移載裝置制造方法
【專利摘要】一種移載裝置，適于輸送一基板，并包含一基座及一第一移載機構(gòu)。該基座包括一呈水平延伸的軌道。該第一移載機構(gòu)包括一第一移載單元、一呈垂直延伸并位于該軌道下方的第一軌道、一滑接于該第一軌道并沿一垂直方向相對該第一軌道滑動的第一垂直滑移件，及一第一剛性風(fēng)管組。該第一移載單元具有一滑接于軌道并沿一水平方向相對該軌道滑動的第一水平滑移件，一第一連接件，一第一驅(qū)動馬達，及一與第一水平滑移件間隔設(shè)置且用于吸附基板的第一吸盤。第一水平滑移件帶動第一吸盤在一第一位置及一第二位置間移動，于第一位置，第一吸盤吸附基板，于第二位置，基板脫離第一吸盤。本移載裝置具有剛性風(fēng)管組，不易變形，運作時不易產(chǎn)生粉塵，曝光制程良好。
【專利說明】移載裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種移載裝置，特別是涉及一種能夠穩(wěn)固的帶動待曝光基板移動的移載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的曝光機適于對一基板進行曝光，該基板為一待曝光基板。曝光機的移載裝置，是通過一入料的移載機構(gòu)，將一基板并移載至一曝光平臺，基板在曝光平臺完成曝光后，由一出料的移載機構(gòu)，將基板移至下一道制程。入料的移載機構(gòu)及出料的移載機構(gòu)皆是通過帶動軟性管，才能完成移動。然而，軟性管在移動過程中，軟性管產(chǎn)生變形并造成摩擦，進而產(chǎn)生粉塵，更進一步影響曝光制程。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于提供一種運作時，不易產(chǎn)生粉塵的移載裝置。
[0004]于是，本實用新型移載裝置，適于輸送一基板，該移載裝置包含:
[0005]一基座，包括一呈水平延伸的軌道，該軌道具有兩個位于相反側(cè)的末端；及
[0006]一第一移載機構(gòu),包括
[0007]—第一移載單元，具有一滑接于該軌道并沿一水平方向相對該軌道滑動的第一水平滑移件、一連設(shè)于該第一水平滑移件的第一連接件、一設(shè)置于該第一水平滑移件的第一驅(qū)動馬達，及一與該第一水平滑移件間隔設(shè)置且用于吸附該基板的第一吸盤；
[0008]一第一軌道，呈垂直延伸，并位于該軌道下方，且介于所述兩末端之間；
[0009]一第一垂直滑移件，滑接于該第一軌道并沿一垂直方向相對該第一軌道滑動；及
[0010]一第一剛性風(fēng)管組，包括一樞接于該第一連接件的第一端，及一樞接于該第一垂直滑移件的第二端，
[0011]該第一水平滑移件帶動該第一吸盤在一第一位置及一第二位置間移動，于該第一位置，該第一吸盤吸附該基板，于該第二位置，該基板脫離該第一吸盤。
[0012]較佳地，其中，該第一剛性風(fēng)管組具有一樞接于該第一連接件的第一旋轉(zhuǎn)接頭、一樞接于該第一垂直滑移件的第一接頭，及一連接于該第一旋轉(zhuǎn)接頭與該第一接頭的第一剛性風(fēng)管，該第一端是位于該第一旋轉(zhuǎn)接頭，該第二端是位于該第一接頭。
[0013]較佳地，其中，該第一軌道為一導(dǎo)軌，該第一垂直滑移件為一導(dǎo)塊。
[0014]較佳地，其中，該第一軌道為一滑軌，該第一垂直滑移件為一滑塊。
[0015]較佳地，其中，該第一吸盤具有一第一吸附面，及多個彼此相間隔且自該第一吸附面凹陷形成的第一吸氣孔。
