專利名稱：電動提升機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體刻蝕設備中的電動提升機構，特別是一種應用于微電子技術領域中的半導體刻蝕設備中的電動提升機構。
背景技術：
半導體設備中某些部件在維護中必須進行提升，比如刻蝕機在下電極維護時需要將上電極提升后移開，才能進行相關的操作。隨著加工芯片尺寸的增加，設備中的零部件尺寸和重量相應增加，需要移動的部分往往重量較大，難于靠人力完成，而逐步對單個零件操作會增大工作量，降低效率。因此必須借助工具才能進行重量較大部件的移動。影響提升機構性能的因素有機構的可操作性、體積、運動平穩(wěn)性、精度等。根據部件的尺寸、重量、移動范圍等的不同，人們發(fā)明了多種方法進行提升。常見的有氣彈簧式翻轉機構、氣缸提升，螺紋提升，導軌絲杠提升等。
見圖1和圖2。圖1和圖2為半導體設備(刻蝕機)常用的氣彈簧翻轉式開蓋機構。圖中11為需要移開的部件，12為氣彈簧，13為轉軸，14為需要維護的部件。需要維修時，借助人力以13為轉軸把部件11旋轉打開以便維修部件14。該機構具有兩個缺點1.翻轉方向、角度受到設備的限制，需要移開的部件11翻轉后需要有放置的空間和支撐的物體；2.需要有人力的輔助，不能實現自動化，效率低。
圖3和圖4為一種氣動提升機構。11為需要移開的部件，部件，15為連接件，16為氣缸。需要維修時，氣缸16的活塞運動帶動需要提升的部件11運動，還可以手動使需要提升的部件11旋轉，以方便需要維護的部件14的維護。該種氣動提升機構具有兩個缺點1.當需要移開的部件11運動的位移比較大時，氣缸提升機構的體積大，占用面積大；2.控制復雜，并且無法實現精確的位置控制。

發(fā)明內容
(一)要解決的技術問題本發(fā)明的目的在于針對上述現有技術的不足，提供一種使用方便、效率高，且負載范圍大的位置控制的電動提升機構。
(二)技術方案為實現上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案本發(fā)明電動提升機構，包括豎直的導軌絲桿、與導軌絲桿配合的滑塊以及電機，其中導軌絲桿上設有用于連接待移動部件的連接件，導軌絲桿的下端部設有聯軸器，聯軸器的中軸端安裝有大傳動輪，所述電機的輸出軸上裝有小傳動輪，大傳動輪和小傳動輪之間設有傳動帶。
其中所述聯軸器的中軸上裝有制動器。
其中所述大傳動輪和小傳動輪均為皮帶輪或齒輪。
其中所述滑塊上方的導軌絲桿上設有位置傳感器。
(三)有益效果本發(fā)明的電動提升機構的優(yōu)點和積極效果在于本發(fā)明包括導軌絲桿、滑塊、電機，可以實現自動控制，使用方便、效率高，且負載范圍大；而且，還可以通過調節(jié)電機的轉速控制滑塊的運動速度。


圖1是現有的氣彈簧翻轉式開蓋機構的結構示意圖，刻蝕機為正常工作狀態(tài)；圖2是現有的氣彈簧翻轉式開蓋機構的結構示意圖，刻蝕機為停止工作狀態(tài)，需要移開的部件已經被移走；圖3是現有的氣動提升機構的結構示意圖，刻蝕機為正常工作狀態(tài)；
圖4是現有的氣動提升機構的結構示意圖，刻蝕機為停止工作狀態(tài)，需要移開的部件已經被移走；圖5是本發(fā)明電動提升機構使用狀態(tài)一的結構示意圖；圖6是本發(fā)明電動提升機構使用狀態(tài)二的結構示意圖；圖7是本發(fā)明電動提升機構的結構示意圖。
圖中1.導軌絲桿；2.連接件；3.滑塊；4.聯軸器；5.制動器；6.大皮帶輪；7.皮帶；8.小皮帶輪；9.減速器；10.電機；11.需要移開的部件；12.氣彈簧；13.轉軸；14.需要維護的部件；15.連接件；16.氣缸；17.下電極；18.上電極II；19.上電極I。
具體實施例方式
下面結合附圖，進一步詳細說明本發(fā)明電動提升機構的具體實施方式
，但不用來限制本發(fā)明的保護范圍。
