專利名稱：一種排風(fēng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片濕法清洗領(lǐng)域，尤其涉及一種排風(fēng)裝置。
背景技術(shù)：
目前在濕法清洗工藝中單片清洗設(shè)備的應(yīng)用越來越廣泛，工藝腔室是單片清洗設(shè)備的核心部件，整個硅片的清洗工藝都是在工藝腔室內(nèi)部的工藝區(qū)完成的，工藝過程中還要用到多種堿性或酸性化學(xué)藥液以及兆聲波裝置等，濕法處理設(shè)備的腔室頂部設(shè)有吹風(fēng)及過濾系統(tǒng)，腔室內(nèi)部設(shè)有排風(fēng)系統(tǒng)。目前，腔室排風(fēng)系統(tǒng)普遍存在的兩個問題，一是腔室內(nèi)部流場的均勻性難以保證；二是腔室工藝區(qū)與電氣區(qū)不能嚴(yán)格的分隔開。這樣，如果在清洗工藝過程中腔室內(nèi)部流場不穩(wěn)定，存在局部的擾流、紊流等，則會在硅片清洗工藝時帶動一些微小的顆粒、污染物至硅片表面，降低清洗的效率，甚至達(dá)不到清洗工藝的要求。此外，由于化學(xué)液的應(yīng)用，使得工藝腔室工藝區(qū)存在大量化學(xué)藥液的揮發(fā)霧氣，如果工藝區(qū)和電氣區(qū)不能完全分隔開，在清洗工藝過程當(dāng)中就會使得工藝區(qū)的部分化學(xué)霧氣進(jìn)入到工藝腔室的電氣區(qū)，從而對電氣元氣件造成化學(xué)腐蝕，長期作用甚至?xí)p害電氣元件，造成整個機(jī)臺的停機(jī)，影響設(shè)備的生產(chǎn)效率。因此，針對以上不足，本實用新型提供了 一種排風(fēng)裝置。
發(fā)明內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型的目的是解決排風(fēng)量不能調(diào)整，工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性難以保證，以及工藝區(qū)的化學(xué)液揮發(fā)的霧氣揮發(fā)至電氣區(qū)對電氣部件造成損害的問題。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種排風(fēng)裝置，該排風(fēng)裝置包括底腔、兆聲波裝置盛液槽、兆聲波裝置盛液槽固定支架、夾層及排風(fēng)調(diào)整單元，所述底腔固定于所述夾層頂部，所述兆聲波裝置盛液槽通過兆聲波裝置盛液槽固定支架固定于所述夾層上，所述夾層將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，所述排風(fēng)調(diào)整單元與所述夾層連接，用于調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)流量。其中，所述夾層的材質(zhì)為具有耐酸堿腐蝕性的塑料，其包括頂板、側(cè)板、內(nèi)側(cè)環(huán)、底板和主排風(fēng)口，所述內(nèi)側(cè)環(huán)位于頂板和底板之間，所述主排風(fēng)口位于所述底板上，且所述主排風(fēng)口的頂部高度高于底板的頂部。其中，所述頂板為凹槽狀結(jié)構(gòu)，且其上設(shè)有排風(fēng)孔。其中，所述頂板上還設(shè)有第一聯(lián)結(jié)孔、第二聯(lián)結(jié)孔、第三聯(lián)結(jié)孔、第四聯(lián)結(jié)孔及第五聯(lián)結(jié)孔，通過所述第一聯(lián)結(jié)孔將夾層與工藝區(qū)殼體聯(lián)結(jié)，通過所述第二聯(lián)結(jié)孔將夾層與電氣區(qū)固定架聯(lián)接，通過所述第三聯(lián)結(jié)孔將夾層與所述底腔固定聯(lián)接，通過所述第四聯(lián)結(jié)孔將兆聲波裝置固定于夾層頂板上，通過所述第五聯(lián)結(jié)孔將維修孔遮擋蓋固定于夾層頂板上。其中，所述底板的頂部有斜度，一端為高位，另一端為低位，在低位處設(shè)有排液口，用于將流至底部的液體排走。其中，所述頂板上設(shè)有第一通孔及第二通孔，所述底板上設(shè)有與所述第一通孔及第二通孔相對應(yīng)的孔。其中，還包括噴淋臂、噴淋臂遮擋環(huán)及旋緊接頭，所述噴淋臂穿過所述第一通孔及底板上相應(yīng)的孔，并用所述噴淋臂遮擋環(huán)密封，兆聲波裝置盛液槽的供液管和排液管穿過所述第二通孔及底板上相應(yīng)的孔，在貫穿處用所述旋緊接頭密封。其中，所述排風(fēng)調(diào)整單元包括:夾層排風(fēng)口連接管、工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管、排風(fēng)管卡緊件、夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)、總排風(fēng)腔體及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板；所述夾層排風(fēng)口連接管的一端通過所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管與總排風(fēng)腔體聯(lián)接，另一端通過所述排風(fēng)管卡緊件與所述夾層緊固聯(lián)接，所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)及工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)于所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管進(jìn)入總排風(fēng)腔體的通道上，所述電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板位于總排風(fēng)腔體的一側(cè)。