一種金屬掩模板切割設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬掩模板切割設(shè)備，其包括：機(jī)臺(tái)；繃網(wǎng)組件；運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌；還包括激光斜切裝置，所述激光斜切裝置上傾斜設(shè)置有可繞一平行于Z軸導(dǎo)軌的軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的激光切割頭，所述激光斜切裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述激光斜切裝置可對(duì)繃?yán)谒隹嚲W(wǎng)組件上的金屬掩模板進(jìn)行切割，形成掩模開(kāi)口，本發(fā)明提供的金屬掩模板切割設(shè)備能夠切割出開(kāi)口側(cè)壁為傾斜面的掩模板，所述掩模板的開(kāi)口截面為梯形結(jié)構(gòu)，其能夠避免掩模板在蒸鍍沉積有機(jī)材料時(shí)產(chǎn)生蒸鍍效應(yīng)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】 一種金屬掩模板切割設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光切割領(lǐng)域，具體涉及一種金屬掩模板切割設(shè)備。
[0002]

【背景技術(shù)】
[0003]有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic Light-Emitting D1de,簡(jiǎn)稱(chēng)0LED)是下一代的顯示技術(shù)，與目前使用的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡(jiǎn)稱(chēng)IXD)顯示技術(shù)相比,具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點(diǎn)，會(huì)逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。
[0004]在OLED顯示器面板的制作過(guò)程中，其中有機(jī)層的沉積會(huì)使用到掩模板，圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機(jī)材料的示意圖。掩模板10由于比較薄，在蒸鍍前會(huì)通過(guò)相關(guān)工藝固定在掩模外框11上，圖2所示為掩模板固定在掩模外框11上的平面示意圖。蒸鍍時(shí)，掩模板10借助掩模外框11固定在支撐臺(tái)12上，蒸鍍?cè)?3中的有機(jī)材料通過(guò)蒸發(fā)擴(kuò)散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設(shè)置有開(kāi)口 100，有機(jī)材料通過(guò)開(kāi)口 100沉積在沉積基板14上對(duì)應(yīng)的位置處，形成有機(jī)沉積層。
[0005]在技術(shù)要求上，有機(jī)沉積層的沉積質(zhì)量對(duì)后期產(chǎn)品質(zhì)量有非常大的影響，故在蒸鍍沉積過(guò)程中對(duì)沉積基板14上沉積區(qū)域的邊緣精度及均勻性要求非常高。為了能夠?qū)崿F(xiàn)有機(jī)材料很好的蒸鍍到沉積基板14上，必須減少掩模板開(kāi)口邊緣對(duì)有機(jī)沉積層的影響，即減少如圖3所示的蒸鍍效應(yīng)(由于掩模板開(kāi)口邊緣對(duì)有機(jī)材料130沉積的遮擋影響，導(dǎo)致有機(jī)沉積層131邊緣厚度不均勻)，掩模板的開(kāi)口截面往往設(shè)計(jì)成圖4所示的“凹形”結(jié)構(gòu)，該“凹形”結(jié)構(gòu)一般是通過(guò)化學(xué)蝕刻工藝制得，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會(huì)對(duì)環(huán)境帶來(lái)污染。
[0006]基于此，業(yè)界希望采用環(huán)境友好的工藝制作掩模板，以期在不損害環(huán)境的前提下制作能夠滿足OLED有機(jī)層沉積用的掩模板，通過(guò)激光切割工藝制作掩模板具有環(huán)境友好的優(yōu)點(diǎn)，但傳統(tǒng)激光設(shè)備切割薄材形成的開(kāi)口形貌如圖3所示，如此形貌的開(kāi)口帶來(lái)的缺陷如上所述，其不能滿足OLED顯示器面板有機(jī)層高質(zhì)量沉積的要求。
[0007]故此，業(yè)界亟需探索新的方式制作掩模板，以期在滿足環(huán)境友好的前提下，能夠較好的滿足掩模板高質(zhì)量開(kāi)口的要求。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種金屬掩模板切割設(shè)備，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，以更好的滿足具有高精密開(kāi)口的掩模板的切割應(yīng)用。
[0009]根據(jù)本專(zhuān)利【背景技術(shù)】中對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所述，目前OLED蒸鍍用掩模板制作所使用的方法有兩種:其一，通過(guò)蝕刻工制作橫截面為“凹形”結(jié)構(gòu)的開(kāi)口，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會(huì)對(duì)環(huán)境帶來(lái)污染；其二，通過(guò)激光切割工藝制作掩模板具有環(huán)境友好的優(yōu)點(diǎn)，但傳統(tǒng)激光設(shè)備切割薄材形成的開(kāi)口會(huì)帶來(lái)蒸鍍效應(yīng)。
[0010]本發(fā)明所提供了一種金屬掩模板切割設(shè)備，其包括:機(jī)臺(tái)；繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過(guò)所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)；所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括激光斜切裝置，所述激光斜切裝置上傾斜設(shè)置有可繞一平行于Z軸導(dǎo)軌的軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的激光切割頭，所述激光斜切裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述激光斜切裝置可對(duì)繃?yán)谒隹嚲W(wǎng)組件上的金屬掩模板進(jìn)行切割，形成掩模開(kāi)口。
