分流裝置制造方法
【專利摘要】一種分流裝置，包括一個桶槽及設于桶槽內(nèi)的一個固定座及一個內(nèi)分流環(huán)，桶槽的底壁具有一個第一開口及環(huán)繞第一開口且相隔離的一個第一流道及一個第二流道；固定座設于桶槽的底壁并封閉第一開口；內(nèi)分流環(huán)具有由一個底壁上下分隔的一個上容置空間及一個下容置空間；該底壁位于桶槽的第一流道及第二流道上方，并具有一個第二開口以及多個與該第二流道對應的導流孔，內(nèi)分流環(huán)的第二開口與固定座相套接，上容置空間可通過底壁的這些導流孔與桶槽的第二流道相連通，而內(nèi)分流環(huán)的第二開口與固定座分離，會使下容置空間與桶槽的第一流道相連通。
【專利說明】分流裝置【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種分流裝置，特別是涉及一種使兩種不同液體可以分開收集的分流
>J-U ρ?α裝直。
【背景技術】
[0002]芯片清洗是芯片制造工藝中的一個必要程序，其主要去除噴灑在芯片表面的顯影劑或光刻膠剝離劑，使芯片表面的圖形能通過顯影或光刻膠剝離工序而顯現(xiàn)出來，讓芯片的功能得以發(fā)揮并維持良好的穩(wěn)定性。
[0003]例如圖1所示，在以往的一個芯片蝕刻工序中，經(jīng)過光刻膠覆蓋及曝光之后的一個芯片90被放置在一個顯影機臺的顯影槽91內(nèi)，并固定在一個旋轉(zhuǎn)器92的一個載盤93上。然后一個噴嘴94將顯影液噴灑于芯片90表面，使顯影液與芯片90上經(jīng)曝光的光刻膠層產(chǎn)生化學反應以顯影，當顯影完成后，旋轉(zhuǎn)器92帶動芯片90旋轉(zhuǎn)，并且另一個噴嘴95將清洗溶液，例如去離子水噴灑于芯片90表面，使將芯片90表面的顯影液沖洗干凈，而噴灑于顯影槽91內(nèi)的顯影液與清洗溶液則會通過同一出口 96收集于一個廢水集中槽(圖未示)，再進行廢水處理以避免環(huán)境污染。然而此種做法不但使顯影液無法被回收再利用，而無法減少顯影液的用量及采購費用，更重要的是微量的顯影液混合大量的去離子水后，這大量的混合液體均被視為已污染化學液體，須特別進行化學廢棄物處理，成本十分高昂，導致芯片制造成本無法有效降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種可讓有機物與無機物分流回收再利用，以降低有機物回收成本并減少環(huán)境污染的分流裝置。
[0005]本發(fā)明的分流裝置，包括:一個桶槽，具有一個底壁及環(huán)繞該底壁周緣的側(cè)壁，該底壁具有位于中央的一個第一開口，以及環(huán)繞該第一開口且相隔離的一個第一流道及一個第二流道；一個固定座，設于該桶槽的底壁并封閉該第一開口 ；及一個內(nèi)分流環(huán)，可相對該桶槽縱向位移地置于該桶槽內(nèi)，并具有一個底壁，一個由底壁周緣向上環(huán)繞形成的上周壁，以及一個由底壁的底面向下環(huán)繞形成的下周壁，而由該底壁和該上周壁共同形成一個上容置空間，以及由該底壁和該下周壁共同形成一個下容置空間；該底壁位于該桶槽的第一流道及第二流道上方，并具有一個位于中央的第二開口，以及多個與該第二流道對應的導流孔；該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口與該固定座相套接而密合時，會阻隔該上容置空間和該下容置空間，且該下周壁置入該第一流道中，使得該上容置空間通過該底壁的這些導流孔與該桶槽的第二流道相連通；該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口與該固定座分離時，該內(nèi)分流環(huán)的下周壁會阻隔該下容置空間與該桶槽的第二流道，并使該下容置空間與該桶槽的第一流道相連通。
[0006]較佳地，該內(nèi)分流環(huán)的這些導流孔是分布在該內(nèi)分流環(huán)的底壁周緣，且該第二開口與這些導流孔之間具有一個斜面，使得該第二開口高于這些導流孔。[0007]較佳地，該第一開口與該第一流道之間是以一第一環(huán)形隔板相間隔，且該第一流道與該第二流道之間是以一第二環(huán)形隔板相間隔。
