸器連接所述z軸滾珠 絲桿的輸入端,所述z軸滾珠絲桿支承于所述z軸軸承座內(nèi),所述z軸軸承座支承于所述X軸滑板,所述Z軸伺服電機支承于所述X軸滑板,所述z軸滾珠 絲桿通過絲桿螺母連接其上部的z軸滑板,Z軸直線導軌支承于所述X軸滑板, 所述z軸滑板的底部與所述z軸直線導軌配合連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述Z 軸滑板開有z軸向的燕尾槽,燕尾上導軌和所述燕尾槽配合安裝,所述夾具支承于所述燕尾上導軌,所述燕尾上導軌的一端連接有z軸向的進給油缸。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述夾 具包括上支架、下支架,所述下支架緊固連接所述燕尾上導軌,所述上支架、 下支架兩端部分別配合連接,所述連接后的上支架、下支架的內(nèi)端空腔內(nèi)安裝 有夾緊塊,所述夾緊塊的非夾持端面連接關(guān)節(jié)軸承,所述關(guān)節(jié)軸承安裝于軸承 座內(nèi)部,所述軸承座安裝于所述上支架或下支架所開的安裝通孔內(nèi),所述軸承 座通過連接件連接外部驅(qū)動件。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述上 支架、下支架的一端沿著夾持的單晶硅棒長度方向上分別開有對應(yīng)的通孔,所 述上支架、下支架嵌套對應(yīng)連接后,銷軸通過其對應(yīng)的通孔連接所述上支架、 下支架。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述上 支架的另一端開有垂直其連接端面的通孔,所述下支架的另一端開有安裝槽, 螺栓的頭部位于所述安裝槽內(nèi),所述螺栓的頭部通過銷軸連接于所述下支架, 所述螺栓的螺栓部分貫穿所述上支架的另一端的通孔后,其螺栓端部安裝有旋 轉(zhuǎn)手把。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述夾 緊塊的非夾持端面通過連接支架連接連接關(guān)節(jié)軸承。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述一種改進型單晶硅棒切斷機,其特征在于所述外部驅(qū)動件具體為徑向端旋轉(zhuǎn)手把、所述連接件具體為連接軸,所述連接軸一端 連接所述軸承座,所述連接軸另一端連接所述徑向端旋轉(zhuǎn)手把。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種改進型單晶硅棒切斷機。其一次性裝夾工件后,通過驅(qū)動裝置調(diào)節(jié)單晶硅棒的進給量,多次切斷,能保證切斷后單晶硅兩端面的平行度,且工作效率高。其包括切割部分、進給部分、夾具,所述切割部分通過連接板連接所述進給部分,所述夾具支承于所述進給部分上端,其特征在于所述進給部分包括X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu),所述X軸進給機構(gòu)、Z軸偏移機構(gòu)外露端各自連接其對應(yīng)的驅(qū)動裝置。
文檔編號B28D5/00GK101664967SQ20091018271
公開日2010年3月10日 申請日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者吳東曉, 趙旭明 申請人:無錫機床股份有限公司
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