專利名稱：激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于各類激光設(shè)備的偏轉(zhuǎn)掃描裝置。
背景技術(shù)：
目前，在各類激光設(shè)備如激光電視、激光投影儀、光刻機(jī)等產(chǎn)品中，對于激光光束的偏轉(zhuǎn)掃描，從原理上有以下一些類型1、真空管振鏡偏轉(zhuǎn)它采用通電線圈在磁場中受力運(yùn)動并帶動偏轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)光線，其結(jié)構(gòu)由真空管玻璃殼、永久磁鐵、偏轉(zhuǎn)線圈、偏轉(zhuǎn)反射鏡、偏轉(zhuǎn)軸、無磨損彈性振動軸承、支架、引線組成。這種裝置偏轉(zhuǎn)速度快、偏轉(zhuǎn)角度大，性能可靠、工作穩(wěn)定、偏轉(zhuǎn)驅(qū)動功率小，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，周邊裝置的配合性較差，在固定方式上容易出現(xiàn)松動，其弧形表面易造成激光反射角的非線性失真。從制造工藝上看，這種結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品要求生產(chǎn)企業(yè)配備真空管生產(chǎn)線，設(shè)備投資成本很高，特別是現(xiàn)在半導(dǎo)體晶體管幾乎全部替代了電子真空管的現(xiàn)實(shí)技術(shù)基礎(chǔ)上，再組織生產(chǎn)這種結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品有較大的工藝難度。
2、電機(jī)驅(qū)動光學(xué)鏡片旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)掃描現(xiàn)有技術(shù)中，另一種處于實(shí)用狀態(tài)的激光偏轉(zhuǎn)裝置是電機(jī)驅(qū)動光學(xué)鏡片旋轉(zhuǎn)而對入射激光束實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)的技術(shù)方案，這種方案可以產(chǎn)生很大的偏轉(zhuǎn)角，只要電機(jī)轉(zhuǎn)速足夠高，也可以保證高速掃描的要求。其原理結(jié)構(gòu)如圖1所示由互相垂直的兩套同樣的單元組成，包括第一電機(jī)101和第一反射鏡102、第二電機(jī)103和第二反射鏡104，一個單元完成行偏轉(zhuǎn)，一個單元完成場偏轉(zhuǎn)。
但是鏡片旋轉(zhuǎn)到背部不反射激光時所占的時間間隔很長，無法與電視及投影儀等的高速回掃時間要求相適應(yīng)，因此無法應(yīng)用到這一領(lǐng)域。此外，這種方案還有兩個難以完全克服的技術(shù)難點(diǎn)，一是必須保證電機(jī)和配套支架的精度以減少機(jī)械振動；二是采用互相垂直的兩套同樣的單元，一個單元完成行偏轉(zhuǎn)，一個單元完成場偏轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)行和場兩個坐標(biāo)向的偏轉(zhuǎn)，入射激光31要經(jīng)過二次折射，反射或折射角精度很難控制，在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)中對產(chǎn)品的調(diào)整難度很高；因此本方案的裝置加工工藝要求非常高，往往難以實(shí)現(xiàn)或?qū)崿F(xiàn)時的加工成本極高。