[0016]較佳地,該移載裝置還包含一第二移載機構(gòu)，該第一移載機構(gòu)與該第二移載機構(gòu)分別左右設(shè)置該基座的兩相對位置，該第二移載機構(gòu)包括一第二移載單兀、一第二軌道、一第二垂直滑移件，及一第二剛性風(fēng)管組，該第二移載單元具有一滑接于該軌道的第二水平滑移件、一連設(shè)于該第二水平滑移件的第二連接件、一設(shè)置于該第二水平滑移件的第二驅(qū)動馬達，及一與該第二水平滑移件間隔設(shè)置且用于吸附該基板的第二吸盤，該第二水平滑移件相對于該第一水平滑移件一側(cè)設(shè)置并沿該水平方向相對該軌道滑動，該第二軌道呈垂直延伸，并位于該軌道下方，且介于所述兩末端之間，該第二垂直滑移件滑接于該第二軌道并沿該垂直方向相對該第二軌道滑動，該第二剛性風(fēng)管組包括一樞接于該第一連接件的第三端，及一樞接于該第二垂直滑移件的第四端，該第二水平滑移件帶動該第二吸盤在該第二位置及一第三位置間移動，于該第二位置，該第二吸盤吸附該基板，于該第三位置，該基板脫離該第二吸盤。
[0017]較佳地，其中，該第二剛性風(fēng)管組具有一樞接該第二連接件的第二旋轉(zhuǎn)接頭、一樞接于該第二垂直滑移件的第二接頭，及一連接于該第二旋轉(zhuǎn)接頭與該第二接頭的第二剛性風(fēng)管，該第三端是位于該第二旋轉(zhuǎn)接頭，該第四端是位于該第二接頭。
[0018]較佳地，其中，該第二軌道為一導(dǎo)軌，該第二垂直滑移件為一導(dǎo)塊。
[0019]較佳地，其中，該第二軌道為一滑軌，該第二垂直滑移件為一滑塊。
[0020]較佳地，其中，該第二吸盤具有一第二吸附面，及多個彼此相間隔且自該第二吸附面凹陷形成的第二吸氣孔。
[0021]本實用新型的有益效果在于:通過第一移載機構(gòu)的第一剛性風(fēng)管在第一位置及第二位置間移動時，及第二移載機構(gòu)的第二剛性風(fēng)管在第二位置及第三位置間移動時，不產(chǎn)生變形而能維持剛性，不易發(fā)生摩擦，降低產(chǎn)生粉塵機率，而保有良好的曝光制程。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是一立體圖，說明本實用新型移載裝置的一較佳實施例；
[0023]圖2是一另一角度的立體圖，說明該較佳實施例；
[0024]圖3是一示意圖，說明該較佳實施例與一曝光平臺；
[0025]圖4是一放大示意圖，說明該較佳實施例的其中一第一吸盤；
[0026]圖5是一放大示意圖，說明該較佳實施例的其中一第二吸盤；
[0027]圖6是一動作示意圖，說明于一第一位置，二第一吸盤吸附一基板；
[0028]圖7是一對應(yīng)圖6的側(cè)視圖；
[0029]圖8是一動作示意圖，說明由該第一位置移動至一第二位置時，一第一垂直滑移件相對一第一軌道滑動關(guān)系；
[0030]圖9 一動作示意圖，說明該第二位置，該基板準備脫離二第一吸盤而置于該曝光平臺；
[0031]圖10是一對應(yīng)圖9的側(cè)視圖；
[0032]圖11是一動作不意圖，該第一移載機構(gòu)回到該第一位置；
[0033]圖12是一動作示意圖，說明于該第二位置，二第二吸盤吸附該基板；及
[0034]圖13是一動作示意圖，說明于一第三位置，該基板脫離二第二吸盤。
【具體實施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。
[0036]參閱圖1、圖2與圖3，本實用新型移載裝置之一較佳實施例，移載裝置包含一第一移載機構(gòu)1、一第二移載機構(gòu)2與一基座3,移載裝置應(yīng)用在曝光機且適于輸送一基板4(見圖6),曝光機包含一曝光平臺5,該基板4為一待曝光基板,移載裝置不僅是應(yīng)用在曝光機，也可應(yīng)用在任何需要輸送基板4的工具機(圖末示)。需說明的是，圖1與圖2中為了方便了解移載裝置的結(jié)構(gòu)，隱藏了曝光平臺5的結(jié)構(gòu)。