[0011]本發(fā)明提供的金屬掩模板切割設(shè)備能夠切割出開(kāi)口側(cè)壁為傾斜面的掩模板，所述掩模板的開(kāi)口截面為梯形結(jié)構(gòu)，其能夠避免掩模板在蒸鍍沉積有機(jī)材料時(shí)產(chǎn)生蒸鍍效應(yīng)。
[0012]進(jìn)一步，本發(fā)明中所涉及的激光斜切裝置包括支撐機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、滑臺(tái)機(jī)構(gòu)、激光切割頭，所述支撐機(jī)構(gòu)用來(lái)支撐所述激光斜切裝置，所述激光斜切裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)上，所述激光斜切裝置通過(guò)所述支撐機(jī)構(gòu)直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)直接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部，所述旋轉(zhuǎn)端部可在所述動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)固定在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)上；通過(guò)所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，可以調(diào)整所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點(diǎn)相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置。
[0013]為強(qiáng)化本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的自動(dòng)化程度，本發(fā)明所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括控制單元，所述控制單元用于控制所述控制繃網(wǎng)組件對(duì)所述金屬掩模板的繃?yán)?、所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)路徑以及所述激光斜切裝置的工作方式。
[0014]進(jìn)一步，本發(fā)明所涉及的繃網(wǎng)組件包括4組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運(yùn)行滑塊，所述4組夾持裝置通過(guò)所述運(yùn)行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
[0015]進(jìn)一步，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過(guò)設(shè)置在兩端的滑塊I安裝在Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過(guò)滑塊2安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上。
[0016]進(jìn)一步，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過(guò)所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上。
[0017]進(jìn)一步，所述激光斜切裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過(guò)滑塊3間接的安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
[0018]為了便于監(jiān)控掩模板開(kāi)口的開(kāi)口質(zhì)量，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件，所述機(jī)器視覺(jué)組件安裝在所述滑塊3上，用于抓取所述金屬掩模板上開(kāi)口的形貌。
[0019]進(jìn)一步，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括碎屑收集裝置，其設(shè)置在所述基臺(tái)內(nèi)部，用于收集切割過(guò)程中產(chǎn)生的金屬碎屑，及時(shí)的碎屑收集處理，防止掩模板制作過(guò)程中碎屑對(duì)設(shè)備正常運(yùn)行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運(yùn)行軌道上會(huì)影響軌道運(yùn)行精度。
[0020]由于本發(fā)明的金屬掩模板切割設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺(tái)具有較高穩(wěn)定性，本發(fā)明中，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)和基座，所述花崗石平臺(tái)安裝在所述基座上，所述基座與支撐基地接觸。
[0021]本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)及優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
[0022]

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機(jī)材料的示意圖；
圖2所示為掩模板的平面示意圖；
圖3所示為采用傳統(tǒng)掩模板蒸鍍時(shí)掩模板開(kāi)口處的局部蒸鍍沉積示意圖；
圖4為采用蝕刻工藝制作的掩模板開(kāi)口示意圖(現(xiàn)有技術(shù))；
圖5為本發(fā)明所提供的金屬掩模板切割設(shè)備一種實(shí)施例立體示意；
圖6為本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的前視圖；
圖7所述為本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備俯視圖；
圖8為激光斜切裝置的一種實(shí)施例立體示意；
圖9為激光斜切裝置裝配裝配在運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上的示意圖；
圖10所示為本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的繃網(wǎng)組件的一種實(shí)施例示意圖；