3、電機(jī)驅(qū)動多棱鏡偏轉(zhuǎn)裝置還有一種多棱鏡的偏轉(zhuǎn)裝置，原理與上述方案相似，是以多棱鏡代替上述的平面鏡，這種方案現(xiàn)已廣泛應(yīng)用在激光打印機(jī)中，原理結(jié)構(gòu)如圖2所示，由電機(jī)105驅(qū)動多棱鏡41，對入射激光光束32進(jìn)行折射，可以實(shí)現(xiàn)大角度的偏轉(zhuǎn)和高速掃描，而且不用考慮消除回掃線的問題(因沒有往返運(yùn)動，不產(chǎn)生回掃線)。但其局限性主要有以下兩點(diǎn)一是只能實(shí)現(xiàn)單一的行偏轉(zhuǎn)或場偏轉(zhuǎn)，如要同時實(shí)現(xiàn)行與場的偏轉(zhuǎn)，也同樣要采用兩個單元，出現(xiàn)與前一方案相同的局限性，且折射光束更難以精確定位(兩個單元的時間配合上要十分精確)，這就對電機(jī)轉(zhuǎn)速控制提出了極高的要求且使整體結(jié)構(gòu)十分復(fù)雜；同時，這種棱鏡的制造精度要求極高，如稍有偏差就會造成反射光束不同行之間的相位偏離，使圖像變形。此外，這種結(jié)構(gòu)在采用高速電機(jī)運(yùn)行時，還要考慮反射面離心變形給反射角帶來的失真。
其他還有聲光偏轉(zhuǎn)、電光偏轉(zhuǎn)等方法，但目前都仍然停留在理論研究和試驗(yàn)階段，很難在現(xiàn)實(shí)中應(yīng)用，且從原理上實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)角還有很大的難度，很難產(chǎn)品化以應(yīng)用在電視、投影儀這類要求大偏轉(zhuǎn)角的設(shè)備中。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是要克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種易于實(shí)現(xiàn)，生產(chǎn)工藝簡單、制造成本低、易于控制的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置。
為此本實(shí)用新型提出了一種激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，包括殼體9、磁電動圈組合體、振膜1、反射鏡4；所述振膜罩設(shè)于所述殼體上，與所述殼體形成內(nèi)腔，所述磁電動圈組合體設(shè)置于所述殼體上或殼體內(nèi)，所述磁電動圈組合體具有振動端與所述振膜相連，所述反射鏡片設(shè)置于所述振膜表面。
上述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述磁電動圈組合體優(yōu)選四個，其振動端分別設(shè)置于所述反射鏡的四角或四邊對應(yīng)邊緣。
上述磁電動圈組合體包括動圈3、繞組12、定位支架7、磁體10、T鐵15；所述繞組設(shè)置于所述動圈的下部；所述動圈通過所述定位支架固定于所述殼體上，其振動端與所述振膜相連；所述磁體繞設(shè)于所述繞組周圍，并形成磁隙。所述每個磁電動圈繞組12包括行繞組和場繞組；同一行的兩個磁電動圈的行繞組反向連接，不同行的兩個磁電動圈的行繞組同向連接，所述各行繞組響應(yīng)于同一行偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流；同一場的兩個磁電動圈的場繞組反向連接，不同場的兩個磁電動圈的場繞組同向連接，所述各場繞組響應(yīng)于同一場偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流。所述磁隙為大于5mm的長行程線性磁隙。所述磁電動圈組合體的定位支架7包括定位支片71，所述定位支片具有雙層結(jié)構(gòu)，環(huán)繞支撐所述動圈3。
上述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述振膜開設(shè)有氣壓平衡孔2。所述氣壓平衡孔2開設(shè)于所述振膜與所述磁電動圈組合體的振動端相連接處和/或均勻?qū)ΨQ分布于所述振膜上。
上述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，還包括前端密封玻璃5、抽真空口8和密封接線端子6；所述密封玻璃密封固接于所述殼體前端，所述抽真空口8和密封接線端子6開設(shè)于所述殼體上。所述前端密封玻璃5具有鍍膜層。
