專利名稱：用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的硅片表面清洗設(shè)備，特別涉及一種用于 半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭。
技術(shù)背景在半導(dǎo)體芯片制造過程中，通常需要對硅片表面用刷片機(jī)進(jìn)行清洗， 用刷片機(jī)上的刷片頭去除硅片背面的顆粒，保證硅片背面的高平整度。目前常見刷片機(jī)的刷片頭如圖1所示，包括傳動(dòng)軸21，刷子固定盤22，刷子 23，在刷洗硅片背面時(shí)僅僅依靠硅片本身的自轉(zhuǎn)和刷子的單向轉(zhuǎn)動(dòng)來進(jìn)行 清洗，由于刷子在相對較長的時(shí)間內(nèi)沒有往復(fù)運(yùn)動(dòng)，只是單方向?qū)杵?面清掃，顆粒清洗效率不高。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī) 刷片頭，其有較高的顆粒清洗效率。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是，包括主傳動(dòng)軸、支 架，還包括行星輪、外圈刷子固定盤、內(nèi)圈刷子固定盤，內(nèi)圈刷子固定盤 固定于主傳動(dòng)軸上并通過支架上的圓孔連接到驅(qū)動(dòng)軸，外圈刷子固定盤置 于固定在支架上的垂直調(diào)節(jié)卡的槽內(nèi)，行星輪通過行星輪固定軸固定于支 架上，嚙合于內(nèi)圈刷子固定盤同外圈刷子固定盤之間并可以做自由旋轉(zhuǎn)運(yùn) 動(dòng)，內(nèi)圈刷子固定盤及外圈刷子固定盤上分別固定有刷子，支架固定在刷片機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分。垂直調(diào)節(jié)卡可以過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲固定于支架上，垂直調(diào)節(jié)卡同 支架間的間隔距離可通過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲調(diào)節(jié)。本發(fā)明的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭，其將刷子分為兩組， 并且兩組做實(shí)時(shí)相對運(yùn)動(dòng)，通過刷子的相對運(yùn)動(dòng)來起到對顆粒的往復(fù)沖擊， 并可以通過調(diào)整轉(zhuǎn)速來實(shí)現(xiàn)對不同顆粒的脫離共振頻率的匹配，從而提 高清除效率。


圖l是現(xiàn)有刷片頭示意圖；圖2是本發(fā)明用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭的俯視圖；圖3是本發(fā)明用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。 本發(fā)明的一實(shí)施例如圖2、圖3所示，圖中示出的是一用于半導(dǎo)體制 造工藝中的刷片機(jī)的共軸反轉(zhuǎn)刷片頭，包括主傳動(dòng)軸1、行星輪固定軸2、 行星輪、垂直調(diào)節(jié)卡7、外圈刷子垂直位置調(diào)節(jié)螺絲3、支架4、外圈刷 子固定盤5、內(nèi)圈刷子固定盤6，內(nèi)圈刷子固定盤6固定于主傳動(dòng)軸1上 并通過支架4上的圓孔連接到驅(qū)動(dòng)軸，外圈刷子固定盤5置于垂直調(diào)節(jié)卡 7的槽內(nèi)，垂直調(diào)節(jié)卡7通過外圈刷子垂直位置調(diào)節(jié)螺絲3可活動(dòng)地固定 在支架上，行星輪通過行星齒輪固定軸2固定于支架上，嚙合于內(nèi)圈刷子 固定盤6同外圈刷子固定盤5之間并可以做自由旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，內(nèi)圈刷子固定 盤6及外圈刷子固定盤5上分別固定有刷子9、 8。當(dāng)主傳動(dòng)軸1在驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)內(nèi)圈刷子固定盤6及其刷子9沿A方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)行星 齒輪沿B方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)外圈刷子固定盤5及其刷子8沿同內(nèi)圈刷子 固定盤6相反的方向C轉(zhuǎn)動(dòng)，從而通過兩組刷子的方向相反的相對運(yùn)動(dòng)來 對硅片背面的顆粒進(jìn)行往復(fù)沖擊，通過兩組刷子的相對運(yùn)動(dòng)對顆粒的往復(fù) 沖擊，提高清除效率。通過調(diào)整外圈刷子垂直位置調(diào)節(jié)螺絲3，可以調(diào)整 外圈刷子固定盤5上的刷子8相對于硅片的位置及其對硅片的壓力。