[0008]較佳地，該固定座的上端具有一個圓形端部，且該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口是與該固定座的圓形端部套接而相密合。
[0009]較佳地，該固定座還具有由其底面周緣向下延伸形成的一個環(huán)形周壁，該環(huán)形周壁套設在該桶槽的底壁的該第一環(huán)形隔板的外面并與該第一環(huán)形隔板緊配合，而將該固定座固定在該桶槽的底壁的第一開口上方。
[0010]較佳地，該分流裝置還包括一個環(huán)形蓋板以及一個第一驅(qū)動件，該環(huán)形蓋板固定在該內(nèi)分流環(huán)的上周壁上緣，該第一驅(qū)動件與該環(huán)形蓋板連接，并通過該環(huán)形蓋板驅(qū)動該內(nèi)分流環(huán)相對該桶槽縱向位移。
[0011]較佳地，該分流裝置還包括一個設于該固定座的中央的升降機構(gòu)，其包含一根可縱向位移地穿設于該固定座中央的活動桿，一根驅(qū)動桿以及設于該桶槽的底壁下方的一個第二驅(qū)動件及一個第三驅(qū)動件，該活動桿的頂端外露于該固定座外并形成一個承載面，該驅(qū)動桿的一個上端部與該活動桿的一個下半部相套接，且該驅(qū)動桿的一個下端部穿出該桶槽的底壁外并與該第二驅(qū)動件連接，該第二驅(qū)動件通過該驅(qū)動桿驅(qū)動該活動桿旋轉(zhuǎn)，且該第三驅(qū)動件與該第二驅(qū)動件連接，并通過該第二驅(qū)動件驅(qū)動該活動桿相對該固定座縱向位移。
[0012]本發(fā)明的有益效果在于:借由在桶槽的底壁形成第一流道及第二流道，并于內(nèi)分流環(huán)內(nèi)形成上容置空間及下容置空間，使得內(nèi)分流環(huán)與固定在桶槽的底壁的固定座分離時，下容置空間會與第一流道相連通并阻隔第二流道，讓灑落在下容置空間中的液體可以通過第一流道排出，并在內(nèi)分流環(huán)與固定在桶槽的底壁的固定座相套接而密合時，阻隔上容置空間與下容置空間，并使上容置空間通過這些導流孔與第二流道相連通，使得灑落在上容置空間的液體可以通過第二流道排出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是以往顯影槽只有一個出口供排出顯影劑及清洗溶液的示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明一個較佳實施例的分流裝置組設在一平面上的立體圖。
[0015]圖3是本實施例分流裝置的立體分解圖。
[0016]圖4是圖2的分流裝置的縱向剖面圖，其中顯示內(nèi)分流環(huán)置入桶槽內(nèi)并以其第二開口與固定座的圓形端部相套接而密合，使內(nèi)分流環(huán)的上容置空間通過這些導流孔與第二流道相連通，以及第一噴嘴伸入桶槽內(nèi)的內(nèi)分流環(huán)的上容置空間中噴灑清洗溶液的態(tài)樣。
[0017]圖5是顯示圖4的內(nèi)分流環(huán)上升而與固定座分離，使內(nèi)分流環(huán)的下容置空間與第一流道相連通，以及第二噴嘴伸入桶槽內(nèi)的內(nèi)分流環(huán)的第二開口中噴灑無機溶劑的態(tài)樣。
[0018]圖6是圖2的側(cè)視平面圖。
[0019]圖7顯示活動桿上升至桶槽外的態(tài)樣。
【具體實施方式】
[0020]為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】作詳細說明。首先需要說明的是，本發(fā)明并不限于下述【具體實施方式】，本領域的技術人員應該從下述實施方式所體現(xiàn)的精神來理解本發(fā)明，各技術術語可以基于本發(fā)明的精神實質(zhì)來作最寬泛的理解。圖中相同或相似的構(gòu)件采用相同的附圖標記表示。
[0021]參見圖2至圖4所示，本發(fā)明一個較佳實施例的分流裝置包括一個設置于一個平面100上的桶槽1，一個設置于桶槽I內(nèi)的固定座2及一個設置于桶槽I內(nèi)并可相對桶槽I縱向(上下)位移的內(nèi)分流環(huán)3。
[0022]桶槽I呈圓桶狀，并具有一個底壁10及環(huán)繞底壁10周緣的側(cè)壁11，底壁10具有位于中央的一個第一開口 12，以及環(huán)繞第一開口 12外圍且相間隔的一個第一流道14及一個第二流道15。其中第一開口 12與第一流道14之間是以一個第一環(huán)形隔板13相間隔，且第一流道14與第二流道15之間是以一個第二環(huán)形隔板16相間隔。