本實(shí)用新型的有益效果是借鑒成熟的揚(yáng)聲器磁電動圈系統(tǒng)的原理，以簡單的方式產(chǎn)生理想的振鏡偏轉(zhuǎn)效果，基本利用現(xiàn)有揚(yáng)聲器廠的工裝設(shè)備，并減少了模具的種類和數(shù)量，其生產(chǎn)工藝簡單，制造成本可以控制得很低，為激光光束的高速偏轉(zhuǎn)掃描提供適于產(chǎn)品化的方案，為激光電視、投影儀和光刻機(jī)等設(shè)備提供掃描支持；在應(yīng)用中，也便于作為一個簡單整體部件進(jìn)行低成本更換，方便維修，甚至可以做成用戶可以自行簡單更換的部件，大大降低維護(hù)難度和成本。
本實(shí)用新型把四個象限的動圈系統(tǒng)組合在一個整體里，利用四個象限最容易控制振鏡的水平或垂直偏轉(zhuǎn)時的虛擬中心的定位，使入射光束在振鏡上產(chǎn)生均勻一致的偏轉(zhuǎn)角，用單個裝置就可以完成行和場偏轉(zhuǎn)，即減小了偏轉(zhuǎn)掃描裝置的體積，又保證了行場偏轉(zhuǎn)的精度；由于同時完成行和場偏轉(zhuǎn)，減少了影響偏轉(zhuǎn)精度的環(huán)節(jié)，可以提高偏轉(zhuǎn)的精度；由于本裝置基于成熟的磁電動圈系統(tǒng)原理，使工藝變得很簡單，制造成本可以控制到很低的水平。
增設(shè)氣壓平衡孔、抽真空口等，對整個裝置內(nèi)腔作抽真空處理，可以減少空氣的阻尼作用，保證動圈的高速振動，適度電視、投影儀等的高速掃描要求；同時也可以減少動圈振動噪聲的傳播，大大降低裝置本身的噪聲。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中電機(jī)驅(qū)動光學(xué)鏡片偏轉(zhuǎn)掃描的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)中電機(jī)驅(qū)動多棱鏡偏轉(zhuǎn)掃描裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一的偏轉(zhuǎn)掃描裝置正視圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例一的偏轉(zhuǎn)掃描裝置的側(cè)面剖視示意圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例一的偏轉(zhuǎn)掃描裝置的磁電動圈組合體結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型四個象限共8個繞組的串聯(lián)接線方式；圖7是本實(shí)用新型四個象限共8個繞組的并聯(lián)接線方式。
具體實(shí)施方式下面通過具體的實(shí)施例并結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。
實(shí)施例一利用現(xiàn)已十分成熟的揚(yáng)聲器磁電動圈系統(tǒng)的原理，建立一個四象限組合的振鏡偏轉(zhuǎn)裝置。每個象限的動圈中有兩個繞組，分別輸入行偏轉(zhuǎn)和場偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流，這樣，每個象限兩個繞組中的行場信號之間自動實(shí)時做出相加或相減的合成，帶動該象限的振鏡角處于與該時間輸入電流要求相符的位置上。整個鏡片在四個象限動圈的同時驅(qū)動下，形成以鏡片物理中心為虛擬支點(diǎn)的行偏和場偏組合運(yùn)動，最后使入射后反射出去的激光光束變成整體光柵。
