專利名稱：一種改進(jìn)的慢拉槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及超聲清洗硅片技術(shù)，尤其涉及一種改進(jìn)的慢拉槽。
背景技術(shù)：
在用超聲清洗硅片的過(guò)程中，清洗槽內(nèi)的水會(huì)在超聲的作用下產(chǎn)生泡沫，而泡沫 在慢拉上升的過(guò)程中會(huì)吸附在硅片上面，經(jīng)烘干處理后便會(huì)產(chǎn)生水印，從而影響硅片質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)以上缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種可消除水面泡沫、保證槽內(nèi)水位、可 保持清潔的改進(jìn)的慢拉槽，以解決現(xiàn)有技術(shù)的諸多不足。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種改進(jìn)的慢拉槽，包括槽體、壓縮空氣管及純水管，所述槽體水面上方安裝一根 不銹鋼式壓縮空氣管，所述壓縮空氣管下方設(shè)有接通純水的純水管。本實(shí)用新型所述的改進(jìn)的慢拉槽的有益效果為通過(guò)設(shè)置帶有壓縮空氣的不銹鋼 管，使得從管壁上小孔吹出的氣體可將槽內(nèi)水面的泡沫吹走，并從溢流口排出，避免泡沫在 慢拉上升的過(guò)程中吸附在硅片上面，避免產(chǎn)生水印及影響硅片質(zhì)量；通過(guò)設(shè)置純水管既可 保證慢拉槽內(nèi)的水位，又可保持水槽內(nèi)的水的清潔。

下面根據(jù)實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述改進(jìn)的慢拉槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、槽體；2、壓縮空氣管；3、純水管；4、排氣孔；5、溢流口。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型所述的改進(jìn)的慢拉槽，包括槽體1、壓縮空氣管2及純水 管3，所述槽體1水面上方安裝一根不銹鋼式壓縮空氣管2，該壓縮空氣管2的管壁上排列 設(shè)置若干排氣孔4，此管口接上壓強(qiáng)為約0. 5MPA的壓縮空氣；所述壓縮空氣管2下方設(shè)有 接通純水的純水管3，所述槽體1下側(cè)開設(shè)一溢流口 5，可使從管壁小孔吹出的氣體把漂浮 在水面上的泡沫吹走并從溢流口 5排出，同時(shí)可保證慢拉槽內(nèi)的水位，也可保持水槽內(nèi)水 的清潔。
權(quán)利要求一種改進(jìn)的慢拉槽，包括槽體(1)、壓縮空氣管(2)及純水管(3)，其特征在于所述槽體(1)水面上方安裝一根不銹鋼式壓縮空氣管(2)，所述壓縮空氣管(2)下方設(shè)有接通純水的純水管(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的慢拉槽，其特征在于所述壓縮空氣管(2)的管壁上 排列設(shè)置若干排氣孔(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的慢拉槽，其特征在于所述槽體(1)下側(cè)開設(shè)一溢流 口(5)。
專利摘要一種改進(jìn)的慢拉槽，包括槽體、壓縮空氣管及純水管，所述槽體水面上方安裝一根不銹鋼式壓縮空氣管，所述壓縮空氣管下方設(shè)有接通純水的純水管。本實(shí)用新型有益效果為通過(guò)設(shè)置帶有壓縮空氣的不銹鋼管，使得從管壁上小孔吹出的氣體可將槽內(nèi)水面的泡沫吹走，并從溢流口排出，避免泡沫在慢拉上升的過(guò)程中吸附在硅片上面，避免產(chǎn)生水印及影響硅片質(zhì)量；通過(guò)設(shè)置純水管既可保證慢拉槽內(nèi)的水位，又可保持水槽內(nèi)的水的清潔。
文檔編號(hào)B08B3/12GK201684746SQ20102018988
公開日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者顧正如 申請(qǐng)人:安徽新鑫太陽(yáng)能科技有限公司