專利名稱：制造一種石英玻璃的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造石英玻璃體的方法，其特點(diǎn)是將玻璃原材料和燃?xì)廨斀o一個由同軸布置的多個石英玻璃管構(gòu)成的、具有許多環(huán)狀間隙噴嘴，旋轉(zhuǎn)對稱的沉積燃燒器，其中由玻璃原材料在燃燒器火焰中就形成了SiO2顆粒，這些顆粒在沉積燃燒器沿著一個旋轉(zhuǎn)芯棒的縱軸線來回往復(fù)運(yùn)動時就沉積在這上面，同時生成了基本為圓柱體型的、多孔的毛坯件。
此外本發(fā)明還涉及一種用于實(shí)施此方法的裝置，它具有一個由同軸布置的、多個石英玻璃管構(gòu)成的、旋轉(zhuǎn)對稱的、具有多個環(huán)狀間隙噴嘴的沉積燃燒器，它與一個夾持裝置相連接。
當(dāng)按照所謂的OYD(外部汽相沉積)法制造石英玻璃體時使用了一個或多個沉積燃燒器使SiO2顆粒沉積在一個旋轉(zhuǎn)芯棒的外表面上，從而形成一個由多孔石英玻璃所構(gòu)成的圓柱形的毛坯件(以下也稱為“煙灰顆粒”)。為此所采用的沉積燃燒器一般由石英玻璃或由金屬制成。石英玻璃燃燒器的優(yōu)點(diǎn)是可以在很大程度上避免由于磨損而引起的石英玻璃體的污染。
這樣一種石英玻璃燃燒器由DE-A1 19527451已經(jīng)了解。這種燃燒器包括有對中布置的幾個石英玻璃管，它們構(gòu)成了一個中心噴嘴和總共三個環(huán)狀間隙噴嘴。向中心噴嘴輸給SiCl4，向外圍的環(huán)狀間隙噴嘴輸給氫和氧形式的燃?xì)?。在中心噴嘴和外部位之間有一個氣體隔離噴嘴，通過此噴嘴引導(dǎo)氧氣流，該氧氣流將SiCl4流首先與燃?xì)饬髡诟糸_。氣體隔離噴嘴在指向噴嘴口方向上逐漸變細(xì)并有聚焦的作用。
制造已知的石英燃燒器都是按傳統(tǒng)的玻璃吹制方法來進(jìn)行，此時可以進(jìn)行的尺寸精度有一定限度。每個石英玻璃燃燒器都是唯一的，因而在用OVD方法時的過程參數(shù)必須分別適應(yīng)單個或多個沉積燃燒器的特性。在用一個新的燃燒器更換了一個石英玻璃燃燒器之后總是事后又發(fā)現(xiàn)；石英玻璃體的主要特性，例如壓塊密度或者附加材料分布已經(jīng)發(fā)生了變化，因而過程參數(shù)就必須適應(yīng)于這些新的石英玻璃燃燒器，這樣耗費(fèi)很多時間和材料。當(dāng)更換燃燒器庫中的一個沉積燃燒器時尤其是這樣，在這燃燒器庫里成列地布置有許多燃燒器，因?yàn)榇藭r即使是相鄰的沉積燃燒器的個性特征也讓人注意到了。
因而本發(fā)明的任務(wù)就是指明一種使用一個或多個石英玻璃燃燒器制造石英玻璃體的方法，這種方法可以使更換燃燒器時不費(fèi)事，并且為此方法提供相應(yīng)的裝置。
根據(jù)開頭所述種類的方法，按照本發(fā)明，通過以下途徑來完成上述任務(wù)采用一種沉積燃燒器，其環(huán)狀間隙噴嘴的間隙寬度的尺寸精度最大為0.1mm，而且借助于一個抓住在燃燒器外表面上的對準(zhǔn)單元同軸地包圍住此沉積燃燒器，并使燃燒器在一個預(yù)定的空間方向上對準(zhǔn)，而且使對準(zhǔn)單元與一個滑動單元相連并借助此單元在一個水平平面內(nèi)定位住。
按本發(fā)明所述的方法包括了三個不同的相互交叉的措施，亦即1.提供一種規(guī)定的尺寸精度的沉積燃燒器，其環(huán)狀間隙噴嘴的間隙寬度的尺寸偏差最大為0.1mm；2.使沉積燃燒器對一個預(yù)定空間方向上對準(zhǔn)，其中借助于一個對準(zhǔn)單元來進(jìn)行此對準(zhǔn)，對準(zhǔn)單元抓住在沉積燃燒器的外表面上并從而保證精確的導(dǎo)向，而且3.通過在一個水平平面上滑移對準(zhǔn)單元使沉積燃燒器定位在一個預(yù)定的位置上。
