專(zhuān)利名稱(chēng)：一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域，尤其涉及一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中，隨著工藝的提高，對(duì)環(huán)境的潔凈度要求也越來(lái)越高。目前，對(duì)物品的凈化工藝都是在凈化間中進(jìn)行的，凈化間是通過(guò)從上至下的對(duì)流風(fēng)達(dá)到對(duì)環(huán)境凈化的目的，但是在凈化間的地板上不可避免的會(huì)留有積塵，當(dāng)人員走動(dòng)或用推車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)會(huì)產(chǎn)生揚(yáng)塵，破壞周?chē)臐崈舳取，F(xiàn)在對(duì)積塵的清掃通常是通過(guò)定期派遣清潔人員進(jìn)入凈化間,進(jìn)行人工清掃,這種清掃方法不僅增加人力物力成本,還不能做到隨時(shí)持續(xù)的 清掃，另外人本身就是發(fā)塵源，在進(jìn)行人工清掃時(shí)，增加人員本身對(duì)環(huán)境會(huì)產(chǎn)生污染，破壞潔凈度。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型公開(kāi)了一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其中，在搬運(yùn)裝置上設(shè)
置一除塵裝置；所述除塵裝置在搬運(yùn)裝置搬運(yùn)物品時(shí)進(jìn)行對(duì)搬運(yùn)裝置經(jīng)過(guò)的地面進(jìn)行除塵。上述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其中，所述搬運(yùn)裝置為推車(chē)，該推車(chē)包括固定設(shè)置在推車(chē)主體上的防滑落護(hù)欄，搬運(yùn)物品時(shí)，物品放置在防滑落護(hù)欄中，以避免物品在搬運(yùn)過(guò)程中滑落。上述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其中，所述除塵裝置為滾筒式粘塵裝置，包括粘塵滾筒、支架和控制桿，所述粘塵滾筒可滾動(dòng)地設(shè)置在支架上，所述控制桿與所述支架固定連接，以控制所述粘塵滾筒的升降。上述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其中，所述控制桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述推車(chē)主體的下方。上述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其中，所述粘塵滾筒為可替換粘塵滾筒。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提出一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，通過(guò)在搬運(yùn)裝置上設(shè)置除塵裝置，從而達(dá)到減少搬運(yùn)物品途中產(chǎn)生的地面揚(yáng)塵對(duì)潔凈度的破壞，更有對(duì)地面積塵的去除作用，進(jìn)一步提高潔凈度的目的。

圖I是本實(shí)用新型降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置中設(shè)置有滾筒式粘塵裝置推車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置中滾筒式粘塵裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0013]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明圖I是本實(shí)用新型降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置中設(shè)置有滾筒式粘塵裝置推車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置中滾筒式粘塵裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1-2所示，本實(shí)用新型一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置首先，在使用推車(chē)I向凈化間搬運(yùn)物品前，于搬運(yùn)裝置推車(chē)I的推車(chē)主體11下方可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置滾筒式粘塵裝置2 ;其中，如圖2所示，滾筒式粘塵裝置2包括粘塵滾筒21、支架22和控制桿23，粘塵滾筒21可滾動(dòng)地設(shè)置在支架22上，控制桿23與支架22固定連接，以控制粘塵滾筒21的升降。然后，將物品3放置于固定設(shè)置在推車(chē)主體11上的防滑落護(hù)欄12中，以避免物品3在搬運(yùn)過(guò)程中滑落；在進(jìn)入凈化間時(shí)，通過(guò)控制桿23將粘塵滾筒21降至地面，即可在推車(chē)I進(jìn)行搬運(yùn)物品3時(shí)對(duì)推車(chē)I經(jīng)過(guò)的地面進(jìn)行除塵；若不需進(jìn)行除塵，如離開(kāi)凈化間時(shí)，可通過(guò)控制桿23將粘塵滾筒21升離地面即可，以避免粘塵滾筒21無(wú)謂磨損。所以，本實(shí)用新型降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置在減少搬運(yùn)途中產(chǎn)生的地面揚(yáng)塵同時(shí)更有效對(duì)地面積塵進(jìn)行清掃，做到隨時(shí)持續(xù)的潔凈，提高環(huán)境潔凈度，且由于物品搬運(yùn)的通路都是凈化間內(nèi)的主干道，也是人員經(jīng)常走動(dòng)的區(qū)域，對(duì)此區(qū)域積塵的持續(xù)清掃，間接降低了人員走動(dòng)帶起的揚(yáng)塵；相應(yīng)的，主干道干凈了，就可以減少派入凈化間的清潔人員的人數(shù)，即在減少人力物力的同時(shí)能減少新的污染源。進(jìn)一步的，粘塵滾筒21為可替換式粘塵滾筒，通過(guò)更換粘塵滾筒21，從而使得滾筒式粘塵裝置2能長(zhǎng)期有效的工作。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提出一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，通過(guò)在搬運(yùn)裝置上設(shè)置除塵裝置，從而達(dá)到減少搬運(yùn)物品途中產(chǎn)生的地面揚(yáng)塵對(duì)潔凈度的破壞，更有對(duì)地面積塵的去除作用，進(jìn)一步提高潔凈度的目的。通過(guò)說(shuō)明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本實(shí)用新型精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述實(shí)用新型提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說(shuō)明后，各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見(jiàn)。因此，所附的權(quán)利要求書(shū)應(yīng)看作是涵蓋本實(shí)用新型的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本實(shí)用新型的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其特征在于，在搬運(yùn)裝置上設(shè)置一除塵裝置； 所述除塵裝置在搬運(yùn)裝置搬運(yùn)物品時(shí)進(jìn)行對(duì)搬運(yùn)裝置經(jīng)過(guò)的地面進(jìn)行除塵。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)裝置為推車(chē)，該推車(chē)包括固定設(shè)置在推車(chē)主體上的防滑落護(hù)欄，搬運(yùn)物品時(shí)，物品放置在防滑落護(hù)欄中，以避免物品在搬運(yùn)過(guò)程中滑落。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其特征在于，所述除塵裝置為滾筒式粘塵裝置，包括粘塵滾筒、支架和控制桿，所述粘塵滾筒可滾動(dòng)地設(shè)置在支架上，所述控制桿與所述支架固定連接，以控制所述粘塵滾筒的升降。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其特征在于，所述控制桿可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述推車(chē)主體的下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，其特征在于，所述粘塵滾筒為可替換粘塵滾筒。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種降低物品搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生塵粒的裝置，通過(guò)在搬運(yùn)裝置上設(shè)置除塵裝置，從而達(dá)到減少搬運(yùn)物品途中產(chǎn)生的地面揚(yáng)塵對(duì)潔凈度的破壞，更有對(duì)地面積塵的去除作用，進(jìn)一步提高潔凈度的目的。
文檔編號(hào)A47L25/00GK202463872SQ20122002208
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月18日
發(fā)明者戴韞青 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司