其中，所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板均可自動調(diào)整或手動調(diào)整排風(fēng)量，調(diào)整范圍從全開到全閉。其中，所述底腔上設(shè)有盛液槽和緩沖腔，所述盛液槽分為高位和低位，所述緩沖腔上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口，所述進(jìn)風(fēng)口為環(huán)形，并圍繞底腔的中心均布設(shè)置，且所述進(jìn)風(fēng)口高于所述盛液槽的低位，所述緩沖腔底部設(shè)有用于腔體排風(fēng)的排風(fēng)口和用于排放冷凝液體的排液口，所述排風(fēng)口頂部高度高于底板的頂部。(三)有益效果本實用新型的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點:由于夾層將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，所述排風(fēng)調(diào)整單元與夾層連接，并可調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)流量。這樣排風(fēng)調(diào)整單元可通過有效的調(diào)整排風(fēng)量以保證工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性；通過夾層能將工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)完全隔離開來，以防止工藝區(qū)的化學(xué)液揮發(fā)的霧氣揮發(fā)至電氣區(qū)對電氣部件造成損害。

圖1是本實用新型實施例單硅片濕法處理設(shè)備工藝腔室的立體圖；圖2是本實用新型實施例排風(fēng)裝置的立體示意圖；圖3是本實用新型實施例排風(fēng)裝置的夾層的立體示意圖；圖4是本實用新型實施例圖3的C-C剖視圖；圖5是本實用新型實施例圖3背面的立體示意圖；圖6是本實用新型實施例排風(fēng)裝置的底腔的立體示意圖；圖7是本實用新型實施例圖6的D-D的立體剖視圖；圖8是本實用新型實施例排風(fēng)裝置的排風(fēng)調(diào)整單元的立體示意圖。圖中:1:夾層；2:噴淋臂遮擋環(huán)；3:底腔；4:兆聲波裝置盛液槽；5:兆聲波裝置盛液槽固定支架；6:維修孔遮擋蓋；7:排風(fēng)調(diào)整單元；8:旋緊接頭；9:夾層排風(fēng)口連接管；10:工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管；11:排風(fēng)管卡緊件；12:夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)；13:工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)；14:總排風(fēng)腔體；15:電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板；16:第一藥液噴淋臂；17:第二藥液噴淋臂；18:兆聲波裝置噴淋臂；19:工藝區(qū)殼體；20:電氣區(qū)固定架；21:排風(fēng)裝置；101:頂板；102:側(cè)板;103:內(nèi)側(cè)環(huán)；104:底板；105:主排風(fēng)口 ；106:排風(fēng)口 ；107 第一聯(lián)結(jié)孔；108:第二聯(lián)結(jié)孔；109:第三聯(lián)結(jié)孔；110:第四聯(lián)結(jié)孔；111:第一通孔；112:第二通孔；113:第五聯(lián)結(jié)孔；114:高位；115:低位；116:排液口 ；301:盛液槽；302:緩沖腔；303:緩沖腔進(jìn)風(fēng)口 ；304:緩沖腔排風(fēng)口 ；305:緩沖腔排液口 ；A:工藝區(qū)；B:電氣區(qū)。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。如圖1所示，本實用新型實施例提供的一種排風(fēng)裝置21，該排風(fēng)裝置21位于單硅片濕法處理設(shè)備工藝腔室中，整個工藝腔室還包含工藝區(qū)及電氣區(qū)，整個排風(fēng)裝置介于工藝區(qū)和電氣區(qū)之間。該工藝腔室還設(shè)有第一藥液噴淋臂16、第二藥液噴淋臂17、兆聲波裝置噴淋臂18、工藝區(qū)殼體19及電氣區(qū)固定架20。這樣排風(fēng)裝置21將工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，防止了工藝區(qū)的化學(xué)液揮發(fā)的霧氣揮發(fā)至電氣區(qū)對電氣部件造成的損害。如圖2所示，排風(fēng)裝置21包括:夾層1、噴淋臂遮擋環(huán)2、底腔3、兆聲波裝置盛液槽4、兆聲波裝置 盛液槽固定支架5、維修孔遮擋蓋6、排風(fēng)調(diào)整單元7及旋緊接頭8。