本發(fā)明所依據(jù)的認(rèn)識是只有綜合上述這些措施才能夠解決上述技術(shù)方面的任務(wù)。如果不是同時借助于一個抓住在燃燒器外表面上的同軸的對準(zhǔn)單元進(jìn)行對準(zhǔn)并進(jìn)行一種能夠重現(xiàn)的定位，那么沉積燃燒器的精確的尺寸精度并不能產(chǎn)生所期望的結(jié)果。同樣，如果燃燒器的環(huán)狀間隙噴嘴的間隙寬度并不具有至少所指明的尺寸精度，那么石英玻璃燃燒器的精確對準(zhǔn)和可再現(xiàn)的定位就達(dá)不到所期望的效果。
在二個相鄰的同軸的石英玻璃管之間的環(huán)形間隙的寬度就是在里面的石英玻璃管的外壁和外面的石英玻璃管的內(nèi)壁之間的距離。間隙寬度的尺寸偏差分別由一個預(yù)定的名義間隙寬度的上限偏差和下限偏差之差值來求得。名義間隙寬度的偏差既取決于石英玻璃管的形狀公差(如直徑變動、厚度變動以及不圓度)，也取決于位置公差(如偏心設(shè)置)。對于沉積燃燒器的每個單個的環(huán)狀間隙噴嘴來說，尺寸偏差必須保持在上述的范圍之內(nèi)。所述的0.1mm最大尺寸偏差是對于間隙寬度范圍從0.5至5mm的石英玻璃燃燒器求得的?？梢灶A(yù)計，在間隙寬度較大時，還有要更大的尺寸偏差，其結(jié)果是可接受的。
沉積燃燒器的對準(zhǔn)可能包括圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的一種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，而這種定位就使沉積燃燒器發(fā)生滑移。
優(yōu)先考慮借助一個對準(zhǔn)單元使沉積燃燒器對準(zhǔn)，該對準(zhǔn)單元至少具有二個相互間隔距離的保持元件，它們各有一個柔性的同軸環(huán)。止動元件抓住在燃燒器外表面上，相互隔開距離，因而確保了沉積燃燒器的軸向?qū)?。同軸環(huán)的柔性阻止了沉積燃燒器的損傷并且補(bǔ)償了燃燒器外表面的直徑變動。例如沉積燃燒器的中央噴嘴就適合作為校準(zhǔn)用的參照線。
用一種輪廓投影儀就可以有利地在端面?zhèn)葴y量同軸布置的石英玻璃管。借助于輪廓投影儀可以測量構(gòu)成燃燒器嘴的石英玻璃管的端面?zhèn)龋蚨梢杂蛇@樣一種測量求出環(huán)狀間隙噴嘴的尺寸偏差。
另一種改進(jìn)是將石英玻璃管的端面進(jìn)行拋光。在對著燃燒器火焰的石英玻璃管的端面部位里就避免了發(fā)生沉積并因而增加了壽命。通過化學(xué)腐蝕(例如通過滲入在氫氟酸里)就使棱邊倒圓并因而使氣體更好地流出。從拋光結(jié)果有較好的可再現(xiàn)性出發(fā)，優(yōu)選一種機(jī)械拋光，而不是火焰拋光。
如果使沉積燃燒器首先垂直對準(zhǔn)，然后借助于滑動單元優(yōu)先考慮定位于芯棒之下，從而使沉積燃燒器的縱軸與芯棒縱軸線相交，那么按本發(fā)明所述的方法就特別簡單。對于這種定位來說例如不是使芯棒而是使一根輔助鋼絲張緊，按此鋼絲而將燃燒器對準(zhǔn)。此時燃燒器的中央噴嘴的縱軸線規(guī)定作為燃燒器的縱軸線。采用了一個量規(guī)用于調(diào)定沉積燃燒器和芯棒下棱邊之間的間距。
針對實(shí)施此方法的裝置，上述任務(wù)就根據(jù)開頭所列舉的裝置用以下方法來解決使環(huán)形間隙噴嘴的間隙寬度的尺寸偏差最大為0.1mm并使止動裝置設(shè)計為一個同軸地包圍住沉積燃燒器外表面并且可以圍繞第一個回轉(zhuǎn)軸線和圍繞第二個回轉(zhuǎn)軸線而回轉(zhuǎn)的對準(zhǔn)單元，該單元與一個可以在一個水平平面里移動的滑動單元相連。
