探針的清潔方法及探針清潔裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種探針清潔裝置以及探針的清潔方法，其中，探針的清潔方法包括：提供待清潔的探針；采用清針片對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第一清潔處理；采用毛刷對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第二清潔處理；對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第三清潔處理，所述第三清潔處理為對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行抽氣處理；所述第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理為同時(shí)進(jìn)行。本發(fā)明提高了探針清潔的效率，增強(qiáng)去除雜質(zhì)的能力，縮短了探針清潔的時(shí)間，從而改善了晶圓測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，縮短晶圓測(cè)試的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】探針的清潔方法及探針清潔裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域技術(shù)，特別涉及探針的清潔方法及探針清潔裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件的整個(gè)制造流程可以分為晶圓制造、晶圓測(cè)試、晶圓封裝及最后測(cè)試等分步驟。
[0003]所述晶圓制造指的是在晶圓上制造半導(dǎo)體器件，在完成半導(dǎo)體器件的制造之后，晶圓上會(huì)形成多個(gè)重復(fù)的管芯(die)。在晶圓測(cè)試步驟中，需要對(duì)所述管芯進(jìn)行電性測(cè)試，以確保在封裝之前，晶圓上的管芯是合格的產(chǎn)品，因此晶圓測(cè)試是提高半導(dǎo)體器件良率的關(guān)鍵步驟之一。
[0004]通常測(cè)試設(shè)備包括探針臺(tái)(probe),所述探針臺(tái)上具有探針卡(probe card),所述探針卡包括至少一根探針(probe needle)，所述探針觸碰到晶圓上的管芯以進(jìn)行電性測(cè)試，具體的，所述管芯上通常設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)測(cè)試焊點(diǎn)(pad)，所述探針與所述測(cè)試焊點(diǎn)需要相互接觸,才能完成電性測(cè)試。
[0005]然而，現(xiàn)有技術(shù)晶圓測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性有待提高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種探針的清潔方法及其裝置，更加有效的清潔探針，提高晶圓測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，避免晶圓被破壞，且提高清潔探針的效率，從而提高了晶圓測(cè)試的效率，縮短了生產(chǎn)周期。
[0007]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針清潔裝置，包括:腔體；所述腔體的底部設(shè)有清針片；所述清針片以外的腔體側(cè)壁設(shè)有毛刷；所述清針片以外的腔體側(cè)壁設(shè)有一個(gè)或多個(gè)吸孔，所述吸孔通過(guò)管道與吸氣閥連接，并連接至集塵裝置中。
[0008]可選的，所述腔體的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁具有毛刷。
[0009]可選的，所述毛刷具有硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛；硬質(zhì)刷毛位于腔體的一側(cè)壁,軟質(zhì)刷毛位于腔體的另一側(cè)壁，且硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛交錯(cuò)間隔的設(shè)置于腔體的側(cè)壁。
[0010]可選的，所述多個(gè)吸孔設(shè)置于所述腔體的同一側(cè)壁。
