顆粒污染物誘捕的系統(tǒng)和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及顆粒污染物誘捕的系統(tǒng)和方法。提供了顆粒污染物誘捕的系統(tǒng)和方法。在一個實施例中，傳感器設(shè)備包括傳感器機構(gòu)；具有內(nèi)腔的結(jié)構(gòu)容納傳感器機構(gòu)的至少一個被動元件；和在該腔內(nèi)的顆粒污染物吸收器。
【專利說明】顆粒污染物誘捕的系統(tǒng)和方法
【背景技術(shù)】
[0001]有時在封裝的或密封的設(shè)備生產(chǎn)過程中從這些設(shè)備清潔和去除全部不期望的零星的金屬和非金屬顆粒是困難的。該設(shè)備的物理結(jié)構(gòu)可使得零星的顆粒被最初捕捉并且保留在裂縫或隱藏區(qū)域中并且此后被逐出而干涉該設(shè)備的操作。這對帶有復(fù)雜細節(jié)的機加工零件來說尤其如此，其中機加工過程本身會產(chǎn)生碎屑形式的顆粒污染物。這也可在操作中的設(shè)備遇到振動、沖擊、應(yīng)力、和/或老化時發(fā)生，這引起額外的顆粒掉落入封裝產(chǎn)品。
[0002]由于上述原因以及由于下面陳述的其它原因，該其它原因?qū)⒃诒绢I(lǐng)域技術(shù)人員閱讀和理解說明書后易于理解，本領(lǐng)域需要一種改善的系統(tǒng)和方法以實現(xiàn)顆粒污染物誘捕。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的實施例提供了實現(xiàn)顆粒污染物誘捕的方法和系統(tǒng)并且將通過閱讀和研究下面的說明書來理解。在一個實施例中，傳感器設(shè)備包括傳感器機構(gòu)；具有內(nèi)腔的結(jié)構(gòu)容納傳感器機構(gòu)的至少一個被動元件；和在該腔內(nèi)的顆粒污染物吸收器。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0004]下面的示例性附圖被用于輔助對示例性實施例的書面描述的理解并不應(yīng)認為限定范圍。
[0005]圖1和IA是具有本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器的設(shè)備的橫截面圖； 圖2是具有本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器的設(shè)備的橫截面圖；
圖3是具有本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器的設(shè)備的橫截面圖；
圖3A是具有本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器的設(shè)備的橫截面圖；
圖4是帶有具有本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器的設(shè)備的系統(tǒng)的框圖；
圖5是說明本發(fā)明的一個實施例的方法的流程圖。
[0006]根據(jù)慣常實踐，各種顯示的特征都不一定是按比例繪制的，而是繪制成強調(diào)與示例性實施例有關(guān)的具體特征。
【具體實施方式】
[0007]在下面的描述中，參照附圖和具體的說明性實施例。不過，應(yīng)該理解，其它的實施例可被利用并且可進行邏輯、機械、和電的改變。而且，附圖中和說明書中給出的方法不應(yīng)被理解為限制各個步驟可被執(zhí)行的順序。因此，不應(yīng)以限制的意義理解下面的描述。
[0008]本發(fā)明的實施例用于實現(xiàn)帶有內(nèi)部顆粒吸收器的設(shè)備，該顆粒吸收器捕獲顆粒污染物并防止它們干擾設(shè)備內(nèi)的電力和機械部件的操作。在本文中使用時，術(shù)語“顆粒污染物”被用來指示小片的固體物質(zhì)材料，其與氣體顆?；蚱渌踊騺喸映叨鹊念w粒不同。零散的顆粒污染物，如果被允許與電力和機械部件接觸，可能會潛在地引起電力機構(gòu)中的電短路或阻礙機械機構(gòu)的運動。