[0037]基座3包括二前后間隔且呈水平延伸的軌道31，各軌道31具有兩個位于相反側(cè)的末端311。第一移載機構(gòu)I與第二移載機構(gòu)2分別左右設(shè)置基座3的兩相對位置。第一移載機構(gòu)I相對曝光平臺5而言，為入料的移載機構(gòu)，第二移載機構(gòu)2為出料的移載機構(gòu)。也就是基板4由第一移載機構(gòu)I依序輸送至曝光平臺5，及第二移載機構(gòu)2。曝光平臺5可受驅(qū)動沿垂直方向作升降移動，曝光平臺5的結(jié)構(gòu)及作動原理屬現(xiàn)有技藝，在此不再詳細介紹。
[0038]第一移載機構(gòu)I包括一第一移載單元11、一第一軌道12、一第一垂直滑移件13，及一第一剛性風(fēng)管組14。第一移載單元11具有二分別滑接于二軌道31并分別沿一水平方向相對二軌道31滑動的第一水平滑移件110、一連設(shè)于二第一水平滑移件110的第一連接件111、一設(shè)置于二第一水平滑移件110之間的第一驅(qū)動馬達112、一連接二第一水平滑移件110上方且設(shè)置于第一連接件111的一側(cè)的第一移載本體113，及二與二第一水平滑移件110相間隔且位于第一移載本體113下方且用于吸附基板4的第一吸盤114。第一軌道12呈垂直延伸，并位于軌道31下方，且介于兩末端311之間。第一垂直滑移件13滑接于第一軌道12并沿一垂直方向相對第一軌道12滑動。第一剛性風(fēng)管組14包括一樞接于第一連接件111的第一端141，及一樞接于第一垂直滑移件13的第二端142。
[0039]具體來說，第一剛性風(fēng)管組14具有一樞接于第一連接件111的第一旋轉(zhuǎn)接頭143、一樞接于第一垂直滑移件13的第一接頭144，及一連接于第一旋轉(zhuǎn)接頭143與第一接頭144的第一剛性風(fēng)管145，第一端141是位于第一旋轉(zhuǎn)接頭143，第二端142是位于第一接頭144。如圖4所示,各第一吸盤114具有一遠離第一移載本體113的第一吸附面115，及多個彼此相間隔且自第一吸附面115凹陷形成的第一吸氣孔116 (圖4僅示意其中一第一吸盤114及部分的第一吸氣孔116)。各第一吸盤114以管路連通第一連接件111。
[0040]參閱圖1與圖2，為了提升移載基板4的效率，而設(shè)置了第二移載機構(gòu)2，且第二移載機構(gòu)2與第一移載機構(gòu)I的結(jié)構(gòu)大致相同。第二移載機構(gòu)2包括一第二移載單兀21、一第二軌道22、一第二垂直滑移件23，及一第二剛性風(fēng)管組24。第二移載單元21具有二分別滑接于二軌道31并分別沿一水平方向相對二軌道31滑動的第二水平滑移件210、一連設(shè)于二第二水平滑移件210的第二連接件211、一設(shè)置于二第二水平滑移件210之間的第二驅(qū)動馬達212、一連接二第二水平滑移件210上方且設(shè)置于第二連接件211的一側(cè)的第二移載本體213，及二與二第二水平滑移件210相間隔且位于第二移載本體213下方并用于吸附基板4的第二吸盤214。第二軌道22呈垂直延伸，并位于軌道31下方，且介于兩末端311之間。第二垂直滑移件23滑接于第二軌道22并沿一垂直方向相對第二軌道22滑動。第二剛性風(fēng)管組24包括一樞接于該第二連接件211的第三端241，及一樞接于該第二垂直滑移件23的第四端242。