[0011]可選的，可移動(dòng)的托架，將所述腔體的底部固定在托架表面，通過(guò)托架的移動(dòng)來(lái)移動(dòng)所述腔體。
[0012]本發(fā)明還提供一種探針的清潔方法，包括:提供待清潔的探針；采用清針片對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第一清潔處理；采用毛刷對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第二清潔處理；對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第三清潔處理，所述第三清潔處理為對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行抽氣處理；所述第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理為同時(shí)進(jìn)行的。
[0013]可選的，所述清針片具有粘附性或研磨性。
[0014]可選的，在進(jìn)行所述第二清潔處理時(shí)，使所述毛刷與所述待清潔的探針相對(duì)移動(dòng)。
[0015]可選的，所述毛刷的刷毛表面涂覆有異丙醇。[0016]可選的，所述毛刷具有硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛，且硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛同時(shí)對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行擦拭處理。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的探針清潔裝置的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0018]本發(fā)明的技術(shù)方案中，將清針片以及毛刷設(shè)置在同一腔體中，且所述腔體還與吸氣閥連接；在使用本發(fā)明提供的探針清潔裝置清潔探針時(shí)，可同時(shí)去除探針的針尖尖端區(qū)域的雜質(zhì)以及針尖其他區(qū)域的雜質(zhì)，提高了清潔效率；同時(shí)，所述腔體與吸氣閥連接，進(jìn)行探針清潔時(shí)，對(duì)探針進(jìn)行抽氣處理，將探針上附著的雜質(zhì)抽離，所述抽氣處理還可以將附著在清針紙和毛刷上的雜質(zhì)抽離，防止因時(shí)間的推移，探針表面的雜質(zhì)附著在清針紙上和毛刷上，造成清針紙和毛刷清除雜質(zhì)的能力降低。因此，本實(shí)施例進(jìn)一步提高了清針紙和毛刷清除雜質(zhì)的能力，能夠快速有效的清潔探針，提高晶圓測(cè)試結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性，縮短生產(chǎn)周期。
[0019]同時(shí)，在腔體的側(cè)壁設(shè)有吸孔，所述吸孔通過(guò)管道與吸氣閥連接，并最終連接至集塵裝置中；當(dāng)采用探針清潔裝置清潔探針時(shí)，打開(kāi)吸氣閥，對(duì)腔體進(jìn)行抽氣處理，腔體中的雜質(zhì)會(huì)被抽離出，進(jìn)入集塵裝置中，防止從探針表面脫落的雜質(zhì)依然在腔體內(nèi)，避免二次污染的發(fā)生。
[0020]進(jìn)一步地，本發(fā)明實(shí)施例中，所述探針清潔裝置還包括:能夠在水平方向與垂直方向移動(dòng)的托架，將所述腔體的底部固定在托架底部，通過(guò)托架的移動(dòng)來(lái)移動(dòng)所述腔體；采用本實(shí)施提供的探針清潔裝置，通過(guò)托架移動(dòng)來(lái)移動(dòng)腔體的方式，來(lái)進(jìn)行探針的清潔，避免手動(dòng)清潔探針帶來(lái)的不便。