如圖3、圖4所示的本例結(jié)構(gòu)示意圖，包括振膜1，優(yōu)選橡膠膜；每個象限上的動圈3，采用具有一定強(qiáng)度的鋁合金箔；激光束反射鏡4，為有超高光潔度鍍膜的鋁片粘貼于橡膠膜上；前端密封玻璃5，做鍍膜處理；各個動圈的密封接線端子6，通過編織引線11與各個繞組相連；每個動圈的定位支架7，與揚(yáng)聲器中的定位支架工藝要求相同；整個裝置的殼體9，由低碳鋼做成，其后部很厚的部分上分布四個孔，用于與T鐵15、磁體10組成四個象限的磁隙；每個象限上的磁體10，用于形成每個磁隙的磁場。橡膠膜片上的氣壓平衡孔2；在圖3中，在同一裝置中設(shè)置有四個動圈繞組，分別處于反射鏡4的四個頂角邊緣上，形成四個象限的偏轉(zhuǎn)驅(qū)動單元。每個動圈在受到行與場偏轉(zhuǎn)電流的驅(qū)動時，即會做出與該合成電流值相對應(yīng)的位移(出或進(jìn))，帶動與其相連的橡膠膜片振動，從而拉動該象限的光學(xué)反射鏡片的一角，使光學(xué)反射鏡片出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)。在四個象限的四個動圈同時受到行和場驅(qū)動電流的驅(qū)動時，光學(xué)反射鏡片就會根據(jù)行場電流做出的幅度要求，以鏡片的虛擬中心為支點(diǎn)，做出行和場的合成動作，使入射激光束反射角隨振鏡的振動出現(xiàn)行和場的偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而形成光柵。通過調(diào)整行或場驅(qū)動鋸齒波電流的幅度，即可很容易地改變行或場的振幅，從而改變光柵的行幅或場幅。
采用四個象限控制光學(xué)振鏡的四個角的振動，利用四個象限容易控制振鏡的水平或垂直偏轉(zhuǎn)時的虛擬中心的定位，使入射光束在振鏡上產(chǎn)生均勻一致的偏轉(zhuǎn)角，特別是當(dāng)光源與振鏡距離較近(為得到較大的偏轉(zhuǎn)角時就要使光源與振鏡距離更近些)時，失真容易得到放大，更不可忽視這種偏轉(zhuǎn)角失真。振鏡的虛擬中心的產(chǎn)生，依靠的是每對動圈一推一拉的推挽動作，在各磁電系統(tǒng)磁場強(qiáng)度基本一致且輸入電流相同的情況下，兩只動圈的推與拉的幅度基本一致，這樣就保證了振鏡以其物理中心為虛擬中心振動(扇動)。
每個磁電動圈組合體的結(jié)構(gòu)如圖5所示，包括定位支片71、極靴兼殼體9、磁體10、T鐵15、密封接線端子6、編織引線11、動圈3、繞組12、支撐定位鋁合金箔14。每個磁電動圈組合體都有自己單獨(dú)的定位支片，動圈通過支撐定位鋁合金箔片14與橡膠膜相連，構(gòu)成每個動圈的支撐定位結(jié)構(gòu)。四個單元都采用了大于5mm的長行程磁隙，以保證動圈繞組能在線性磁場區(qū)域中有足夠的行程，進(jìn)而保證光學(xué)振鏡能有足夠的偏轉(zhuǎn)度，為入射的激光光束產(chǎn)生足夠的折射偏轉(zhuǎn)角。該行程小于5mm時，振鏡偏轉(zhuǎn)振幅不足，無法產(chǎn)生足夠的偏轉(zhuǎn)角，大于5mm時，一是振膜會在振幅過大時碰撞定位支片的邊緣，造成振動失真，二是會對定位支片的工藝要求大幅度提高，要采用特殊造型、強(qiáng)度和彈性來保證振幅和定位，且還要保證動圈不受橡膠膜片的拉動而出現(xiàn)偏斜和擦圈。在對本裝置的結(jié)構(gòu)做進(jìn)一步修改后，仍可以采用更大的磁隙行程，如采用高強(qiáng)度動圈，加大定位支片和橡膠振膜之間的距離，同時采用雙層定位支片71支撐來防止橡膠膜對動圈的拉偏(兩個定位支片間保有一定距離)，這樣就可以實(shí)現(xiàn)更大的偏轉(zhuǎn)角。此外，如果全部磁電系統(tǒng)采用內(nèi)磁結(jié)構(gòu)，使各動圈之間距離縮短，同樣也可以很容易地實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)角，但要對定位支片作相應(yīng)技術(shù)和工藝的調(diào)整。
支撐振鏡的橡膠膜片上事先留有氣壓平衡孔2，用于抽真空時裝置內(nèi)前后腔的氣壓平衡，并防止在有部分空氣時對高速振動的橡膠膜片產(chǎn)生阻尼作用。全部裝置制作完畢后，將從其后部的抽真空口8對整個裝置做抽真空處理。抽真空的目的一是減少或消除裝置內(nèi)的空氣阻尼，保證各個動圈的高速振動；二是由于按照PAL電視制式的規(guī)定，行掃描頻率為15625Hz，場掃描頻率為50Hz，均處在人耳可以聽到的音頻范圍之內(nèi)，而偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流又是鋸齒波，會產(chǎn)生很刺耳的噪音，所以通過抽真空就可以適當(dāng)減少動圈振動時產(chǎn)生的機(jī)械噪音的直接傳播。本裝置在實(shí)際使用時，與機(jī)體結(jié)構(gòu)之間還可以加裝減震裝置和隔音裝置，進(jìn)一步降低噪音。