[0023]固定座2設于桶槽I的底壁10并封閉第一開口 12。且如圖4所示，固定座2的縱切面大致呈一個上窄下寬的梯形，且其上端形成具有一定高度及相同寬度的一個圓形端部21。固定座2還具有由其底面周緣向下延伸形成的一個環(huán)形周壁22，且該環(huán)形周壁22套設在桶槽I底壁10的第一環(huán)形隔板13外面并與第一環(huán)形隔板13緊配合，使得固定座2固定在桶槽I底壁10的第一開口 12上方。
[0024]內(nèi)分流環(huán)3具有一個底壁31，一個由底壁31的周緣向上環(huán)繞形成的上周壁32，以及一個由底壁31的底面向下環(huán)繞形成的下周壁33，而由底壁31和上周壁32共同形成一個上容置空間34，以及由底壁31和下周壁33共同形成一個下容置空間35。且底壁31位于該桶槽I的第一流道14及第二流道15上方，并具有一個位于中央且與固定座2的圓形端部21相配合的第二開口 36，以及多個對應第二流道15的導流孔37。且第二開口 36與這些導流孔37之間具有一個斜面38，使得第二開口 36高于這些導流孔37。
[0025]借此，如圖4所示，當內(nèi)分流環(huán)3置于桶槽I內(nèi)時，其底壁31的第二開口 36會與固定座2的圓形端部21套接而相密合，而阻隔了上容置空間34和下容置空間35，且其下周壁33置入第一流道14中，并使得上容置空間34通過底壁31的這些導流孔37與桶槽I的第二流道15相連通；且如圖5所示，當內(nèi)分流環(huán)3上移至使底壁31的第二開口 36離開固定座2的圓形端部21時，上容置空間34與下容置空間35通過第二開口 36相連通，且內(nèi)分流環(huán)3的下周壁33上升至與第二環(huán)形隔板16頂端大約等高位置，而阻隔了下容置空間35與桶槽I底壁10上的第二流道15，并使下容置空間35與桶槽I底壁10上的第一流道14相連通。
[0026]此外，為了讓內(nèi)分流環(huán)3可以在桶槽I內(nèi)縱向位移，如圖2至圖4所示，本實施例還包括一個覆蓋于桶槽I上方的環(huán)形蓋板4及一個與環(huán)形蓋板4連結(jié)的第一驅(qū)動件5。
[0027]環(huán)形蓋板4具有一個外(直)徑與桶槽I的外(直)徑相當?shù)捻敯宀?1以及一個位于頂板部41下方，且外(直)徑與內(nèi)分流環(huán)3的上端的內(nèi)(直)徑相當?shù)牡装宀?2。借此，環(huán)形蓋板4覆蓋在桶槽I上方時，頂板部41蓋合在桶槽I的側(cè)壁11的上緣并與側(cè)壁11的周緣齊平，且底板部42與內(nèi)分流環(huán)3的上周壁32的內(nèi)面相嵌合，使環(huán)形蓋板4定位，再借由螺絲(圖未示)將環(huán)形蓋板4鎖固在內(nèi)分流環(huán)3上。
[0028]第一驅(qū)動件5設在桶槽I的一側(cè)，并包括一個與環(huán)形蓋板4連接的弧形臂51以及一個驅(qū)動弧形臂51縱向位移的驅(qū)動單元52，借此，驅(qū)動單元52可通過驅(qū)動弧形臂51帶動固定在環(huán)形蓋板4的內(nèi)分流環(huán)3相對桶槽I縱向位移。
[0029]而且當本實施例分流裝置是應用在芯片的的蝕刻顯影工序時，如圖2、圖4及圖5所示，分流裝置還包括一個設于固定座2的中央的升降機構(gòu)6，其包含一根可縱向位移地穿設于固定座2中央的活動桿61，一根驅(qū)動桿62以及設于桶槽I的底壁10下方(即平面100下方)的第二驅(qū)動件63及第三驅(qū)動件64?；顒訔U61的頂端外露于固定座2外并形成一個供承載芯片(圖未示)的承載面64。驅(qū)動桿62的上端部與活動桿61的下半部相套接，且驅(qū)動桿62的下端部穿出桶槽I的底壁10外并穿過平面100而與第二驅(qū)動件63連接。借此，第二驅(qū)動件63可通過驅(qū)動桿62驅(qū)動活動桿61旋轉(zhuǎn)，且第三驅(qū)動件64與第二驅(qū)動件63連接，并通過第二驅(qū)動件63驅(qū)動活動桿61相對固定座2縱向位移。且由于第二驅(qū)動件63及第三驅(qū)動件64的作動方式并非本案重點，在此不加詳述。
