專利名稱：潔凈室及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及一潔凈室，特別地涉及一種用于潔凈室的地板和建立潔凈室的方法。
背景技術(shù)：
潔凈室廣泛地用在電子工業(yè)和其它工業(yè)上，在這些工業(yè)中在產(chǎn)品裝配和檢測時(shí)清潔的無顆粒環(huán)境是必須的。用潔凈室內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)體積內(nèi)測試到的給定標(biāo)準(zhǔn)尺寸的顆粒數(shù)量來評(píng)估該室。根據(jù)該評(píng)估系統(tǒng)，一個(gè)“10級(jí)”潔凈室僅具有一個(gè)“100級(jí)”潔凈室十分之一的顆粒數(shù)目。類似地，一個(gè)“1級(jí)”潔凈室僅具有一個(gè)“10級(jí)”潔凈室十分之一的顆粒數(shù)量。潔凈室內(nèi)的小的顆粒數(shù)目是通過該室內(nèi)的大量分布的空氣變化實(shí)現(xiàn)的。空氣通常是以成層的形式流過潔凈室并從天花板向下流至地板或地板附近的通氣口?？諝庾兓礈焓覂?nèi)的顆粒物質(zhì)。其它條件都相同時(shí)，空氣變化的次數(shù)越多，室內(nèi)的顆粒數(shù)目越少。例如，“1級(jí)”潔凈室通常需要大于每小時(shí)450次的空氣變化。
一般地，潔凈室內(nèi)的空氣通過天花板上的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，對(duì)室內(nèi)的內(nèi)容物洗滌地穿過該室，然后穿過開口或升高的潔凈室地板內(nèi)的通氣口進(jìn)入形成于高架地板和建筑物結(jié)構(gòu)地板之間的氣室。隨后，將空氣再循環(huán)又穿過過濾器進(jìn)入該室內(nèi)。
現(xiàn)有技術(shù)的潔凈室均使用了高架潔凈室地板。該高架的通常是打孔潔凈室地板支撐于一個(gè)支座上或許多支座上。支座通常是專門構(gòu)制的設(shè)計(jì)用于待安放在該高架地板上的設(shè)備的結(jié)構(gòu)。高架地板本身不足以支撐該設(shè)備的重量。必要的支座往往昂貴，有時(shí)其成本占整個(gè)設(shè)備成本的大部分。高架地板對(duì)形成回氣室并提供一輔助該設(shè)備的路徑是必要的。動(dòng)力線路、化學(xué)線路、排氣系統(tǒng)、排水系統(tǒng)等穿過高架地板并在其下伸至設(shè)備區(qū)域。另外，高架潔凈室地板廣泛使用的另一個(gè)原因是，人們希望，經(jīng)常也是必須的抑制由潔凈室附近設(shè)備引起的振動(dòng)。在潔凈室內(nèi)完成許多處理需要無振環(huán)境和無顆粒環(huán)境。高架地板及其上支撐有該高架地板的平臺(tái)阻尼振動(dòng)，否則該振動(dòng)可被下面的結(jié)構(gòu)地板擴(kuò)散。還沒有發(fā)現(xiàn)混凝土板式地板適合用于潔凈室，因?yàn)榛炷涟逡壮蔀檎駝?dòng)的導(dǎo)管。
此種地板不僅有必須定制用于支撐高架潔凈室地板的支座費(fèi)用的缺點(diǎn)，還有許多其它缺點(diǎn)。由于高架地板自身不能支撐可放置在潔凈室內(nèi)的設(shè)備重量，因此該高架地板也不能在將設(shè)備移入潔凈室內(nèi)時(shí)支撐其重量。結(jié)果是，在將設(shè)備移入潔凈室內(nèi)或在其中四處移動(dòng)時(shí)必須把高架地板拆卸。地板拆卸后，把設(shè)備移入潔凈室內(nèi)，放在高架地板上基本上是其最后位置處，然后再把高架地板的剩余部分重新安裝。這種活動(dòng)在每次將設(shè)備部件移入潔凈室或在其中四處移動(dòng)時(shí)都會(huì)損壞潔凈室的清潔性。此外，任何會(huì)放置在必須得移動(dòng)的高架地板部分下的裝置也會(huì)受到該設(shè)備的移動(dòng)的干擾。由于這些困難，建立一小的或隔間化的潔凈室以便僅小的區(qū)域受到任何移動(dòng)過程的玷污是常見的。當(dāng)然，就物料而言這帶來了不利，因?yàn)楸仨殞⑻幚淼奈锪弦迫牖蛞瞥鲞@些單個(gè)的隔間化的潔凈室。