[0041 ] 具體來說，第二剛性風(fēng)管組24具有一樞接于第二連接件211的第二旋轉(zhuǎn)接頭243、一樞接于第二垂直滑移件23的第二接頭244，及一連接于第二旋轉(zhuǎn)接頭243與第二接頭244的第二剛性風(fēng)管245。第三端241是位于第二旋轉(zhuǎn)接頭243，第四端242是位于第二接頭244。如圖5所示，各第二吸盤214具有一遠離第二移載本體213的第二吸附面215，及多個彼此相間隔且自第二吸附面215凹陷形成的第二吸氣孔216(圖5僅示意其中一第二吸盤214及部分的第二吸氣孔216)。各第二吸盤214亦以管路連通第二連接件211。
[0042]參閱圖1與圖2，需說明的是，第一剛性風(fēng)管145及第二剛性風(fēng)管245是提供吸附力來源的氣體的流道，第一接頭144及第二接頭244是屬于一般接頭，并分別還連接其它的進氣管，以作為氣體來源。在本實施例中，第一剛性風(fēng)管145及第二剛性風(fēng)管245為金屬材質(zhì)制成，但不以此為限，第一剛性風(fēng)管145及第二剛性風(fēng)管245也可為高硬度材質(zhì)制成。第一剛性風(fēng)管組14及第二剛性風(fēng)管組24為適應(yīng)長期性的旋轉(zhuǎn)，于第一旋轉(zhuǎn)接頭143與第一剛性風(fēng)管145及第二旋轉(zhuǎn)接頭243與第二剛性風(fēng)管245之間分別裝設(shè)有迫緊組件(packing,圖未示)。
[0043]再者，第一軌道12及第二軌道22彼此左右相間隔，且分別固定于一固定處(圖未示)。第一軌道12及第二軌道22分別為導(dǎo)軌，第一垂直滑移件13及第二垂直滑移件23分別為導(dǎo)塊。較佳者，二軌道31、第一軌道12及第二軌道22分別為滑軌，第一垂直滑移件13及第二垂直滑移件23分別為滑塊，而滑軌與滑塊的配合，可使第一軌道12、第一垂直滑移件13及第二軌道22、第二垂直滑移件23在往復(fù)作動中，摩擦阻力最小，以及不需像導(dǎo)塊與導(dǎo)軌，在往復(fù)作動時會不順暢，需加油潤滑。須補充說明的是，在本實施例移載裝置是以二軌道31、二第一水平滑移件110、第一驅(qū)動馬達112、二第二水平滑移件210，及一第二驅(qū)動馬達212舉例說明，也就是雙側(cè)式線性馬達的態(tài)樣，但不以此為限，一軌道31、一第一水平滑移件110、第一驅(qū)動馬達112、一第二水平滑移件210，及一第二驅(qū)動馬達212也可實施，也就是單側(cè)式線性馬達的態(tài)樣。
[0044]另一方面，在移動過程中，二第一吸盤114及二第二吸盤214的吸附力能穩(wěn)固地進行基板4的輸送，避免在輸送過程中基板4因風(fēng)阻的影響而與二第一吸盤114的第一吸附面115及二第二吸盤214的第二吸附面215分離。且第一吸盤114、第二吸盤214的數(shù)量不以兩個為限，也可各為一個，當然也視實際需求調(diào)整數(shù)量。
[0045]以下說明本實施例移載裝置的移載基板4的操作過程:
[0046]參閱圖6至圖10，二第一水平滑移件110 (見圖1)帶動第一吸盤114在一第一位置及一第二位置間移動。參閱圖6與圖7，于第一位置，二第一吸盤114吸附基板4。也就是第一移載機構(gòu)I的二第一吸盤114的所述第一吸氣孔116(見圖4)會產(chǎn)生吸力，使基板4吸附在二第一吸附面115。參閱圖8至圖10，第一驅(qū)動馬達112驅(qū)動二第一水平滑移件110沿箭頭I方向往曝光平臺5移動，并帶動第一吸盤114沿二軌道31作水平方向滑移，二第一水平滑移件110還帶動第一剛性風(fēng)管組14擺動，第一旋轉(zhuǎn)接頭143會相對第一連接件111旋轉(zhuǎn)，使第一垂直滑移件13沿第一軌道12作垂直方向滑移。