[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的探針清潔裝置的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0022]本發(fā)明技術(shù)方案中，采用第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理同時(shí)進(jìn)行的方法，對(duì)探針進(jìn)行清潔，使得清潔探針的能力得到提高，去除雜質(zhì)的能力強(qiáng)，防止出現(xiàn)探針清潔不徹底的問(wèn)題，從而提高了晶圓測(cè)試結(jié)果的可靠性和精確性；且減少了探針的清潔時(shí)間，進(jìn)而提高了清潔探針的效率，縮短了晶圓的生產(chǎn)周期，節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0023]同時(shí)，所述第三清潔處理為對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行抽氣處理，使雜質(zhì)脫離并遠(yuǎn)離探針表面，避免已脫落的雜質(zhì)對(duì)探針造成二次污染。
[0024]進(jìn)一步，本發(fā)明實(shí)施例中，所述第二清潔處理采用的刷毛為軟質(zhì)刷毛和硬質(zhì)刷毛，由于軟質(zhì)刷毛的形變能力和彈性好，使得軟質(zhì)刷毛能夠觸及硬質(zhì)刷毛無(wú)法觸及的探針針尖區(qū)域，而硬質(zhì)刷毛可以彌補(bǔ)軟質(zhì)刷毛形變過(guò)大造成軟質(zhì)刷毛無(wú)法觸及探針針尖某些區(qū)域的缺陷，使得第二清潔處理對(duì)探針的清潔能力更好，進(jìn)一步提高清除探針雜質(zhì)的能力。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為采用清針紙去除探針表面雜質(zhì)的示意圖；
[0026]圖2為本實(shí)施例提供的探針清潔方法的流程示意圖；
[0027]圖3為本實(shí)施例提供的探針清潔裝置的立體示意圖；
[0028]圖4為本實(shí)施例提供的探針清潔裝置的俯視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]由【背景技術(shù)】可知，現(xiàn)有技術(shù)晶圓測(cè)試的準(zhǔn)確性和真實(shí)性有待提高。[0030]為解決上述問(wèn)題，針對(duì)晶圓測(cè)試進(jìn)行分析。晶圓測(cè)試對(duì)管芯的電性檢測(cè)具有高的準(zhǔn)確性，攸關(guān)該晶圓的生產(chǎn)良率、成本與品質(zhì)好壞。由于被檢測(cè)的管芯的表面經(jīng)常形成因氧化或污染形成的氧化膜，或者為避免待測(cè)管芯損傷，通常也會(huì)在管芯上形成隔離膜加以保護(hù)，所述隔離膜通常為不良導(dǎo)體；在測(cè)試時(shí)若管芯處的隔離膜未加去除或去除不干凈，所述隔離膜會(huì)阻礙探針與待測(cè)晶圓管芯的接觸通電效果，進(jìn)而影響電性檢測(cè)的精準(zhǔn)度和可靠性。
[0031]因此，在使用探針進(jìn)行電性測(cè)試時(shí)，會(huì)施以較大的接觸壓力令探針的針尖以刮除方式破壞所述隔離膜，以便使探針的針尖能確實(shí)地與隔離膜下方的管芯接觸通電，據(jù)以進(jìn)行電性檢測(cè)。然而，上述探針既為刮除工具，又為一測(cè)試信號(hào)傳輸結(jié)構(gòu)，隨著測(cè)試時(shí)間增加，其針尖部位將堆積所述被刮除的隔離膜碎屑，即探針針尖表面附著有雜質(zhì)，且由于隔離膜具有一定的厚度，導(dǎo)致較長(zhǎng)長(zhǎng)度的探針針尖表面均附著有雜質(zhì)。所述雜質(zhì)造成探針與待測(cè)晶圓間的接觸阻抗發(fā)生改變，嚴(yán)重的更因高電阻通電發(fā)熱導(dǎo)致碎屑燒熔(fritting)固著于探針針尖，造成不同的探針之間發(fā)生短路，使得測(cè)試結(jié)果與預(yù)定結(jié)果之間相比具有極大誤差，降低了晶圓測(cè)試結(jié)果的真實(shí)率和準(zhǔn)確率，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)⑿酒瑹龎摹?br> [0032]因此，在進(jìn)行一定次數(shù)的測(cè)試后，需要對(duì)探針進(jìn)行清潔，去除粘附在探針表面的雜質(zhì)。通常采用在清針片清潔探針的方式，對(duì)探針進(jìn)行清潔；然而，采用在清針片清潔探針的方式對(duì)探針進(jìn)行清潔之后，使用探針對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性仍有待提高。
[0033]針對(duì)采用在清針片清潔探針的方法進(jìn)行進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)，采用在清針片清潔探針后，難以完全去除探針針尖表面的雜質(zhì)。