[0009]作為示例，屈曲型加速度計是一種設(shè)備，通常直徑近似為I英寸，其包括小電力一機械特征，該特征具有窄缺口間隙(例如，范圍在5-50微米)。例如，屈曲型加速度計可包括一對電容器極板，該電容器極板在這個范圍內(nèi)彼此機械僵持。一個電容器極板被保持為機械靜止，而另一個電容器極板形成踏板的一部分，該踏板由于振動、加速度或機械沖擊而移動(或至少有移動的潛在可能)。如果顆粒污染物被允許進入設(shè)備的這個區(qū)域，那么它會引起電容器極板之間的短路或者形成機械阻擋，這將導(dǎo)致從該設(shè)備的輸出具有測量誤差。
[0010]本發(fā)明的實施例解決了這些問題，通過在設(shè)備的一個或多個內(nèi)腔中包含顆粒污染物吸收器，在所述內(nèi)腔中顆粒污染物可能聚集或被產(chǎn)生。在一個實施例中，雙相吸收器方案利用吸收器材料，該吸收器材料以液體相開始并且此后固化(例如或者通過時間、UV激活固化、催化反應(yīng)、所應(yīng)用的熱，或者通過其它手段)為凝膠類型的吸收器材料涂層。在為液體時，吸收器材料被注射進入包含被動元件(即，設(shè)備的不會因與吸收器材料接觸而受影響的元件)的內(nèi)腔。吸收器材料在為液體形式時被分布在該腔內(nèi)各處，如下面描述的，從而捕獲任何零散的顆粒污染物。當(dāng)吸收器材料此后從液體相固化為凝膠時，那些被捕獲的顆粒污染物變成嵌在吸收器材料內(nèi)，使得它們不再自由地到處移動。在凝膠形式時，吸收器材料形成在該腔內(nèi)的內(nèi)表面上的涂層，該涂層保持發(fā)粘，具有粘性表面，該粘性表面繼續(xù)收集與該粘性表面接觸的任何其它的零散顆粒污染物。
[0011]在另一實施例中，凝膠形式的一條預(yù)成形吸收器材料在設(shè)備制造過程中被應(yīng)用到該腔。雖然凝膠形式的一條預(yù)成形的吸收器材料不能像液體相吸收器材料那樣被分布以收集零散顆粒污染物，但是它仍具有粘性表面，該粘性表面收集與該粘性表面接觸的腔內(nèi)的任何零散顆粒污染物。另外，一條預(yù)成形的吸收器材料實施例可在腔確實不僅包括被動元件時是有用的，例如還包括如果被涂覆有吸收器材料其操作將受影響的元件。在本文描述的任何實施例中，吸收器材料可以是硅樹脂材料，或在固化后保持發(fā)粘的其它材料。
[0012]圖1是本發(fā)明的一個實施例的設(shè)備100的簡圖。在一個實施例中，設(shè)備100是感測設(shè)備，例如但不限于屈曲型加速度計，例如Honeywell Q_flex?加速度計。設(shè)備100包括傳感器機構(gòu)110,其包括主動元件112和被動元件114。在本文使用時,術(shù)語“主動元件”指的要么是暴露的導(dǎo)電或充電的部件(例如暴露的電容器元件)要么是要求運動自由度以正確操作的機械部件(例如，任何移動或旋轉(zhuǎn)的元件)。相反，術(shù)語“被動元件”指的是沒有暴露的導(dǎo)電或充電部件的電元件，或者靜止機械部件。被動元件的示例可以是攜帶磁通量流的磁路元件，或圍繞鐵芯的絕緣電線圈。
[0013]在圖1的實施例中，被動元件114的至少一部分被容納在結(jié)構(gòu)120內(nèi)，結(jié)構(gòu)120具有內(nèi)腔122。主動元件112可由蓋130圍封，蓋130被密封到結(jié)構(gòu)120上(例如，通過焊接、螺紋、閂、帶或其它手段)。至少一個路徑124連接容納被動元件114的內(nèi)腔122與主動元件112。因此，任何在內(nèi)腔122內(nèi)存在或形成的零散顆粒污染物都有行進通過路徑124并且卡住或以干擾主動元件112的操作的其它方式與主動元件112接觸的潛在可能。