[0030]另外，如圖2所示，在平面100上位于桶槽I的相反兩側(cè)邊還分別設有一個第一噴嘴71及一個第二噴嘴81，以及與第一噴嘴71連接以驅(qū)動第一噴嘴71移動至桶槽I上方并伸入內(nèi)分流環(huán)3的上容置空間34中的第四驅(qū)動件72，以及與第二噴嘴81連接以驅(qū)動第二噴嘴81移動至桶槽I上方并伸入內(nèi)分流環(huán)3的上容置空間34中的第五驅(qū)動件82。且第二噴嘴81與一個有機溶劑，例如顯影劑或光刻膠剝離劑的供給來源連接(圖未示)，以噴灑該有機溶劑；而第一噴嘴71與一做為清洗溶液的無機液體，例如去離子水的供給來源連接(圖未示)，以噴灑該清洗溶液。
[0031]借此，當要對芯片噴灑有機溶劑，例如顯影劑時，參見圖6所示，第三驅(qū)動件64通過第二驅(qū)動件63驅(qū)動活動桿61上升至使其承載面65露出桶槽I外，以方便芯片(圖未示)置放在承載面65上，然后，第三驅(qū)動件64再通過第二驅(qū)動件63驅(qū)動活動桿61下降至使活動桿61的承載面65外露于固定座2外。接著，如圖5所示，第一驅(qū)動件5通過環(huán)形蓋板4驅(qū)動內(nèi)分流環(huán)3向上抬升，使內(nèi)分流環(huán)3的底壁31的第二開口 36離開固定座2的圓形端部21，讓上容置空間34與下容置空間35通過第二開口 36相連通，且內(nèi)分流環(huán)3的下周壁33上升至與第二環(huán)形隔板16頂端大約等高位置，而阻隔了下容置空間35與桶槽I底壁10上的第二流道15，并使下容置空間35與桶槽I底壁10上的第一流道14相連通。
[0032]因此，如圖5所示，當?shù)谖弪?qū)動件82驅(qū)動第二噴嘴81移動至桶槽I上方并伸入內(nèi)分流環(huán)3內(nèi)時，由于內(nèi)分流環(huán)3上升，所以第二噴嘴81會進入內(nèi)分流環(huán)3的底壁31的第二開口 36，并朝下容置空間35內(nèi)的放置在承載面65上的芯片(圖未示)噴灑顯影劑，同時，第二驅(qū)動件63通過固定桿62驅(qū)動活動桿61旋轉(zhuǎn)，使顯影劑能均勻涂布在芯片上，而滴落在固定座2上的顯影劑則沿著固定座2周緣流入第一流道14中而收集于一與第一流道14連接的顯影劑集中槽(圖未示)。
[0033]然后，芯片被靜置一段時間以完成顯影，當芯片顯影完成后，如圖4所示，第一驅(qū)動件5通過環(huán)形蓋板4驅(qū)動內(nèi)分流環(huán)3向下降落，使內(nèi)分流環(huán)3的底壁31的第二開口 36與固定座2的圓形端部21套接且相密合，而阻隔了上容置空間34和下容置空間35，且其下周壁33置入第一流道14中，并使得上容置空間34通過底壁31的這些導流孔37與桶槽I的第二流道15相連通，借此，如圖4所示，換第四驅(qū)動件72驅(qū)動第一噴嘴71移動至桶槽I上方并伸入內(nèi)分流環(huán)3的上容置空間34內(nèi)，第一噴嘴71會朝放置在固定座2上方的芯片(圖未示)噴灑清洗溶液，使將芯片90表面的顯影液沖洗干凈，同時，第二驅(qū)動件63通過固定桿62驅(qū)動活動桿61旋轉(zhuǎn)，以將承載面65上的芯片旋干；且如圖4所示，滴落在固定座
2的清洗溶液會沿著內(nèi)分流環(huán)3的底壁31的斜面38流到這些導流孔37，并通過導流孔37流入桶槽I的底壁10的第二流道15中，而收集于一個與第二流道15連接的清洗溶液集中槽(圖未示)。
[0034]綜上所述，本實施例通過在桶槽I的底壁10形成第一流道14及第二流道15，并于內(nèi)分流環(huán)3內(nèi)形成上容置空間34及下容置空間35，使得內(nèi)分流環(huán)3與固定在桶槽I的底壁10的固定座2分離時，下容置空間35會與第一流道14相連通并阻隔第二流道15，讓灑落在下容置空間35中的液體可以通過第一流道14排出，并在內(nèi)分流環(huán)3與固定在桶槽I的底壁10的固定座2相套接而密合時，阻隔上容置空間34與下容置空間35，并使上容置空間34通過這些導流孔37與第二流道15相連通，使得灑落在上容置空間34的液體可以通過第二流道15排出，借此，通過上述第一流道14收集的液體，例如顯影劑即可以被重復回收再利用，而節(jié)省成本；而通過上述第二流道14收集的另一液體，例如清洗溶液中的顯影劑濃度若低于一個標準值，則可以被直接排放而不需再經(jīng)過廢水處理，亦可有效節(jié)省廢水處理的費用，確實達成本發(fā)明分流的功效和目的。