[0034]請(qǐng)參考圖1，圖1為采用清針片去除探針表面雜質(zhì)的示意圖:其中，100為清針片，110為探針，所述探針110的具有懸臂部111和針尖部112，在進(jìn)行多次測(cè)試后，由于探針110要?jiǎng)澠乒苄颈砻娴母綦x膜，因此針尖部112的表面會(huì)出現(xiàn)雜質(zhì)。在清針片100上打磨探針I(yè)io針尖時(shí)，只有針尖部112的尖頭部位的雜質(zhì)被打磨去除，而針尖部112其他區(qū)域的雜質(zhì)仍未被去除。
[0035]在采用清針片100打磨探針110針尖后，使用清潔后的探針110對(duì)待測(cè)管芯進(jìn)行電性測(cè)試時(shí)，由于針尖部112表面仍具有雜質(zhì)，所述雜質(zhì)仍會(huì)影響測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性；且在測(cè)試過(guò)程中，針尖部112的雜質(zhì)可能會(huì)掉落在待測(cè)晶圓表面，進(jìn)一步造成測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性降低，影響晶圓的電學(xué)性能，導(dǎo)致對(duì)晶圓造成破壞。
[0036]同樣的，當(dāng)所述待清潔的探針為直針時(shí)，由上述分析可知，所述探針的較長(zhǎng)長(zhǎng)度的針尖表面也均有雜質(zhì)，采用清針片清潔探針后，清針片也只能去除探針針尖尖端部位的雜質(zhì)。
[0037]為此，本發(fā)明提供一種新的探針的清潔方法及探針清潔裝置，能夠有效的清潔探針，完全去除附著在探針針尖表面的雜質(zhì)，從而提高晶圓測(cè)試結(jié)果的可靠性和精確性，避免對(duì)晶圓造成破壞，本發(fā)明還提高了探針的清潔效率，縮短了探針的清潔時(shí)間，從而縮短了晶圓生產(chǎn)周期，提高晶圓生產(chǎn)效率。
[0038]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0039]圖2為本實(shí)施例提供的探針清潔方法的流程示意圖。
[0040]本發(fā)明實(shí)施例提供一種探針的清潔方法。[0041]提供待清潔的探針。所述待清潔的探針可以為直針，也可以為具有懸臂部和針尖部的彎針，不應(yīng)過(guò)分限制待清潔的探針的形狀。
[0042]所述探針的清潔方法包括以下步驟，請(qǐng)參考圖2:
[0043]步驟S1:采用清針片對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第一清潔處理。
[0044]本實(shí)施例中，所述清針片具有粘附性或研磨性。
[0045]通過(guò)將清針片與待清潔的探針的針尖尖端相接觸的方式，所述清針片粘附或研磨去掉探針針尖尖端附著的雜質(zhì)。
[0046]步驟S2:采用毛刷對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第二清潔處理。
[0047]本實(shí)施例中，所述毛刷的刷毛為硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛，且所述毛刷的刷毛表面涂覆有異丙醇(IPA)，異丙醇可以加速探針表面的雜質(zhì)脫落。
[0048]在進(jìn)行所述第二清潔處理時(shí)，使所述毛刷與所述待清潔的探針相對(duì)移動(dòng)，使得毛刷擦拭待清潔探針，以達(dá)到清潔探針的效果；所述第二清潔處理去除探針針尖尖端以外區(qū)域的雜質(zhì)。
[0049]作為一個(gè)實(shí)施例，采用將所述待清潔的探針在毛刷中移動(dòng)的方式，使得毛刷擦拭待清潔的探針，達(dá)到清潔探針的效果。
[0050]作為另一實(shí)施例，所述待清潔的探針靜止不動(dòng)，通過(guò)移動(dòng)毛刷的方式，使得毛刷擦拭待清潔的探針，達(dá)到清潔探針的效果。
[0051]在本實(shí)施例中，所述毛刷的刷毛為硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛。在進(jìn)行第二清潔處理時(shí)，所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛同時(shí)對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行擦拭處理，提高第二清潔處理去除探針雜質(zhì)的能力。這是因?yàn)?