[0014]因此，設(shè)備100裝備有位于內(nèi)腔122內(nèi)的顆粒污染物吸收器126。在一個實施例中，顆粒污染物吸收器126是雙相吸收器，其中所使用的吸收器材料以液體相開始并且此后固化為凝膠型的吸收器材料涂層。在圖1中示出的實施例中，吸收器材料是硅樹脂材料。在其它實施例中，可使用其它材料。在液體相時，吸收器材料被注射或以其它方式被落入內(nèi)腔122中。設(shè)備100被操作以在內(nèi)腔122內(nèi)的內(nèi)表面上散開該吸收器材料，從而捕獲內(nèi)腔122內(nèi)的任何零散顆粒。在一個實施例中，設(shè)備100被旋轉(zhuǎn)以利用液體吸收器材料涂覆腔壁表面(在123示出)。對旋轉(zhuǎn)的方向和旋轉(zhuǎn)速度的控制可被用來控制液體吸收器材料的分布，這確定內(nèi)腔122中的哪些表面被涂覆。
[0015]內(nèi)腔122內(nèi)的零散的顆粒污染物與液體吸收器材料接觸時被該吸收器材料收集和捕獲。液體吸收器材料此時就地固化成凝膠以形成顆粒污染物吸收器126。如在圖1A中所示，在液體吸收器材料內(nèi)收集的顆粒污染物160，在固化后，變?yōu)榍度朐陬w粒污染物吸收器126內(nèi)，它們在設(shè)備100的壽命中將保持在那里。一旦固化為凝膠相，顆粒污染物吸收器126將擁有粘性表面127，其在設(shè)備100的壽命中繼續(xù)收集額外的零散顆粒污染物162。結(jié)果，嵌入在顆粒污染物吸收器126中的顆粒污染物160，和粘附到顆粒污染物吸收器126的粘性表面127的顆粒污染物162不再能行進通過路徑124或妨礙主動元件112的操作。
[0016]圖2是在內(nèi)腔122內(nèi)利用預(yù)成形顆粒污染物吸收器210的設(shè)備100的簡圖。在其它的實施例中，預(yù)成形顆粒污染物吸收器210可用在設(shè)備100中，要么代替參照圖1描述的雙相顆粒污染物吸收器126方案，要么在該方案的基礎(chǔ)上實施。在圖2中示出的實施例中，預(yù)成形顆粒污染物吸收器210被粘附到腔壁表面123并包括粘性表面220，該粘性表面220暴露給內(nèi)腔122的內(nèi)部空間，并收集接觸該粘性表面220的任何零散的顆粒污染物。而且，在一些實施例中，設(shè)備100可任選地在內(nèi)腔122內(nèi)利用參照圖1描述的雙相顆粒污染物吸收器126方案和在容納主動部件112的區(qū)域中利用預(yù)成形顆粒污染物吸收器230。
[0017]預(yù)成形顆粒污染物吸收器210、230可由易成型條形成并被制成為符合將粘附到內(nèi)腔122內(nèi)的表面的形狀。在一個實施例中，該條涂覆有發(fā)粘的吸收器材料。在一些實施方式中，預(yù)成形顆粒污染物吸收器210、230可每一個都被應(yīng)用為多個單獨的片，這些片被安裝在不同的區(qū)域中。顆粒污染物此時可在設(shè)備100內(nèi)部的不同區(qū)域中被捕獲，無論其方向如何或被轉(zhuǎn)向其哪一側(cè)。
[0018]圖3是具有如上所述的顆粒污染物吸收器的本發(fā)明的實施例的屈曲型加速度計300的圖。在一個實施例中，加速度計300是屈曲型加速度計,例如Honeywell Q-flex?加速度計。在一個實施方式中，圖3中示出的特定的加速度計300直徑約I英寸且高度約0.5英寸。不過，這些尺寸僅為說明目的而被提供。