該排風(fēng)裝置21通過夾層I將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開來，保證工藝腔室工藝區(qū)化學(xué)藥液的霧氣不能揮發(fā)至工藝腔室的電氣區(qū)，從而降低工藝腔室電氣區(qū)電氣元件被損壞的風(fēng)險，提高設(shè)備的可靠性。該裝置可通過排風(fēng)調(diào)整裝置7分別調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)流量，使三者排風(fēng)量處于一定比例，從而實現(xiàn)整個工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性。如圖3-5所示，排風(fēng)裝置21的夾層I為一完整殼體，所述夾層I的材質(zhì)為具有耐酸堿腐蝕性的塑料，其包括頂板101、側(cè)板102、內(nèi)側(cè)環(huán)103、底板104和主排風(fēng)口 105，所述內(nèi)側(cè)環(huán)103位于頂板101和底板104之間，所述主排風(fēng)口 105位于所述底板104上，且所述主排風(fēng)口 105的頂部高度高于底板104的頂部，優(yōu)選的，高出尺寸應(yīng)不低于5_，這樣可使得主排風(fēng)口 105與其他部件沒有干涉，且所述主排風(fēng)口 105的尺寸> 50mm，這樣可保證排風(fēng)的風(fēng)量以適應(yīng)整個區(qū)域的工作需求。所述頂板101為凹槽狀結(jié)構(gòu)，且其上設(shè)有排風(fēng)孔106，優(yōu)選的，所述排風(fēng)孔106的最大尺寸介于Imm-1OOmm之間，這樣可保證足夠的風(fēng)量以保證工作區(qū)域的正常進(jìn)行。所述頂板101上還設(shè)有第一聯(lián)結(jié)孔107、第二聯(lián)結(jié)孔108、第三聯(lián)結(jié)孔109、第四聯(lián)結(jié)孔110及第五聯(lián)結(jié)孔113，通過所述第一聯(lián)結(jié)孔107將夾層I與工藝區(qū)殼體19聯(lián)結(jié)，通過所述第二聯(lián)結(jié)孔108將夾層I與電氣區(qū)固定架20聯(lián)接，通過所述第三聯(lián)結(jié)孔109將夾層I與所述底腔3固定聯(lián)接，通過所述第四聯(lián)結(jié)孔110將兆聲波裝置固定于夾層頂板101上，通過所述第五聯(lián)結(jié)孔113將維修孔遮擋蓋6固定于夾層頂板101上。所述底板104的頂部有斜度，一端為高位114，另一端為低位115，在低位115處設(shè)有排液口 116，用于將流至底部104的液體排走，設(shè)置有斜度可保證液體從高位114流直低位115，從而順利的將流至底部104的液體排走。所述頂板101上還設(shè)有第一通孔111及第二通孔112，所述底板104上設(shè)有與所述第一通孔111及第二通孔112相對應(yīng)的孔。所述第一藥液噴淋臂16、第二藥液噴淋臂17、兆聲波裝置噴淋臂18穿過所述第一通孔111及底板104上相應(yīng)的孔，并用所述噴淋臂遮擋環(huán)2密封，兆聲波裝置盛液槽4的供液管和排液管穿過所述第二通孔112及底板104上相應(yīng)的孔，在貫穿處用所述旋緊接頭8密封。如圖8所示，所述排風(fēng)調(diào)整單元7包括:夾層排風(fēng)口連接管9、工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管10、排風(fēng)管卡緊件11、夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)12、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)13、總排風(fēng)腔體14及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板15 ;所述夾層排風(fēng)口連接管9的一端通過所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管10與總排風(fēng)腔體14聯(lián)接，另一端通過所述排風(fēng)管卡緊件11與所述夾層I緊固聯(lián)接，所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)12及工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)13設(shè)于所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管10進(jìn)入總排風(fēng)腔體14的通道上，所述電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板15位于總排風(fēng)腔體14的一側(cè)。所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)12、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)13及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板15均可自動調(diào)整或手動調(diào)整排風(fēng)量，調(diào)整范圍從全開到全閉。