[0052]由于軟質(zhì)刷毛的形變能力以及彈性佳，因此，軟質(zhì)刷毛發(fā)生形變后與探針針尖接觸的面積較大，可以刷到硬質(zhì)刷毛無(wú)法觸及的探針針尖區(qū)域，同時(shí)，硬質(zhì)刷毛的使用可以防止由于軟質(zhì)刷毛的形變過(guò)大，造成探針某些區(qū)域不能被軟質(zhì)刷毛觸及；采用硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛形成的毛刷對(duì)待清潔探針進(jìn)行擦拭，能進(jìn)一步增強(qiáng)第二清潔處理的效果，位于探針各區(qū)域的雜質(zhì)均能被去除。
[0053]在本發(fā)明其他實(shí)施例中，所述毛刷的刷毛也可以為硬質(zhì)刷毛或軟質(zhì)刷毛中的一種。
[0054]在本實(shí)施例中，進(jìn)行所述第二清潔處理時(shí)，可以手動(dòng)或自動(dòng)移動(dòng)探針，使得探針與毛刷相對(duì)移動(dòng)；也可以手動(dòng)或自動(dòng)移動(dòng)刷毛，使得毛刷和探針相對(duì)移動(dòng)。當(dāng)探針的移動(dòng)方向與毛刷的刷毛延伸方向相垂直時(shí)，能進(jìn)一步增加待清潔探針被毛刷擦拭的面積，從而進(jìn)一步提高第二清潔處理的效果。
[0055]在本發(fā)明其他實(shí)施例中，可以手動(dòng)或自動(dòng)探針，或者手動(dòng)或自動(dòng)移動(dòng)探針清潔裝置，使得探針與毛刷的刷毛相對(duì)移動(dòng)即可，不應(yīng)過(guò)分限制探針與毛刷的刷毛相對(duì)移動(dòng)的方向。
[0056]自動(dòng)移動(dòng)探針或自動(dòng)移動(dòng)探針清潔裝置，可以免去人工清潔帶來(lái)的不便，提高清潔探針的效率。
[0057]步驟S3:對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第三清潔處理，所述第三清潔處理為對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行抽氣處理。
[0058]當(dāng)需要清潔探針時(shí)，使探針經(jīng)歷一抽氣處理，使得附著在探針針尖部的雜質(zhì)脫落，在一定程度上去除探針的雜質(zhì)，同時(shí)還能避免脫落的雜質(zhì)對(duì)探針造成二次污染。
[0059]所述抽氣處理可以由一抽氣裝置提供，使得探針表面的雜質(zhì)隨著氣流的方向移動(dòng)，達(dá)到清潔探針的目的。
[0060]特別的，本實(shí)施例中，所述第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理為同時(shí)進(jìn)行的。
[0061]采用第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理同時(shí)進(jìn)行的方法，具有以下好處:
[0062]首先，在采用清針片對(duì)探針進(jìn)行清潔處理時(shí)，清針片去除探針針尖尖端的雜質(zhì)后，所述雜質(zhì)附著在清針片上；本發(fā)明提供的實(shí)施方式，在探針與清針片接觸的同時(shí)，對(duì)探針和清針片進(jìn)行抽氣處理，使得附著清針片上的雜質(zhì)被立即抽離，從而避免由于雜質(zhì)附著在清針片表面，造成清針片對(duì)探針針尖尖端的雜質(zhì)去除能力降低，因此，本實(shí)施例清針片對(duì)探針的清潔能力得到提高；且抽氣處理和清針片同時(shí)對(duì)探針針尖尖端的雜質(zhì)起到去除作用，進(jìn)一步提聞了清針片對(duì)雜質(zhì)的去除能力。
[0063]其次，在采用毛刷對(duì)探針進(jìn)行清潔處理時(shí)，毛刷去除探針針尖尖端以外區(qū)域的雜質(zhì)后，所述被去除的雜質(zhì)附著在毛刷上；而本實(shí)施例中，所述雜質(zhì)一附著在毛刷上，就立即經(jīng)由抽氣處理抽離毛刷，從而避免由于雜質(zhì)附著在毛刷上造成毛刷對(duì)探針針尖尖端以外區(qū)域雜質(zhì)的去除能力降低，因此，本實(shí)施例毛刷對(duì)探針的清潔能力得到提高；且抽氣處理和清針片同時(shí)對(duì)探針針尖尖端以外區(qū)域的雜質(zhì)起到去除作用，從而進(jìn)一步提高了毛刷對(duì)雜質(zhì)的去除能力。