按本發(fā)明的裝置包括三個主要的元部件1.一個規(guī)定了尺寸精度的沉積燃燒器，其尺寸應(yīng)使此燃燒器的每個環(huán)形間隙噴嘴的間隙寬度尺寸偏差最大達(dá)0.1mm。
2.一個可圍繞回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的對準(zhǔn)單元，該單元抓住在沉積燃燒器的外表面上從而可以實(shí)現(xiàn)精確的導(dǎo)向并能使燃燒器在一個預(yù)定的空間方向上對準(zhǔn)，以及3.一個與對準(zhǔn)單元相連的滑動單元，它通過使對準(zhǔn)單元在一個水平平面上的滑動將沉積燃燒器定位于一個預(yù)定的位置上。
關(guān)于涉及到待解決的技術(shù)任務(wù)的這些元部件的作用以及“間隙寬度”和“尺寸精度”的術(shù)語定義參見上述對于按本發(fā)明的方法的敘述。
對準(zhǔn)單元較有利的是具有至少二個相互間隔開的保持元件，它們各有一個柔性同軸環(huán)。止動元件相互間隔開地抓住在燃燒器外表面上。因而它們確保了沉積燃燒器的精確導(dǎo)向，其中由于柔性同軸環(huán)而避免了沉積燃燒器的損傷并且補(bǔ)償了燃燒器外表面的直徑變動。
按本發(fā)明所述裝置的有一種實(shí)施形式尤其經(jīng)歷過了考驗(yàn)，其石英玻璃管的端面進(jìn)行了拋光，而且通過化學(xué)腐蝕打光。針對高的尺寸精度優(yōu)選一種機(jī)械拋光，而不是一種火焰拋光。由于化學(xué)腐蝕時(例如在氫氟酸中)的腐蝕量位于端面和圓柱外表面之間的棱邊具有確定的倒圓半徑。
沉積燃燒器優(yōu)選由石英玻璃管制成，這些玻璃管切成與管子縱向軸線成直角。這樣就提高了燃燒器的沉積特性的可再現(xiàn)性。
以下就根據(jù)一個實(shí)施例和附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)敘述。附圖所示細(xì)節(jié)為

圖1一個沉積燃燒器的口部俯視簡圖；圖2按本發(fā)明所述裝置的一種實(shí)施例的草圖。
圖1表示了一種用于求出一種沉積燃燒器的間隙寬度和尺寸偏差的適用的方法。簡圖表示了一種旋轉(zhuǎn)對稱的沉積燃燒器1的端面的俯視圖。沉積燃燒器1包括有共4個相互同軸布置的石英玻璃管2，3，4，5。中央的石英玻璃管2圍住了一個中心噴嘴6，在中央石英玻璃管2和相鄰的石英玻璃管3之間形成了一個氣體隔離噴嘴7，石英玻璃管3和管4圍住了一個燃?xì)鈬娮?，石英玻璃管4和外管5圍住了一個外噴嘴9。
以下以氣體隔離噴嘴7為例討論求出間隙寬度的尺寸偏差的方法。為表示清楚起見，圖示的石英玻璃管2-5都有形狀和位置誤差，例如壁厚不均勻，橫斷面不圓而且偏心布置。
二個虛線表示的圓周線12和13用于表示理想情況，這二個圓周線與燃燒器1的縱軸線14同軸。圓周線12以外半徑RA2圍繞著石英玻璃管2的外壁，而圓周線13則以內(nèi)半徑R13在石英玻璃管3的內(nèi)表面處相切。由于這二個圓周線12和13都與縱軸線14同心布置，因而它們之間的間隙到處為同樣大小。
氣體隔離噴嘴7的名義間隔寬度在實(shí)施例中達(dá)0.8mm。壁厚、直徑的變動和相鄰石英玻璃管2和3的不圓度以及偏心的布置都導(dǎo)致名義間隙寬度的尺寸偏差。符號10表示了實(shí)際的最大間隙寬度，符號11表示了實(shí)際的最小間隙寬度。為求出尺寸偏差首先按下式計算環(huán)形間隙寬度SS＝(外石英玻璃管3的內(nèi)徑)減去(內(nèi)石英玻璃管2的外徑)由于二個直徑各有誤差，對于上偏差Smax和下偏差Smin就要進(jìn)行誤差極限值計算。對于石英玻璃管3來說在實(shí)施例中其內(nèi)直徑的上偏差為4.7+0.05＝4.75mm，而石英玻璃管2的外徑的下偏差為3.1-0.05＝3.05mm。由此求出上偏差Smax(4.75-3.05)/2＝0.85。