圖11所示為構(gòu)成本網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)一種實(shí)施例示意圖；
圖12為通過(guò)繃網(wǎng)組件繃?yán)饘傺谀０宓氖疽鈭D；
圖13所不為金屬掩模板開(kāi)口切割局部不意圖；
圖14所示為采用本發(fā)明切割設(shè)備切割的金屬掩模板蒸鍍OLED有機(jī)材料的示意圖。
[0024]圖中，
10為掩模板，100為掩模板開(kāi)口，11為掩模板固定的掩模外框，12為支撐臺(tái)，13為蒸鍍?cè)矗?30為有機(jī)材料，131為有機(jī)沉積層，14為沉積基板；
51為機(jī)臺(tái)，511為構(gòu)成機(jī)臺(tái)51的花崗石平臺(tái)，512為構(gòu)成機(jī)臺(tái)51的基座，52為繃網(wǎng)組件，521為構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)，5211為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭，5212為夾持機(jī)構(gòu)521的底板，5213為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭引軌，5214為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)，5215為夾持機(jī)構(gòu)521的底板滑塊，5216為夾持機(jī)構(gòu)521的拉力傳感器，5217為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)運(yùn)動(dòng)限位機(jī)構(gòu)，522為安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座，523為安裝在安裝座522上的安裝導(dǎo)軌，53為運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，531為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌，532為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的Y軸導(dǎo)軌，533為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的Z軸導(dǎo)軌，54為激光斜切裝置，55為Y軸導(dǎo)軌支撐，56碎屑收集裝置；
71為X軸導(dǎo)軌固定橫梁，72為設(shè)置在橫梁71兩端的滑塊1，73為直線電機(jī)；
81為本發(fā)明中激光斜切裝置54的支撐機(jī)構(gòu)，82為本發(fā)明中激光斜切裝置54的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，83為本發(fā)明中激光斜切裝置54的滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，85為本發(fā)明中激光斜切裝置54的限位機(jī)構(gòu)，其中851為構(gòu)成限位機(jī)構(gòu)85的運(yùn)動(dòng)部件，852為構(gòu)成限位機(jī)構(gòu)85的靜態(tài)部件，86為本發(fā)明激光斜切裝置54中固定激光切割頭541的固定機(jī)構(gòu)，87為本發(fā)明中激光斜切裝置54的光纖固定機(jī)構(gòu)，0-0'為本發(fā)明中旋轉(zhuǎn)裝置82的旋轉(zhuǎn)中心軸線；
91為X/Z軸平板，92為設(shè)置在X/Z軸平板91上的滑塊2，93為安裝在Z軸導(dǎo)軌533上滑塊3，94為機(jī)器視覺(jué)組件；
θ為激光與掩模板板面10之間的夾角。
[0025]

【具體實(shí)施方式】
[0026]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0027]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“側(cè)邊”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0028]在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點(diǎn)與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0029]本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思如下:如技術(shù)背景所述，目前OLED蒸鍍用掩模板制作所使用的方法有兩種:其一，通過(guò)蝕刻工制作橫截面為“凹形”結(jié)構(gòu)的開(kāi)口，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術(shù)會(huì)對(duì)環(huán)境帶來(lái)污染；其二，通過(guò)激光切割工藝制作掩模板具有環(huán)境友好的優(yōu)點(diǎn)，但傳統(tǒng)激光設(shè)備切割薄材形成的開(kāi)口會(huì)帶來(lái)蒸鍍效應(yīng)。鑒于此，本發(fā)明提供一種激光切割設(shè)備，其能克服以上問(wèn)題，能夠較好的滿足OLED掩模板的開(kāi)口切割應(yīng)用。
[0030]本發(fā)明所提供的金屬掩模板切割設(shè)備一種實(shí)施例立體示意圖如圖5所示，
其包括:機(jī)臺(tái)51 ;繃網(wǎng)組件52，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，繃網(wǎng)組件52上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)521，金屬掩模板10的側(cè)邊可通過(guò)繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)521夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53，運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53包括X軸導(dǎo)軌531、Υ軸導(dǎo)軌532以及Z軸導(dǎo)軌533，Y軸導(dǎo)軌532直接或間接的固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，X軸導(dǎo)軌設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532上，且可在Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，Z軸導(dǎo