[0019]加速度計300包括定子302，其使用帶306聯(lián)接到激勵環(huán)304。激勵環(huán)304是包括環(huán)形內(nèi)腔308的結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔308由激勵環(huán)304的內(nèi)壁限定。激勵環(huán)304還包括在內(nèi)腔308內(nèi)的磁體314，其聯(lián)合線圈328在操作時產(chǎn)生穿過激勵環(huán)304和極片316的磁路，如磁通310所示。由于上述原因，在內(nèi)腔308內(nèi)暴露的這些設(shè)備被描述為被動元件。定子302容納慣性質(zhì)量踏板322，其在加速度計300在某個方向或以振蕩方式被加速時相對于激勵環(huán)304旋轉(zhuǎn)和/或移動。如此，慣性質(zhì)量踏板322由于上述原因而被描述為主動元件。盡管極片316和線圈328阻擋內(nèi)腔308內(nèi)的更大的零散顆粒污染物輕易地到達慣性質(zhì)量踏板322，但是細小的顆粒污染物可行進通過形成連接路徑的一個或多個空氣空間缺口(例如在318示出)。如果未被捕獲，顆粒污染物例如機加工碎屑或在制造或組裝期間，或者由于后來的脫落而被捕獲在加速度計內(nèi)的其它顆粒，可阻擋慣性質(zhì)量踏板322正確移動并且導(dǎo)電的顆粒污染物可引起電路短路。而且，導(dǎo)電的顆?？筛袘?yīng)小電磁場，該小電磁場改變場310的正常的、預(yù)期的操作值。
[0020]為了減少這些問題的可能性，加速度計300包括雙相顆粒污染物吸收器330，其在內(nèi)腔308內(nèi)被應(yīng)用為吸收器材料涂層。雙相顆粒污染物吸收器330包括發(fā)粘的薄膜或物質(zhì)，例如硅樹脂材料，其附圖激勵環(huán)304內(nèi)的一個或多個暴露表面，顆粒污染物存在于該暴露表面附近或它們可向著該暴露表面移動。當(dāng)不期望的顆粒接觸吸收器材料時，它們粘到該材料并保持在該材料內(nèi)或該材料的表面上。這種捕獲機制減少了不期望的顆粒的量，否則這些顆?？赡茉诩铀俣扔?00內(nèi)到處自由移動。所選擇的顆粒吸收器材料應(yīng)該具有粘結(jié)性，該粘結(jié)性將保持基于預(yù)期的顆粒污染物的尺寸和重量被誘捕的顆粒污染物。
[0021]在一個實施例中，當(dāng)雙相顆粒污染物吸收器330的吸收器材料是相對低粘度的液體物質(zhì)形式時，它被注射入內(nèi)腔308并且以避免液體從內(nèi)腔308滲出的方式或避免不期望地涂覆加速度計的其它片的方式被分布。例如，針或類似的分配器可被用于通過缺口 318將液體吸收器材料饋送入內(nèi)腔308。在一個實施例中，組裝的單元被繞著其中心軸線312旋轉(zhuǎn)以使得液體吸收器材料分散到內(nèi)腔308各處，向上行進并涂覆內(nèi)腔308的內(nèi)壁。旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)持續(xù)時間決定了內(nèi)腔308的內(nèi)壁被涂覆的程度和涂覆高度。旋轉(zhuǎn)可在內(nèi)壁上留下一種圖案，其中液體可在壁的上端比在壁的底部附近稍厚，或者可以有漩渦圖案，這取決于旋轉(zhuǎn)速度。也即，旋轉(zhuǎn)可在得到的吸收器材料涂層中留下一些物理圖案，該圖案不同于通過涂漆或一些其它機制涂覆該表面。這種旋轉(zhuǎn)也能收集內(nèi)腔308內(nèi)的零散顆粒污染物，這些顆粒污染物將在液體吸收器材料固化為凝膠涂層時被包住。吸收器材料的固化可以是時間的函數(shù)，或者可以通過熱固化或催化固化來完成以將液體變?yōu)槟z。在催化劑方法中，首先注射的是發(fā)粘的液體，其可以是某種類型的樹脂。在催化固化的情況下，第二種可選的催化化學(xué)制品注射可以被執(zhí)行并且該化學(xué)制品以與液體吸收器材料相同的方式被分布。