每個動圈的兩個繞組共4個線頭均用編織軟線11連接到殼體上的密封接線端子6上。每個接線端子均嵌封在殼體的出線孔上，出線孔四周要做良好的密封處理。
正面的前端密封玻璃5經(jīng)鍍膜處理，可以降低對入射激光束不必要的散射和折射。
整個裝置由外部提供行偏轉(zhuǎn)和場偏轉(zhuǎn)所需的鋸齒波電流。行消隱和場消隱則由激光調(diào)制線路提供，并與行偏和場偏信號同步。
以上結(jié)構(gòu)在實(shí)際形成為產(chǎn)品時，還可以變動設(shè)計，便于用沖壓模具批量加工，但四個象限驅(qū)動的原理不變。
圖6為繞組的串聯(lián)接法，111為行繞組接線端，112為場繞組接線端，113為公共端；圖7為繞組的并聯(lián)接法，121為行繞組接線，122為場繞組接線端，123為公共端。可以看到每個象限都有行和場驅(qū)動線圈，以1和2象限為例，同一行的兩個行繞組做反向連接，因此在同一驅(qū)動電流下，兩個繞組做相反方向的動作，從而帶動鏡片做行偏轉(zhuǎn)。2象限與3象限的不同行的行繞組則同向連接，這樣在同一行驅(qū)動電流下，這兩個象限做同方向的振動，保證鏡片做出正確的行偏轉(zhuǎn)。同理，場繞組的接法為同一場的場繞組反向連接，不同場的場繞組同向連接，以保證鏡片作出正確的場偏轉(zhuǎn)。
繞組接線法旨在保證四個象限的繞組既能分別受到行或場驅(qū)動信號的調(diào)制，同時又能在每個象限上得到行場信號的加減合成，以確定該象限的偏轉(zhuǎn)度(即動圈的振幅)。
在實(shí)際應(yīng)用時，行掃描或場掃描的兩對(四個繞組)也可以根據(jù)推動線路阻抗的要求改為并接，但須注意繞組的相位，必須保證每對動圈的推挽動作。
由于本裝置是四個象限完全相同的結(jié)構(gòu)，所以行和場繞組可互換方向，形成豎向光柵(圖像倒下)；此外，在實(shí)際應(yīng)用時需要改變行(或場)的掃描起始方向時，只要將行繞組(或場繞組)的兩個接頭互換即可。
這個裝置采用了成熟的動圈揚(yáng)聲器的原理，因此能夠穩(wěn)定工作在高速振動狀態(tài)，與驅(qū)動電流波形的跟隨性很好，便于通過驅(qū)動波形來調(diào)整掃描幅度和線性。
實(shí)施例二；與實(shí)施例一的不同之處是采用三個動圈單元，也可以實(shí)現(xiàn)水平和垂直振動偏轉(zhuǎn)。
實(shí)施例三采用兩個動圈單元，也可以實(shí)現(xiàn)光束的偏轉(zhuǎn)，但只能是水平或垂直偏轉(zhuǎn)，為實(shí)現(xiàn)行場合成，采用兩組本例的裝置構(gòu)成二次反射即可。
實(shí)施例四在本例中，與實(shí)施例一的不同之處是將光學(xué)振鏡旋轉(zhuǎn)45度粘貼，使四個動圈推動振鏡的四個邊，這樣可以在較小的容積中安置面積更大些的振鏡，但這時行場繞組的接線方式也要按調(diào)整45度后的要求重新連接，且接線原理有變，即每各對角的兩個動圈互為一組，單獨(dú)成為行繞組或場繞組，且均改為單繞組結(jié)構(gòu)，不再存在行場信號合成。這種方案四個邊的運(yùn)動都將受到鄰近邊動圈的牽制，易產(chǎn)生動作變形。
實(shí)施例五與實(shí)施例一的不同之處在于本例的裝置不為真空結(jié)構(gòu)，即不采用抽真空口、前端密封玻璃、密封接線端子等結(jié)構(gòu)，在動圈設(shè)計上，動圈3頂端完全開口，T鐵底部鉆通氣孔，以消除空氣阻力，這樣動圈和橡膠膜片均處于低阻尼狀態(tài)，借以保證光學(xué)反射鏡片的高速振動偏轉(zhuǎn)要求。
權(quán)利要求1.一種激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是包括殼體(9)、磁電動圈組合體、振膜(1)、反射鏡(4)；所述振膜罩設(shè)于所述殼體上，與所述殼體形成內(nèi)腔，所述磁電動圈組合體設(shè)置于所述殼體上或殼體內(nèi)，所述磁電動圈組合體具有振動端與所述振膜相連，所述反射鏡設(shè)置于所述振膜表面。