)軌533設(shè)置在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533可以在X軸導(dǎo)軌531上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)；金屬掩模板切割設(shè)備還包括激光斜切裝置54，激光斜切裝置54上傾斜設(shè)置有可繞一平行于Z軸導(dǎo)軌533的軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的激光切割頭541，激光斜切裝置54直接或間接安裝在Z軸導(dǎo)軌533上，可隨Z軸導(dǎo)軌533在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行X、Y軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌533上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，激光斜切裝置54可對(duì)繃?yán)诳嚲W(wǎng)組件52上的金屬掩模板10進(jìn)行切割，形成掩模開(kāi)口。圖6、圖7所述為本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的前視圖及俯視圖，結(jié)合圖5、圖6及圖7，可以更好的展示本實(shí)施例金屬掩模板切割設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)。
[0031]以下是對(duì)本實(shí)施例相關(guān)機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0032]圖8所示為構(gòu)成金屬掩模板切割設(shè)備的激光斜切裝置54 —種實(shí)施例立體示意，如圖8所示，激光斜切裝置54包括:支撐機(jī)構(gòu)81、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82、滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83、激光切割頭541 ；支撐機(jī)構(gòu)81用來(lái)支撐激光斜切裝置，激光斜切裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)81上，激光斜切裝54置通過(guò)支撐機(jī)構(gòu)81直接或間接安裝在Z軸導(dǎo)軌533上；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82直接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)81上,旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部(圖中未示出)，旋轉(zhuǎn)端部可在動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83固定在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；激光切割頭541傾斜的安裝在滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83上。
[0033]參考圖8示意圖，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的旋轉(zhuǎn)中心軸線為O-CV，通過(guò)調(diào)整滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83，可以調(diào)整所述激光切割頭541所發(fā)射激光的焦點(diǎn)840相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線
0-0'的位置。本實(shí)施例中滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83為二維滑臺(tái)，其具有較高調(diào)節(jié)精度(微納米級(jí)別)，通過(guò)調(diào)整滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83，可以使得激光切割頭541所發(fā)射激光的焦點(diǎn)840落在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的旋轉(zhuǎn)中心軸線0-0'上，從而使得所述激光斜切裝置具有較好的掩模板開(kāi)口拐角切割功能。
[0034]在本實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的側(cè)面設(shè)置有限位機(jī)構(gòu)85，限位機(jī)構(gòu)85由隨動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置一起運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)部件851以及相對(duì)所述支撐部件81靜止的靜態(tài)部件852構(gòu)成，運(yùn)動(dòng)部件851可以直接與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82綁定，靜態(tài)部件852可以直接固定在支撐架上。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82在旋轉(zhuǎn)動(dòng)作過(guò)程中，其旋轉(zhuǎn)角度受到限位機(jī)構(gòu)85的限定，即旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82沿某一方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，限位機(jī)構(gòu)85的運(yùn)動(dòng)部件851隨旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82 —起運(yùn)動(dòng)，當(dāng)限位機(jī)構(gòu)85的運(yùn)動(dòng)部件851接觸到靜態(tài)部件852并觸發(fā)設(shè)置在限位機(jī)構(gòu)85上的開(kāi)關(guān)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)立即停止在同一方向上的進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。