[0035]應理解，在閱讀了本發(fā)明的上述講授內(nèi)容之后，本領域技術人員可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。
【權利要求】
1.一種分流裝置，其特征在于，該分流裝置包括: 一個桶槽，具有一個底壁及環(huán)繞該底壁周緣的側(cè)壁，該底壁具有位于中央的一個第一開口，以及環(huán)繞該第一開口且相隔離的一個第一流道及一個第二流道； 一個固定座，設于該桶槽的底壁并封閉該第一開口 ；及 一個內(nèi)分流環(huán)，可相對該桶槽縱向位移地置于該桶槽內(nèi)，并具有一個底壁，一個由底壁周緣向上環(huán)繞形成的上周壁，以及一個由底壁的底面向下環(huán)繞形成的下周壁，而由該底壁和該上周壁共同形成一個上容置空間，以及由該底壁和該下周壁共同形成一個下容置空間；該底壁位于該桶槽的第一流道及第二流道上方，并具有一個位于中央的第二開口，以及多個與該第二流道對應的導流孔；該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口與該固定座相套接而密合時，會阻隔該上容置空間和該下容置空間，且該下周壁置入該第一流道中，使得該上容置空間通過該底壁的這些導流孔與該桶槽的第二流道相連通；該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口與該固定座分離時，該內(nèi)分流環(huán)的下周壁會阻隔該下容置空間與該桶槽的第二流道，并使該下容置空間與該桶槽的第一流道相連通。
2.如權利要求1所述的分流裝置，其特征在于:該內(nèi)分流環(huán)的這些導流孔是分布在該內(nèi)分流環(huán)的底壁周緣，且該第二開口與這些導流孔之間具有一個斜面，使得該第二開口高于這些導流孔。
3.如權利要求1或2所述的分流裝置，其特征在于:該第一開口與該第一流道之間是以一個第一環(huán)形隔板相間隔，且該第一流道與該第二流道之間是以一個第二環(huán)形隔板相間隔。
4.如權利要求3所述的分流裝置，其特征在于:該固定座的上端具有一個圓形端部，且該內(nèi)分流環(huán)的底壁的第二開口是與該固定座的圓形端部套接而相密合。
5.如權利要求3所述的分流裝置，其特征在于:該固定座還具有由其底面周緣向下延伸形成的一個環(huán)形周壁，該環(huán)形周壁套設在該桶槽的底壁的該第一環(huán)形隔板的外面并與該第一環(huán)形隔板緊配合，而將該固定座固定在該桶槽的底壁的第一開口上方。
6.如權利要求3所述的分流裝置，其特征在于:該分流裝置還包括一個環(huán)形蓋板以及一個第一驅(qū)動件，該環(huán)形蓋板固定在該內(nèi)分流環(huán)的上周壁上緣，該第一驅(qū)動件與該環(huán)形蓋板連接，并透過該環(huán)形蓋板驅(qū)動該內(nèi)分流環(huán)相對該桶槽縱向位移。
7.如權利要求3所述的分流裝置，其特征在于:該分流裝置還包括一個設于該固定座的中央的升降機構(gòu)，其包含一根可縱向位移地穿設于該固定座中央的活動桿，一根驅(qū)動桿以及設于該桶槽的底壁下方的一個第二驅(qū)動件及一個第三驅(qū)動件，該活動桿的頂端外露于該固定座外并形成一個承載面，該驅(qū)動桿的一個上端部與該活動桿的一個下半部相套接，且該驅(qū)動桿的一個下端部穿出該桶槽的底壁外并與該第二驅(qū)動件連接，該第二驅(qū)動件透過該驅(qū)動桿驅(qū)動該活動桿旋轉(zhuǎn)，且該第三驅(qū)動件與該第二驅(qū)動件連接，并透過該第二驅(qū)動件驅(qū)動該活動桿相對該固定座縱向位移。
【文檔編號】B08B13/00GK103537450SQ201210240000
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2012年7月12日 優(yōu)先權日:2012年7月12日
【發(fā)明者】鄧志明, 陳紹禹 申請人:億力鑫系統(tǒng)科技股份有限公司