鑒于傳統(tǒng)潔凈室設(shè)計(jì)的這些問題和其它問題，已認(rèn)識(shí)到需要一種比高架潔凈室低廉的潔凈室。還需要一種潔凈室，其可用于無干涉潔凈室操作，以利于潔凈室內(nèi)的設(shè)備。還需要一種潔凈室，其不需要昂貴而又定制的用于設(shè)備的支座，但卻允許在潔凈室內(nèi)將設(shè)備放置于任何位置。還需要一種潔凈室，可將設(shè)備移入其內(nèi)和再放置而不損壞潔凈室的整體性。還需要一種大面積的且其面積可任意地?cái)U(kuò)大的潔凈室。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，提供的潔凈室具有一個(gè)能支撐其上任何位置處的設(shè)備的支撐地板。該支撐地板定位在裝置室的上方，實(shí)際上，該裝置室是該潔凈室的延伸部分。支撐地板具有穿過地板的一個(gè)規(guī)則陣列開口，其允許空氣從潔凈室流入下面的裝置室。將一壁結(jié)構(gòu)定位于支撐地板上以環(huán)繞該支撐地板的選定區(qū)域。把具有許多已過濾的空氣入口定位在支撐地板之上并與該壁結(jié)構(gòu)接觸。將許多格柵定位在此規(guī)則陣列的、位于由壁結(jié)構(gòu)環(huán)繞的選定區(qū)域之內(nèi)的這些地板開口內(nèi)，將密實(shí)的氣密部件定位在此規(guī)則陣列的、位于所選定區(qū)域外側(cè)的那些地板開口內(nèi)。通過改變用于格柵的氣密部件，或相反，潔凈室的面積能被擴(kuò)大或減小。最好是，也可調(diào)節(jié)過濾的空氣入口的位置和數(shù)量以與潔凈室地板內(nèi)的格柵開口的數(shù)量相應(yīng)。


圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的打孔潔凈室地板的平面視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明潔凈室地板的剖視圖；圖3是潔凈室裝置局部的剖視圖；圖4和5是格柵及其在本發(fā)明的實(shí)施例的打孔地板中安裝的方法的視圖；圖6示意地示出根據(jù)本發(fā)明的潔凈室裝置。
具體實(shí)施例方式
圖1以平面圖的形式示出用于根據(jù)本發(fā)明的潔凈室的地板20。圖2示出穿過地板20所取的剖面，如圖所示，圖3示出另一穿過地板20的剖面及其子結(jié)構(gòu)，如圖所示。
根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，如圖1-3所示，地板20是現(xiàn)場澆注的混凝土地板，其具有許多延伸穿過該地板厚度的開口22。最好將這許多開口22布置成規(guī)則陣列。例如，此開口可以是方形開口，其側(cè)向尺寸為兩英尺且開口之間間隔兩英尺。如下所述，每個(gè)開口具有一個(gè)插入其內(nèi)的蓋子24，該蓋子的頂部與此密實(shí)地板的頂部共面。取決于潔凈室地板內(nèi)的位置，該蓋子包括一個(gè)格柵或一個(gè)氣密蓋子。地板20構(gòu)制成重疊在一室30之上。最好室30是一地面以下的地下室。可用室30有利地容放由在潔凈室內(nèi)使用的設(shè)備可用的裝置。因此，以下將室30稱為裝置室。如圖3所示，室30包括支撐側(cè)壁32和一支撐混凝土地板34。許多支撐柱36從混凝土板式地板34向上延伸。許多梁38跨過該裝置室30并由許多柱子36支撐。反過來，支撐梁38支撐打孔潔凈室地板20。裝置室34、壁32、支撐柱36、梁38和地板20最好由加強(qiáng)混凝土制成。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)計(jì)算方法確定混凝土組分和用于加強(qiáng)的鋼筋條的尺寸與數(shù)量，以支撐在潔凈室內(nèi)使用的設(shè)備的重量。當(dāng)然，理想的工程實(shí)踐表明應(yīng)將結(jié)構(gòu)保險(xiǎn)設(shè)計(jì)以支撐比計(jì)劃用在潔凈室內(nèi)的實(shí)際重量大的重量。