[0035]由于設(shè)置有限位裝置85，激光切割頭541在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的帶動(dòng)下不會(huì)出現(xiàn)無(wú)限制的旋轉(zhuǎn)，連接在激光切割頭541上的激光導(dǎo)入光纖不會(huì)出現(xiàn)繞斷的狀況。換句話而言，在本實(shí)施例中增加限位裝置85，可以有效的避免旋轉(zhuǎn)部件的誤操作而導(dǎo)致的各類(lèi)事故。在本實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82在限位機(jī)構(gòu)85的限制下能夠旋轉(zhuǎn)一周，但其旋轉(zhuǎn)的最大角度小于370。。
[0036]在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，激光的傳輸完全通過(guò)光學(xué)鏡片傳輸，不需要光纖，因此可以不設(shè)置限位機(jī)構(gòu)85。
[0037]本實(shí)施例中的激光斜切裝置54還包括固定部件86，固定部件86固定在所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83下端,激光切割頭541通過(guò)所述固定部件86傾斜的安裝在滑臺(tái)機(jī)構(gòu)83上。
[0038]在激光斜切裝置54 —具體實(shí)施例中，構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)靈活，可以在PLC的操作下，進(jìn)行任意角度的旋轉(zhuǎn)。在另一具體實(shí)施例中，構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)82的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置是旋轉(zhuǎn)氣缸，旋轉(zhuǎn)氣缸的成本低廉，可以降低整體的造價(jià)。
[0039]在設(shè)置有光纖的激光斜切裝置54中，為了進(jìn)一步防止光纖在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中被損傷，激光斜切裝置的支撐架上設(shè)置有固定光纖的固定套87。
[0040]圖9所示為激光斜切裝置裝配在運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上的示意圖，本實(shí)施例中，金屬掩模板切割設(shè)備包括橫梁71和X/Z軸平板91，橫梁71通過(guò)設(shè)置在兩端的滑塊I (圖7中用72表示)安裝在Y軸導(dǎo)軌532上，X軸導(dǎo)軌531安裝在橫梁71上，X/Z軸平板91通過(guò)滑塊2(圖9中用92表示)安裝在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533安裝在X/Z軸平板91上。激光斜切裝置54的支撐機(jī)構(gòu)81通過(guò)滑塊3 (圖9中用93表示)間接的安裝在Z軸導(dǎo)軌533上。
[0041]在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，構(gòu)成運(yùn)行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531及Z軸導(dǎo)軌533都至少各包含一條導(dǎo)軌，如圖9所示實(shí)施例中，X軸導(dǎo)軌531和Z軸導(dǎo)軌533均包含兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌。另外，在本發(fā)明中，構(gòu)成運(yùn)行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532及Z軸導(dǎo)軌533的運(yùn)行均通過(guò)設(shè)置在導(dǎo)軌側(cè)邊的電機(jī)實(shí)現(xiàn)，如圖7所示，橫梁71在Y軸方向的運(yùn)動(dòng)通過(guò)設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532側(cè)邊的直線電機(jī)73的控制實(shí)現(xiàn)。
[0042]在本實(shí)施例中，金屬掩模板切割設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐55，如圖5所示，Y軸導(dǎo)軌支撐55直接安裝在機(jī)臺(tái)51上，Y軸導(dǎo)軌532安裝在Y軸導(dǎo)軌支撐55上，Y軸導(dǎo)軌532通過(guò)Y軸導(dǎo)軌支撐55間接的固定安裝在機(jī)臺(tái)51上。
[0043]圖10所示為本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的繃網(wǎng)組件52的一種實(shí)施例示意圖，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，本實(shí)施例中，繃網(wǎng)組件52包括4組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座522，每組夾持機(jī)構(gòu)包含若干夾持機(jī)構(gòu)521，安裝座522上設(shè)有安裝軌道523，夾持機(jī)構(gòu)521底部設(shè)置有與安裝軌道523匹配的運(yùn)行滑塊(即圖11中5215)，夾持機(jī)構(gòu)521通過(guò)設(shè)置在底部的運(yùn)行滑塊可在安裝軌道523上滑動(dòng)。本實(shí)施例中，4組夾持機(jī)構(gòu)521以及安裝座522在機(jī)臺(tái)51上呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置，具體如圖10所示，4組安裝在安裝座522上夾持機(jī)構(gòu)521分別設(shè)置在矩形的4個(gè)邊上。