相應(yīng)地對于石英玻璃管3來說在實(shí)施例中其內(nèi)徑的下偏差為4.7-0.05＝4.65mm，而石英玻璃管2的外徑的上偏差為3.1+0.05＝3.15mm。由此計算出下偏差Smin為(4.65-3.15)/2＝0.75。
按照本發(fā)明的這種尺寸偏差則由上下偏差之差值得出，因此Smax-Smin＝0.85-0.75＝0.1。
相應(yīng)地求出在燃?xì)鈬娮?和在外噴嘴9的尺寸偏差。若沒有這些環(huán)形間隙噴嘴，那么尺寸偏差就超過允許值0.1mm。
圖2表示了一種適用于實(shí)施按本發(fā)明所述的方法的裝置。該裝置有一個沉積燃燒器，一個回轉(zhuǎn)臺27和一個滑動臺28。
沉積燃燒器1是一個回噴嘴的沉積燃燒器，也如同在圖1中根據(jù)燃燒器口部31的俯視簡圖所表示的那樣。因而以下就用圖1所示的標(biāo)號來表示沉積燃燒器1的相同的組成部分。
沉積燃燒器1沿著其縱軸線14基本設(shè)計為旋轉(zhuǎn)對稱。這由四根同軸相互布置的石英玻璃管(2-5)組成，具有中央噴嘴6，它由三個環(huán)狀間隙噴嘴(氣體隔離噴嘴7，燃?xì)鈬娮?和外噴嘴9)同軸地圍包住。中心噴嘴6，氣體隔離噴嘴7、燃?xì)鈬娮?和外噴嘴9的開口橫斷面按其名稱的順序相互比例為1∶5∶15∶40。
每個噴嘴(6-9)都有一個入氣口30a，30b，30c，30d。各個石英玻璃管的上部，在燃燒器口部31處終結(jié)的端面被拋光并用氫氟酸腐蝕使棱邊倒圓。
沉積燃燒器1借助于一個對準(zhǔn)單元而保持在垂直指向上。對此，對準(zhǔn)單元有一個夾持裝置32。該夾持裝置有一個孔25，沉積燃燒器1就穿過此孔。在孔25的上下部位處各有一個從外圍包住燃燒器1的螺紋24。將一個鎖緊螺母34擰到螺紋24上就使一個里面安裝在鎖緊螺母34里的截錐面23壓向柔性同軸環(huán)33，從而使這環(huán)貼靠夾持裝置32的端面22和沉積燃燒器1的外表面35。將二個鎖緊螺母34擰緊就使沉積燃燒器1的外表面35對中支持在二個點(diǎn)上并實(shí)現(xiàn)軸向?qū)颉?br> 回轉(zhuǎn)軸21抓住在夾持裝置32的中間，該回轉(zhuǎn)軸線32垂直于縱軸線14并支承在回轉(zhuǎn)臺27里。由于圍繞回轉(zhuǎn)軸線21回轉(zhuǎn)就使沉積燃燒器1回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)角“β”(標(biāo)號36；垂直于圖示平面)。用夾緊螺釘20將回轉(zhuǎn)軸21止動住。為了使沉積燃燒器1能夠圍繞軸線27運(yùn)動，其回轉(zhuǎn)角為“α”(標(biāo)號36)，設(shè)有一個調(diào)整螺釘19，它作用于回轉(zhuǎn)臺27上?；剞D(zhuǎn)臺27經(jīng)軸37固定在一個軸承座26里，該軸承座固定在一個商業(yè)上通用的滑動臺28上。借助于螺桿39使這擰緊在一個托架40上的滑動臺28直線移動。
以下以制造用于光學(xué)纖維的預(yù)成形件為例并根據(jù)圖2所示的裝置對本發(fā)明的方法進(jìn)行詳細(xì)敘述方法的第一步是按照已知的玻璃吹制法合適地選擇和精心地加工各個石英玻璃管之后制造沉積燃燒器1。接著根據(jù)用輪廓投影儀對燃燒器口部31進(jìn)行的測量求出這三個環(huán)形間隙噴嘴的尺寸偏差，如上面根據(jù)圖1所述的那樣。在實(shí)施例中尺寸偏差(按由內(nèi)向外的噴嘴次序)為0.1mm、0.6mm和0.7mm。因此這樣制造和測量過的沉積燃燒器1滿足3尺寸要求，即在沒有燃?xì)鈬娮鞎r其間隙寬度的尺寸偏差允許超過0.1mm。