[0022]圖3A提供了本發(fā)明的一個實施例的設(shè)備350的另一種替代的實施例。在一個實施例中，設(shè)備350是感測設(shè)備，例如但不限于屈曲型加速度計。設(shè)備350包括傳感器機構(gòu)355，其包括主動元件112和兩組被動元件,示出為114和114’。這種實施例的一個示例是加速度計，例如與加速度計300類似的加速度計，其具有上激勵環(huán)和下激勵環(huán)，主動元件(即，慣性質(zhì)量踏板322)位于中間。也即，設(shè)備350包括帶有容納在內(nèi)腔372中的被動元件114的第一結(jié)構(gòu)370，和帶有容納在內(nèi)腔372’中的被動元件114’的第二結(jié)構(gòu)370’。主動元件112可被圍封在殼體360內(nèi)，該殼體與結(jié)構(gòu)370和370’密封在一起(例如，通過焊接、螺紋、閂、帶或其它手段)。路徑364存在于設(shè)備350中，其連接容納被動元件114和114’的內(nèi)腔372和372’與主動元件112。因此，任何在內(nèi)腔372或372’內(nèi)存在或形成的零散顆粒污染物都有行進通過路徑364并且卡住或以干擾主動元件112的操作的其它方式與主動元件112接觸的潛在可能。在這個實施例中，顆粒污染物吸收器380和380’以和上述的顆粒污染物吸收器126、210或330同樣的方式起作用以捕獲可能存在于腔370和370’內(nèi)的顆粒污染物，從而防止顆粒污染物干擾主動元件112的電或機械操作。
[0023]圖4是說明具有傳感器設(shè)備410的系統(tǒng)400的圖，傳感器設(shè)備410包括本發(fā)明的一個實施例的顆粒污染物吸收器412。在替換的實施例中，系統(tǒng)400可被利用上述的設(shè)備100或加速度計300的任一實施例實現(xiàn)。在一個實施例中，傳感器設(shè)備410包括在傳感器設(shè)備410的第一區(qū)域412內(nèi)的電容元件420，和在傳感器設(shè)備410的第二區(qū)域414內(nèi)的磁路430。在操作中，測量電路440被聯(lián)接到傳感器設(shè)備410，傳感器設(shè)備410提供電流給線圈425，該線圈操作磁路430。測量電路440控制線圈425以嘗試維持電容元件420處于相對彼此的電容平衡位置，如電流反饋所指示的。保持電容元件420處于電容平衡位置所需要的電流量提供了加速度指示。也即，測量電路440測量給線圈425供能以足以對抗加速度所需的電流，并基于該電流輸出加速度測量。顆粒污染物吸收器412包括上述的吸收器126、210、230或330中的任一個以捕獲可能在第二區(qū)域414內(nèi)存在的顆粒污染物，從而防止它們干擾第一區(qū)域412內(nèi)的電容元件420的電或機械操作。
[0024]圖5是說明本發(fā)明的一個實施例的方法500的流程圖。在替換的實施例中，系統(tǒng)500可聯(lián)合上述的設(shè)備100、加速度計300或系統(tǒng)400的任一實施例實施。在其它實施例中，方法500可聯(lián)合其它的設(shè)備和系統(tǒng)實施。
[0025]方法開始于510，通過將液體顆粒吸收器材料分布在內(nèi)腔內(nèi)的一個或多個表面上來收集結(jié)構(gòu)的內(nèi)腔內(nèi)的顆粒污染物。在一種實施方式中，液體顆粒吸收器材料可包括硅樹月旨。在一個實施例中，液體顆粒吸收器材料被注射入包含被動元件的內(nèi)腔。吸收器材料在為液體形式時被分布在該腔內(nèi)各處，從而捕獲任何零散的顆粒污染物。在一個實施例中，該結(jié)構(gòu)被旋轉(zhuǎn)以用液體吸收器材料涂覆腔壁表面。對旋轉(zhuǎn)的方向和旋轉(zhuǎn)速度的控制可被用于控制液體吸收器材料的分布。這將決定內(nèi)腔中的哪個表面被涂覆。
[0026]方法前進到520，通過固化該液體顆粒吸收器材料為具有面向內(nèi)腔的粘性表面的凝膠來包住顆粒污染物。當(dāng)吸收器材料此后從液體相固化為凝膠時，被捕獲的顆粒污染物變成嵌在吸收器材料內(nèi)，使得它們不再自由地到處移動。在凝膠形式時，吸收器材料形成在該腔內(nèi)的內(nèi)表面上的涂層，該涂層保持發(fā)粘，具有粘性表面，該粘性表面繼續(xù)收集與該粘性表面接觸的任何其它的零散顆粒污染物。如此，在一些實施例中，方法可利用粘性表面繼續(xù)收集額外的顆粒污染物(在框530 )。在一些實施例中，方法可還包括將額外的預(yù)成形顆粒污染物吸收器放置在內(nèi)腔中。額外的預(yù)成形顆粒污染物吸收器也可被放置在該腔外部，例如在一個或多個活性部件的附近。