[0064]綜上，本發(fā)明提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0065]首先，本發(fā)明實(shí)施例中，采用第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理同時(shí)進(jìn)行的方法，對(duì)探針進(jìn)行清潔，使得清潔探針的能力得到提高，去除雜質(zhì)的能力強(qiáng)，防止出現(xiàn)探針清潔不徹底的問(wèn)題，從而提高了晶圓測(cè)試結(jié)果的可靠性和精確性；且減少了探針的清潔時(shí)間，從而提高了清潔探針的效率，縮短了晶圓的生產(chǎn)周期，節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0066]其次，本發(fā)明實(shí)施例中，所述第二清潔處理采用的刷毛為軟質(zhì)刷毛和硬質(zhì)刷毛，由于軟質(zhì)刷毛的形變能力和彈性好，使得軟質(zhì)刷毛能夠觸及硬質(zhì)刷毛無(wú)法觸及的探針針尖區(qū)域，而硬質(zhì)刷毛可以彌補(bǔ)軟質(zhì)刷毛形變過(guò)大造成軟質(zhì)刷毛無(wú)法觸及探針針尖某些區(qū)域的缺陷，使得第二清潔處理對(duì)探針的清潔能力更好，進(jìn)一步提高清除探針雜質(zhì)的能力。
[0067]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種探針清潔裝置。
[0068]請(qǐng)參考圖3及圖4，圖3為本發(fā)明探針清潔裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本發(fā)明探針清潔裝置的俯視示意圖，本發(fā)明提供的探針清潔裝置包括:
[0069]腔體300 ；
[0070]所述腔體300的底部設(shè)有清針片301 ；
[0071]所述清針片301以外的腔體300側(cè)壁設(shè)有毛刷；
[0072]所述清針片301以外的腔體300側(cè)壁設(shè)有一個(gè)或多個(gè)吸孔304，所述吸孔304通過(guò)
管道305與吸氣閥連接，并連接至集塵裝置中。
[0073]本實(shí)施例中，所述腔體300為長(zhǎng)方體，在本發(fā)明其他實(shí)施例中，所述腔體的形狀也可以為立方體、椎體或柱體，不應(yīng)過(guò)分限制本發(fā)明腔體的形狀。
[0074]在所述腔體300的底部設(shè)有清針片301。[0075]所述清針片301可以覆蓋腔體300的所有底部表面，所述清針片301也可以只覆蓋腔體300底部的部分表面。具體的,可以根據(jù)一次性需要清潔的探針數(shù)量來(lái)確定清針片301需要覆蓋腔體300底部的面積。
[0076]本實(shí)施例中，所述腔體300的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁具有毛刷，所述毛刷具有硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303。其中，硬質(zhì)刷毛302位于腔體300的一側(cè)壁，軟質(zhì)刷毛303位于腔體300的另一側(cè)壁，且硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303交替間隔的設(shè)置于腔體300的兩側(cè)壁。
[0077]本實(shí)施例毛刷采用硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303交替間隔的設(shè)置與腔體300的兩側(cè)壁，主要有以下好處:
[0078]當(dāng)毛刷對(duì)待清潔的探針進(jìn)行擦拭時(shí)，交替間隔的設(shè)置于腔體300相對(duì)兩個(gè)側(cè)壁的硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303同時(shí)對(duì)待清潔探針進(jìn)行擦拭；在擦拭過(guò)程中，由于硬質(zhì)刷毛303的形變能力和彈性很差，導(dǎo)致硬質(zhì)刷毛303只能擦拭探針里硬質(zhì)刷毛303較近的表面；而軟質(zhì)刷毛303具有較強(qiáng)的形變能力和彈性，在擦拭過(guò)程中，軟質(zhì)刷毛303發(fā)生形變，可以擦拭硬質(zhì)刷毛302未能觸及的探針表面；因此,本實(shí)施例中，將硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303交替間隔的設(shè)置于腔體300相對(duì)的兩側(cè)壁，在硬質(zhì)刷毛302和軟質(zhì)刷毛303的共同作用下，使得探針被清潔的更徹底，提高了清潔探針的能力。