行星 輪可以為齒輪，內(nèi)圈刷子固定盤外緣及內(nèi)圈刷子固定盤內(nèi)緣有同行星齒輪 嚙合匹配的齒輪；連接內(nèi)、外圈刷子固定盤的上述行星輪也可以換成樹脂 或者橡膠等軟質(zhì)有彈性且耐磨的圓形輪子,相應(yīng)內(nèi)圈刷子固定盤的外緣及 外圈刷子固定盤的內(nèi)緣也為軟質(zhì)有彈性耐磨材料，依靠行星輪同內(nèi)、外圈 刷子固定盤彼此之間的摩擦力來完成傳動(dòng)。支架固定在刷片機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部 分，如轉(zhuǎn)軸的軸套，機(jī)器外殼等。本發(fā)明的刷片頭的轉(zhuǎn)速可以根據(jù)需要做調(diào)整，實(shí)現(xiàn)對不同顆粒的脫離 共振頻率的匹配，以適應(yīng)不同顆粒的清除要求，提高清除效率。本發(fā)明的刷片頭的驅(qū)動(dòng)方式可以調(diào)整，比如， 一直以同一轉(zhuǎn)速作業(yè)， 或者不同轉(zhuǎn)速交替作業(yè)，如正轉(zhuǎn)，反轉(zhuǎn)以一定周期交替。本發(fā)明的刷片頭，可以使用于各種硅片清洗設(shè)備，包括6, 8， 12， 18 等英寸硅片的制造設(shè)備。本發(fā)明刷片頭上分布兩組刷子，并且上述刷子能夠做實(shí)時(shí)相對旋轉(zhuǎn) 運(yùn)動(dòng)，通過刷子的相對運(yùn)動(dòng)來起到對顆粒的往復(fù)沖擊，并可以通過調(diào)整轉(zhuǎn) 速來實(shí)現(xiàn)對不同顆粒的脫離共振頻率的匹配，從而提高清除效率。
權(quán)利要求
1、 一種用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭，包括主傳動(dòng)軸、支 架，其特征在于，還包括行星輪、外圈刷子固定盤、內(nèi)圈刷子固定盤，內(nèi) 圈刷子固定盤固定于主傳動(dòng)軸上并通過支架上的圓孔連接到驅(qū)動(dòng)軸，外圈 刷子固定盤置于固定在支架上的垂直調(diào)節(jié)卡的槽內(nèi)，行星輪通過行星輪固 定軸固定于支架上，嚙合于內(nèi)圈刷子固定盤同外圈刷子固定盤之間并可以 做自由旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，內(nèi)圈刷子固定盤及外圈刷子固定盤上分別固定有刷子， 支架固定在刷片機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭， 其特征在于，垂直調(diào)節(jié)卡通過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲固定于支架上，垂直調(diào)節(jié) 卡同支架間的間隔距離可通過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲調(diào)節(jié)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭， 其特征在于，行星輪為齒輪，內(nèi)圈刷子固定盤外緣及外圈刷子固定盤內(nèi)緣 有同行星輪齒輪嚙合匹配的齒輪。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭， 其特征在于，行星輪為軟質(zhì)有彈性耐磨的圓形輪子，內(nèi)圈刷子固定盤的外 緣及外圈刷子固定盤的內(nèi)緣為軟質(zhì)有彈性耐磨材料，行星輪嚙合于內(nèi)圈刷 子固定盤及外圈刷子固定盤之間并與其相互摩擦。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭， 其特征在于，行星輪為樹脂或者橡膠圓形輪子。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭，其包括主傳動(dòng)軸、支架，還包括行星輪、外圈刷子固定盤、內(nèi)圈刷子固定盤，內(nèi)圈刷子固定盤固定于主傳動(dòng)軸上并通過支架上的圓孔連接到驅(qū)動(dòng)軸，外圈刷子固定盤置于固定在支架上的垂直調(diào)節(jié)卡的槽內(nèi)，行星輪通過行星輪固定軸固定于支架上，嚙合于內(nèi)圈刷子固定盤同外圈刷子固定盤之間并可以做自由旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，內(nèi)圈刷子固定盤及外圈刷子固定盤上分別固定有刷子，支架固定在刷片機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分；垂直調(diào)節(jié)卡通過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲固定于支架上，垂直調(diào)節(jié)卡同支架間的間隔距離可通過垂直位置調(diào)節(jié)螺絲調(diào)節(jié)。本發(fā)明的用于半導(dǎo)體制造工藝中的刷片機(jī)刷片頭，有較高的顆粒清洗效率。
文檔編號B08B1/04GK101310875SQ20071004124
公開日2008年11月26日 申請日期2007年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月25日
發(fā)明者強(qiáng) 伍, 寧開明, 瑋 毛, 陳志剛 申請人:上海華虹Nec電子有限公司