[0027]示例實施例
示例I包括傳感器設(shè)備，該設(shè)備包括:傳感器機構(gòu)；結(jié)構(gòu)，其具有容納該傳感器機構(gòu)的至少一個被動元件的內(nèi)腔；和在該內(nèi)腔內(nèi)的顆粒污染物吸收器。
[0028]示例2包括示例I的設(shè)備,其中顆粒污染物吸收器包括固化到內(nèi)腔的一個或多個表面的吸收器材料涂層。
[0029]示例3包括示例1-2中任一項的設(shè)備，其中吸收器材料涂層包括暴露給內(nèi)腔的內(nèi)部空間的粘性表面。
[0030]示例4包括示例1-3中任一項的設(shè)備，其中吸收器材料涂層包括固化的硅樹脂材料。
[0031]示例5包括示例1-4中任一項的設(shè)備，其中吸收器材料涂層包住一個或多個污染物顆粒。
[0032]示例6包括示例1-5中任一項所述的設(shè)備,其中傳感器機構(gòu)還包括未定位在該內(nèi)腔內(nèi)的至少一個主動元件，其中傳感器設(shè)備還包括內(nèi)腔和該主動元件之間的路徑。
[0033]示例7包括示例1-6中任一項所述的設(shè)備,其中本體和被動元件中的一者或全部兩者包括金屬芯磁路。
[0034]示例8包括示例1-7中任一項所述的設(shè)備,其中本體和被動元件中的一者或全部兩者包括加速度計激勵環(huán)的至少一部分。
[0035]示例9包括如示例1-8中任一項所述的設(shè)備,其中主動元件包括一對電容器極板。
[0036]示例10包括如示例1-9中任一項所述的設(shè)備,其中主動元件包括機械機構(gòu)。[0037]示例11包括如示例1-10中任一項所述的設(shè)備,其中顆粒污染物吸收器包括粘結(jié)到內(nèi)腔的表面的一條預(yù)成形吸收器材料。
[0038]示例12包括用于給設(shè)備提供顆粒污染物吸收器的方法，該方法包括:通過將液體顆粒吸收器材料分布到結(jié)構(gòu)的內(nèi)腔內(nèi)的一個或多個表面上來收集該內(nèi)腔內(nèi)的顆粒污染物；和通過將液體顆粒吸收器材料固化成具有面向內(nèi)腔的粘性表面的凝膠來包住零散的顆粒污染物。
[0039]示例13包括示例12的方法，還包括利用粘性表面收集額外的顆粒污染物。
[0040]示例14包括如示例12-13中任一項所述的方法，其中液體顆粒吸收器材料是硅樹脂材料。
[0041]示例15包括如示例12-14中任一項所述的方法，其中將液體顆粒吸收器材料分布到內(nèi)腔內(nèi)的一個或多個表面上還包括:旋轉(zhuǎn)該結(jié)構(gòu)。
[0042]示例16包括如示例12-15中任一項所述的方法,還包括:通過固化液體吸收器材料在內(nèi)腔內(nèi)的一個或多個表面上形成吸收器材料涂層。
[0043]示例17包括示例12-16中任一項所述的方法,其中設(shè)備包括未定位在該內(nèi)腔內(nèi)的至少一個主動元件，其中設(shè)備還包括內(nèi)腔和該至少一個主動元件之間的路徑。
[0044]示例18包括如示例12-17中任一項所述的方法,其中設(shè)備是如示例1_11中所述設(shè)備的任一個。
[0045]不例19包括傳感器系統(tǒng),該系統(tǒng)包括:傳感器設(shè)備,其包括在第一區(qū)域內(nèi)的一個或多個主動元件和在第二區(qū)域內(nèi)的一個或多個被動元件；和測量電路，其聯(lián)接到傳感器設(shè)備，其中測量電路提供電流給線圈，該線圈操作磁路；其中傳感器設(shè)備還包括在第二區(qū)域內(nèi)的顆粒污染物吸收器。