圖4示出一種優(yōu)選格柵結(jié)構(gòu)50，其用作插入潔凈室的開口22內(nèi)的蓋子24之一。圖5示出在地板20內(nèi)如何將格柵夾持就位。格柵50包括一網(wǎng)格頂部52和一裙部54，該裙部至少從兩個(gè)網(wǎng)格頂部的側(cè)面向下延伸。狹縫56設(shè)置在該裙部上以允許在開口22內(nèi)調(diào)節(jié)格柵的連接，如下所述。格柵可由任何合適的結(jié)構(gòu)理想的材料制成。最好格柵由金屬如不銹鋼制成。將網(wǎng)格頂部設(shè)計(jì)成提供空氣從其自由地流過，還提供結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，網(wǎng)格頂部由不銹鋼制成并具有大約1英寸×4英寸的開口。網(wǎng)格頂部的高度可以是1.5-2英寸，裙部的高度最好是4-5英寸。
圖5是地板20的局部剖視圖，其描述了在開口22內(nèi)連接格柵的方法。在澆注混凝土地板20時(shí)，環(huán)圈60嵌入地板20的密實(shí)部21內(nèi)。最好四個(gè)環(huán)圈嵌入每個(gè)開口22的壁中，在開口的相對(duì)側(cè)各有兩個(gè)。把環(huán)圈定位成與格柵中的狹縫對(duì)準(zhǔn)。使用環(huán)圈是由于環(huán)圈部在混凝土材料內(nèi)提供一良好的固定機(jī)構(gòu)。將延伸出混凝土的環(huán)圈端部攻有螺紋以容納螺栓62。將格柵放置在開口中以便把裙部54中狹縫56定位在環(huán)圈60的螺紋端之上。螺栓62螺紋地?cái)Q入環(huán)圈，調(diào)節(jié)格柵的高度以與混凝土21的表面基本共面，然后將螺栓擰緊以夾持裙部，從而將格柵緊固在該對(duì)準(zhǔn)位置。
根據(jù)本發(fā)明，圖6進(jìn)一步示意地示出該潔凈室裝置。在該示意圖中，所示的潔凈室是沿著豎向剖面示出。該潔凈室裝置包括如前所述的裝置室30。覆在裝置室上面的是一打孔地板20。豎向壁70環(huán)繞打孔地板20的一個(gè)區(qū)域。由壁70環(huán)繞的打孔地板區(qū)域可圍繞所有的打孔地板，或者可選地是部分地板，而把地板的第二部分留在壁70的外邊。天花板80覆在包括有部分打孔地板由壁70封閉的打孔地板20之上。在壁70和天花板80之間以及在壁70和打孔地板20之間形成氣密封。于是，壁70、部分天花板80和部分打孔地板封閉一構(gòu)成潔凈室90的容積。天花板80包括許多過濾的空氣入口82。過濾的空氣入口82在潔凈室90之上的密度大于其在壁70外側(cè)區(qū)域之上的密度。另外，延伸穿過地板20且位于由壁70環(huán)繞的區(qū)域之內(nèi)的開口22用格柵50覆蓋。位于潔凈室90外側(cè)的穿過地板20的多數(shù)開口22由一氣密蓋罩53覆蓋。
圖6還示出穿過潔凈室裝置的空氣循環(huán)。如箭頭84所示，空氣通過過濾的空氣入口82進(jìn)入潔凈室90。過濾的空氣穿過潔凈室90，如箭頭86所示，通過打孔地板20中的開口22排入裝置室30。然后，將空氣從裝置室30通過空氣室88排出。風(fēng)機(jī)92將空氣輸送至覆在天花板80之上的另一氣室94。隨后再過濾空氣，并強(qiáng)制使其通過過濾的空氣入口82。以這種方式，在潔凈室90內(nèi)的重復(fù)的空氣改變洗滌潔凈室中的顆粒物質(zhì)。潔凈室90中的空氣改變次數(shù)是風(fēng)機(jī)92用來循環(huán)空氣的速度、空氣入口82的數(shù)量以及空氣通過其排入裝置室30的開口的數(shù)量的函數(shù)。由于壁70外側(cè)區(qū)域中的過濾的空氣入口的密度較低以及將空氣通過其排放的開口22的數(shù)量小，潔凈室90外的顆粒數(shù)目會(huì)比潔凈室內(nèi)側(cè)的顆粒數(shù)目大。
圖6所示的概念有比現(xiàn)有技術(shù)的潔凈室非常重要的優(yōu)點(diǎn)。起初可將一相對(duì)較大的打孔地板20構(gòu)制在相對(duì)大的裝置室30之上。此后，可把臨時(shí)壁70構(gòu)制在地板20上任何尺寸的潔凈室，其可至并包括環(huán)繞所有地板20的一潔凈室。為了改變潔凈室90的尺寸，僅需要該壁70可移動(dòng)，開口22上的覆蓋物可從不透氣換至格柵或相反，改變瓦片以增加或減小高密度過濾空氣入口的面積。