[0047]更具體來說，一開始二第一水平滑移件110沿二軌道31水平移動時，第一剛性風(fēng)管145鄰近第一旋轉(zhuǎn)接頭143相對于鄰近第一接頭144處于左傾時，第一垂直滑移件13相對第一軌道12是向下移動。二第一水平滑移件110繼續(xù)沿二軌道31水平移動時，使第一剛性風(fēng)管145鄰近第一旋轉(zhuǎn)接頭143相對于鄰近第一接頭144處于同一鉛直線時，第一垂直滑移件13相對第一軌道12是位于低點。最后，二第一水平滑移件110還繼續(xù)沿二軌道31水平移動時，第一剛性風(fēng)管145鄰近第一旋轉(zhuǎn)接頭143相對于鄰近第一接頭144處于右傾時，第一垂直滑移件13相對第一軌道12是向上移動。
[0048]接著將基板4輸送至曝光平臺5上方，也就是于第二位置，基板4脫離二第一吸盤114。此時二第一吸盤114的所述第一吸氣孔116會停止吸氣，以使基板4脫離二第一吸附面115并置于曝光平臺5上，以進行曝光作業(yè)。而第一移載機構(gòu)I會依前述步驟的反向操作，沿箭頭II方向回到第一位置而等待吸附下一片基板4，如圖11所示。
[0049]參閱圖12與圖13，當基板4的曝光作業(yè)完成后，第二移載機構(gòu)2會類似第一移載機構(gòu)I的操作方式，但是方向相反將基板4移出曝光平臺5而至下一道制程，也就是第二水平滑移件210(見圖2)帶動二第二吸盤214在一第二位置及一第三位置間移動。如圖12所示，第二水平滑移件210沿箭頭III方向移至第二位置，二第二吸盤214吸附基板4 ;如圖13所示，第二水平滑移件210沿箭頭IV方向至第三位置，基板4脫離二第二吸盤214，繼而基板4進入下一道制程。故第二移載機構(gòu)2作動方式，在此不再詳加說明。
[0050]參閱圖6與圖9，借由第一水平滑移件110帶動第一吸盤114在第一位置及第二位置間移動，參閱圖12與圖13，及二第二水平滑移件210帶動第二吸盤214在第二位置及第三位置間移動，來達成連續(xù)基板4的移載過程。由于本實施例的第一移載機構(gòu)I的第一剛性風(fēng)管145在第一位置及第二位置間移動時，及第二移載機構(gòu)2的第二剛性風(fēng)管245在第二位置及第三位置間移動時，相較于先前技術(shù)的軟性管(圖未示)不產(chǎn)生變形而能維持剛性，不易發(fā)生摩擦，降低產(chǎn)生粉塵機率，而保有良好的曝光制程。不僅如此第一剛性風(fēng)管145及第二剛性風(fēng)管245的耐用度遠大于軟性管(圖未示)的耐用度，更能提高使用壽命。
[0051]綜上所述，本實施例移載裝置，通過第一移載機構(gòu)I的第一剛性風(fēng)管145在第一位置及第二位置間移動時，及第二移載機構(gòu)2的第二剛性風(fēng)管245在第二位置及第三位置間移動時，不產(chǎn)生變形而能維持剛性，不易發(fā)生摩擦，降低產(chǎn)生粉塵機率，而保有良好的曝光制程，故確實能達成本實用新型的目的。
【權(quán)利要求】
1.一種移載裝置，適于輸送一基板；其特征在于:該移載裝置包含 一基座，包括一呈水平延伸的軌道，該軌道具有兩個位于相反側(cè)的末端；及 一第一移載機構(gòu)，包括 一第一移載單元，具有一滑接于該軌道并沿一水平方向相對該軌道滑動的第一水平滑移件、一連設(shè)于該第一水平滑移件的第一連接件、一設(shè)置于該第一水平滑移件的第一驅(qū)動馬達，及一與該第一水平滑移件間隔設(shè)置且用于吸附該基板的第一吸盤； 一第一軌道，呈垂直延伸，并位于該軌道下方，且介于所述兩末端之間； 一第一垂直滑移件，滑接于該第一軌道并沿一垂直方向相對該第一軌道滑動；及 一第一剛性風(fēng)管組，包括一樞接于該第一連接件的第一端，及一樞接于該第一垂直滑移件的第二端， 