接著將沉積燃燒器1由下推入孔25里并裝在夾持裝置32里，再固定在其中，因而通過抓住在燃燒器1外表面35上的柔性同軸環(huán)33而確保了精確的軸向?qū)?。借助于回轉(zhuǎn)軸21和軸37使沉積燃燒器1對準(zhǔn)方向，使燃燒器的縱軸14為垂直布置。
這樣固定和對準(zhǔn)的沉積燃燒器1接著就借助于滑動臺28在水平方向上滑動，直至燃燒器1的縱軸線14與芯棒12的縱線軸相交為止(在圖2中芯棒12的縱軸線垂直于圖紙平面)。
這樣制造、對準(zhǔn)和定位的沉積燃燒器1顯示出獨(dú)特的，但可重現(xiàn)的燃燒器特征。當(dāng)用另一個按照本發(fā)明的尺寸要求制造、對準(zhǔn)和定位的燃燒器來替換這燃燒器1時，這種特性又能夠保持，因而避免了麻煩費(fèi)事的對工藝方法參數(shù)的適配。這也合適于燃燒器1是燃燒器庫中許多燃燒器中的一個這種情況。
為了按照OYD法制造一個添加有GeO2的核心層就在這圍繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的芯棒12上通過沉積燃燒器1的來回往復(fù)運(yùn)動使煙灰顆粒沉積。此外向沉積燃燒器1的中心噴嘴6輸給SiCl4，GeCl4和載體氣-氧氣。這二種初始組份(SiCl4+GeCl4)和載體氣-氧氣的摩爾比為1∶1。通過氣體隔離噴嘴7導(dǎo)引隔離氣-氧氣；通過燃?xì)鈬娮?導(dǎo)引氫氣；通過外噴嘴9則導(dǎo)引燃?xì)?氧氣，其中所列舉的氣流(SiCl4+GeCl4+載體氣體-氧氣，隔離氣體-氧氣，氫氣，燃?xì)?氧氣)按此次序相互按數(shù)量比例為1∶1∶10∶5。
在核心層達(dá)到其名義厚度之后，接著在上面就沉積了第一層SiO2外層。此外停止向燃燒器1輸給GeCl4并使未添加的SiO2顆粒繼續(xù)沉積同時形成外表層。
接著去掉芯棒12并按通常已知的方法對這樣制成的壓塊體進(jìn)行清洗、燒結(jié)并收縮成一個芯棒。最后用附加的玻璃外表面層對芯棒鑲膜以完成光學(xué)纖維的預(yù)成形。
權(quán)利要求
1.制造一種石英玻璃體的方法，包括將玻璃原材料和燃?xì)廨斀o一個由同軸布置的多個石英玻璃管(2-5)構(gòu)成的，旋轉(zhuǎn)對稱的，具有多個環(huán)狀間隙噴嘴(7-9)的沉積燃燒器(1)，其中由玻璃原材料在一個燃燒器火焰中形成SiO2顆粒，這些顆粒在沉積燃燒器(1)沿著一個旋轉(zhuǎn)芯棒(12)的縱軸線來回往復(fù)運(yùn)動時就沉積在這上面，同時生成了基本為圓柱形的，多孔的毛坯件，其特征在于，使用了一個沉積燃燒器(1)，此時環(huán)狀間隙噴嘴(7-8)的間隙寬度的尺寸偏差最大為0.1mm；而且借助于一個抓住在燃燒器外表面(35)上的對準(zhǔn)單元(27；32)同軸地包圍住沉積燃燒器(1)，并使燃燒器(1)在一個預(yù)定的空間方向上對準(zhǔn)；而且對準(zhǔn)單元(27；32)與一個滑動單元(28)相連并借助此單元在一個水平平面里定位住。
2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，借助于對準(zhǔn)單元(27；32)使沉積燃燒器(1)對準(zhǔn)，該對準(zhǔn)單元具有至少二個相互間隔距離的保持元件(34)，它們各有一個柔性的同軸環(huán)(33)。
3.按權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，同軸布置的石英玻璃管(2-5)用一個輪廓投影儀在端面進(jìn)行測量并由這種測量求得環(huán)狀間隙噴嘴(7-9)的尺寸偏差。