將地板20設(shè)計(jì)和構(gòu)制成載荷支撐地板。把地板設(shè)計(jì)成可將設(shè)備直接放置在潔凈室90內(nèi)任何位置的打孔地板上而無需考慮潔凈室的尺寸。由于可在打孔地板上的任何位置放置和支撐設(shè)備，于是可隨意地把設(shè)備移入和移出潔凈室且可放置在潔凈室內(nèi)的任何位置。將設(shè)備移入或在潔凈室90四處移動(dòng)都不需要拆卸高架地板或組件，也不需要移動(dòng)設(shè)備在其上安放的昂貴的支撐平臺(tái)?？蓪⒃O(shè)備容易地移入或移出氣墊上的潔凈室90而不損害潔凈室的清潔性。在氣墊在格柵之上穿過的同時(shí)，通過把不透氣材料的薄板如塑料或金屬薄板放在地板格柵之上作為一種臨時(shí)措施可容易地把氣墊移過打孔地板。
此外，可把所有的如燃?xì)饩€路、化學(xué)線路、動(dòng)力線路等的裝置線路從設(shè)備穿過最近的開口22布線至下面的裝置室。這與傳統(tǒng)的高架地板潔凈室不同，在傳統(tǒng)的潔凈室內(nèi)裝置線路是在高架地板之下布線。從而，根據(jù)本發(fā)明，不需要在地板上布置裝置線路，因此也不會(huì)阻礙設(shè)備在地板上的移動(dòng)。
用一優(yōu)選方法將根據(jù)本發(fā)明的潔凈室構(gòu)制如下。首先，根據(jù)在用于電子工業(yè)和其它類似工業(yè)的裝配裝置的建筑物中采用的常見建筑實(shí)踐構(gòu)制裝置室30。最好是，把裝置室30構(gòu)制成地內(nèi)以下，且裝置室的地板和壁是在大量的基礎(chǔ)上構(gòu)制的混凝土澆注以使地面振動(dòng)最小化。然后根據(jù)如前所述所需用采支撐期望載荷的尺寸和加強(qiáng)的計(jì)算，安裝支撐柱36和梁38。當(dāng)以這種方式合適地設(shè)計(jì)時(shí)，通過重復(fù)支撐柱和梁的形式，可把待構(gòu)制成覆在梁上的打孔地板延伸至任何實(shí)際的尺寸。這樣，以這種方式構(gòu)制任何期望尺寸的潔凈室。
在支撐柱和梁就位后，臨時(shí)模板建立在梁之上。根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例，用于打孔地板的混凝土模板包括尺寸希望為地板中開口的木制箱體的規(guī)則陣列。例如，這些木制箱體可用膠合板制成，并支撐于混凝土模板上或與其成整體。環(huán)圈60連接于木制箱體，用于地板格柵50的最后連接。在包括木制箱體的模板就位后及有合適數(shù)量的就位的加強(qiáng)桿，將打孔混凝土地板的深度澆注成至一基本與木制箱體陣列的頂部共面的高度。在混凝土凝固后，可將木制箱體拆開并去除，而使環(huán)圈留在穿過混凝土地板的開口邊緣的原位上。在那些不希望直接用作潔凈室區(qū)域的區(qū)域中，可把一臨時(shí)氣密蓋帽放置在開口22中。例如，一種形成氣密蓋帽的方法是在每個(gè)不用來容納格柵的開口中澆注4英寸的混凝土。在潔凈室隨后擴(kuò)張時(shí)，可容易將該4英寸的混凝土去除。然而，在去除之前，4英寸的混凝土足以提供在其上人員通行和其它設(shè)備可以移動(dòng)的安全地板?？捎没炷?、密實(shí)金屬件等制作臨時(shí)蓋帽。此種蓋帽也可固定于環(huán)圈上。
裝配區(qū)域的密實(shí)混凝土地板的一個(gè)困難是振動(dòng)趨向于沿混凝土板擴(kuò)散。這樣，由一設(shè)備產(chǎn)生的振動(dòng)會(huì)不利地影響鄰接設(shè)備的性能。然而，已發(fā)現(xiàn)本發(fā)明的打孔地板沒有這種振動(dòng)容易擴(kuò)散的問題。相反，已發(fā)現(xiàn)本發(fā)明的打孔地板起阻尼振動(dòng)的作用。
盡管沒有示于任何附圖中，本發(fā)明的一進(jìn)一步實(shí)施例包括在金屬格柵50結(jié)合的可調(diào)節(jié)放氣孔。此種可調(diào)節(jié)放氣孔允許調(diào)節(jié)穿過潔凈室裝置的空氣流。