[0046]示例20包括如示例19所述的傳感器系統(tǒng),其中一個或多個主動元件包括電容元件并且一個或多個被動元件包括磁路。
[0047]示例21包括如示例19-20中任一項所述的傳感器系統(tǒng)，其中顆粒污染物吸收器包括被分布到第二區(qū)域內(nèi)的一個或多個表面上的吸收器材料涂層。
[0048]示例22包括如示例19-21中任一項所述的傳感器系統(tǒng),其中傳感器設(shè)備是如示例1-11中所述設(shè)備的任一個。
[0049]在本申請中陳述和圖示的朝向和方向不應(yīng)該被認為是限定性的。例如，方向，例如“頂部”僅是說明性的而不是絕對地定向該實施例。也即，形成在其“側(cè)面”或“底部”的結(jié)構(gòu)僅是空間中的任意取向，在空間中沒有絕對方向。而且,在實際使用時，加速度計很可能被旋轉(zhuǎn)到其“側(cè)面”，因為例如飛機和交通工具在所有方向行進和轉(zhuǎn)彎。因此，在本申請中陳述的方向是任意指定。而且，加速度計通常三個為一組地被使用，其中三個加速度計傳感器被取向為在彼此互相正交的方向上進行感測。在期望冗余的系統(tǒng)中，多于三個的加速度計可被使用來補償傳感器故障而不影響性能。
[0050]對于本文描述的任何實施例，所選擇的特定的吸收器材料應(yīng)該具有粘性，這將保持基于預(yù)期顆粒污染物的尺寸和重量被誘捕的顆粒污染物。對于諸如加速度計具有磁體的應(yīng)用，應(yīng)該考慮電和磁中性的吸收器材料。而且，取決于應(yīng)用，可期望選擇具有最小釋氣的吸收器材料。而且，雖然上面的顆粒吸收器的實施例中的一些被在屈曲型加速度計的背景下被描述，但其它的產(chǎn)品也是可行的。例如，工業(yè)裝備、或精確測量儀器都可受益于前面描述的利用顆粒吸收器的示例性技術(shù)。任何零星的顆粒，大的或小的，都可能損壞設(shè)備或儀器，設(shè)備或儀器具有運動可能被阻礙的機械部件。因此，前面的且類似的實施例可被應(yīng)用到各種應(yīng)用，尤其是在存在包含或放置顆粒污染物吸收器的腔時。
[0051]盡管上面已經(jīng)圖示和描述了具體實施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該意識到，目的在于實現(xiàn)同樣目的的任何布置都可代替示出的具體實施例。因此，顯然的是，本發(fā)明僅由權(quán)利要求及其等同方式限制。
【權(quán)利要求】
1.一種傳感器設(shè)備(100),該設(shè)備包括: 傳感器機構(gòu)(110)； 結(jié)構(gòu)(120)，其具有容納所述傳感器機構(gòu)的至少一個被動元件(114)的內(nèi)腔(122);以及 在該內(nèi)腔內(nèi)的顆粒污染物吸收器(126)。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中傳感器機構(gòu)還包括未定位在該內(nèi)腔內(nèi)的至少一個主動元件(112)，其中傳感器設(shè)備還包括內(nèi)腔和該主動元件之間的路徑(124)。
3.一種用于給設(shè)備提供顆粒污染物吸收器的方法(500)，該方法包括: 通過將液體顆粒吸收器材料分布在內(nèi)腔(510)內(nèi)的一個或多個表面上來收集結(jié)構(gòu)的內(nèi)腔內(nèi)的顆粒污染物；以及 通過固化該液體顆粒吸收器材料為具有面向內(nèi)腔(520)的粘性表面的凝膠來包住零散顆粒污染物。
【文檔編號】B08B7/00GK103464423SQ201310220377
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月6日
【發(fā)明者】R.雷內(nèi)爾特 申請人:霍尼韋爾國際公司