2.如權(quán)利要求1所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述磁電動圈組合體包括動圈(3)、繞組(12)、定位支架(7)、磁體(10)、T鐵(15)；所述繞組設(shè)置于所述動圈的下部；所述動圈通過所述定位支架固定于所述殼體上，其振動端與所述振膜相連；所述磁體繞設(shè)于所述繞組周圍，并形成磁隙。
3.如權(quán)利要求2所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述磁電動圈組合體為四個，其振動端分別設(shè)置于所述反射鏡的四角或四邊對應(yīng)邊緣。
4.如權(quán)利要求3所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述每個磁電動圈組合體繞組(12)包括行繞組和場繞組；同一行的兩個磁電動圈的行繞組反向連接，不同行的兩個磁電動圈的行繞組同向連接，所述各行繞組響應(yīng)于同一行偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流；同一場的兩個磁電動圈的場繞組反向連接，不同場的兩個磁電動圈的場繞組同向連接，所述各場繞組響應(yīng)于同一場偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電流。
5.如權(quán)利要求4所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述磁隙為大于5mm的長行程線性磁隙。
6.如權(quán)利要求4所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述磁電動圈組合體的定位支架(7)包括定位支片(71)，所述定位支片具有雙層結(jié)構(gòu)，環(huán)繞支撐所述動圈(3)。
7.如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述振膜開設(shè)有氣壓平衡孔(2)。
8.如權(quán)利要求7所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述氣壓平衡孔(2)開設(shè)于所述振膜與所述磁電動圈組合體的振動端相連接處和/或均勻?qū)ΨQ分布于所述振膜上。
9.如權(quán)利要求7所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是還包括前端密封玻璃(5)、抽真空口(8)和密封接線端子(6)；所述密封玻璃密封固接于所述殼體前端，所述抽真空口(8)和密封接線端(6)開設(shè)于所述殼體上。
10.如權(quán)利要求9所述的激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其特征是所述前端密封玻璃(5)具有鍍膜層。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種激光光束磁電振鏡式偏轉(zhuǎn)掃描裝置，包括殼體(9)、磁電動圈組合體、振膜(1)、反射鏡(4)；所述振膜罩設(shè)于所述殼體上，與所述殼體形成內(nèi)腔，所述磁電動圈組合體設(shè)置于所述殼體上，所述磁電動圈組合體的振動端與所述振膜相連，所述反射鏡片設(shè)置于所述振膜表面；借鑒成熟的揚(yáng)聲器磁電動圈系統(tǒng)的原理，以簡單的方式產(chǎn)生理想的振鏡偏轉(zhuǎn)效果，生產(chǎn)工藝簡單，制造成本可以控制得很低，為激光光束的高速偏轉(zhuǎn)掃描提供適于產(chǎn)品化的方案。
文檔編號G02B26/10GK2748939SQ20042009454
公開日2005年12月28日 申請日期2004年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月27日
發(fā)明者湯卓勛 申請人:湯卓勛