參見圖7。本發(fā)明的電動提升機構，包括豎直的導軌絲桿1、與導軌絲桿1配合的滑塊3、電機10及其減速器9，其中導軌絲桿1上設有用于連接待移動部件的連接件2，導軌絲桿1的下端部設有聯軸器4，聯軸器4的中軸端安裝有大皮帶輪6，所述電機10的輸出軸上裝有小皮帶輪8，大皮帶輪6和小皮帶輪8之間設有皮帶7。皮帶傳動可以有效避免下降運動時部件接觸的沖擊，不損壞零件。聯軸器4的中軸上裝有制動器5。制動器的作用在于當電機停止轉動時，使絲杠制動，提高安全性?；瑝K3上方的導軌絲桿1上設有位置傳感器(圖中未示出)，其用于精確控制滑塊3的行程。大皮帶輪6和小皮帶輪8還可以由齒輪等其他傳動輪代替。
本發(fā)明可以實現自動控制。通過調節(jié)電機10的轉速控制滑塊3的運動速度，而電機調速是很成熟的技術，容易實現。還可以通過控制電機轉動圈數，或者增加位置傳感器等可精確控制提升機構的行程。本發(fā)明的電動提升機構結構簡單，體積小。而且負載范圍大。
參見圖5和圖6。等離子反應裝置中的上電極II 18需要維護時，可以使用本發(fā)明的電動提升機構。用連接件2將上電極I 19與滑塊3連接在一起，啟動電機10，電機10經減速器9變速后，其輸出軸帶動小皮帶輪8轉動，通過皮帶7的傳遞作用，大皮帶輪6隨之轉動，大皮帶輪6通過聯軸器帶動導軌絲桿1轉動，與導軌絲桿1配合的滑塊3沿導軌向上移動到一定位置后，關閉電機10電源，電機10停止轉動，在制動器的作用下，導軌絲桿1停止轉動，上電極I 19連同滑塊3一起停留在某一位置。這時就可以進行上電極II18的維修了。根據具體的空間環(huán)境狀況，還可以人工將上電極I 19旋轉至合適位置。
當需要維修下電極17時，將上電極I 19、上電極II 18同時連接到滑塊3上，不會影響運動的精度和平穩(wěn)性。其余動作過程與維護上電極II 18相同，不再詳述。
以上為本發(fā)明的最佳實施方式，依據本發(fā)明公開的內容，本領域的普通技術人員能夠顯而易見地想到的一些雷同、替代方案，均應落入本發(fā)明保護的范圍。
權利要求
1.電動提升機構，其特征在于包括豎直的導軌絲桿(1)、與導軌絲桿(1)配合的滑塊(3)以及電機(10)，其中導軌絲桿(1)上設有用于連接待移動部件的連接件(2)，導軌絲桿(1)的下端部設有聯軸器(4)，聯軸器(4)的中軸端安裝有大傳動輪(6)，所述電機(10)的輸出軸上裝有小傳動輪(8)，大傳動輪(6)和小傳動輪(8)之間設有傳動帶(7)。
2.根據權利要求1所述的電動提升機構，其特征在于所述聯軸器(4)的中軸上裝有制動器(5)。
3.根據權利要求1所述的電動提升機構，其特征在于所述大傳動輪(7)和小傳動輪(8)均為皮帶輪或齒輪。
4.根據權利要求1所述的電動提升機構，其特征在于所述滑塊(3)上方的導軌絲桿(1)上設有位置傳感器。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導體刻蝕設備中的電動提升機構。本發(fā)明電動提升機構包括豎直的導軌絲桿、與導軌絲桿配合的滑塊以及電機，其中導軌絲桿上設有用于連接待移動部件的連接件，導軌絲桿的下端部設有聯軸器，聯軸器的中軸端安裝有大傳動輪，所述電機的輸出軸上裝有小傳動輪，大傳動輪和小傳動輪之間設有傳動帶。本發(fā)明的電動提升機構的優(yōu)點和積極效果在于本發(fā)明包括導軌絲桿、滑塊、電機，可以實現自動控制，使用方便、效率高，且負載范圍大；而且，還可以通過調節(jié)電機的轉速控制滑塊的運動速度。
文檔編號B66F11/00GK1850579SQ20051012637
公開日2006年10月25日 申請日期2005年12月8日 優(yōu)先權日2005年12月8日
發(fā)明者姚立強 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司