[0079]本實(shí)施例中，為保證完全去除探針針尖的雜質(zhì)，腔體300側(cè)壁被毛刷覆蓋的高度應(yīng)大于待清潔探針的針尖的長(zhǎng)度。具體的，可以根據(jù)實(shí)際需要清潔的探針的針尖的長(zhǎng)度，來(lái)設(shè)置腔體300側(cè)壁被毛刷覆蓋的高度。
[0080]在本發(fā)明其他實(shí)施例中，所述毛刷也可以只具有硬質(zhì)刷毛或軟質(zhì)刷毛其中的一種。所述毛刷也可以設(shè)置于清針紙以外的腔體的一個(gè)側(cè)壁或多個(gè)側(cè)壁。
[0081]本實(shí)施例中，所述探針清潔裝置具有多個(gè)吸孔304，所述多個(gè)吸孔304設(shè)置于所述腔體300的同一側(cè)壁。
[0082]將多個(gè)吸孔304設(shè)置在所述腔體300的同一側(cè)壁的好處為:打開(kāi)吸氣閥時(shí)，對(duì)腔體300進(jìn)行抽氣處理，當(dāng)多個(gè)吸孔304設(shè)置在腔體300的同一側(cè)壁時(shí)，所述抽氣處理的方向一致性強(qiáng)，進(jìn)而提高抽氣處理吸取雜質(zhì)的能力。
[0083]在本發(fā)明其他實(shí)施例中，所述吸孔的數(shù)量可以為I個(gè)，也可以為多個(gè)；當(dāng)所述吸孔的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，所述多個(gè)吸孔可以設(shè)置在清針片以外的腔體的一個(gè)側(cè)壁或多個(gè)側(cè)壁。
[0084]所述吸氣閥和集塵裝置的作用為:當(dāng)需要采用探針清潔裝置清潔探針時(shí)，打開(kāi)吸氣閥，對(duì)所述腔體300進(jìn)行抽氣處理，將脫落在清針片301和毛刷上的雜質(zhì)抽離腔體300，同時(shí)所述抽氣處理也可以將待清潔探針表面的雜質(zhì)抽離腔體300 ;所述抽離的雜質(zhì)經(jīng)由管道305進(jìn)行集塵裝置中，避免雜質(zhì)仍殘留在腔體300內(nèi)對(duì)探針造成二次污染，且進(jìn)一步優(yōu)化探針清潔裝置清潔探針的效果；并且，所述抽氣處理將脫落在清針片301和毛刷上的雜質(zhì)抽離，防止因清針片301和毛刷上的雜質(zhì)堆積而造成清針片301和毛刷清潔能力的降低，因此，本實(shí)施例進(jìn)一步提聞了清針片301和毛刷清潔探針的能力。
[0085]所述探針清潔裝置還包括:可移動(dòng)的托架，將所述腔體300的底部固定在托架表面，通過(guò)托架的移動(dòng)來(lái)移動(dòng)所述腔體300。
[0086]包括托架的探針清潔裝置，具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0087]可以通過(guò)移動(dòng)托架，使得腔體300移動(dòng)至待清潔的探針下方，繼續(xù)移動(dòng)托架，從而使得待清潔的探針針尖尖端與清針紙301相接觸，去除位于探針針尖尖端的雜質(zhì)；進(jìn)一步移動(dòng)托架，使得待清潔的探針與刷毛相對(duì)移動(dòng)，刷毛對(duì)探針針尖尖端以外的趨勢(shì)進(jìn)行擦拭處理，從而達(dá)到清潔待清潔的探針針尖尖端以外區(qū)域的雜質(zhì)；通過(guò)移動(dòng)腔體300來(lái)完成探針的清潔，簡(jiǎn)單易行，避免將待清潔探針從探針臺(tái)上取下并手動(dòng)清理探針帶來(lái)的不便。
[0088]在本發(fā)明其他實(shí)施例中，所述探針清潔裝置也可以不包括托架，當(dāng)需要進(jìn)行清潔探針時(shí)，通過(guò)手動(dòng)從探針臺(tái)上取下探針，并手動(dòng)進(jìn)行探針清潔處理；或者手動(dòng)移動(dòng)探針清潔裝置至探針臺(tái)，并手動(dòng)進(jìn)行探針清潔處理。
[0089]綜上，本發(fā)明提供的探針清潔裝置的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0090]首先，本實(shí)施例中，將清針片以及毛刷設(shè)置在同一腔體中，在使用本發(fā)明提供的探針清潔裝置清潔探針時(shí)，可同時(shí)去除探針的針尖尖端的雜質(zhì)以及針尖尖端以外區(qū)域的雜質(zhì)，提高了清潔效率；且所述腔體與吸氣閥連接，在進(jìn)行探針清潔時(shí)，對(duì)探針進(jìn)行抽氣處理，將探針上附著的雜質(zhì)抽離，所述抽氣處理還可以將附著在清針紙和毛刷上的雜質(zhì)抽離，防止因時(shí)間的推移，探針表面的雜質(zhì)附著在清針紙上和毛刷上，造成清針紙和毛刷清除雜質(zhì)的能力降低，因此，本實(shí)施例進(jìn)一步提高了清針紙和毛刷清除雜質(zhì)的能力。本發(fā)明提供的探針清潔裝置，能夠快速有效的清潔探針，提高晶圓測(cè)試結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性，縮短生產(chǎn)周期。