為調(diào)整工藝腔室內(nèi)部流場，可通過分別獨立的夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)12、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)13和電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板15，使得它們?nèi)咧g處于不同的比例來反復(fù)測試工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性，直到得到最理想的流場后，確定各調(diào)整裝置的最終位置。如圖6和圖7所示，所述底腔3上設(shè)有盛液槽301和緩沖腔302，所述盛液槽301用于盛接清洗完后的廢液并將其排放，所述緩沖腔302用于工藝腔體內(nèi)部的排風(fēng)并對其緩沖；所述盛液槽301分為高位和低位，所述緩沖腔302上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口 303，所述進(jìn)風(fēng)口303為環(huán)形，并圍繞底腔3的中心均布設(shè)置，且所述進(jìn)風(fēng)口 303高于所述盛液槽301的低位，所述緩沖腔302底部設(shè)有用于腔體排風(fēng)的排風(fēng)口 304和用于排放冷凝液體的排液口 305，所述排風(fēng)口 304頂部高度高于底板104的頂部，高出尺寸不低于5mm，這樣可保證排風(fēng)口 304與其他部件不會出現(xiàn)干涉，且排風(fēng)口 304尺寸> 50mm，這樣保證了有足夠的排風(fēng)量。綜上所述，由于夾層I將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，且所述排風(fēng)調(diào)整單元7與夾層I連接，并可調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)量。這樣排風(fēng)調(diào)整單元7可通過有效的調(diào)整排風(fēng)量以保證工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性；通過夾層I能將工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)完全隔離開來，以防止工藝區(qū)的化學(xué)液揮發(fā)的霧氣揮發(fā)至電氣區(qū)對電氣部件造成損害。以上所述僅是本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種排風(fēng)裝置，其特征在于:包括底腔(3)、兆聲波裝置盛液槽(4)、兆聲波裝置盛液槽固定支架(5)、夾層(I)及排風(fēng)調(diào)整單元(7)，所述底腔(3)固定于所述夾層(I)頂部，所述兆聲波裝置盛液槽(4)通過兆聲波裝置盛液槽固定支架(5)固定于所述夾層(I)上，所述夾層(I)將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，所述排風(fēng)調(diào)整單元(7)與所述夾層(I)連接，用于調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述夾層(I)的材質(zhì)為具有耐酸堿腐蝕性的塑料，其包括頂板(101 )、側(cè)板(102)、內(nèi)側(cè)環(huán)(103)、底板(104)和主排風(fēng)口( 105)，所述內(nèi)側(cè)環(huán)(103)位于頂板(101)和底板(104)之間，所述主排風(fēng)口( 105)位于所述底板(104)上,且所述主排風(fēng)口(105)的頂部高度高于底板(104)的頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述頂板(101)為凹槽狀結(jié)構(gòu)，且其上設(shè)有排風(fēng)孔(106)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述頂板(101)上還設(shè)有第一聯(lián)結(jié)孔(107)、第二聯(lián)結(jié)孔(108)、第三聯(lián)結(jié)孔(109)、第四聯(lián)結(jié)孔(110)及第五聯(lián)結(jié)孔(113)，通過所述第一聯(lián)結(jié)孔(107)將夾層(I)與工藝區(qū)殼體(19)聯(lián)結(jié)，通過所述第二聯(lián)結(jié)孔(108)將夾層(I)與電氣區(qū)固定架(20 )聯(lián)接，通過所述第三聯(lián)結(jié)孔(109 )將夾層(I)與所述底腔(3 )固定聯(lián)接，通過所述第四聯(lián)結(jié)孔(110)將兆聲波裝置固定于夾層頂板(101)上，通過所述第五聯(lián)結(jié)孔(113)將維修孔遮擋蓋(6)固定于夾層頂板(101)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述底板(104)的頂部有斜度，一端為高位(114)，另一端為低位(115)，在低位(115)處設(shè)有排液口(116)，用于將流至底部(104)的液體排走。