技術(shù)編號：2800743
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及光學(xué)測量裝置，特別是一種涉及弱位相畸變波面的全息位相差放大裝置，主要用于高精密光學(xué)元件的面形檢測、弱畸變波面的放大測試等等，測量精度可達到納米量級。背景技術(shù)目前，在國內(nèi)外光學(xué)工業(yè)界，測量波面的方法是干涉法，可測精度達到λ/30(λ為測量光的波長)，而實際需要達λ/100或更短，也就是納米級。在某種程度上，它制約了光學(xué)加工所能達到的水平，國內(nèi)差不多所有高質(zhì)量的干涉儀都是從國外進口。高精密的波面測試裝置在我國的工業(yè)、國防、科研等領(lǐng)域有重大的市場需...
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