技術(shù)編號(hào)：10098325
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于超聲霧化熱解噴涂薄膜材料制備領(lǐng)域，尤其涉及一種獨(dú)立式多源共聚焦超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室。背景技術(shù)超聲霧化熱解噴涂(簡(jiǎn)稱USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長(zhǎng)氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當(dāng)，但成本卻大幅度降低。摻雜薄膜和多層薄膜是薄膜材料研究和生產(chǎn)中非常常見的情況，傳統(tǒng)的USP方法在摻雜和多層膜制備中存在一定的問題，主要...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。