該第一水平滑移件帶動該第一吸盤在一第一位置及一第二位置間移動，于該第一位置，該第一吸盤吸附該基板，于該第二位置，該基板脫離該第一吸盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述移載裝置，其特征在于:該第一剛性風(fēng)管組具有一樞接于該第一連接件的第一旋轉(zhuǎn)接頭、一樞接于該第一垂直滑移件的第一接頭，及一連接于該第一旋轉(zhuǎn)接頭與該第一接頭的第一剛性風(fēng)管，該第一端是位于該第一旋轉(zhuǎn)接頭，該第二端是位于該弟一接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述移載裝置，其特征在于:該第一軌道為一導(dǎo)軌，該第一垂直滑移件為一導(dǎo)塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述移載裝置，其特征在于:該第一軌道為一滑軌，該第一垂直滑移件為一滑塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述移載裝置，其特征在于:該第一吸盤具有一第一吸附面，及多個彼此相間隔且自該第一吸附面凹陷形成的第一吸氣孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述移載裝置，還包含一第二移載機構(gòu)，該第一移載機構(gòu)與該第二移載機構(gòu)分別左右設(shè)置該基座的兩相對位置，該第二移載機構(gòu)包括一第二移載單元、一第二軌道、一第二垂直滑移件，及一第二剛性風(fēng)管組，該第二移載單元具有一滑接于該軌道的第二水平滑移件、一連設(shè)于該第二水平滑移件的第二連接件、一設(shè)置于該第二水平滑移件的第二驅(qū)動馬達，及一與該第二水平滑移件間隔設(shè)置且用于吸附該基板的第二吸盤，該第二水平滑移件相對于該第一水平滑移件一側(cè)設(shè)置并沿該水平方向相對該軌道滑動，該第二軌道呈垂直延伸，并位于該軌道下方，且介于所述兩末端之間，該第二垂直滑移件滑接于該第二軌道并沿該垂直方向相對該第二軌道滑動，該第二剛性風(fēng)管組包括一樞接于該第一連接件的第三端，及一樞接于該第二垂直滑移件的第四端，該第二水平滑移件帶動該第二吸盤在該第二位置及一第三位置間移動，于該第二位置，該第二吸盤吸附該基板，于該第三位置，該基板脫離該第二吸盤。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述移載裝置，其特征在于:該第二剛性風(fēng)管組具有一樞接該第二連接件的第二旋轉(zhuǎn)接頭、一樞接于該第二垂直滑移件的第二接頭，及一連接于該第二旋轉(zhuǎn)接頭與該第二接頭的第二剛性風(fēng)管，該第三端是位于該第二旋轉(zhuǎn)接頭，該第四端是位于該弟二接頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述移載裝置，其特征在于:該第二軌道為一導(dǎo)軌，該第二垂直滑移件為一導(dǎo)塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述移載裝置，其特征在于:該第二軌道為一滑軌，該第二垂直滑移件為一滑塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述移載裝置，其特征在于:該第二吸盤具有一第二吸附面，及多個彼此相間隔且自該第二`吸附面凹陷形成的第二吸氣孔。
【文檔編號】G03F7/20GK203402689SQ201320463803
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月31日
【發(fā)明者】林振弘, 汪晨偉, 陳明宗 申請人:志圣工業(yè)股份有限公司