[0044]如圖10中所示，繃網(wǎng)組件52 —對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含3個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521，另一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含4個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521 ;在另一具體的實(shí)施例中(無(wú)視圖)，一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含7個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521，另一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含8個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521。在實(shí)際應(yīng)用中，繃網(wǎng)組件52的每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量一般為I?10個(gè),具體數(shù)量根據(jù)金屬掩模板10的尺寸確定，在金屬掩模板10尺寸足夠大時(shí)，每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量可以超過(guò)10個(gè)；另外在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的每一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521可通過(guò)固定機(jī)構(gòu)固定在安裝軌道523上確定位置，作為一種比較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)方式，其通過(guò)螺絲頂緊的方式固定(圖中未示出)。
[0045]另外，在一些實(shí)施例中考慮到安裝的穩(wěn)定性，每個(gè)安裝座522上至少設(shè)置有2條安裝軌道523，圖10中所示每個(gè)安裝座522上即有2條安裝軌道523。
[0046]圖11所示是夾持機(jī)構(gòu)521的一種實(shí)施例示意圖，夾持機(jī)構(gòu)521包含夾頭5211、底板5212、夾頭引軌5213、電機(jī)5214、底板滑塊5215，夾頭引軌5213固定設(shè)置在底板5212上，夾頭5211下端通過(guò)與夾頭引軌5213相匹配的滑塊(圖中未標(biāo)識(shí))滑動(dòng)的設(shè)置在夾頭引軌5213上，夾持機(jī)構(gòu)整體通過(guò)設(shè)置在底板5212下部的底板滑塊5215與繃網(wǎng)組件52的安裝座522上安裝軌道523相匹配。夾頭5211在電機(jī)5214的帶動(dòng)下可在夾頭引軌5213上往返運(yùn)動(dòng)，另外，夾頭5211自身通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)夾緊與放松動(dòng)作。通過(guò)配合使用繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)521，金屬掩模板10的表面可繃?yán)_(dá)到平整。圖12是通過(guò)繃網(wǎng)組件52繃?yán)饘傺谀０?0的示意圖。
[0047]金屬掩模板10的形成過(guò)程為:將待切割的金屬片材(金屬掩模板10的基材)通過(guò)繃網(wǎng)組件52繃緊張平，激光斜切裝置54在運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的帶動(dòng)下，配合激光斜切裝置54自身的旋轉(zhuǎn)，在繃緊張平的金屬片材上形成預(yù)設(shè)的開(kāi)口，從而形成金屬掩模板。
[0048]另外，為便于繃網(wǎng)組件52的控制，夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)5214與夾頭5211之間還可以設(shè)置有拉力傳感器5216和電機(jī)運(yùn)動(dòng)限位機(jī)構(gòu)5217，如圖11所示。
[0049]在本發(fā)明的實(shí)施例中，為強(qiáng)化本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備的自動(dòng)化程度，金屬掩模板切割設(shè)備還包括控制單元(圖中未示出)，控制單元用于控制控制繃網(wǎng)組件52對(duì)金屬掩模板10的繃?yán)?、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的運(yùn)動(dòng)路徑以及激光斜切裝置54的工作方式；另外，本發(fā)明中運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的運(yùn)動(dòng)均與高精密光柵尺相配合，以達(dá)到高精度控制的效果。
[0050]為了便于監(jiān)控掩模板開(kāi)口的開(kāi)口質(zhì)量，金屬掩模板切割設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件94，如圖9所示，機(jī)器視覺(jué)組件94安裝在滑塊3 (圖中用94表示)上，其用于抓取所述金屬掩模板上開(kāi)口的形貌并配合軌道運(yùn)動(dòng)測(cè)量掩模板上需測(cè)量區(qū)域的尺寸，機(jī)器視覺(jué)組件94可以是高分辨率的CCD相機(jī)。
[0051]本發(fā)明金屬掩模板切割設(shè)備還包括碎屑收集裝置56，其設(shè)置在所述基臺(tái)內(nèi)部，用于收集切割過(guò)程中產(chǎn)生的金屬碎屑，及時(shí)的碎屑收集處理，防止掩模板制作過(guò)程中碎屑對(duì)設(shè)備正常運(yùn)行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運(yùn)行軌道53上會(huì)影響軌道運(yùn)行精度。碎屑收集裝置56內(nèi)可設(shè)置吸附設(shè)備。
[0052]由于本發(fā)明的金屬掩模板切割設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺(tái)51具有較高穩(wěn)定性，如圖5、圖6所示，本發(fā)明中機(jī)臺(tái)51包括花崗石平臺(tái)511和基座512，花崗石平臺(tái)511安裝在基座512上，基座512為鋼架機(jī)構(gòu)，基座512直接或者通過(guò)腳墊間接與支撐基地接觸。
[0053]以上是本發(fā)明金屬掩模板的一些詳細(xì)實(shí)施例，通過(guò)本發(fā)明提供的金屬掩模板切割設(shè)備能夠切割出開(kāi)口側(cè)壁為傾斜面的掩模板，開(kāi)口截面為梯形結(jié)構(gòu)，其能夠避免掩模板10在蒸鍍沉積有機(jī)材料時(shí)產(chǎn)生蒸鍍效應(yīng)。具體如下所述:采用本發(fā)明所提供的金屬掩模板切割設(shè)備進(jìn)行加工時(shí)，由于激光切割頭設(shè)置為傾斜狀態(tài)，其與所加工的板材(板材加工后形成掩模板)成一定的傾斜角度，故其在板材上切割出的開(kāi)口的側(cè)壁與板面呈一定的角度。如圖13所示，開(kāi)口的側(cè)壁與掩模板10的板面之間形成夾角Θ，通過(guò)如此方式切割出的掩模板能夠很好的滿足OLED顯示屏有機(jī)材料蒸鍍應(yīng)用，傾斜的側(cè)壁避免了掩模板應(yīng)用時(shí)的蒸鍍效應(yīng)。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，激光切割頭541所發(fā)射的激光與切割面(即掩模板10的板面)之間的夾角Θ范圍為:15°彡Θ彡75° ;作為更為具體的一些實(shí)施例:夾角Θ為15。 、30。 、45。 、60。 、75。。