因而，顯然已根據(jù)本發(fā)明提供一潔凈室和一種克服現(xiàn)有技術(shù)潔凈室缺點(diǎn)的裝配方法。盡管已相對(duì)本發(fā)明的具體示例描述和示出該發(fā)明，也不是用來將本發(fā)明限制于這些所示的實(shí)施例。例如，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員會(huì)認(rèn)識(shí)到，可用其它的建筑材料和尺寸代替在上面給出的具體例子中所述的。例如，可把穿過地板的開口的尺寸和間距變化以適應(yīng)特定的潔凈室或特定的設(shè)備。同樣，可以使用不同形式或形狀的格柵，如同本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所顯而易見的。
權(quán)利要求
1.一種用于潔凈室的地板結(jié)構(gòu)，其包括一具有混凝土板式地板的裝置室；許多在所述板式地板之上延伸的支撐柱；許多由所述柱支撐的梁；一現(xiàn)場澆注的密實(shí)支撐地板，其具有許多從其穿過的開口，以允許空氣流從位于所述地板之上的潔凈室流向位于所述地板之下的所述裝置室，所述地板能夠支撐在其上面任何位置設(shè)備；以及許多定位在所述開口中的格柵。
2.一種有利于潔凈室的方法，其包括下述步驟提供一種支撐潔凈室，其能夠支撐其上任何位置的處理設(shè)備，該支撐地板包括許多從其穿過的開口，此開口能夠?qū)⒖諝鈴脑摑崈羰遗欧胖辆o在該潔凈室之下的空間，多個(gè)格柵定位在所述多個(gè)開口的部分中；將一件處理設(shè)備在該支撐潔凈室地板上輸送至預(yù)定位置；以及將該件處理設(shè)備直接放置在此支撐潔凈室地板上的所述預(yù)定位置。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述輸送步驟包括在一氣墊上輸送該件處理設(shè)備。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述輸送步驟包括輸送該處理設(shè)備穿過至少一個(gè)所述許多開口。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述輸送步驟還包括將基本氣密材料放在所述開口之上的步驟。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述輸送步驟包括將含金屬或塑料的薄板放在所述開口之上的步驟。
7.如權(quán)利要求2所述的方法，還包括布置裝置線路的步驟，其從所述件的處理設(shè)備，穿過所述許多開口之一，直至所述潔凈室之下的空間。
8.如權(quán)利要求2所述的方法，其中執(zhí)行輸送步驟而不需拆卸任何所述支撐潔凈室地板。
9.一種將過濾的空氣提供給潔凈室的方法，其包括下述步驟提供一支撐潔凈室地板，其能夠支撐其上任何位置的設(shè)備，該地板具有許多從其穿過的開口，多個(gè)格柵定位在所述多個(gè)開口的部分中；提供一潔凈室天花板，其覆在所述地板上并具有許多在其內(nèi)的過濾的空氣入口；將空氣通過所述許多過濾的空氣入口導(dǎo)入該潔凈室；將空氣穿過所述潔凈室并通過所述許多地板中的開口抽回所述空氣；將通過所述許多開口抽回的空氣穿過所述潔凈室地板下方的氣室；將空氣從該氣室通過回氣道抽回，以及將從所述氣室抽回的空氣返回至所述過濾的空氣入口。
10.一種潔凈室，其包括一第一室，其內(nèi)放置有裝置設(shè)備，用于通過裝置線路把裝置供應(yīng)給在一裝置室之上的處理設(shè)備，該第一室由地板和環(huán)繞所述地板的壁結(jié)構(gòu)限定；一第二室，其容放有處理設(shè)備，該第二室定位在所述裝置室之上，所述第二室由一具有許多裝置線路從其穿過的開口的地板和一環(huán)繞所述地板的壁結(jié)構(gòu)限定；一天花板，其具有許多定位在所述第二室之上的過濾的空氣入口；以及至少一個(gè)空氣室，其位于所述裝置室的外周邊附近，用于將空氣返回所述過濾的空氣入口。
11.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，其中所述第二室的地板包括一載荷支撐混凝土地板。