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述頂板(101)上設(shè)有第一通孔(111)及第二通孔(112)，所述底板(104)上設(shè)有與所述第一通孔(111)及第二通孔(112)相對應(yīng)的孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:還包括噴淋臂(16，17，18)、噴淋臂遮擋環(huán)(2)及旋緊接頭(8)，所述噴淋臂(16，17，18)穿過所述第一通孔(111)及底板(104)上相應(yīng)的孔，并用所述噴淋臂遮擋環(huán)(2)密封，兆聲波裝置盛液槽(4)的供液管和排液管穿過所述第二通孔(112)及底板(104)上相應(yīng)的孔，在貫穿處用所述旋緊接頭(8)密封。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述排風(fēng)調(diào)整單元(7)包括:夾層排風(fēng)口連接管(9)、工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管(10)、排風(fēng)管卡緊件(11)、夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(12)、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(13)、總排風(fēng)腔體(14)及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板(15);所述夾層排風(fēng)口連接管(9)的一端通過所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管(10)與總排風(fēng)腔體(14)聯(lián)接，另一端通過所述排風(fēng)管卡緊件(11)與所述夾層(I)緊固聯(lián)接，所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(12)及工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(13)設(shè)于所述工藝腔體排風(fēng)口聯(lián)接管(10)進(jìn)入總排風(fēng)腔體(14)的通道上，所述電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板(15)位于總排風(fēng)腔體(14)的一側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述夾層排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(12)、工藝腔體排風(fēng)量調(diào)整機(jī)構(gòu)(13)及電氣區(qū)進(jìn)風(fēng)口排風(fēng)風(fēng)量調(diào)整板(15)均可自動調(diào)整或手動調(diào)整排風(fēng)量，調(diào)整范圍從全開到全閉。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于:所述底腔(3)上設(shè)有盛液槽(301)和緩沖腔(302)，所述盛液槽(301)分為高位和低位，所述緩沖腔(302)上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口(303)，所述進(jìn)風(fēng)口(303)為環(huán)形，并圍繞底腔(3)的中心均布設(shè)置，且所述進(jìn)風(fēng)口(303)高于所述盛液槽(301)的低位，所述緩沖腔(302 )底部設(shè)有用于腔體排風(fēng)的排風(fēng)口( 304 )和用于排放冷凝液體的排液口(305)， 所述排風(fēng)口(304)頂部高度高于底板(104)的頂部。
專利摘要本實用新型涉及硅片濕法清洗領(lǐng)域，尤其涉及一種排風(fēng)裝置。該排風(fēng)裝置包括底腔、兆聲波裝置盛液槽、兆聲波裝置盛液槽固定支架、夾層及排風(fēng)調(diào)整單元，所述底腔固定于所述夾層頂部，所述兆聲波裝置盛液槽通過兆聲波裝置盛液槽固定支架固定于所述夾層上，夾層將整個工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)分隔開，所述排風(fēng)調(diào)整單元與夾層連接，用于調(diào)整工藝腔體內(nèi)部排風(fēng)流量、工藝腔體外部排風(fēng)流量以及電氣區(qū)的排風(fēng)流量。這樣排風(fēng)調(diào)整單元可通過有效的調(diào)整排風(fēng)量以保證工藝腔室內(nèi)部流場的均勻性；通過夾層能將工藝腔室的工藝區(qū)和電氣區(qū)完全隔離開來，以防止工藝區(qū)的化學(xué)液揮發(fā)的霧氣揮發(fā)至電氣區(qū)對電氣部件造成損害。
文檔編號B08B3/12GK203002725SQ20122063358
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月26日
發(fā)明者王波雷, 王銳廷, 張豹, 姬丹丹 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司