4.按上述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，石英玻璃管(2-5)在端面進(jìn)行了拋光并緊接著通過化學(xué)腐蝕打光。
5.按上述權(quán)利要求之一所述的方法，其特征在于，沉積燃燒器(1)借助于對準(zhǔn)單元(27；32)而垂直對準(zhǔn)。
6.按權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，沉積燃燒器(1)借助于滑動單元(28)在芯棒(12)之下進(jìn)行拋光，從而使沉積燃燒器(1)的縱軸線(14)與芯棒的縱軸線相交。
7.實(shí)施按權(quán)利要求1至6中任何一項所述的方法的裝置，該裝置具有一個由同軸布置的多個石英玻璃管(2-5)構(gòu)成的、旋轉(zhuǎn)對稱的，具有多個環(huán)狀間隙噴嘴(7-9)的沉積燃燒器(1)，該燃燒器與一個夾持裝置相連，其特征在于，環(huán)狀間隙噴嘴(7-9)的間隙寬度的尺寸偏差最大為0.1mm；而且這夾持裝置設(shè)計成一個同軸圍住沉積燃燒器(1)的外表面(35)并可以回繞第一個回轉(zhuǎn)軸(21)和圍繞第二個回轉(zhuǎn)軸(37)回轉(zhuǎn)的對準(zhǔn)單元(27；32)，該對準(zhǔn)單元與一個可以在一個水平平面內(nèi)移動的滑動單元(28)相連接。
8.按權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，對準(zhǔn)裝置(27；32)至少具有二個相互間隔距離的保持元件(34)，它們各有一個柔性的同軸環(huán)(33)。
9.按權(quán)利要求7至9中任意一項所述的裝置，其特征在于，石英玻璃管(2-5)的端面進(jìn)行了拋光并用化學(xué)腐蝕打光。
10.按權(quán)利要求7至9中任意一項所述的裝置，其特征在于，石英玻璃管(2-5)的對著燃燒器火焰的端面總是與管子縱軸線成直角相交。
全文摘要
對于一種已知的制造石英玻璃體的方法來說就是將玻璃原材料和燃?xì)廨斀o一個由同軸布置的多個石英玻璃管(2－5)構(gòu)成的、具有許多環(huán)狀間隙噴嘴(7－9),旋轉(zhuǎn)對稱的沉積燃燒器。為使沉積燃燒器不費(fèi)很多事就能夠更換,按照本發(fā)明就建議采用這樣一種沉積燃燒器(1),其環(huán)狀間隙噴嘴(7－9)的間隙寬度的尺寸偏差最多為0.1mm,其中借助于一個抓住在燃燒器的外表面(35)上的對準(zhǔn)單元(27;32)同軸地包圍住此沉積燃燒器(1)并使此燃燒器在一個預(yù)定的空間方向上對準(zhǔn),而且使對準(zhǔn)單元(27;32)與滑動單元(28)相連并借助此單元在一個水平平面里定位住。適合于實(shí)施這方法的裝置具有一個沉積燃燒器(1),其環(huán)狀間隙噴嘴(7－9)的間隙寬度的尺寸偏差最大為0.1mm,而且其外表面(35)被一個對準(zhǔn)單元(27;32)同軸地包圍住,該單元在至少第一個平面內(nèi)可以轉(zhuǎn)動,并與一個可以定位在第二個水平平面內(nèi)的滑動單元(28)相連接。
文檔編號C03C19/00GK1366511SQ01800954
公開日2002年8月28日 申請日期2001年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月14日
發(fā)明者K·魯珀特, W·克羅克, P·克萊恩索格, U·克里斯蒂安森, A·凱爾霍茨 申請人:赫羅伊斯石英玻璃股份有限兩合公司