[0054]圖14所示為采用本發(fā)明激光斜切裝置切割的掩模板蒸鍍OLED有機(jī)材料的示意圖，其在蒸鍍過(guò)程中避免了蒸鍍效應(yīng)，有機(jī)材料130能夠均勻的蒸鍍沉積到基板14上的特定區(qū)域。
[0055]本發(fā)明中任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說(shuō)明書(shū)各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0056]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬掩模板切割設(shè)備，其包括: 機(jī)臺(tái)； 繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過(guò)所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整； 運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)； 其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括激光斜切裝置，所述激光斜切裝置上傾斜設(shè)置有可繞一平行于Z軸導(dǎo)軌的軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的激光切割頭，所述激光斜切裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述激光斜切裝置可對(duì)繃?yán)谒隹嚲W(wǎng)組件上的金屬掩模板進(jìn)行切割，形成掩模開(kāi)口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述激光斜切裝置包括支撐機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、滑臺(tái)機(jī)構(gòu)、激光切割頭，所述支撐機(jī)構(gòu)用來(lái)支撐所述激光斜切裝置，所述激光斜切裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)上，所述激光斜切裝置通過(guò)所述支撐機(jī)構(gòu)直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)直接安裝在所述支撐機(jī)構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置、旋轉(zhuǎn)端部，所述旋轉(zhuǎn)端部可在所述動(dòng)力旋轉(zhuǎn)裝置的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)固定在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述旋轉(zhuǎn)端部下方；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)上；通過(guò)所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，可以調(diào)整所述激光切割頭所發(fā)射激光的焦點(diǎn)相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)中心軸線的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括控制單元，所述控制單元用于控制所述控制繃網(wǎng)組件對(duì)所述金屬掩模板的繃?yán)?、所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)路徑以及所述激光斜切裝置的工作方式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件包括4組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運(yùn)行滑塊，所述4組夾持裝置通過(guò)所述運(yùn)行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過(guò)設(shè)置在兩端的滑塊I安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過(guò)滑塊2安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過(guò)所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2或6所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述激光斜切裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過(guò)滑塊3間接的安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件，所述機(jī)器視覺(jué)組件安裝在所述滑塊3上，用于抓取所述金屬掩模板上開(kāi)口的形貌。
9.根據(jù)權(quán)利要求1、2、6或8所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板切割設(shè)備還包括碎屑收集裝置，其設(shè)置在所述基臺(tái)內(nèi)部，用于收集切割過(guò)程中產(chǎn)生的金屬碎屑。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、2、6或8所述的金屬掩模板切割設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)和基座，所述花崗石平臺(tái)安裝在所述基座上，所述基座與支撐基地接觸。
【文檔編號(hào)】B23K26/38GK104289817SQ201410501860
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月27日
【發(fā)明者】魏志凌, 王武懷, 孫杰 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司