12.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，其中所述第二室的地板包括一密實(shí)的現(xiàn)場澆注的支撐地板，其能夠支撐其上任何位置的設(shè)備，所述許多開口包括一規(guī)則陣列的開口，所述開口具有至少一個(gè)格柵或一個(gè)密實(shí)的定位于其內(nèi)的氣密部件。
13.如權(quán)利要求12所述的潔凈室，其中所述格柵和所述密實(shí)的氣密部件可移去使得可以改變所述第二室地板中的許多開口。
14.如權(quán)利要求12所述的潔凈室，其中所述密實(shí)的氣密部件包括混凝土。
15.如權(quán)利要求12所述的潔凈室，其中所述密實(shí)氣密部件的頂表面基本與所述第二室地板的上表面共面。
16.如權(quán)利要求12所述的潔凈室，其中每個(gè)所述格柵包括用于調(diào)節(jié)空氣從每個(gè)所述格柵穿過的放氣孔。
17.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，其中由位于所述第二室內(nèi)的設(shè)備所用的裝置容放在所述第一室內(nèi)。
18.如權(quán)利要求17所述的潔凈室，其中通過所述第二室的地板內(nèi)的許多開口布置把所述裝置設(shè)備與所述潔凈室設(shè)備連接的裝置線路。
19.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，還包括許多從所述第一室的地板延伸至所述第二室的地板的支撐柱。
20.如權(quán)利要求19所述的潔凈室，還包括許多位于所述第二室的地板下方的梁，所述許多梁由所述許多支撐柱支撐。
21.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，還包括一壁結(jié)構(gòu)，其位于所述第二室內(nèi)以產(chǎn)生與所述第二室具有相同地板和天花板的附加室。
22.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，其中所述許多過濾的空氣入口包括不同密度的位于所述天花板的表面區(qū)域之內(nèi)的過濾的空氣入口。
23.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，還包括至少一個(gè)風(fēng)機(jī)，以將空氣導(dǎo)引穿過所述天花板中的過濾的空氣入口，再穿過所述第二室的地板中的許多開口，然后進(jìn)入所述至少一個(gè)空氣室，用于返回至所述過濾的空氣入口。
24.如權(quán)利要求10所述的潔凈室，還包括一位于所述天花板之上的空氣室。
25.如權(quán)利要求17所述的潔凈室，其中所述第一室其作用同于定位在所述第二室的地板下方的一空氣室的作用。
26.一潔凈室地板結(jié)構(gòu)，其包括一裝置室，其具有容放在其內(nèi)的裝置，其中所述裝置室具有一密實(shí)的氣密地板；一密實(shí)的載荷支撐地板，其定位在天花板之上并起用于所述裝置室的天花板的作用；所述載荷支撐地板具有許多從其穿過的開口以允許空氣從所述載荷支撐地板之上的潔凈室流至該載荷支撐地板之下的裝置室；以及至少一個(gè)格柵或一個(gè)定位在每個(gè)所述許多開口中的密實(shí)的氣密元件。
全文摘要
一種避免在現(xiàn)有技術(shù)潔凈室的高架地板中發(fā)現(xiàn)的問題的潔凈室，其使用了設(shè)備可在其上直接放置的打孔地板。該打孔地板包括一規(guī)則陣列的開口，空氣可從該開口穿過進(jìn)入下面的裝置室。該開口由空氣可從其穿過的格柵覆蓋。打孔地板和格柵結(jié)合地能夠支撐其上任何位置的設(shè)備。
文檔編號(hào)E04F15/024GK1952315SQ20061007780
公開日2007年4月25日 申請(qǐng)日期2000年8月7日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月7日
發(fā)明者J·拉皮薩達(dá), T·科利 申請(qǐng)人:斯皮德法姆-艾佩克公司