[0091 ] 其次，本發(fā)明實(shí)施例中，所述探針清潔裝置還包括:能夠在水平方向與垂直方向移動(dòng)的托架，將所述腔體的底部固定在托架底部，通過(guò)托架的移動(dòng)來(lái)移動(dòng)所述腔體；采用本實(shí)施提供的探針清潔裝置，通過(guò)托架移動(dòng)來(lái)移動(dòng)腔體的方式，來(lái)進(jìn)行探針的清潔，避免手動(dòng)清潔探針帶來(lái)的不便。
[0092]雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種探針清潔裝置，其特征在于，包括: 腔體； 所述腔體的底部設(shè)有清針片； 所述清針片以外的腔體側(cè)壁設(shè)有毛刷； 所述清針片以外的腔體側(cè)壁設(shè)有一個(gè)或多個(gè)吸孔，所述吸孔通過(guò)管道與吸氣閥連接，并連接至集塵裝置中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針清潔裝置，其特征在于，所述腔體的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁具有毛刷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針清潔裝置，其特征在于，所述毛刷具有硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛；硬質(zhì)刷毛位于腔體的一側(cè)壁，軟質(zhì)刷毛位于腔體的另一側(cè)壁，且硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛交錯(cuò)間隔的設(shè)置于腔體的側(cè)壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針清潔裝置，其特征在于，所述多個(gè)吸孔設(shè)置于所述腔體的同一側(cè)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針清潔裝置，其特征在于，還包括:可移動(dòng)的托架，將所述腔體的底部固定在托架表面，通過(guò)托架的移動(dòng)來(lái)移動(dòng)所述腔體。
6.一種探針的清潔方法，其特征在于，包括: 提供待清潔的探針； 采用清針片對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第一清潔處理； 采用毛刷對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第二清潔處理； 對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行第三清潔處理，所述第三清潔處理為對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行抽氣處理； 所述第一清潔處理、第二清潔處理和第三清潔處理為同時(shí)進(jìn)行的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針的清潔方法，其特征在于，所述清針片具有粘附性或研磨性。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針的清潔方法，其特征在于，在進(jìn)行所述第二清潔處理時(shí)，使所述毛刷與所述待清潔的探針相對(duì)移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針的清潔方法，其特征在于，所述毛刷的刷毛表面涂覆有異丙醇。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針的清潔方法，其特征在于，所述毛刷具有硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛，且硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛同時(shí)對(duì)所述待清潔的探針進(jìn)行擦拭處理。
【文檔編號(hào)】B08B7/04GK103878150SQ201410078912
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月5日
【發(fā)明者】王善屹 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司